用于極微焦點(diǎn)x射線管的多級(jí)聚焦陰極電子槍的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種電子槍，尤其涉及一種用于極微焦點(diǎn)X射線管的多級(jí)聚焦陰極電子槍。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的X射線管均為大焦點(diǎn)X射線管，其最小焦點(diǎn)可做到0.3mmX0.3mm ;普遍用于醫(yī)療衛(wèi)生和大功率工藝探傷，安檢等領(lǐng)域。隨著科技領(lǐng)域的不斷發(fā)展，出現(xiàn)了表面貼裝(即SMT)技術(shù)。使用SMT技術(shù)可使電子產(chǎn)品縮小體積40?60%、減輕重量60?80%。但隨之而來(lái)的便是傳統(tǒng)的檢測(cè)手段，普通焦點(diǎn)X光機(jī)等已不能滿足現(xiàn)有生產(chǎn)產(chǎn)品的質(zhì)量及可靠性的要求，尤其是對(duì)元器件內(nèi)部的缺陷無(wú)法查明。這樣就出現(xiàn)了新的檢測(cè)手段，微焦點(diǎn)X射線機(jī)，這種設(shè)備的核心器件是微焦點(diǎn)X射線管，這種光管焦點(diǎn)的大小又取決于陰極電子槍(即光管的陰極組件)，要想做出小焦點(diǎn)的X射線管，就必須要極細(xì)的電子流，目前國(guó)內(nèi)還沒有焦點(diǎn)< 300 ym的X射線管。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種用于極微焦點(diǎn)X射線管的多級(jí)聚焦陰極電子槍，其能夠產(chǎn)生極微焦點(diǎn)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中普通焦點(diǎn)X光機(jī)存在的上述問題。
[0004]為達(dá)此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0005]一種用于極微焦點(diǎn)X射線管的多級(jí)聚焦陰極電子槍，其包括芯柱、熱子、熱子支撐座、第一級(jí)柵、第二級(jí)柵和第三級(jí)柵，其中，所述芯柱上設(shè)置有若干根電極，所述芯柱上的部分電極與所述熱子支撐座相連接，所述熱子安裝于所述熱子支撐座上，所述熱子與所述芯柱上的電極連接，所述第一級(jí)柵與所述熱子支撐座相連接，所述第二級(jí)柵與所述第一級(jí)柵連接，所述第三級(jí)柵與所述第二級(jí)柵連接。
[0006]特別地，所述芯柱由玻璃制成，其上設(shè)置有i^一個(gè)電極，其中三個(gè)電極與所述熱子支撐座相連接。
[0007]特別地，所述熱子為旁熱式鋇鎢陰極。
[0008]特別地，所述熱子上的兩個(gè)電極與所述芯柱上的兩個(gè)電極連接。
[0009]特別地，所述熱子支撐座與所述第一級(jí)柵采用金屬化陶瓷連接并絕緣。
[0010]特別地，所述第二級(jí)柵與所述第一級(jí)柵采用金屬化陶瓷連接并絕緣。
[0011]特別地，所述第三級(jí)柵與所述第二級(jí)柵采用金屬化陶瓷連接并絕緣。
[0012]特別地，所述熱子支撐座、所述第一級(jí)柵、第二級(jí)柵和第三級(jí)柵采用純鉬金屬加工制作。
[0013]本發(fā)明的有益效果為，與現(xiàn)有技術(shù)相比用于極微焦點(diǎn)X射線管的多級(jí)聚焦陰極電子槍在100KV的高壓電場(chǎng)作用下，熱電子流的在18mm行程處的匯聚焦點(diǎn)可達(dá)到5 μm，使焦點(diǎn)5 ym管電壓為100KV的X射線管成為可能。
【附圖說明】
[0014]圖1是本發(fā)明【具體實(shí)施方式】I提供的用于極微焦點(diǎn)X射線管的多級(jí)聚焦陰極電子槍的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖中:
[0016]1、玻璃芯柱；2、熱子；3、熱子支撐座；4、第一級(jí)柵；5、第二級(jí)柵；6、第三級(jí)柵。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖并通過【具體實(shí)施方式】來(lái)進(jìn)一步說明本發(fā)明的技術(shù)方案。
[0018]請(qǐng)參閱圖1所示，圖1是本發(fā)明【具體實(shí)施方式】I提供的用于極微焦點(diǎn)X射線管的多級(jí)聚焦陰極電子槍的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]本實(shí)施例中，一種用于極微焦點(diǎn)X射線管的多級(jí)聚焦陰極電子槍包括玻璃芯柱1、熱子2、熱子支撐座3、第一級(jí)柵4、第二級(jí)柵5和第三級(jí)柵6，所述玻璃芯柱I上設(shè)置有十一根電極，所述玻璃芯柱I上的三個(gè)電極與所述熱子支撐座3相連接，所述熱子2為芳熱式鋇鎢陰極，安裝于所述熱子支撐座3上，所述熱子2上的兩個(gè)電極與所述玻璃芯柱I上的兩個(gè)電極連接。所述熱子支撐座3與所述第一級(jí)柵4采用金屬化陶瓷連接并絕緣，所述第二級(jí)柵5與所述第一級(jí)柵4采用金屬化陶瓷連接并絕緣，所述第三級(jí)柵6與所述第二級(jí)柵5采用金屬化陶瓷連接并絕緣。
[0020]所述熱子支撐座3、所述第一級(jí)柵4、第二級(jí)柵5和第三級(jí)柵6采用純鉬金屬加工制作。
[0021]上述多級(jí)聚焦陰極電子槍的熱子2點(diǎn)亮，發(fā)射電子，第一級(jí)柵4加負(fù)電壓匯聚電子，第二級(jí)柵5加1500V高壓加速電子并控制管流，第三級(jí)柵6匯聚電子流并在100KV的高壓電場(chǎng)作用下，熱電子流在18mm行程處的匯聚焦點(diǎn)可達(dá)到5μπι，使焦點(diǎn)5μπι管電壓為100KV的X射線管成為可能。
[0022]以上實(shí)施例只是闡述了本發(fā)明的基本原理和特性，本發(fā)明不受上述事例限制，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還有各種變化和改變，這些變化和改變都落入要求保護(hù)的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于極微焦點(diǎn)X射線管的多級(jí)聚焦陰極電子槍，其包括芯柱、熱子、熱子支撐座、第一級(jí)柵、第二級(jí)柵和第三級(jí)柵，其特征在于，所述芯柱上設(shè)置有若干根電極，所述芯柱上的部分電極與所述熱子支撐座相連接，所述熱子安裝于所述熱子支撐座上，所述熱子與所述芯柱上的電極連接，所述第一級(jí)柵與所述熱子支撐座相連接，所述第二級(jí)柵與所述第一級(jí)柵連接，所述第三級(jí)柵與所述第二級(jí)柵連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于極微焦點(diǎn)X射線管的多級(jí)聚焦陰極電子槍，其特征在于，所述芯柱由玻璃制成，其上設(shè)置有十一個(gè)電極，其中三個(gè)電極與所述熱子支撐座相連接。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于極微焦點(diǎn)X射線管的多級(jí)聚焦陰極電子槍，其特征在于，所述熱子為旁熱式鋇鎢陰極。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于極微焦點(diǎn)X射線管的多級(jí)聚焦陰極電子槍，其特征在于，所述熱子上的兩個(gè)電極與所述芯柱上的兩個(gè)電極連接。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于極微焦點(diǎn)X射線管的多級(jí)聚焦陰極電子槍，其特征在于，所述熱子支撐座與所述第一級(jí)柵采用金屬化陶瓷連接并絕緣。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于極微焦點(diǎn)X射線管的多級(jí)聚焦陰極電子槍，其特征在于，所述第二級(jí)柵與所述第一級(jí)柵采用金屬化陶瓷連接并絕緣。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于極微焦點(diǎn)X射線管的多級(jí)聚焦陰極電子槍，其特征在于，所述第三級(jí)柵與所述第二級(jí)柵采用金屬化陶瓷連接并絕緣。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于極微焦點(diǎn)X射線管的多級(jí)聚焦陰極電子槍，其特征在于，所述熱子支撐座、所述第一級(jí)柵、第二級(jí)柵和第三級(jí)柵采用純鉬金屬加工制作。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于極微焦點(diǎn)X射線管的多級(jí)聚焦陰極電子槍，其包括芯柱、熱子、熱子支撐座、第一級(jí)柵、第二級(jí)柵和第三級(jí)柵，其中，所述芯柱上設(shè)置有若干根電極，所述芯柱上的部分電極與所述熱子支撐座相連接，所述熱子安裝于所述熱子支撐座上，所述熱子與所述芯柱上的電極連接，所述第一級(jí)柵與所述熱子支撐座相連接，所述第二級(jí)柵與所述第一級(jí)柵連接，所述第三級(jí)柵與所述第二級(jí)柵連接。上述多級(jí)聚焦陰極電子槍的熱子點(diǎn)亮，發(fā)射電子，第一級(jí)柵加負(fù)電壓匯聚電子，第二級(jí)柵加1500V高壓加速電子并控制管流，第三級(jí)柵匯聚電子流并在100KV的高壓電場(chǎng)作用下，熱電子流在18mm行程處的匯聚焦點(diǎn)可達(dá)到5μm，使焦點(diǎn)5μm管電壓為100KV的X射線管成為可能。
【IPC分類】H01J37/065, H01J37/063
【公開號(hào)】CN104934284
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510337171
【發(fā)明人】劉駿, 吳愛軍, 王劉成
【申請(qǐng)人】無(wú)錫日聯(lián)科技有限公司
【公開日】2015年9月23日
【申請(qǐng)日】2015年6月17日