能夠防止硅片上浮的硅片筐提手的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種能夠防止硅片上浮的硅片筐提手，能夠在腐蝕及去膠操作過程中防止硅片上浮甚至漂浮，從而避免腐蝕不均、去膠不凈進(jìn)而返工或者報廢，以及避免可能發(fā)生的碎片現(xiàn)象，屬于半導(dǎo)體器件芯片制造技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體芯片制造過程中，有氧化層腐蝕工步和芯片結(jié)構(gòu)制作完畢之后的金屬層腐蝕工步，不論哪個工步，都有腐蝕和去膠兩個步驟。在所述兩個步驟中，如圖1所示，硅片I都是成組地、彼此相離地、垂直插放在硅片筐2中，用硅片筐提手3將盛放有硅片I的硅片筐2放入腐蝕液4中，腐蝕液4浸沒硅片I，每個硅片I底部與同一個滾輪5接觸。在腐蝕過程中，滾輪5轉(zhuǎn)動帶動硅片I轉(zhuǎn)動，實(shí)現(xiàn)均勻腐蝕。然而，如圖2所示，在所述腐蝕過程中，因?yàn)楦g液4與被腐蝕物反應(yīng)產(chǎn)生氣體，這些氣體以氣泡的形式從腐蝕液4中上升排出，在氣泡上升過程中，硅片I會隨之上浮，硅片I邊緣露出腐蝕液液面，導(dǎo)致腐蝕不均勻以及去膠不徹底，同時，由于上浮后的硅片I脫離與滾輪5的接觸而停止轉(zhuǎn)動，腐蝕以及去膠效果進(jìn)一步變劣，對于這部分硅片1，往往需要返工甚至報廢。有時由于硅片I上浮的幅度較大而漂浮在腐蝕液表面，某些操作會導(dǎo)致硅片I發(fā)生碎片，直接報廢。
[0003]所述硅片筐提手3采用聚四氟乙烯一次注塑而成，其形狀及結(jié)構(gòu)如圖3、4所示，下彎橫撐6位于提手3中上部，并位于U形帶7內(nèi)側(cè)，下彎橫撐6的兩端與U形帶7兩側(cè)連接，U形帶7兩側(cè)下部形狀與結(jié)構(gòu)相同，均呈展開狀，在U形帶7兩側(cè)下部的兩端各有一個嵌銷8。所述下彎橫撐6為剛性件，所述U形帶7為彈性件。當(dāng)使用該提手3提拿硅片筐2時，操作者手握下彎橫撐6及U形帶7的橫梁9，如圖5所示，在握力的作用下，同時由于下彎橫撐6的支撐作用，使得U形帶7兩側(cè)下部向外張開，將該提手3移至硅片筐2上方，使U形帶7兩側(cè)下部兩端的嵌銷8接近硅片筐2兩側(cè)上部兩端的凹槽，操作者松手去除握力，在彈性的作用下，U形帶7兩側(cè)下部回位，嵌銷8嵌入凹槽中，完成提手3與硅片筐2的臨時連接。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的在于，通過改變提手的結(jié)構(gòu)，使得提手具有阻止硅片上浮的功能，為此，我們發(fā)明了一種能夠防止硅片上浮的硅片筐提手。
[0005]本實(shí)用新型之能夠防止硅片上浮的硅片筐提手采用聚四氟乙烯一次注塑而成，如圖3、4所示，下彎橫撐6位于提手3中上部，并位于U形帶7內(nèi)側(cè)，下彎橫撐6的兩端與U形帶7兩側(cè)連接，U形帶7兩側(cè)下部形狀與結(jié)構(gòu)相同，均呈展開狀，在U形帶7兩側(cè)下部的兩端各有一個嵌銷8 ;所述下彎橫撐6為剛性件，所述U形帶7為彈性件；其特征在于，如圖6、7所示，橫擋10與U形帶7的橫梁9平行；橫擋10的具體方案有兩種:一、橫擋10為一個完整部件，如圖6所示，橫擋10兩端穿過U形帶7兩側(cè)下部，并與U形帶7兩側(cè)下部動配合，橫擋10的兩端具有限位蓋11，橫擋10的長度比U形帶7兩側(cè)下部間距大10?20毫米；二、橫擋10由左面部分、右面部分構(gòu)成，如圖7所示，左面部分的左端與U形帶7左側(cè)下部固定連接，右面部分的右端與U形帶7右側(cè)下部固定連接，左面部分的右端與右面部分的左端以嵌套方式連接。
[0006]本實(shí)用新型其技術(shù)效果在于，當(dāng)使用本實(shí)用新型之提手3提拿硅片筐2時，操作者手握下彎橫撐6及U形帶7的橫梁9，在握力的作用下，同時由于下彎橫撐6的支撐作用，并且，由于橫擋10的長度比U形帶7兩側(cè)下部間距大10?20毫米，或者，由于橫擋10由左右兩部分構(gòu)成并以嵌套方式連接，所以，橫擋10的存在不影響U形帶7兩側(cè)下部向外正常張開。
[0007]將硅片I成組地、彼此相離地、垂直插放在硅片筐2中。將本實(shí)用新型之提手3移至硅片筐2上方，使U形帶7兩側(cè)下部兩端的嵌銷8接近硅片筐2兩側(cè)上部兩端的凹槽，操作者松手去除握力，在彈性的作用下，U形帶7兩側(cè)下部回位，嵌銷8嵌入凹槽中，完成提手3與硅片筐2的臨時連接。此時橫擋10位于硅片筐2中的硅片I邊緣最高點(diǎn)的上方，如圖8所示，橫擋10的下邊緣與硅片I邊緣最高點(diǎn)相距5?10毫米。將盛放有硅片I的硅片筐2放入腐蝕液4中，腐蝕液4浸沒硅片I，每個硅片I底部與同一個滾輪5接觸。在腐蝕過程中，滾輪5轉(zhuǎn)動帶動硅片I轉(zhuǎn)動，實(shí)現(xiàn)均勻腐蝕。
[0008]盡管在所述腐蝕過程中，因?yàn)楦g液4與被腐蝕物反應(yīng)產(chǎn)生氣體，這些氣體以氣泡的形式從腐蝕液中上升排出，但是，由于橫擋10的存在，硅片I也不會隨氣泡的上升而上浮，從而防止硅片I邊緣露出腐蝕液4液面而導(dǎo)致腐蝕不均勻以及去膠不徹底，同時，也防止硅片I上浮后脫離與滾輪5的接觸而停止轉(zhuǎn)動，從而避免腐蝕以及去膠效果的進(jìn)一步變劣，不再需要返工，不會發(fā)生報廢，更談不上硅片I碎片的發(fā)生。
【附圖說明】
[0009]圖1是米用現(xiàn)有娃片筐提手時對娃片進(jìn)行腐蝕和去I父工況不意圖。圖2是米用現(xiàn)有硅片筐提手、對硅片進(jìn)行腐蝕和去膠時硅片發(fā)生上浮情況示意圖。圖3是現(xiàn)有硅片筐提手形狀及結(jié)構(gòu)立體示意圖。圖4是現(xiàn)有硅片筐提手形狀及結(jié)構(gòu)主視示意簡圖。圖5是現(xiàn)有硅片筐提手在握力作用下U形帶兩側(cè)下部向外張開形態(tài)主視示意簡圖。圖6是本實(shí)用新型之能夠防止硅片上浮的硅片筐提手形狀及結(jié)構(gòu)立體示意圖，該圖同時表示橫擋的加長方案。圖7是本實(shí)用新型之能夠防止硅片上浮的硅片筐提手形狀及結(jié)構(gòu)立體示意圖，該圖同時表示橫擋的嵌套方案，該圖同時作為摘要附圖。圖8是采用本實(shí)用新型之能夠防止硅片上浮的硅片筐提手時對硅片進(jìn)行腐蝕和去膠工況示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0010]本實(shí)用新型之能夠防止硅片上浮的硅片筐提手采用聚四氟乙烯一次注塑而成，如圖6、7所示，下彎橫撐6位于提手3中上部，并位于U形帶7內(nèi)側(cè)，下彎橫撐6的兩端與U形帶7兩側(cè)連接，U形帶7兩側(cè)下部形狀與結(jié)構(gòu)相同，均呈展開狀，在U形帶7兩側(cè)下部的兩端各有一個嵌銷8 ;所述下彎橫撐6為剛性件，所述U形帶7為彈性件。橫擋10與U形帶7的橫梁9平行。橫擋10呈細(xì)長圓形條狀，直徑為8?15毫米。橫擋10的材質(zhì)為聚四氟乙烯。橫擋10的具體方案有兩種:一、橫擋10為一個完整部件，橫擋10兩端穿過U形帶7兩側(cè)下部，并與U形帶7兩側(cè)下部動配合，橫擋10的兩端具有限位蓋11，橫擋10的長度比U形帶7兩側(cè)下部間距大10?20毫米；二、橫擋10由左面部分、右面部分構(gòu)成，左面部分的左端與U形帶7左側(cè)下部固定連接，右面部分的右端與U形帶7右側(cè)下部固定連接，左面部分的右端與右面部分的左端以嵌套方式連接。所述的嵌套方式為橫擋10左面部分、右面部分的連接部分分為內(nèi)部分、外部分，外部分為管狀，外徑為8?15毫米；內(nèi)部分的外徑等于外部分內(nèi)徑；所述橫擋10左面部分、右面部分的連接部分的長度為10?20毫米。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種能夠防止硅片上浮的硅片筐提手，采用聚四氟乙烯一次注塑而成，下彎橫撐(6)位于提手(3)中上部，并位于U形帶(7)內(nèi)側(cè)，下彎橫撐(6)的兩端與U形帶(7)兩側(cè)連接，U形帶(7)兩側(cè)下部形狀與結(jié)構(gòu)相同，均呈展開狀，在U形帶(7)兩側(cè)下部的兩端各有一個嵌銷⑶；所述下彎橫撐(6)為剛性件，所述U形帶(7)為彈性件；其特征在于，橫擋(10)與U形帶(7)的橫梁(9)平行；橫擋(10)的具體方案有兩種:一、橫擋(10)為一個完整部件，橫擋(10)兩端穿過U形帶(7)兩側(cè)下部，并與U形帶(7)兩側(cè)下部動配合，橫擋(10)的兩端具有限位蓋(11)，橫擋(10)的長度比U形帶(7)兩側(cè)下部間距大10?20毫米；二、橫擋(10)由左面部分、右面部分構(gòu)成，左面部分的左端與U形帶(7)左側(cè)下部固定連接，右面部分的右端與U形帶(7)右側(cè)下部固定連接，左面部分的右端與右面部分的左端以嵌套方式連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠防止硅片上浮的硅片筐提手，其特征在于，橫擋(10)呈細(xì)長圓形條狀，直徑為8?15毫米。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠防止硅片上浮的硅片筐提手，其特征在于，橫擋(10)的材質(zhì)為聚四氟乙烯。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠防止硅片上浮的硅片筐提手，其特征在于，所述的嵌套方式為橫擋(10)左面部分、右面部分的連接部分分為內(nèi)部分、外部分，外部分為管狀，外徑為8?15毫米；內(nèi)部分的外徑等于外部分內(nèi)徑；所述橫擋(10)左面部分、右面部分的連接部分的長度為10?20毫米。
【專利摘要】能夠防止硅片上浮的硅片筐提手屬于半導(dǎo)體器件芯片制造技術(shù)領(lǐng)域?，F(xiàn)有技術(shù)在硅片的腐蝕、去膠過程中，硅片會隨氣泡上浮，邊緣露出腐蝕液液面，導(dǎo)致腐蝕不均勻以及去膠不徹底，同時，由于上浮后的硅片脫離與滾輪的接觸而停止轉(zhuǎn)動，腐蝕以及去膠效果進(jìn)一步變劣。本實(shí)用新型其特征在于，橫擋與U形帶的橫梁平行；橫擋的具體方案有兩種：一、橫擋為一個完整部件，橫擋兩端穿過U形帶兩側(cè)下部，并與U形帶兩側(cè)下部動配合，橫擋的兩端具有限位蓋，橫擋的長度比U形帶兩側(cè)下部間距大10～20毫米；二、橫擋由左面部分、右面部分構(gòu)成，左面部分的左端與U形帶左側(cè)下部固定連接，右面部分的右端與U形帶右側(cè)下部固定連接，左面部分的右端與右面部分的左端以套管的方式連接。
【IPC分類】H01L31-18
【公開號】CN204375780
【申請?zhí)枴緾N201420851682
【發(fā)明人】曲蕾, 車陸, 李軍, 于雄飛
【申請人】吉林華微電子股份有限公司
【公開日】2015年6月3日
【申請日】2014年12月29日