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一種狹縫式涂布機(jī)的制作方法

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一種狹縫式涂布機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實(shí)用新型涉及薄膜涂布設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種狹縫式涂布機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]對(duì)于現(xiàn)有狹縫式涂布機(jī)(slot die coater)而言,由于涂布頭與基片間距為微米級(jí),為保持涂布低間隙及高均勻度,涂布頭與載片平臺(tái)間需要極高的平行度。而在實(shí)驗(yàn)室中對(duì)現(xiàn)有設(shè)備進(jìn)行涂布前調(diào)試、校零,需要長(zhǎng)時(shí)間調(diào)節(jié)、試驗(yàn)來(lái)達(dá)到理想的效果,這樣每次實(shí)驗(yàn)前都需要長(zhǎng)時(shí)間的調(diào)整,并且不能保證每次調(diào)整后的效果都能達(dá)到最優(yōu),影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果和研發(fā)進(jìn)度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了解決上述的技術(shù)問(wèn)題,本實(shí)用新型的目的是提供一種狹縫式涂布機(jī),該狹縫式涂布機(jī)結(jié)構(gòu)合理,能夠更效率的得到涂布頭與平臺(tái)間更高的平行度,使涂層超薄且有更高的均勻度,從而提高實(shí)驗(yàn)效率,降低成本。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型采用了以下的技術(shù)方案:
[0005]—種狹縫式涂布機(jī),包括工作臺(tái)、支架、第二伺服電機(jī)和狹縫式涂布頭,所述工作臺(tái)包括底座、真空吸附平臺(tái)和第一伺服電機(jī),所述底座側(cè)壁上設(shè)有撥桿,所述真空吸附平臺(tái)位于底座的上部,且由至少一個(gè)第一伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),所述底座兩側(cè)的上部設(shè)有滑槽,滑槽內(nèi)放置有量塊,所述滑槽的側(cè)壁上還設(shè)有長(zhǎng)條形通孔,所述撥桿穿過(guò)通孔與量塊連接,所述狹縫式涂布頭通過(guò)支架固定在工作臺(tái)的上方,并且狹縫式涂布頭由第二伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),所述狹縫式涂布頭的兩側(cè)固定有位移感應(yīng)器,所述位移感應(yīng)器與滑槽的位置對(duì)齊。
[0006]作為優(yōu)選方案:所述支架包括橫梁和支柱,兩根支柱分別位于工作臺(tái)的兩側(cè),兩臺(tái)第二伺服電機(jī)分別固定在兩根立柱的底部,所述橫梁的兩端分別與兩臺(tái)第二伺服電機(jī)的傳動(dòng)軸相連接,所述狹縫式涂布頭固定在橫梁中部。
[0007]作為優(yōu)選方案:所述第一伺服電機(jī)通過(guò)電機(jī)支架固定在底座上。
[0008]作為優(yōu)選方案:所述底座底部還設(shè)有四個(gè)支腳,其中三個(gè)支腳為高度可調(diào)節(jié)的支腳。這樣工作臺(tái)水平調(diào)節(jié)也更加方便,進(jìn)一步提高了涂布頭與載片平臺(tái)間的平行度。
[0009]作為優(yōu)選方案,所述位移感應(yīng)器為非接觸式或者接觸式的感應(yīng)器。
[0010]本實(shí)用新型通過(guò)在狹縫式涂布頭兩側(cè)設(shè)置位移傳感器,并且在底座上相對(duì)應(yīng)的設(shè)置量塊,使得狹縫式涂布頭與工作平臺(tái)之間的平行度更加方便的調(diào)整,精度更高,且量塊位置可調(diào)節(jié)不影響?yīng)M縫式涂布頭的正常工作。
[0011 ]本實(shí)用新型的狹縫式涂布機(jī),結(jié)構(gòu)合理,精度高,涂層薄,均勻性好,能夠進(jìn)行更高效、高精度的平行度校零,并可實(shí)現(xiàn)平行度全自動(dòng)校零,從而提高了實(shí)驗(yàn)效率,降低成本。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1是本實(shí)用新型的正面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖2是本實(shí)用新型的頂面結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】做一個(gè)詳細(xì)的說(shuō)明。
[0015]如圖1和圖2所示的一種狹縫式涂布機(jī),包括工作臺(tái)、支架、第二伺服電機(jī)4和狹縫式涂布頭9,所述工作臺(tái)包括底座3、真空吸附平臺(tái)I和第一伺服電機(jī)2,所述底座3側(cè)壁上設(shè)有撥桿7,所述真空吸附平臺(tái)I位于底座3的上部,且由至少一個(gè)第一伺服電機(jī)2驅(qū)動(dòng),所述第一伺服電機(jī)2通過(guò)電機(jī)支架13固定在底座3上。
[0016]所述底座3兩側(cè)的上部設(shè)有滑槽6,滑槽6內(nèi)放置有量塊8,所述滑槽6的側(cè)壁上還設(shè)有長(zhǎng)條形通孔,所述撥桿7穿過(guò)通孔與量塊8連接,所述狹縫式涂布頭9通過(guò)支架固定在工作臺(tái)的上方,并且狹縫式涂布頭9由第二伺服電機(jī)4驅(qū)動(dòng),所述狹縫式涂布頭9的兩側(cè)固定有位移感應(yīng)器11,所述位移感應(yīng)器11與滑槽6的位置對(duì)齊。
[0017]所述支架包括橫梁10和支柱12,兩根支柱12分別位于工作臺(tái)的兩側(cè),兩臺(tái)第二伺服電機(jī)4分別固定在兩根立柱12的底部,所述橫梁10的兩端分別與兩臺(tái)第二伺服電機(jī)4的傳動(dòng)軸相連接,所述狹縫式涂布頭9固定在橫梁10中部。
[0018]所述底座3底部還設(shè)有四個(gè)支腳5,其中三個(gè)支腳5為高度可調(diào)節(jié)的支腳5。所述位移感應(yīng)器11為非接觸式或者接觸式的感應(yīng)器。
[0019]所述狹縫式涂布機(jī)在平行度校零時(shí),狹縫式涂布頭兩側(cè)的位移感應(yīng)器分別感應(yīng)與工作臺(tái)兩側(cè)相對(duì)應(yīng)的量塊的距離,同時(shí)通過(guò)分別調(diào)節(jié)兩側(cè)第二伺服電機(jī)使位移感應(yīng)器與對(duì)應(yīng)的量塊的距離相同,來(lái)達(dá)到狹縫式涂布頭與工作臺(tái)的高度平行的目的,所述平行度校零過(guò)程可以設(shè)定為全自動(dòng)。狹縫式涂布機(jī)在工作時(shí)量塊通過(guò)撥桿移動(dòng)到滑槽另一端,狹縫式涂布頭下降后位移感應(yīng)器不會(huì)與量塊有干涉。
[0020]本實(shí)用新型具體實(shí)施例中,進(jìn)行平行度校零的同時(shí)計(jì)算涂布頭與平臺(tái)距離,進(jìn)行涂布時(shí)狹縫式涂布頭下降至所需距離,與基板之間保持微米級(jí)間隙距離,狹縫式涂布頭按一定速度擠出漿料同時(shí)真空吸附平臺(tái)按一定速度移動(dòng)進(jìn)行涂布,完成涂布后,狹縫式涂布頭上升回到原點(diǎn),真空吸附平臺(tái)退回原位。
[0021]以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例,并非因此限制本實(shí)用新型的專利范圍,凡是利用本實(shí)用新型說(shuō)明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換,或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域,均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種狹縫式涂布機(jī),其特征在于:包括工作臺(tái)、支架、第二伺服電機(jī)(4)和狹縫式涂布頭(9),所述工作臺(tái)包括底座(3)、真空吸附平臺(tái)(I)和第一伺服電機(jī)(2),所述底座(3)側(cè)壁上設(shè)有撥桿(7),所述真空吸附平臺(tái)(I)位于底座(3)的上部,且由至少一個(gè)第一伺服電機(jī)(2)驅(qū)動(dòng),所述底座(3)兩側(cè)的上部設(shè)有滑槽(6),滑槽(6)內(nèi)放置有量塊(8),所述滑槽(6)的側(cè)壁上還設(shè)有長(zhǎng)條形通孔,所述撥桿(7)穿過(guò)通孔與量塊(8)連接,所述狹縫式涂布頭(9)通過(guò)支架固定在工作臺(tái)的上方,并且狹縫式涂布頭(9)由第二伺服電機(jī)(4)驅(qū)動(dòng),所述狹縫式涂布頭(9)的兩側(cè)固定有位移感應(yīng)器(11),所述位移感應(yīng)器(11)與滑槽(6)的位置對(duì)齊。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種狹縫式涂布機(jī),其特征在于:所述支架包括橫梁(10)和支柱(12),兩根支柱(12)分別位于工作臺(tái)的兩側(cè),兩臺(tái)第二伺服電機(jī)(4)分別固定在兩根支柱(12)的底部,所述橫梁(10)的兩端分別與兩臺(tái)第二伺服電機(jī)(4)的傳動(dòng)軸相連接,所述狹縫式涂布頭(9)固定在橫梁(10)中部。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種狹縫式涂布機(jī),其特征在于:所述第一伺服電機(jī)(2)通過(guò)電機(jī)支架(13)固定在底座(3)上。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種狹縫式涂布機(jī),其特征在于:所述底座(3)底部還設(shè)有四個(gè)支腳(5),其中三個(gè)支腳(5)為高度可調(diào)節(jié)的支腳(5)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種狹縫式涂布機(jī),其特征在于:所述位移感應(yīng)器(II)為非接觸式或者接觸式的感應(yīng)器。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種狹縫式涂布機(jī),包括工作臺(tái)、支架、第二伺服電機(jī)和狹縫式涂布頭,工作臺(tái)包括底座、真空吸附平臺(tái)和第一伺服電機(jī),底座側(cè)壁上設(shè)有撥桿,真空吸附平臺(tái)位于底座的上部,且由至少一個(gè)第一伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),底座兩側(cè)的上部設(shè)有滑槽,滑槽內(nèi)放置有量塊,滑槽的側(cè)壁上還設(shè)有長(zhǎng)條形通孔,撥桿穿過(guò)通孔與量塊連接,狹縫式涂布頭通過(guò)支架固定在工作臺(tái)的上方,并且狹縫式涂布頭由第二伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),狹縫式涂布頭的兩側(cè)固定有位移感應(yīng)器,所述位移感應(yīng)器與滑槽的位置對(duì)齊。本實(shí)用新型的狹縫式涂布機(jī),結(jié)構(gòu)合理,精度高,涂層薄,均勻性好,能夠進(jìn)行更高效、高精度的平行度校零,提高了實(shí)驗(yàn)效率,降低成本。
【IPC分類】B05C11/10, B05C11/02, B05C1/06
【公開號(hào)】CN205236291
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520835654
【發(fā)明人】付超
【申請(qǐng)人】杭州眾能光電科技有限公司
【公開日】2016年5月18日
【申請(qǐng)日】2015年10月26日
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