高效節(jié)能多晶硅鑄錠爐的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種高效節(jié)能多晶硅鑄錠爐，屬于多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與制造【技術(shù)領(lǐng)域】，包括爐體（1）、加熱器（2）、保溫頂板（4）、保溫籠體（5）；加熱器（2）固定在保溫頂板（4），保溫籠體（5）設(shè)置在爐體（1）內(nèi)，保溫籠體（5）上部設(shè)有保溫頂板（4），保溫籠體（5）下部設(shè)有帶支柱（10）的保溫底板（8）；其特征在于，所述的加熱器（2）為鉬加熱器；有益效果是使用鉬加熱器，加熱效率高，環(huán)保安全，可以生產(chǎn)出高品質(zhì)硅錠，縮短整個(gè)工藝時(shí)間，降低了結(jié)晶過程中的能耗。
【專利說明】高效節(jié)能多晶硅鑄錠爐

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及一種多晶硅鑄錠爐，具體是一種高效節(jié)能多晶硅鑄錠爐，屬于多 晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與制造【技術(shù)領(lǐng)域】。

【背景技術(shù)】
[0002] 多晶硅鑄錠爐是一種硅重熔設(shè)備，生產(chǎn)中，將達(dá)到一定純度要求的多晶硅裝入爐 中，按工藝要求加熱融化、定向長(zhǎng)晶、熱處理、冷卻出爐。多晶硅重熔長(zhǎng)晶的這樣核心環(huán)境， 我們稱之為熱場(chǎng)。熱場(chǎng)不單位多晶硅熔化提供大量的熱能，在長(zhǎng)晶過程中又提供合理的溫 度梯場(chǎng)以得到合乎要求的多晶硅晶體。多晶硅鑄錠爐是一種能耗高、工時(shí)長(zhǎng)的多晶硅生產(chǎn) 設(shè)備，因此合理的多晶硅鑄錠爐熱場(chǎng)要能生產(chǎn)出高質(zhì)量符合要求的多晶硅鑄錠。而現(xiàn)有多 晶硅鑄錠爐由于結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上的不足，難以滿足生產(chǎn)要求。以前和現(xiàn)有的加熱器是使用碳加 熱器，加熱效果不明顯，而且會(huì)產(chǎn)生碳渣，造成浪費(fèi)，容易對(duì)環(huán)境造成污染。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本實(shí)用新型提供一種高效節(jié)能多晶硅鑄錠爐，能 夠有效地提高多晶硅質(zhì)量，縮短了工藝效率，提高生產(chǎn)率。
[0004] 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是一種高效節(jié)能多晶硅鑄錠爐， 包括爐體、加熱器、保溫頂板、保溫籠體；加熱器固定在保溫頂板，保溫籠體設(shè)置在爐體內(nèi)， 保溫籠體上部設(shè)有保溫頂板，保溫籠體下部設(shè)有帶支柱的保溫底板；所述的加熱器為鑰加 熱器。
[0005] 支柱的頂端設(shè)有熱交換臺(tái)，熱交換臺(tái)上部設(shè)有坩堝，熱交換臺(tái)固定在支柱的頂端。
[0006] 還包括保溫環(huán)條設(shè)置在加熱器和熱交換臺(tái)之間，保溫環(huán)條通過連接器與保溫頂板 固定連接。
[0007] 本實(shí)用新型的有益效果是：使用鑰加熱器，加熱效率高，環(huán)保安全，可以生產(chǎn)出高 品質(zhì)硅錠，縮短了整個(gè)工藝時(shí)間，降低了結(jié)晶過程中的能耗。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0008] 圖1是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009] 圖中：1、爐體，2、加熱器，3、連接器，4、保溫頂板，5、保溫籠體，6、多晶硅原料，7、坩 禍，8、保溫底板，9、熱受換臺(tái)，10、支柱，11、保溫環(huán)條。

【具體實(shí)施方式】
[0010] 下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
[0011] 如圖1所示，一種高效節(jié)能多晶硅鑄錠爐，包括爐體1、保溫頂板4、保溫籠體5、坩 堝7,熱交換臺(tái)9和保溫環(huán)條11，還包括加熱器2,加熱器2固定在保溫頂板4上；保溫籠體 5設(shè)置在爐體1內(nèi)，保溫籠體5上部設(shè)有保溫頂板4,保溫籠體5下部設(shè)有帶支柱10保溫底 板8 ;熱交換臺(tái)9上部設(shè)有坩堝7,熱交換臺(tái)9固定在支柱10的頂端；保溫環(huán)條11設(shè)置在鑰 加熱器2和熱交換臺(tái)9之間，保溫環(huán)條11通過連接器3與保溫頂板4固定連接，保溫頂板 4、保溫籠體5、保溫底板8組成一個(gè)封閉的熱場(chǎng)腔體。
[0012] 正常生產(chǎn)時(shí)，多晶硅原料8在坩堝7中被加熱熔化，當(dāng)進(jìn)入長(zhǎng)晶階段時(shí)，保溫籠 體5被緩慢提起，熱交換臺(tái)9在保溫籠體5的底部被暴露出來，大量的熱輻射會(huì)經(jīng)由熱交 換臺(tái)9按兩側(cè)方向從保溫籠體5的底部往爐體1腔室散發(fā)，多晶硅原料8的底部被冷卻， 開始長(zhǎng)晶，但上面的部分多晶硅原料8還必須長(zhǎng)時(shí)間保持在液態(tài)狀態(tài)，此時(shí)，由于保溫環(huán)條 11的隔離作用，限制了多晶硅原料8上部熱量的散發(fā)，緩解了鑰加熱器2的耗能時(shí)間，同 時(shí)，由于保溫環(huán)條11的隔離作用，還增大了保溫籠體5內(nèi)熱場(chǎng)上下兩部分的溫度差，使得 硅液相變線更為明顯，從而長(zhǎng)出更為理想的晶體。
【權(quán)利要求】
1. 一種高效節(jié)能多晶硅鑄錠爐，包括爐體（1)、加熱器（2)、保溫頂板（4)、保溫籠體 (5);加熱器（2 )固定在保溫頂板（4)，保溫籠體（5)設(shè)置在爐體（1)內(nèi)，保溫籠體（5)上部設(shè) 有保溫頂板（4)，保溫籠體（5)下部設(shè)有帶支柱（10)的保溫底板（8);其特征在于，所述的加 熱器（2)為鑰加熱器。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的高效節(jié)能多晶硅鑄錠爐，其特征在于，所述支柱（10)的頂端 設(shè)有熱交換臺(tái)（9 )，熱交換臺(tái)（9 )上部設(shè)有坩堝（7 )，熱交換臺(tái)（9 )固定在支柱（10 )的頂端。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種高效節(jié)能多晶硅鑄錠爐，其特征在于，還包括保溫環(huán)條 (11)設(shè)置在加熱器（2)和熱交換臺(tái)（9)之間，保溫環(huán)條（11)通過連接器（3)與保溫頂板（4) 固定連接。
【文檔編號(hào)】C30B29/06GK203999909SQ201420294239
【公開日】2014年12月10日 申請(qǐng)日期:2014年6月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月5日
【發(fā)明者】王富貴 申請(qǐng)人:江蘇聯(lián)方鋼結(jié)構(gòu)工程有限公司