一種多晶制絨進(jìn)液裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種多晶制絨進(jìn)液裝置，涉及太陽(yáng)能電池生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】。本實(shí)用新型包括總進(jìn)液管和與總進(jìn)液管連通的支進(jìn)液管，所述總進(jìn)液管通過管道與循環(huán)泵的出液口連通，所述循環(huán)泵的進(jìn)液口與藥液槽通過管道連通，藥液槽與刻蝕槽通過管道連通，所述支進(jìn)液管安裝在刻蝕槽內(nèi)，還包括與支進(jìn)液管連通的噴淋盒，所述噴淋盒為封閉的長(zhǎng)方殼體結(jié)構(gòu)，所述支進(jìn)液管連通于噴淋盒一側(cè)壁的中部，在與支進(jìn)液管相對(duì)的噴淋盒的另一側(cè)壁上均布有若干噴淋口。本實(shí)用新型能夠解決因進(jìn)液管進(jìn)液不均而造成的刻蝕槽內(nèi)藥液不均而引起的溫度不均衡的問題，有效降低硅片刻蝕偏差，提高硅片刻蝕的均勻性，提高制絨質(zhì)量。
【專利說明】一種多晶制絨進(jìn)液裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著社會(huì)資源的日益枯竭，可再生能源的應(yīng)用受到越來越多的關(guān)注。作為可再生能源的一部分，太陽(yáng)能應(yīng)用正迅速發(fā)展。太陽(yáng)能光伏發(fā)電依靠晶體硅太陽(yáng)能電池，但光伏發(fā)電成本高，制約著太陽(yáng)能電池的廣泛應(yīng)用，因此，提高光電轉(zhuǎn)換效率，降低成本成為普遍發(fā)展的趨勢(shì)。現(xiàn)有的辦法是在硅片表面制作絨面以達(dá)到降低表面反射率的目的。
[0003]制絨是對(duì)硅片表面進(jìn)行各向同性腐蝕，形成微溝，降低硅片表面的反射率，促使太陽(yáng)光在硅片表面進(jìn)行多級(jí)反射，提升光的利用率，在太陽(yáng)能電池制備工藝中，制絨是關(guān)系到太陽(yáng)能電池表面光吸收的重要工序，也是提高太陽(yáng)能電池轉(zhuǎn)換效率的重要途徑之一。在制絨工序中，需要藥液的不斷循環(huán)和更新，實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片表面的腐蝕，從而在硅片表面形成一層絨面，具體工藝流程是:藥液在循環(huán)泵的動(dòng)力下從藥液槽經(jīng)進(jìn)液管路注入刻蝕槽，對(duì)硅片進(jìn)行腐蝕制絨，然后從出液管流回藥液槽，循環(huán)進(jìn)行，完成制絨。現(xiàn)有制絨設(shè)備，進(jìn)液管路是在總進(jìn)液管上設(shè)置一排支進(jìn)液管，由于支進(jìn)液管在刻蝕槽內(nèi)所處的位置不同，造成刻蝕槽內(nèi)各支進(jìn)液管的進(jìn)液量有所不同，而且，由于藥液在循環(huán)過程中需要不斷補(bǔ)充更新以滿足制絨要求，因此，最終導(dǎo)致刻蝕槽內(nèi)的藥液更新不均，刻蝕槽內(nèi)較深處的藥液比淺處的藥液更新少，藥液溫度也相對(duì)較高，較高的藥液溫度會(huì)加快與硅片表面的反應(yīng)速度，從而造成硅片刻蝕深度不均勻，刻蝕質(zhì)量差，難以達(dá)到質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種多晶制絨進(jìn)液裝置，能夠解決因進(jìn)液管進(jìn)液不均而造成的刻蝕槽內(nèi)藥液不均的問題，有效降低硅片刻蝕偏差，提高硅片刻蝕的均勻性，提高制絨質(zhì)量。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是:一種多晶制絨進(jìn)液裝置，包括總進(jìn)液管和與總進(jìn)液管連通的支進(jìn)液管，所述總進(jìn)液管通過管道與循環(huán)泵的出液口連通，所述循環(huán)泵的進(jìn)液口與藥液槽通過管道連通，藥液槽與刻蝕槽通過管道連通，所述支進(jìn)液管安裝在刻蝕槽內(nèi)，還包括與支進(jìn)液管連通的噴淋盒，所述噴淋盒為封閉的長(zhǎng)方殼體結(jié)構(gòu)，所述支進(jìn)液管連通于噴淋盒一側(cè)壁的中部，在與支進(jìn)液管相對(duì)的噴淋盒的另一側(cè)壁上均布有若干噴淋口。
[0006]優(yōu)選的，所述支進(jìn)液管為兩根，包括第一支進(jìn)液管和第二支進(jìn)液管，分別布設(shè)于噴淋盒的兩端。
[0007]進(jìn)一步的，所述第一支進(jìn)液管布設(shè)于距噴淋盒一端1/4的位置，第二支進(jìn)液管布設(shè)于距噴淋盒另一端1/4的位置。
[0008]所述噴淋口呈一條波浪線形沿噴淋盒一側(cè)壁的長(zhǎng)度方向均布。
[0009]所述噴淋口也可分為若干組，每組至少兩行兩列，所述若干組噴淋口一字排開沿噴淋盒一側(cè)壁的長(zhǎng)度方向均布。
[0010]所述支進(jìn)液管與噴淋盒均水平布設(shè)，且支進(jìn)液管與噴淋盒垂直連通。
[0011]所述噴淋盒也可為兩端封閉的直管結(jié)構(gòu)。
[0012]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:本裝置是對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的改進(jìn)，通過支進(jìn)液管把藥液送入噴淋盒內(nèi)，使藥液從兩路流入噴淋盒，噴淋盒對(duì)進(jìn)入的藥液起緩沖均衡的作用，然后通過若干均布的噴淋口，把藥液注入刻蝕槽，從而解決了現(xiàn)有技術(shù)中進(jìn)液流量不均的問題，使刻蝕槽內(nèi)的藥液均勻，溫度均衡，硅片表面反應(yīng)速度均勻，進(jìn)而降低硅片刻蝕偏差，提高硅片刻蝕的均勻性和制絨質(zhì)量。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1是本實(shí)用新型的主視圖；
[0014]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例一的左視圖；
[0015]圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例二的左視圖；
[0016]圖4是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)原理示意圖；
[0017]圖中標(biāo)記:1-總進(jìn)液管；2_支進(jìn)液管；21_第一支進(jìn)液管；22_第二支進(jìn)液管；
3-噴淋盒；4_刻蝕槽；5_藥液槽；6_循環(huán)泵；7_噴淋口。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
[0019]實(shí)施例一
[0020]參見圖1至圖2，本實(shí)用新型包括總進(jìn)液管I和與總進(jìn)液管I連通的支進(jìn)液管2，所述總進(jìn)液管I通過管道與循環(huán)泵6的出液口連通，所述循環(huán)泵6的進(jìn)液口與藥液槽5通過管道連通，藥液槽5與刻蝕槽4通過管道連通，所述支進(jìn)液管2安裝在刻蝕槽4內(nèi)，還包括與支進(jìn)液管2連通的噴淋盒3，所述噴淋盒3為封閉的長(zhǎng)方殼體結(jié)構(gòu)，所述支進(jìn)液管2連通于噴淋盒3 —側(cè)壁的中部，在與支進(jìn)液管2相對(duì)的噴淋盒3的另一側(cè)壁上均布有若干噴淋口 7，所述支進(jìn)液管2進(jìn)一步分為兩根，包括第一支進(jìn)液管21和第二支進(jìn)液管22，所述第一支進(jìn)液管21布設(shè)于距噴淋盒3 —端1/4的位置，第二支進(jìn)液管22布設(shè)于距噴淋盒3另一端1/4的位置，所述噴淋口 7呈一條波浪線形沿噴淋盒3 —側(cè)壁的長(zhǎng)度方向均布，所述支進(jìn)液管2與噴淋盒3均水平布設(shè)，且支進(jìn)液管2與噴淋盒3垂直連通。
[0021]參見圖4，多晶制絨工序藥液循環(huán)過程為:藥液在循環(huán)泵6的作用下，從藥液槽5進(jìn)入總進(jìn)液管1，經(jīng)支進(jìn)液管2和噴淋盒3進(jìn)入刻蝕槽4，然后從刻蝕槽4溢流回藥液槽5，循環(huán)進(jìn)行，在藥液循環(huán)的過程中，由于藥液的反應(yīng)損耗等，需要不斷的補(bǔ)入新的藥液以滿足硅片制絨工藝要求的標(biāo)準(zhǔn)。
[0022]本裝置是對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的改進(jìn)，設(shè)置兩路進(jìn)液管并在支進(jìn)液管2上設(shè)置均布的噴淋盒3，藥液從兩路進(jìn)入噴淋盒3內(nèi)，然后通過若干均布的噴淋口 7流入刻蝕槽4，該設(shè)計(jì)有效減小了各噴淋口 7的流量差，從而解決了現(xiàn)有技術(shù)中進(jìn)液流量不均的問題，使刻蝕槽4內(nèi)的藥液均勻，溫度均衡，進(jìn)而降低硅片刻蝕偏差，提高硅片刻蝕的均勻性和制絨質(zhì)量。
[0023]實(shí)施例二 (參見圖1、圖3)
[0024]本實(shí)施例二與實(shí)施例一的不同之處在于:所述噴淋口 7分為若干組，每組至少兩行兩列，所述若干組噴淋口 7—字排開沿噴淋盒3—側(cè)壁的長(zhǎng)度方向均布。本實(shí)施例二也能有效解決現(xiàn)有技術(shù)中進(jìn)液流量不均的問題，使刻蝕槽4內(nèi)的藥液均勻，溫度均衡，硅片表面反應(yīng)速度均勻，達(dá)到降低硅片刻蝕偏差，提高硅片刻蝕的均勻性和制絨質(zhì)量的效果。
[0025]實(shí)施例三
[0026]本實(shí)施例三與上述兩個(gè)實(shí)施例的不同之處在于:所述噴淋盒3也可為兩端封閉的直管結(jié)構(gòu)。在與支進(jìn)液管2連通的相對(duì)的另一側(cè)管壁上均布實(shí)施例一所述的波浪線形噴淋口 7，或均布實(shí)施例二所述的若干組噴淋口 7。
[0027]以上所述是本實(shí)用新型的最佳實(shí)施例，在本實(shí)用新型技術(shù)方案設(shè)計(jì)構(gòu)思的基礎(chǔ)上的其它改進(jìn)，均在本實(shí)用新型保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種多晶制絨進(jìn)液裝置，包括總進(jìn)液管(I)和與總進(jìn)液管(I)連通的支進(jìn)液管(2)，所述總進(jìn)液管(I)通過管道與循環(huán)泵(6)的出液口連通，所述循環(huán)泵(6)的進(jìn)液口與藥液槽(5 )通過管道連通，藥液槽(5 )與刻蝕槽(4 )通過管道連通，所述支進(jìn)液管(2 )安裝在刻蝕槽(4)內(nèi)，其特征在于:還包括與支進(jìn)液管(2)連通的噴淋盒(3)，所述噴淋盒(3)為封閉的長(zhǎng)方殼體結(jié)構(gòu)，所述支進(jìn)液管(2)連通于噴淋盒(3)—側(cè)壁的中部，在與支進(jìn)液管(2)相對(duì)的噴淋盒(3)的另一側(cè)壁上均布有若干噴淋口(7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶制絨進(jìn)液裝置，其特征在于:所述支進(jìn)液管(2)為兩根，包括第一支進(jìn)液管(21)和第二支進(jìn)液管(22)，分別布設(shè)于噴淋盒(3)的兩端。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種多晶制絨進(jìn)液裝置，其特征在于:所述第一支進(jìn)液管(21)布設(shè)于距噴淋盒(3)—端1/4的位置，第二支進(jìn)液管(22)布設(shè)于距噴淋盒(3)另一端1/4的位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種多晶制絨進(jìn)液裝置，其特征在于:所述噴淋口(7)呈一條波浪線形沿噴淋盒(3) —側(cè)壁的長(zhǎng)度方向均布。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種多晶制絨進(jìn)液裝置，其特征在于:所述噴淋口(7)分為若干組，每組至少兩行兩列，所述若干組噴淋口(7) —字排開沿噴淋盒(3) —側(cè)壁的長(zhǎng)度方向均布。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一權(quán)利要求所述的一種多晶制絨進(jìn)液裝置，其特征在于:所述支進(jìn)液管(2)與噴淋盒(3)均水平布設(shè)，且支進(jìn)液管(2)與噴淋盒(3)垂直連通。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶制絨進(jìn)液裝置，其特征在于:所述噴淋盒(3)也可為兩端封閉的直管結(jié)構(gòu)。
【文檔編號(hào)】C30B33/10GK203653765SQ201320846286
【公開日】2014年6月18日 申請(qǐng)日期:2013年12月20日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月20日
【發(fā)明者】楊川, 李倩 申請(qǐng)人:英利能源（中國(guó)）有限公司