一種鑄錠爐雙側排氣裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種鑄錠爐雙側排氣裝置，屬于鑄錠爐排氣【技術領域】，包括主抽氣管、慢抽氣支管、泄壓口和抽氣裝置；主抽氣管上端分為對稱的兩條主抽氣管支管，分別連接到與鑄錠爐體側壁左右對稱的位置上；主抽氣管上設有泄壓口；主抽氣管豎直管路側壁上設有慢抽氣支管，主抽氣管和慢抽氣支管的下端均與連接到真空泵上；所述慢抽氣支管管路上裝有慢抽氣閥門；主抽氣管管路上與慢抽氣支管并聯(lián)的部位裝有快抽氣閥門；此雙側對稱的排氣結構為多晶硅鑄錠工藝過程提供對稱流通的氣流，使得硅錠界面更加平穩(wěn)，同時左右對稱的氣流也更加平穩(wěn)，平穩(wěn)對稱的氣流將更多地帶走硅液中的雜質，提高了氣體的雜質排出量，有助于提高硅錠的質量和生產(chǎn)效率。
【專利說明】一種鑄錠爐雙側排氣裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及鑄錠爐排氣【技術領域】。
【背景技術】
[0002]鑄錠爐是用于鑄造多晶硅錠的大型設備，它是將硅料高溫熔融后通過定向凝固冷凝結晶，使其形成晶向一致的硅錠，從而達到太陽能電池生產(chǎn)對硅片品質的要求。
[0003]鑄錠爐在運行工藝過程中需要一直保持流通的氣體。在開始運行鑄錠工藝時，需要對鑄錠爐內部進行抽空，最初為慢抽空，通過細口徑管路抽空，將鑄錠爐內部的氣壓慢慢地抽下來，防止快速抽空時吸力太大將頂部的細小硅料抽走；當內部的氣壓降下來后，改為快抽空，采用粗管路抽空，將鑄錠爐內部的氣壓降低到更低的水平；在運行生長工藝時，鑄錠爐內的娃液慢慢轉換為娃錠，此時為慢抽空，保證氣流的慢速平穩(wěn)，從而使娃錠的固液界面更加平穩(wěn)。通過氣體的不斷流通，將工藝過程中反應而產(chǎn)生的雜質帶出鑄錠爐，從而保證產(chǎn)出高質量的硅錠。在鑄錠工藝運行過程中，氣流也會對固液界面產(chǎn)生影響。如果氣流很平穩(wěn)，則會使固液界面很平穩(wěn)，從而使鑄出的硅錠界面更加平穩(wěn)，能夠提高硅錠的質量及效率,降低生產(chǎn)成本。
[0004]現(xiàn)有的鑄錠爐排氣裝置一般包括位于爐體頂部的一個慢抽空口和位于爐體側壁上的一個快抽空口，這種排氣裝置的抽氣口結構相對于鑄錠爐是不對稱。由于結構的不對稱，使得抽氣過程產(chǎn)生的氣流也不是很對稱，導致硅錠的固液界面不平穩(wěn)，鑄出的硅錠界面不平穩(wěn)，影響硅錠的質量和效率；同時，由于氣流的不平穩(wěn)，使氣體的排出雜質過程也不平穩(wěn)，影響氣體的雜質排出量。
實用新型內容
[0005]本實用新型所要解決的技術問題是提供一種鑄錠爐雙側排氣裝置，為多晶硅鑄錠工藝過程提供對稱流通的氣流，使得硅錠界面更加平穩(wěn)，同時左右對稱的氣流也更加平穩(wěn)，平穩(wěn)對稱的氣流將更多地帶走娃液中的雜質，提聞了氣體的雜質排出量，有助于提聞娃淀的質量和生產(chǎn)效率。
[0006]為解決上述技術問題，本實用新型所采取的技術方案是:
[0007]一種鑄錠爐雙側排氣裝置，其特征在于包括主抽氣管、慢抽氣支管、泄壓口和抽氣裝置；所述主抽氣管上端分為對稱的兩條主抽氣管支管，分別連接到與鑄錠爐體側壁左右對稱的位置上，通過抽氣口與鑄錠爐腔體相通；主抽氣管上設有泄壓口 ；所述主抽氣管豎直管路側壁上設有慢抽氣支管，所述主抽氣管和慢抽氣支管的下端均連有抽氣裝置。
[0008]具體地，主抽氣管和慢抽氣支管的下端各連有一個真空泵；
[0009]進一步，所述主抽氣管和慢抽氣支管的下端均連接到同一個真空泵上；
[0010]所述慢抽氣支管管路上裝有慢抽氣閥門；主抽氣管管路上與慢抽氣支管并聯(lián)的部位裝有快抽氣閥門。
[0011]所述泄壓口位于主抽氣管上端與其兩條主抽氣管支管的交叉處，泄壓口開口向上。
[0012]采用上述技術方案所產(chǎn)生的有益效果在于:本實用新型采用雙側對稱的排氣結構，為多晶硅鑄錠工藝過程提供對稱流通的氣流，使得硅錠界面更加平穩(wěn)，同時左右對稱的氣流也更加平穩(wěn)，平穩(wěn)對稱的氣流將更多地帶走硅液中的雜質，提高了氣體的雜質排出量，有助于提聞娃淀的質量和生廣效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型的正視圖；
[0014]圖2是本實用新型的側視圖；
[0015]圖3是本實用新型的俯視圖；
[0016]1、主抽氣管，2、快抽氣閥門，3、真空泵，4、慢抽氣支管，5、慢抽氣閥門，6、主抽氣管支管，7、鑄錠爐體，8、泄壓口，9、抽氣口。
【具體實施方式】
[0017]下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細的說明。
[0018]如圖1、2和3所示，一種鑄錠爐雙側排氣裝置，其特征在于包括主抽氣管1、慢抽氣支管4、泄壓口 8和抽氣裝置；主抽氣管I上端分為對稱的兩條主抽氣管支管6，分別連接到與鑄錠爐體7側壁左右對稱的位置上，通過抽氣口 9與鑄錠爐腔體相通；主抽氣管I上設有泄壓口 8，泄壓口 8位于主抽氣管I上端與其兩條主抽氣管支管6的交叉處，泄壓口 8開口向上；
[0019]所述主抽氣管I豎直管路側壁上設有慢抽氣支管4 ;主抽氣管I和慢抽氣支管4的下端均連接到真空泵3上；所述慢抽氣支管4管路上裝有慢抽氣閥門5 ;主抽氣管I管路上與慢抽氣支管4并聯(lián)的部位裝有快抽氣閥門2。
[0020]本實用新型使用時，在開始運行鑄錠工藝時，關閉快抽氣閥門2，打開慢抽氣閥門5，通過細口徑的慢抽氣支管4進行慢抽氣；當鑄錠體內部的氣壓降下來后，關閉慢抽氣閥門5，打開快抽氣閥門2，采用粗管路主抽氣管I進行快抽氣，將鑄錠爐內部的氣壓降低到更低的水平；在運行生長工藝時，再次關閉快抽氣閥門2，打開慢抽氣閥門5，再次通過細口徑的慢抽氣支管4進行慢抽氣，保證氣流的慢速平穩(wěn)，從而使硅錠的固液界面更加平穩(wěn)。
[0021]當鑄錠爐內的壓力快速增加時，通過泄壓口 8進行泄壓；泄壓口的位置位于鑄錠爐平臺下部，距離人機交互界面較遠，在壓力快速增加而對操作人員有危險時，能夠很好地保護操作人員。
[0022]采用此雙側對稱的排氣結構，為多晶硅鑄錠工藝過程提供對稱流通的氣流，使得硅錠界面更加平穩(wěn)，同時左右對稱的氣流也更加平穩(wěn)，平穩(wěn)對稱的氣流將更多地帶走硅液中的雜質，提聞了氣體的雜質排出量，有助于提聞娃淀的質量和生廣效率。
【權利要求】
1.一種鑄錠爐雙側排氣裝置，其特征在于包括主抽氣管(I)、慢抽氣支管(4)、泄壓口(8)和抽氣裝置；所述主抽氣管(I)上端分為對稱的兩條主抽氣管支管(6)，分別連接到與鑄錠爐體(7)側壁左右對稱的位置上；主抽氣管(I)上設有泄壓口(8);所述主抽氣管(I)豎直管路側壁上設有慢抽氣支管(4)，所述主抽氣管(I)和慢抽氣支管(4)的下端均連有抽氣裝置。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種鑄錠爐雙側排氣裝置，其特征在于所述主抽氣管(I)和慢抽氣支管(4)的下端均連接到真空泵(3)上；所述慢抽氣支管(4)管路上裝有慢抽氣閥門(5);主抽氣管(I)管路上與慢抽氣支管(4)并聯(lián)的部位裝有快抽氣閥門(2)。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種鑄錠爐雙側排氣裝置，其特征在于所述泄壓口(8)位于主抽氣管(I)上端與其兩條主抽氣管支管(6)的交叉處，泄壓口(8)開口向上。
【文檔編號】C30B28/06GK203559157SQ201320671147
【公開日】2014年4月23日 申請日期:2013年10月29日 優(yōu)先權日:2013年10月29日
【發(fā)明者】周秉林 申請人:英利能源（中國）有限公司