一種機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)及機柜的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)及機柜，包括：金屬框架，與不可移動機柜框架固定，所述金屬框架上還設(shè)有供鉸接的兩個通孔；轉(zhuǎn)動裝置，所述轉(zhuǎn)動裝置的一段固定在可移動的機柜框架上；另一段為完整一體的“T”字結(jié)構(gòu)，兩側(cè)延伸出的轉(zhuǎn)動軸體分別伸入到所述金屬框架的通孔中，形成鉸接。本實用新型提供的機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)可以使機柜與整機的結(jié)合面保持嚴密，整機結(jié)構(gòu)緊湊。轉(zhuǎn)動軸與轉(zhuǎn)動板之間的間隙配合，能夠讓轉(zhuǎn)動軸根據(jù)地面的不平度在轉(zhuǎn)動板的通孔內(nèi)上下移動，從而適應(yīng)地面的不平度，保證機柜底部帶調(diào)整塊的腳輪著地，讓機柜的重量通過腳輪作用到地面上，而不作用在主機框架上，有效地防止主機框架變形。
【專利說明】一種機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)及機柜
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體制備【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)及機柜。
【背景技術(shù)】
[0002]機柜作為光刻機的重要組成部分，例如電氣控制柜、環(huán)境控制柜等，其質(zhì)量和體積一般都較大。當(dāng)需要維護光刻機的內(nèi)部世界時，往往需要挪動沉重的機柜，直接搬運需要費很大的力氣。現(xiàn)在大部分光刻機的機柜都是獨立放置于地面上，與整機框架相互獨立，而且與整機框架的間隙較大，往往造成整機結(jié)構(gòu)不夠緊湊，占用了較大的空間。轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)作為一種常見的結(jié)構(gòu)，被廣泛應(yīng)用于日常生活和機械產(chǎn)品中，其中鉸鏈作為一種最常見的轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)，例如柜門、門板等，但是大多數(shù)鉸鏈多為鈑金件，承載能力非常有限，只能用于質(zhì)量較輕的物體的轉(zhuǎn)動，對于質(zhì)量和體積較大的機柜，普通的鉸鏈很難滿足要求。
[0003]光刻機在運行一段時間后，往往需要定期維護光刻機的內(nèi)部世界以及機柜內(nèi)側(cè)?，F(xiàn)在常見的光刻機移動機柜的方法都是采用滑軌的方式，首先在機柜底面安裝兩排滑軌，維護光刻機內(nèi)部世界時，首先將機柜沿著導(dǎo)軌槽拉出一段距離，然后工作人員才能進入內(nèi)部維護。由于一般的機柜質(zhì)量和體積很大，拉動機柜需要很大的力氣，如果再加上地面不平的話，拉動機柜的過程中很容易造成機柜傾覆，造成設(shè)備和人員的損毀。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型提供一種機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)及機柜，以解決光刻機中質(zhì)量和體積較大的機柜移動困難的問題。
[0005]為達到上述目的，本實用新型提供一種機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)，包括:金屬框架，與不可移動機柜框架固定，所述金屬框架上還設(shè)有供鉸接的兩個通孔；
[0006]轉(zhuǎn)動裝置，所述轉(zhuǎn)動裝置的一段固定在可移動的機柜框架上；另一段為“T”字結(jié)構(gòu)，兩側(cè)延伸出的轉(zhuǎn)動軸體分別伸入到所述金屬框架的通孔中，形成鉸接。
[0007]進一步地,所述轉(zhuǎn)動裝置由獨立的轉(zhuǎn)動板和獨立的轉(zhuǎn)動軸組成:所述轉(zhuǎn)動板的一端設(shè)置有通孔，另一端固定在可移動的機柜框架上；所述轉(zhuǎn)動軸，穿過所述轉(zhuǎn)動板的通孔與所述金屬框架的通孔，所述轉(zhuǎn)動軸的兩頭與所述金屬框架固定設(shè)置，所述轉(zhuǎn)動軸的中間部分截面形狀與所述轉(zhuǎn)動板通孔形狀相匹配且有空隙。
[0008]進一步地，如上所形成的空隙，可以用以填充阻尼油，阻尼油為現(xiàn)有技術(shù)。
[0009]進一步地，所述金屬框架包括第一固定板以及第二固定板，所述第一固定板為“U”型結(jié)構(gòu)，所述第二固定板與所述第一固定板固定連接，使所述金屬框架形成一封閉結(jié)構(gòu)，所述第二固定板與所述機柜框架固定。
[0010]進一步地，所述金屬框架還包括兩個第三固定板，所述第一固定板和所述第二固定板通過所述第三固定板固定。
[0011]進一步地,所述轉(zhuǎn)動軸為調(diào)心球軸承。
[0012]進一步地，所述第三固定板上具有安裝孔，轉(zhuǎn)動軸體安裝至所述安裝孔中。[0013]進一步地，所述金屬框架還包括第四固定板，所述第二固定板通過所述第四固定板與所述機柜框架固定。
[0014]進一步地，所述轉(zhuǎn)動板為“G”型，所述通孔設(shè)置在所述“G”型轉(zhuǎn)動板短臂的一端，所述“G”型轉(zhuǎn)動板長臂的一端固定在活動機柜框架上。
[0015]進一步地，所述轉(zhuǎn)動板的通孔的形狀為腰型孔、三角型孔、方形孔或多邊形孔，所述轉(zhuǎn)動軸中部的形狀與所述轉(zhuǎn)動板的通孔的形狀相匹配。
[0016]本實用新型還提供了一種機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)的機柜，所述金屬框架固定在不可移動的機柜上，所述轉(zhuǎn)動裝置的一段與所述金屬框架鉸接，其另一段固定在獨立的可移動的機柜上。
[0017]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下有益效果:本實用新型提供的機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)可以使機柜與整機的結(jié)合面保持嚴密，整機結(jié)構(gòu)緊湊。轉(zhuǎn)動軸與轉(zhuǎn)動板之間的間隙配合，能夠讓轉(zhuǎn)動軸根據(jù)地面的不平度在轉(zhuǎn)動板的通孔內(nèi)上下移動，從而適應(yīng)地面的不平度，保證機柜底部帶調(diào)整塊的腳輪著地，讓機柜的重量通過腳輪作用到地面上，而不作用在主機框架上，有效地防止主機框架變形。
[0018]進一步地，金屬框架由第一固定板以及第二固定板組成，并利用第三固定板以及第四固定板固定在機柜框架上，第一固定板、第二固定板、第三固定板以及第四固定板采用分體式設(shè)計，方便安裝和拆卸。第一固定板和第二固定板還起到限位作用，可以限制轉(zhuǎn)動板的轉(zhuǎn)動角度在0°至90°的范圍內(nèi)。
[0019]本實用新型提供的機柜，能與整機的結(jié)合面保持嚴密，使整機結(jié)構(gòu)緊湊。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明:
[0021]圖1為本實用新型實施例提供的光刻機整機的主視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖2為本實用新型實施例提供的光刻機整機的俯視結(jié)構(gòu)不意圖；
[0023]圖3為本實用新型實施例提供的機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)的主視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖4為本實用新型實施例提供的機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖5為本實用新型實施例提供的機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)的剖視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖6為本實用新型實施例提供的轉(zhuǎn)動板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖7為本實用新型實施例提供的轉(zhuǎn)動軸的多種截面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖8為本實用新型實施例提供的第一固定板的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0029]以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型提出的機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)及機柜作進一步詳細說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0030]本實用新型的核心思想在于，提供的機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)可以使機柜與整機的結(jié)合面保持嚴密，整機結(jié)構(gòu)緊湊。轉(zhuǎn)動軸與轉(zhuǎn)動板之間的間隙配合，能夠讓轉(zhuǎn)動軸根據(jù)地面的不平度在轉(zhuǎn)動板的通孔內(nèi)上下移動，從而適應(yīng)地面的不平度，保證機柜底部帶調(diào)整塊的腳輪著地，讓機柜的重量通過腳輪作用到地面上，而不作用在主機框架上，有效地防止主機框架變形。本實用新型提供的機柜，能與整機的結(jié)合面保持嚴密，使整機結(jié)構(gòu)緊湊
[0031]圖1為本實用新型實施例提供的光刻機整機的主視結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型實施例提供的光刻機整機的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。參照圖1以及圖2，機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)11設(shè)置在機柜12以及機柜框架13之間，轉(zhuǎn)動機柜12至90°，給機柜12讓出足夠的空間，便于工作人員進入維護機柜12內(nèi)部空間。
[0032]圖3為本實用新型實施例提供的機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)的主視結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實用新型實施例提供的機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實用新型實施例提供的機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。參照圖3、圖4以及圖5，本實用新型提供一種機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)，包括:金屬框架111，與不可移動機柜框架13固定，所述金屬框架111上還設(shè)有供鉸接的兩個通孔；轉(zhuǎn)動裝置，所述轉(zhuǎn)動裝置的一段固定在可移動的機柜框架上；另一段為“T”字結(jié)構(gòu)，兩側(cè)延伸出的轉(zhuǎn)動軸體分別伸入到所述金屬框架111的通孔中，形成鉸接。
[0033]進一步地,所述轉(zhuǎn)動裝置由獨立的轉(zhuǎn)動板112和獨立的轉(zhuǎn)動軸113組成:所述轉(zhuǎn)動板112的一端設(shè)置有通孔，另一端固定在可移動的機柜框架上；所述轉(zhuǎn)動軸113，穿過所述轉(zhuǎn)動板112的通孔與所述金屬框架111的通孔，所述轉(zhuǎn)動軸113的兩頭與所述金屬框架111固定設(shè)置，所述轉(zhuǎn)動軸113的中間部分截面形狀與所述轉(zhuǎn)動板112通孔形狀相匹配且有空隙。
[0034]圖8為本實用新型實施例提供的第一固定板的結(jié)構(gòu)示意圖。參照圖8，所述金屬框架111包括第一固定板Illa以及第二固定板111b，所述第一固定板Illa為“U”型結(jié)構(gòu)，所述第二固定板Illb與所述第一固定板Illa固定連接，使所述金屬框架111形成一封閉結(jié)構(gòu)，所述第二固定板Illb與所述機柜框架13固定，金屬框架111還包括兩個第三固定板Illc,所述第一固定板Illa和所述第二固定板Illb通過所述第三固定板Illc固定。所述第三固定板Illc上具有安裝孔，所述調(diào)心球軸承115安裝至所述安裝孔中，調(diào)心球軸承115能夠方便轉(zhuǎn)動和適應(yīng)地面的輕微不平度。金屬框架111還包括第四固定板llld，所述第二固定板Illb通過所述第四固定板Illd與所述機柜框架13固定。在本實施例中，固定板之間的固定通過螺栓進行安裝，最后通過鎖緊螺母114進行固定。
[0035]圖6為本實用新型實施例提供的轉(zhuǎn)動板的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本實用新型實施例提供的轉(zhuǎn)動軸的多種截面結(jié)構(gòu)示意圖。參照圖6以及圖7，所述轉(zhuǎn)動板112為“G”型，所述通孔設(shè)置在所述“G”型轉(zhuǎn)動板112短臂的一端，其長臂的一端固定在活動機柜框架上。
[0036]進一步地，所述通孔112a為腰型孔，所述轉(zhuǎn)動軸113的形狀與所述通孔112a的形狀相匹配，轉(zhuǎn)動軸113與轉(zhuǎn)動板112之間的間隙配合，能夠讓轉(zhuǎn)動軸113根據(jù)地面的不平度在轉(zhuǎn)動板112的通孔112a內(nèi)上下移動，從而適應(yīng)地面的不平度，保證機柜底部帶調(diào)整塊的腳輪14著地，讓機柜12的重量通過腳輪14作用到地面上，而不作用在主機框架13上，有效地防止主機框架13變形。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該知曉，所述通孔112a不僅僅為腰型孔，還可以是其他諸如為正六角形、三角形等形狀，并且所述轉(zhuǎn)動軸中部的形狀與所述轉(zhuǎn)動板的通孔的形狀相匹配。
[0037]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些改動和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括: 金屬框架，與不可移動機柜框架固定，所述金屬框架上還設(shè)有供鉸接的兩個通孔； 轉(zhuǎn)動裝置，所述轉(zhuǎn)動裝置的一段固定在可移動的機柜框架上；另一段為“T”字結(jié)構(gòu)，兩側(cè)延伸出的轉(zhuǎn)動軸體分別伸入到所述金屬框架的通孔中，形成鉸接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動裝置由獨立的轉(zhuǎn)動板和獨立的轉(zhuǎn)動軸組成: 所述轉(zhuǎn)動板的一端設(shè)置有通孔，另一端固定在可移動的機柜框架上； 所述轉(zhuǎn)動軸，穿過所述轉(zhuǎn)動板的通孔與所述金屬框架的通孔，所述轉(zhuǎn)動軸的兩頭與所述金屬框架固定設(shè)置，所述轉(zhuǎn)動軸的中間部分截面形狀與所述轉(zhuǎn)動板通孔形狀相匹配且有空隙。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述金屬框架包括第一固定板以及第二固定板，所述第一固定板為“U”型結(jié)構(gòu)，所述第二固定板與所述第一固定板固定連接，使所述金屬框架形成一封閉結(jié)構(gòu)，所述第二固定板與所述機柜框架固定。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述金屬框架還包括兩個第三固定板，所述第一固定板和所述第二固定板通過所述第三固定板固定。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動軸為調(diào)心球軸承。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第三固定板上具有安裝孔，所述轉(zhuǎn)動軸體安裝至所述安裝孔中。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述金屬框架還包括第四固定板，所述第二固定板通過所述第四固定板與所述機柜框架固定。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動板為“G”型，所述通孔設(shè)置在所述“G”型轉(zhuǎn)動板短臂的一端，所述“G”型轉(zhuǎn)動板長臂的一端固定在活動機柜框架上。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動板的通孔的形狀為腰形孔或多邊形孔，所述轉(zhuǎn)動軸中部的形狀與所述轉(zhuǎn)動板的通孔的形狀相匹配。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述空隙，用以填充阻尼油。
11.一種使用如權(quán)利要求1所述的機柜轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)的機柜，其特征在于，所述金屬框架固定在不可移動的機柜上，所述轉(zhuǎn)動裝置的一段與所述金屬框架鉸接，其另一段固定在獨立的可移動的機柜上。
【文檔編號】H05K7/16GK203788616SQ201420033997
【公開日】2014年8月20日 申請日期:2014年1月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月20日
【發(fā)明者】李東升, 魏小兵 申請人:上海微電子裝備有限公司