精密定位平臺(tái)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種精密定位平臺(tái)，其包括本體、形成于所述本體中的放大機(jī)構(gòu)、以及壓電陶瓷，放大機(jī)構(gòu)包括：分別位于矩形的四個(gè)頂點(diǎn)的第一鉸鏈點(diǎn)、第二鉸鏈點(diǎn)、第三鉸鏈點(diǎn)、第四鉸鏈點(diǎn)，第二鉸鏈點(diǎn)、第三鉸鏈點(diǎn)上方為放大機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，第一鉸鏈點(diǎn)、第二鉸鏈點(diǎn)一側(cè)為放大機(jī)構(gòu)的放大邊，放大邊中安裝有預(yù)緊頂絲；本體上安裝有底蓋板，壓電陶瓷設(shè)置于本體內(nèi)部，壓電陶瓷一端與底蓋板固定連接，另一端通過(guò)滾珠與預(yù)緊頂絲相抵靠，滾珠安裝于所述預(yù)緊頂絲中。本實(shí)用新型的精密定位平臺(tái)依靠壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源的電壓激勵(lì)，實(shí)現(xiàn)壓電陶瓷的微位移形變，同時(shí)通過(guò)放大機(jī)構(gòu)對(duì)位移進(jìn)行放大來(lái)實(shí)現(xiàn)無(wú)間隙、無(wú)耦合的微位移傳動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)精密定位。
【專利說(shuō)明】精密定位平臺(tái)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及微驅(qū)動(dòng)應(yīng)用領(lǐng)域，具體涉及一種精密定位平臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著納米技術(shù)的興起和迅猛發(fā)展，基于壓電驅(qū)動(dòng)的納米級(jí)微定位技術(shù)已成為微機(jī)電系統(tǒng)、掃描探測(cè)顯微鏡、超精密加工、細(xì)胞操作等諸多前沿技術(shù)的基礎(chǔ)支持技術(shù)。
[0003]其中，壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器是近幾年發(fā)展起來(lái)的新型微位移器件，它以體積小、驅(qū)動(dòng)力大、分辨率高、易于控制等優(yōu)點(diǎn)作為驅(qū)動(dòng)元件在精密機(jī)械當(dāng)中得到廣泛的應(yīng)用。壓電陶瓷是利用壓電材料的逆壓電效應(yīng)來(lái)工作的，僅依靠外加電場(chǎng)的大小就能夠?qū)崿F(xiàn)驅(qū)動(dòng)。壓電陶瓷克服了以往機(jī)械式、液壓式、氣動(dòng)式、電磁式等執(zhí)行器慣性大、響應(yīng)慢、結(jié)構(gòu)復(fù)雜、可靠性差等不足，具有體積小、結(jié)構(gòu)緊湊、無(wú)機(jī)械摩擦、無(wú)間隙、分辨率高、響應(yīng)快、無(wú)發(fā)熱、不受磁場(chǎng)干擾、可在低溫，真空環(huán)境下使用等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于微定位技術(shù)中，這種可控的精密微位移執(zhí)行器必將在今后諸多【技術(shù)領(lǐng)域】中發(fā)揮難以估量的作用。例如，將壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器應(yīng)用于精密定位平臺(tái)中，作為精密定位平臺(tái)的驅(qū)動(dòng)裝置。
[0004]雖然壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器具有高精密位移輸出的優(yōu)點(diǎn)，但同時(shí)其輸出位移相當(dāng)微小，不能滿足有較大微位移輸出要求的應(yīng)用場(chǎng)合，在實(shí)際應(yīng)用中常常需要將壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的輸出位移進(jìn)行放大，以滿足大行程高精確定位的需要。
[0005]因此，需要放大機(jī)構(gòu)對(duì)壓電陶瓷的輸出位移進(jìn)行放大。目前根據(jù)對(duì)壓電陶瓷位移放大方式的不同，精密定位平臺(tái)主要分為直接驅(qū)動(dòng)式、杠桿放大式、和橢圓放大式、及菱形放大式精密定位平臺(tái)。其中杠桿放大式精密定位平臺(tái)的主要目的是將壓電陶瓷的運(yùn)動(dòng)范圍進(jìn)行放大，通過(guò)杠桿放大原理，以及具有旋轉(zhuǎn)副的柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)沿支點(diǎn)的旋轉(zhuǎn)，通過(guò)杠桿機(jī)構(gòu)進(jìn)行放大，其放大倍數(shù)可以達(dá)到2-3倍，使得由壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的精密定位平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)范圍有效地提高。但是在運(yùn)動(dòng)范圍放大的同時(shí)，也由于杠桿式放大存在微小的角度變化，因此會(huì)對(duì)最終實(shí)現(xiàn)的放大位移帶來(lái)微小的角度誤差。
[0006]橢圓放大式和菱形放大式精密定位平臺(tái)采用壓桿失穩(wěn)原理實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)放大，運(yùn)動(dòng)放大機(jī)構(gòu)基于材料力學(xué)中的壓桿失穩(wěn)原理設(shè)計(jì)而成。當(dāng)壓電陶瓷伸長(zhǎng)時(shí)，機(jī)構(gòu)兩端受到由內(nèi)向外的推力，圓弧形薄壁殼的曲率發(fā)生變化，其弧面最高點(diǎn)發(fā)生向下移動(dòng)，向下的位移量比陶瓷自身的伸長(zhǎng)位移要大得多，即位移被放大。但此類機(jī)構(gòu)圓弧處應(yīng)力較大，易產(chǎn)生應(yīng)力集中。
[0007]因此，針對(duì)上述問(wèn)題，有必要提供一種改良的精密定位平臺(tái)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0008]有鑒于此，本實(shí)用新型提供了 一種精密定位平臺(tái)，其能夠解決目前在精密定位裝置中體積過(guò)大、行程過(guò)小、定位精度達(dá)不到要求、響應(yīng)時(shí)間慢等問(wèn)題。
[0009]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的一種精密定位平臺(tái)，其包括本體、形成于所述本體中的放大機(jī)構(gòu)、以及壓電陶瓷，[0010]所述放大機(jī)構(gòu)包括:分別位于矩形的四個(gè)頂點(diǎn)的第一鉸鏈點(diǎn)、第二鉸鏈點(diǎn)、第三鉸鏈點(diǎn)、第四鉸鏈點(diǎn)，所述第二鉸鏈點(diǎn)、第三鉸鏈點(diǎn)上方為放大機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，所述第一鉸鏈點(diǎn)、第二鉸鏈點(diǎn)一側(cè)為放大機(jī)構(gòu)的放大邊，所述放大邊中安裝有預(yù)緊頂絲，且所述預(yù)緊頂絲安裝于所述第一鉸鏈點(diǎn)上方，且臨近所述第一鉸鏈點(diǎn)位置處；
[0011]所述本體上安裝有底蓋板，所述壓電陶瓷設(shè)置于所述本體內(nèi)部，所述壓電陶瓷一端與所述底蓋板固定連接，另一端通過(guò)滾珠與預(yù)緊頂絲相抵靠，所述滾珠安裝于所述預(yù)緊頂絲中。
[0012]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述預(yù)緊頂絲的數(shù)量為兩個(gè)，所述兩個(gè)預(yù)緊頂絲的安裝螺紋的螺紋方向的方向相反。
[0013]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述安裝螺紋為M4*0.35型細(xì)牙螺紋。
[0014]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述滾珠通過(guò)過(guò)盈配合的方式安裝于所述預(yù)緊頂絲中。
[0015]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述壓電陶瓷在電壓的作用下具有伸長(zhǎng)量Sx，所述伸長(zhǎng)量Sx經(jīng)所述放大機(jī)構(gòu)放大后，所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的位移量為X，定義C=X/Sx，所述C的范圍為7?14。
[0016]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述壓電陶瓷的兩端分別粘帖有鎢鋼片，所述底蓋板上形成有與所述一端的鎢鋼片相配合的凹槽，所述相應(yīng)端的鎢鋼片卡合于所述凹槽中，另一端的鎢鋼片與所述滾珠相抵靠。
[0017]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述放大機(jī)構(gòu)與所述本體一體成型。
[0018]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述本體和放大機(jī)構(gòu)的材質(zhì)為超硬鋁。
[0019]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述壓電陶瓷為鋯鈦酸鉛。
[0020]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型的精密定位平臺(tái)依靠壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源的電壓激勵(lì)，實(shí)現(xiàn)壓電陶瓷的微位移形變，同時(shí)通過(guò)放大機(jī)構(gòu)對(duì)位移進(jìn)行放大來(lái)實(shí)現(xiàn)無(wú)間隙、無(wú)耦合的微位移傳動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)精密定位。此外，本實(shí)用新型的精密定位平臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊，放大比例大，加工方便，靈敏度高，線性度好，可以有效的減少放大過(guò)程中的耦合誤差。本實(shí)用新型的精密定位平臺(tái)還具有成本較低，其壓電陶瓷帶動(dòng)放大機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)的同時(shí)不存在摩擦力，且安裝固定時(shí)損壞機(jī)率減小的優(yōu)點(diǎn)。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0021]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型中記載的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0022]圖1為本實(shí)用新型的精密定位平臺(tái)一【具體實(shí)施方式】的平面示意圖；
[0023]圖2為圖1中精密定位平臺(tái)的剖視圖；
[0024]圖3為本實(shí)用新型的精密定位平臺(tái)的放大機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)示意圖，其中F代表作用力，B代表作用力的作用點(diǎn)，X代表運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的位移；
[0025]圖4為圖1中底蓋板的平面示意圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0026]為了使本【技術(shù)領(lǐng)域】的人員更好地理解本實(shí)用新型中的技術(shù)方案，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都應(yīng)當(dāng)屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0027]如圖1、圖2所示，本實(shí)用新型的精密定位平臺(tái)100包括本體10、形成于上述本體10中的放大機(jī)構(gòu)20、以及壓電陶瓷30。其中，本體10上開(kāi)設(shè)有用于固定的螺紋孔和通孔101。上述放大機(jī)構(gòu)20包括:分別位于矩形的四個(gè)頂點(diǎn)的第一鉸鏈點(diǎn)201、第二鉸鏈點(diǎn)202、第三鉸鏈點(diǎn)203、第四鉸鏈點(diǎn)204。上述第一鉸鏈點(diǎn)201和第四鉸鏈點(diǎn)204為純滾動(dòng)點(diǎn)，第二鉸鏈點(diǎn)202和第三鉸鏈點(diǎn)203上形成有放大機(jī)構(gòu)20的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)21，該運(yùn)動(dòng)平臺(tái)21上設(shè)置有用于安裝運(yùn)動(dòng)件的連接螺紋。上述第一鉸鏈點(diǎn)201和第二鉸鏈點(diǎn)202 —側(cè)為放大機(jī)構(gòu)20的放大邊22，該放大邊22中安裝有預(yù)緊頂絲40。
[0028]預(yù)緊頂絲40不僅可對(duì)上述壓電陶瓷30提供預(yù)緊力，而且從預(yù)緊頂絲40處可傳遞對(duì)放大機(jī)構(gòu)20的作用力。上述預(yù)緊頂絲40可安裝于第一鉸鏈點(diǎn)201上方，且臨近上述第一鉸鏈點(diǎn)201位置處。上述預(yù)緊頂絲的數(shù)量為兩個(gè)，且兩個(gè)預(yù)緊頂絲的與本體相配合的安裝螺紋的螺紋方向相反，如此可防止預(yù)緊頂絲安裝后發(fā)生松動(dòng)。此外，上述安裝螺紋為M4*0.35型細(xì)牙螺紋，通過(guò)該細(xì)牙螺紋可消除預(yù)緊頂絲與本體之間的安裝間隙，且可通過(guò)預(yù)緊頂絲進(jìn)行微調(diào)。
[0029]配合參照?qǐng)D3所示，當(dāng)在B處對(duì)放大機(jī)構(gòu)施加作用力F時(shí)，B處產(chǎn)生位移Sx，從而運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可獲得一較大的位移X。定義Sx與X的比值為位移輸出比C，即C=Sx/X。該位移輸出比C可用于衡量放大機(jī)構(gòu)的放大倍數(shù)，本實(shí)施中的放大機(jī)構(gòu)的位移輸出比C的范圍在7?14時(shí)，具有較優(yōu)的放大倍數(shù)。上述位移輸出比C的具體數(shù)值，可通過(guò)預(yù)緊頂絲的安裝位置進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而使放大機(jī)構(gòu)具有較優(yōu)的位移輸出比。
[0030]如圖4所示，上述壓電陶瓷30作為精密定位平臺(tái)的驅(qū)動(dòng)裝置，其設(shè)置于本體10內(nèi)部，本實(shí)施方式中壓電陶瓷優(yōu)選為鋯鈦酸鉛。上述壓電陶瓷30 —端與本體10的底蓋板50固定連接，另一端通過(guò)滾珠60與預(yù)緊頂絲40相抵靠，上述滾珠60安裝于上述預(yù)緊頂絲40中。優(yōu)選地，上述滾珠60通過(guò)過(guò)盈配合的方式安裝于上述預(yù)緊頂絲40中，從而使二者能夠緊密的配合。壓電陶瓷的屏蔽線通過(guò)底蓋板50上的孔洞501穿出。當(dāng)壓電陶瓷在外界電壓下產(chǎn)生一伸長(zhǎng)量時(shí)，其可對(duì)預(yù)緊頂絲施加一作用力，使放大機(jī)構(gòu)預(yù)緊頂絲位置處產(chǎn)生相應(yīng)的位移，該位移經(jīng)放大機(jī)構(gòu)放大后使運(yùn)動(dòng)平臺(tái)產(chǎn)生一更大的位移。從而，上述位移輸出比C也等于壓電陶瓷的伸長(zhǎng)量與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的位移量的比值。此外，在壓電陶瓷40通過(guò)預(yù)緊頂絲40傳遞驅(qū)動(dòng)力的同時(shí)，預(yù)緊頂絲40可對(duì)壓電陶瓷40提供預(yù)緊力，以防止壓電陶瓷安裝后發(fā)生松動(dòng)。
[0031]進(jìn)一步地，上述壓電陶瓷30的兩端分別粘帖有鎢鋼片70，粘帖時(shí)，可采用環(huán)氧膠將二者粘帖在一起。上述底蓋板50上形成有與上述一端的鎢鋼片70相配合的凹槽502，上述相應(yīng)端的鎢鋼片70卡合于上述凹槽502中，另一端的鎢鋼片70與上述滾珠60相抵靠。當(dāng)調(diào)節(jié)預(yù)緊頂絲40對(duì)壓電陶瓷30提供預(yù)緊力時(shí)，預(yù)緊力可通過(guò)滾珠60傳遞至鎢鋼片70上，由于鎢鋼片70具有較高的硬度，施加的預(yù)緊力可均勻的作用在壓電陶瓷30上，從而提供均勻的預(yù)緊力。此外，滾珠60與鎢鋼片70之間為點(diǎn)面接觸，即產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)高副，其好處在于即使預(yù)緊頂絲安裝于放大邊后不與壓電陶瓷的端面相垂直，也可保證壓電陶瓷不會(huì)受到除垂直方向以外的力，在一定程度上保護(hù)的壓電陶瓷，減少了壓電陶瓷的損耗。
[0032]進(jìn)一步地，上述放大機(jī)構(gòu)20與本體10為一體成型，即放大機(jī)構(gòu)由本體經(jīng)過(guò)數(shù)控銑、鉆和線切割等工藝加工形成自身連接的整體。如此設(shè)置，結(jié)構(gòu)緊湊，且當(dāng)外形尺寸受限且壓電陶瓷確定的情況下，能夠獲得更大的位移輸出比，避免了傳動(dòng)中的空程和摩擦等約束對(duì)其精度的影響。
[0033]本實(shí)用新型的放大機(jī)構(gòu)20為柔性機(jī)構(gòu)，相應(yīng)的第一鉸鏈點(diǎn)201、第二鉸鏈點(diǎn)202、第三鉸鏈點(diǎn)203、第四鉸鏈點(diǎn)204為柔性鉸鏈點(diǎn)。如此，壓電陶瓷帶動(dòng)柔性鉸鏈運(yùn)動(dòng)的同時(shí)不存在摩擦力，安裝固定時(shí)損壞機(jī)率減小，成本減小，并且便于精密定位平臺(tái)的固定與連接。本實(shí)用新型的柔性機(jī)構(gòu)的彈性變形和輸出力與材料的彈性模量E以及其屈服極限Sy成正比，為了增大柔性鉸鏈的運(yùn)動(dòng)范圍，在一定程度上來(lái)說(shuō)，所選柔性鉸鏈材料的彈性模量E以及屈服極限Sy愈大愈好，但同時(shí)必須滿足以下要求1、柔性鉸鏈點(diǎn)具有最大變形時(shí)的恢復(fù)力要小于壓電陶瓷的最大驅(qū)動(dòng)力；2、柔性鉸鏈點(diǎn)最大變形時(shí)的最大應(yīng)力要小于材料的許用應(yīng)力。綜合以上因素，上述本體和放大機(jī)構(gòu)的材質(zhì)優(yōu)選為超硬鋁。
[0034]綜上所述，本實(shí)用新型的精密定位平臺(tái)依靠壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源的電壓激勵(lì)，實(shí)現(xiàn)壓電陶瓷的微位移形變，同時(shí)通過(guò)放大機(jī)構(gòu)對(duì)位移進(jìn)行放大來(lái)實(shí)現(xiàn)無(wú)間隙、無(wú)耦合的微位移傳動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)精密定位。此外，本實(shí)用新型的精密定位平臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊，放大比例大，加工方便，靈敏度高，線性度好，可以有效的減少放大過(guò)程中的耦合誤差。本實(shí)用新型的精密定位平臺(tái)還具有成本較低，其壓電陶瓷帶動(dòng)放大機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)的同時(shí)不存在摩擦力，且安裝固定時(shí)損壞機(jī)率減小的優(yōu)點(diǎn)。
[0035]對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此，無(wú)論從哪一點(diǎn)來(lái)看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說(shuō)明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。
[0036]此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說(shuō)明書(shū)按照實(shí)施方式加以描述，但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案，說(shuō)明書(shū)的這種敘述方式僅僅是為清楚起見(jiàn)，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說(shuō)明書(shū)作為一個(gè)整體，各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。
【權(quán)利要求】
1.一種精密定位平臺(tái)，其包括本體、形成于所述本體中的放大機(jī)構(gòu)、以及壓電陶瓷，其特征在于， 所述放大機(jī)構(gòu)包括:分別位于矩形的四個(gè)頂點(diǎn)的第一鉸鏈點(diǎn)、第二鉸鏈點(diǎn)、第三鉸鏈點(diǎn)、第四鉸鏈點(diǎn)，所述第二鉸鏈點(diǎn)、第三鉸鏈點(diǎn)上方為放大機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，所述第一鉸鏈點(diǎn)、第二鉸鏈點(diǎn)一側(cè)為放大機(jī)構(gòu)的放大邊，所述放大邊中安裝有預(yù)緊頂絲，且所述預(yù)緊頂絲安裝于所述第一鉸鏈點(diǎn)上方，且臨近所述第一鉸鏈點(diǎn)位置處； 所述本體上安裝有底蓋板，所述壓電陶瓷設(shè)置于所述本體內(nèi)部，所述壓電陶瓷一端與所述底蓋板固定連接，另一端通過(guò)滾珠與預(yù)緊頂絲相抵靠，所述滾珠安裝于所述預(yù)緊頂絲中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密定位平臺(tái)，其特征在于，所述預(yù)緊頂絲的數(shù)量為兩個(gè)，所述兩個(gè)預(yù)緊頂絲的安裝螺紋的螺紋方向的方向相反。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的精密定位平臺(tái)，其特征在于，所述安裝螺紋為M4*0.35型細(xì)牙螺紋。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密定位平臺(tái)，其特征在于，所述滾珠通過(guò)過(guò)盈配合的方式安裝于所述預(yù)緊頂絲中。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密定位平臺(tái)，其特征在于，所述壓電陶瓷在電壓的作用下具有伸長(zhǎng)量Sx，所述伸長(zhǎng)量Sx經(jīng)所述放大機(jī)構(gòu)放大后，所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的位移量為X，定義C=X/Sx，所述C的范圍為7?14。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密定位平臺(tái)，其特征在于，所述壓電陶瓷的兩端分別粘帖有鎢鋼片，所述底蓋板上形成有與所述一端的鎢鋼片相配合的凹槽，所述相應(yīng)端的鎢鋼片卡合于所述凹槽中，另一端的鎢鋼片與所述滾珠相抵靠。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密定位平臺(tái)，其特征在于，所述放大機(jī)構(gòu)與所述本體一體成型。
【文檔編號(hào)】G12B5/00GK203799672SQ201420148795
【公開(kāi)日】2014年8月27日 申請(qǐng)日期:2014年3月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月28日
【發(fā)明者】鐘博文, 楊湛, 王振華, 錢(qián)哲, 金子祺, 李宗偉, 孫立寧 申請(qǐng)人:蘇州大學(xué)