一種實時檢測集液罐液位系統(tǒng)及檢測方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體中雙儲罐液體補充系統(tǒng)，特別涉及一種實時檢測集液罐液位系統(tǒng)及檢測方法。
【背景技術(shù)】
[0002]雙儲罐液體補充系統(tǒng)有包含處理罐、集液罐，當處理罐內(nèi)的液體低時，集液罐自動將液體輸送至處理罐中，最終集液罐將會空置，這時我們需要更換一個新的集液罐，但是我們不能準確及時的檢測出集液管空置的工況。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種實時檢測集液罐液位系統(tǒng)及檢測方法，可以實時的檢測集液管空置的工況，并及時的更換集液罐，不需要例行檢查，節(jié)省了大量勞動力。
[0004]為了實現(xiàn)以上目的，本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的:
一種實時檢測集液罐液位系統(tǒng)，其特點是，包含:
液位傳感器，其位于集液罐內(nèi)；
加工機臺，其與液位傳感器相連；
設(shè)備自動化系統(tǒng)，其與加工機臺相連；
所述的液位傳感器采集集液罐已空信號經(jīng)由加工機臺傳送至設(shè)備自動化系統(tǒng)，所述的設(shè)備自動化系統(tǒng)發(fā)送集液罐已空的警告信號到加工機臺上，使得加工機臺停止。
[0005]一種利用上述的實時檢測集液罐液位系統(tǒng)的檢測方法，其特點是，該方法包含: 液位傳感器采集集液罐已空信號；
加工機臺接收集液罐已空信號并將集液罐已空信號傳輸?shù)皆O(shè)備自動化系統(tǒng)；
設(shè)備自動化系統(tǒng)發(fā)送集液罐已空的警告信號到加工機臺上，使得加工機臺停止。
[0006]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點:
本發(fā)明可以實時的檢測集液管空置的工況，并及時的更換集液罐，不需要例行檢查，節(jié)省了大量勞動力。
【附圖說明】
[0007]圖1為本發(fā)明一種一種實時檢測集液罐液位系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖。
【具體實施方式】
[0008]以下結(jié)合附圖，通過詳細說明一個較佳的具體實施例，對本發(fā)明做進一步闡述。
[0009]如圖1所示，一種實時檢測集液罐液位系統(tǒng)，包含:液位傳感器1，其位于集液罐內(nèi)，本實施例中液位傳感器型號為CSHQ77-ZQ-YW ;加工機臺2，其與液位傳感器I相連；設(shè)備自動化系統(tǒng)3 (EAP)，其與加工機臺2相連；所述的液位傳感器I采集集液罐已空信號經(jīng)由加工機臺2傳送至設(shè)備自動化系統(tǒng)3，所述的設(shè)備自動化系統(tǒng)3發(fā)送集液罐已空的警告信號到加工機臺2上，使得加工機臺2停止。
[0010]一種利用上述的實時檢測集液罐液位系統(tǒng)的檢測方法，該方法包含:
液位傳感器I采集集液罐已空信號；
加工機臺2接收集液罐已空信號并將集液罐已空信號傳輸?shù)皆O(shè)備自動化系統(tǒng)；
設(shè)備自動化系統(tǒng)3發(fā)送集液罐已空的警告信號到加工機臺2上，使得加工機臺2停止，并且控制停止下一道工序。
[0011]綜上所述，本發(fā)明一種實時檢測集液罐液位系統(tǒng)及檢測方法，可以實時的檢測集液管空置的工況，并及時的更換集液罐，不需要例行檢查，節(jié)省了大量勞動力。
[0012]盡管本發(fā)明的內(nèi)容已經(jīng)通過上述優(yōu)選實施例作了詳細介紹，但應當認識到上述的描述不應被認為是對本發(fā)明的限制。在本領(lǐng)域技術(shù)人員閱讀了上述內(nèi)容后，對于本發(fā)明的多種修改和替代都將是顯而易見的。因此，本發(fā)明的保護范圍應由所附的權(quán)利要求來限定。
【主權(quán)項】
1.一種實時檢測集液??液位系統(tǒng)，其特征在于，包含: 液位傳感器，其位于集液罐內(nèi)； 加工機臺，其與液位傳感器相連； 設(shè)備自動化系統(tǒng)，其與加工機臺相連； 所述的液位傳感器采集集液罐已空信號經(jīng)由加工機臺傳送至設(shè)備自動化系統(tǒng)，所述的設(shè)備自動化系統(tǒng)發(fā)送集液罐已空的警告信號到加工機臺上，使得加工機臺停止。2.一種利用如權(quán)利要求1所述的實時檢測集液罐液位系統(tǒng)的檢測方法，其特征在于，該方法包含: 液位傳感器采集集液罐已空信號； 加工機臺接收集液罐已空信號并將集液罐已空信號傳輸?shù)皆O(shè)備自動化系統(tǒng)； 設(shè)備自動化系統(tǒng)發(fā)送集液罐已空的警告信號到加工機臺上，使得加工機臺停止。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種實時檢測集液罐液位系統(tǒng)，包含：液位傳感器，其位于集液罐內(nèi)；加工機臺，其與液位傳感器相連；設(shè)備自動化系統(tǒng)，其與加工機臺相連；液位傳感器采集集液罐已空信號經(jīng)由加工機臺傳送至設(shè)備自動化系統(tǒng)，設(shè)備自動化系統(tǒng)發(fā)送集液罐已空的警告信號到加工機臺上，使得加工機臺停止。本發(fā)明可以實時的檢測集液管空置的工況，并及時的更換集液罐，不需要例行檢查，節(jié)省了大量勞動力。
【IPC分類】B65D90/48
【公開號】CN104925413
【申請?zhí)枴緾N201410101976
【發(fā)明人】胡可綠, 何雅彬, 解毅, 王華鈞, 忻圣波, 鄭修鋒, 朱義黨
【申請人】上海華虹宏力半導體制造有限公司
【公開日】2015年9月23日
【申請日】2014年3月19日