1.一種層疊體的制造方法,其為將由聚酰亞胺樹脂形成的基板、和支撐所述基板的支撐體介由粘接層進(jìn)行層疊而成的層疊體的制造方法,其特征在于,包括:
水解工序,將存在于所述基板的兩個(gè)平面部中的一個(gè)平面部的酰亞胺鍵的一部分水解;
粘接層形成工序,在所述支撐體上形成含有具有下述式(1)所示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰胺酸而成的粘接層,
所述式(1)中,R1為4價(jià)的有機(jī)基團(tuán),是碳原子數(shù)為2以上且11以下的芳香族基團(tuán)、脂肪族基團(tuán)、或脂環(huán)式基團(tuán),
R2為2價(jià)的有機(jī)基團(tuán),是除碳原子及氫原子之外還可含有選自由氮原子、氧原子、硫原子、及鹵素組成的組中的原子的、碳原子數(shù)為2以上且50以下的芳香族基團(tuán)、脂肪族基團(tuán)、或脂環(huán)式基團(tuán),
n為1以上;和
貼合工序,以所述酰亞胺鍵進(jìn)行了水解的平面部與所述支撐體相對的方式,介由所述粘接層貼合所述基板和所述支撐體。
2.如權(quán)利要求1所述的層疊體的制造方法,其特征在于,所述式(1)所示的結(jié)構(gòu)單元中的R1為4價(jià)的芳香族基團(tuán),R2為選自由亞苯基、2價(jià)的二苯基醚基、及2價(jià)的二苯甲酮基組成的組中的至少1種基團(tuán)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的層疊體的制造方法,其特征在于,在所述水解工序中,通過含有有機(jī)堿化合物及水的處理液而將所述酰亞胺鍵水解。
4.如權(quán)利要求3所述的層疊體的制造方法,其特征在于,所述有機(jī)堿化合物為季銨堿。
5.如權(quán)利要求3或4所述的層疊體的制造方法,其特征在于,所述處理液進(jìn)一步含有水溶性有機(jī)溶劑。
6.一種基板的處理方法,其特征在于,包括:
層疊體形成工序,通過權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所述的層疊體的制造方法來制造層疊體,和
剝離工序,在所述層疊體形成工序后,將所述基板從所述層疊體剝離。
7.一種層疊體,其為將由聚酰亞胺樹脂形成的基板、和支撐所述基板的支撐體介由粘接層進(jìn)行層疊而成的層疊體,其特征在于,具有來自于下述氨基和下述羧基的酰胺鍵,
所述氨基為存在于所述基板的與所述支撐體相對的平面部的聚酰亞胺樹脂所具有的氨基,
所述羧基為具有下述式(1)所示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰胺酸所具有的羧基,
所述式(1)中,R1為4價(jià)的有機(jī)基團(tuán),是碳原子數(shù)為2以上且11以下的芳香族基團(tuán)、脂肪族基團(tuán)、或脂環(huán)式基團(tuán),
R2為2價(jià)的有機(jī)基團(tuán),是除碳原子及氫原子之外還可含有選自由氮原子、氧原子、硫原子、及鹵素組成的組中的原子的、碳原子數(shù)為2以上且50以下的芳香族基團(tuán)、脂肪族基團(tuán)、或脂環(huán)式基團(tuán),
n為1以上。
8.如權(quán)利要求7所述的層疊體,其特征在于,所述式(1)所示的結(jié)構(gòu)單元中的R1為4價(jià)的芳香族基團(tuán),R2為選自由亞苯基、2價(jià)的苯基醚基、及2價(jià)的二苯甲酮基組成的組中的至少1種基團(tuán)。
9.一種層疊體的形成用試劑盒,其為在權(quán)利要求3或4所述的層疊體的制造方法中使用的層疊體的形成用試劑盒,其特征在于,具有:
含有有機(jī)堿化合物及水而形成的上述處理液,和
含有具有上述式(1)所示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰胺酸、及有機(jī)溶劑而形成的粘接劑。
10.如權(quán)利要求9所述的層疊體的形成用試劑盒,其特征在于,所述處理液進(jìn)一步含有水溶性有機(jī)溶劑。