一種機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，用以使得機(jī)柜相對整機(jī)框架旋轉(zhuǎn)，所述機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)包括位于所述機(jī)柜和整機(jī)框架頂部的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)和位于所述機(jī)柜和整機(jī)框架底部的底部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述頂部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)和所述底部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)均與所述整機(jī)框架固定連接，且均與所述機(jī)柜轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述頂部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)和所述底部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)分別包括一個(gè)調(diào)心球軸承和推力調(diào)心滾子軸承，且通過所述推力調(diào)心滾子軸承和所述調(diào)心球軸承與所述機(jī)柜轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述推力調(diào)心滾子軸承和所述調(diào)心球軸承同軸設(shè)置，所述機(jī)柜能夠繞該軸旋轉(zhuǎn)。解決了機(jī)柜的重量較大、體積較大，不易于移動(dòng)，從而難以對光刻機(jī)的內(nèi)部空間進(jìn)行維護(hù)的技術(shù)問題。
【專利說明】一種機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種光刻機(jī)機(jī)柜用設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]控制機(jī)柜作為光刻機(jī)的一個(gè)重要組成部分，其質(zhì)量和體積一般較大。當(dāng)需要維護(hù)光刻機(jī)的內(nèi)部空間時(shí)，往往需要挪動(dòng)沉重的機(jī)柜，需要費(fèi)很大的氣力?，F(xiàn)在大部分光刻機(jī)的機(jī)柜都是獨(dú)立放置于地面上，與整機(jī)框架相互獨(dú)立，而且與整機(jī)框架的間隙較大，造成了整機(jī)的結(jié)構(gòu)不夠緊湊，占用了較大的空間。旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)作為一種常見的結(jié)構(gòu)，被廣泛應(yīng)用于日常生活和機(jī)械產(chǎn)品中，其中鉸鏈作為一種最常見的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，例如柜門、門板等，但是大多數(shù)鉸鏈多為鈑金件，承載能力非常有限，只能用于質(zhì)量較輕的物體的旋轉(zhuǎn)，對于質(zhì)量較大的機(jī)柜，普通的鉸鏈很難滿足要求。光刻機(jī)在運(yùn)行一段時(shí)間后，往往需要維護(hù)光刻機(jī)的內(nèi)部世界以及機(jī)柜后側(cè)?，F(xiàn)在常見的光刻機(jī)移動(dòng)機(jī)柜的方法都是采用滑軌的方式，首先在機(jī)柜底面安裝兩排滑軌，維護(hù)內(nèi)部世界時(shí)，首先將機(jī)柜沿著導(dǎo)軌槽拉出一段距離，然后工作人員才能進(jìn)入內(nèi)部維護(hù)。由于一般的機(jī)柜質(zhì)量很大，拉動(dòng)機(jī)柜需要很大的力，一般需要幾個(gè)人才能拉動(dòng)，如果再加上地面不平的話，拉動(dòng)機(jī)柜的過程中很容易造成機(jī)柜傾覆，極易造成設(shè)備和人員的損毀。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是機(jī)柜的重量較大、體積較大，不易于移動(dòng)，從而難以對光刻機(jī)的內(nèi)部空間進(jìn)行維護(hù)。
[0004]為了解決這一技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，用以使得機(jī)柜相對整機(jī)框架旋轉(zhuǎn)，所述機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)包括位于所述機(jī)柜和整機(jī)框架頂部的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)和位于所述機(jī)柜和整機(jī)框架底部的底部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述頂部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)和所述底部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)均與所述整機(jī)框架固定連接，且均與所述機(jī)柜轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述頂部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)和所述底部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)分別包括一個(gè)調(diào)心球軸承和推力調(diào)心滾子軸承，且通過所述推力調(diào)心滾子軸承和所述調(diào)心球軸承與所述機(jī)柜轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述推力調(diào)心滾子軸承和所述調(diào)心球軸承同軸設(shè)置，所述機(jī)柜能夠繞該軸旋轉(zhuǎn)。
[0005]所述頂部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)還包括連接板和旋轉(zhuǎn)軸，所述旋轉(zhuǎn)軸與所述機(jī)柜固定連接，所述連接板可與所述整機(jī)框架固定連接，所述調(diào)心球軸承的外圈與所述連接板固定連接，所述調(diào)心球軸承的內(nèi)圈與所述旋轉(zhuǎn)軸固定連接，從而使得所述旋轉(zhuǎn)軸與所述連接板之間通過所述調(diào)心球軸承實(shí)現(xiàn)相對旋轉(zhuǎn)。
[0006]所述頂部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)還包括軸承蓋和夾緊螺栓，所述軸承蓋與所述旋轉(zhuǎn)軸從所述調(diào)心球軸承的內(nèi)圈的上方與下方夾緊所述調(diào)心球軸承的內(nèi)圈，且所述軸承蓋與所述旋轉(zhuǎn)軸之間通過所述夾緊螺栓連接。
[0007]所述底部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)還包括底板、水平移動(dòng)部分和旋轉(zhuǎn)部分，所述底板與所述整機(jī)框架固定連接，所述旋轉(zhuǎn)部分與所述機(jī)柜固定連接，所述旋轉(zhuǎn)部分通過所述水平移動(dòng)部分在所述底板上移動(dòng)，所述機(jī)柜通過所述旋轉(zhuǎn)部分在所述水平移動(dòng)部分上旋轉(zhuǎn)。
[0008]所述水平移動(dòng)部分包括直線導(dǎo)軌、滑塊和兩個(gè)平行設(shè)置的限位擋塊，所述旋轉(zhuǎn)部分包括軸承端蓋、軸承底座和所述推力調(diào)心滾子軸承，所述兩個(gè)限位擋塊固定設(shè)在所述底板上，所述直線導(dǎo)軌設(shè)在所述兩個(gè)限位擋塊之間，所述直線導(dǎo)軌上表面設(shè)有導(dǎo)軌槽，所述滑塊在所述導(dǎo)軌槽內(nèi)直線移動(dòng)，所述滑塊與所述軸承底座固定連接，所述軸承底座與所述軸承端蓋分別與所述推力調(diào)心滾子軸承內(nèi)圈與外圈固定連接，從而使得所述軸承端蓋與所述軸承底座之間通過所述推力調(diào)心滾子軸承實(shí)現(xiàn)相對旋轉(zhuǎn)，所述軸承端蓋與所述機(jī)柜固定連接。
[0009]所述底部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括若干圓柱銷，所述圓柱銷固定設(shè)在所述軸承端蓋上，所述軸承底座上設(shè)有環(huán)形槽，所述軸承端蓋相對所述軸承底座旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述圓柱銷在所述環(huán)形槽內(nèi)移動(dòng)。
[0010]所述底板上還設(shè)有防撞橡膠塊，所述防撞橡膠塊平行于所述限位擋塊，且位于所述水平移動(dòng)部分與所述整機(jī)框架之間。
[0011]所述機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)還包括一個(gè)銷軸，所述銷軸固定設(shè)置在所述機(jī)柜的底部，所述底板上設(shè)有移動(dòng)槽,所述機(jī)柜相對于所述底板移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)時(shí)所述銷軸在所述移動(dòng)槽內(nèi)移動(dòng)，所述移動(dòng)槽的形狀與所述機(jī)柜相對于所述底板移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)的軌跡匹配。
[0012]所述機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)還包括設(shè)于所述機(jī)柜底部的三個(gè)腳輪，所述底部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、頂部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)靠近所述機(jī)柜的一角設(shè)置，所述三個(gè)腳輪分別靠近所述機(jī)柜的另外三個(gè)角設(shè)置。
[0013]所述腳輪上設(shè)有用于支撐所述機(jī)柜三個(gè)角且可調(diào)升降的調(diào)整塊。
[0014]本實(shí)用新型還提供了一種光刻機(jī)的控制機(jī)柜系統(tǒng)，包括機(jī)柜、整機(jī)框架和本實(shí)用新型提供的機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，所述機(jī)柜通過所述機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)其相對于所述整機(jī)框架的旋轉(zhuǎn)。
[0015]本實(shí)施例通過頂部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)和底部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了機(jī)柜的旋轉(zhuǎn)，并在頂部旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)和底部旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)中通過調(diào)心球軸承和推力調(diào)心滾子軸承實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)，使得機(jī)柜可以靈活旋轉(zhuǎn)90°，讓出足夠的維護(hù)空間；也使得機(jī)柜與整機(jī)框架的間隙小，整機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊；此外，推力調(diào)心滾子軸承的使用使得本實(shí)用新型提供的機(jī)柜的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)可以適應(yīng)不同地面的平整度，能夠有效地防止傾覆的危險(xiǎn)。最終，解決了機(jī)柜的重量較大、體積較大，不易于移動(dòng)，從而難以對光刻機(jī)的內(nèi)部空間進(jìn)行維護(hù)的技術(shù)問題。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1是本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的光刻機(jī)的控制機(jī)柜系統(tǒng)正面示意圖；
[0017]圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的光刻機(jī)的控制機(jī)柜系統(tǒng)俯視示意圖；
[0018]圖3是本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的光刻機(jī)的控制機(jī)柜系統(tǒng)側(cè)面示意圖；
[0019]圖4是本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)的剖面示意圖；
[0020]圖5是本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的底部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)的剖面示意圖；
[0021]圖6是本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的移動(dòng)槽的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖中，1-整機(jī)框架；2_頂部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)；3-機(jī)柜；4_帶調(diào)整塊腳輪；5_底部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)；6_銷軸；201-夾緊螺栓；202_軸承蓋；203_調(diào)心球軸承；204_連接板；205_旋轉(zhuǎn)軸；501-底板；502-防撞橡膠塊；503-推力調(diào)心滾子軸承；504_軸承端蓋；505_圓柱銷；506-軸承底座；507_直線導(dǎo)軌；508-限位擋塊；509滑塊；510_移動(dòng)槽；511_直線部；512-弧線部。
【具體實(shí)施方式】
[0023]以下將結(jié)合圖1至圖6對本實(shí)用新型提供的機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)的描述，其為本實(shí)用新型一可選的實(shí)施例，可以認(rèn)為本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠根據(jù)公知的常識(shí)，在不改變本實(shí)用新型精神和內(nèi)容的范圍內(nèi)對其進(jìn)行修改和潤色。
[0024]請參考圖1至圖3，并結(jié)合圖4，和圖5，本實(shí)用新型提供了一種機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，用以使得機(jī)柜3相對整機(jī)框架I旋轉(zhuǎn)，所述機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)包括位于所述機(jī)柜3和整機(jī)框架I頂部的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)2和位于所述機(jī)柜3和整機(jī)框架I底部的底部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)5，所述頂部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)2和所述底部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)5均與所述整機(jī)框架I固定連接，且均與所述機(jī)柜3轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述頂部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)2和所述底部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)5分別包括一個(gè)調(diào)心球軸承203和推力調(diào)心滾子軸承503，且通過所述推力調(diào)心滾子軸承503和所述調(diào)心球軸承203與所述機(jī)柜3轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述推力調(diào)心滾子軸承503和所述調(diào)心球軸承203同軸設(shè)置，所述機(jī)柜3能夠繞該軸旋轉(zhuǎn)。
[0025]本實(shí)施例通過頂部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)2和底部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)5實(shí)現(xiàn)了機(jī)柜3的旋轉(zhuǎn)，并在頂部旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)2和底部旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)5中通過調(diào)心球軸承203和推力調(diào)心滾子軸承503實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)，使得機(jī)柜3可以靈活旋轉(zhuǎn)90°，讓出足夠的維護(hù)空間；也使得機(jī)柜3與整機(jī)框架I的間隙小，整機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊；此外，推力調(diào)心滾子軸承503的使用使得本實(shí)用新型提供的機(jī)柜3的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)可以適應(yīng)不同地面的平整度，能夠有效地防止傾覆的危險(xiǎn)。最終，解決了機(jī)柜的重量較大、體積較大，不易于移動(dòng)，從而難以對光刻機(jī)的內(nèi)部空間進(jìn)行維護(hù)的技術(shù)問題。
[0026]請參考圖4，所述頂部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)2還包括連接板204和旋轉(zhuǎn)軸205，所述旋轉(zhuǎn)軸205與所述機(jī)柜3固定連接，所述連接板204可與所述整機(jī)框架I固定連接，所述調(diào)心球軸承203的外圈與所述連接板204固定連接，所述調(diào)心球軸承203的內(nèi)圈與所述旋轉(zhuǎn)軸205固定連接，從而使得所述旋轉(zhuǎn)軸205與所述連接板204之間通過所述調(diào)心球軸承203實(shí)現(xiàn)相對旋轉(zhuǎn)。
[0027]所述頂部旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)2還包括軸承蓋202和夾緊螺栓201，所述軸承蓋202與所述旋轉(zhuǎn)軸205從所述調(diào)心球軸承203的內(nèi)圈的上方與下方夾緊所述調(diào)心球軸承203的內(nèi)圈，且所述軸承蓋202與所述旋轉(zhuǎn)軸205之間通過所述夾緊螺栓201連接。采用調(diào)心球軸承203能夠根據(jù)底部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)5的調(diào)心而自動(dòng)調(diào)心，而且還能夠有效地防止機(jī)柜傾覆。
[0028]請參考圖5，所述底部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)5還包括底板501、水平移動(dòng)部分和旋轉(zhuǎn)部分，所述底板501與所述整機(jī)框架I固定連接，所述旋轉(zhuǎn)部分與所述機(jī)柜3固定連接，所述旋轉(zhuǎn)部分通過所述水平移動(dòng)部分在所述底板501上移動(dòng)，所述機(jī)柜3通過所述旋轉(zhuǎn)部分在所述水平移動(dòng)部分上旋轉(zhuǎn)。
[0029]所述水平移動(dòng)部分包括直線導(dǎo)軌507、滑塊509和兩個(gè)平行設(shè)置的限位擋塊508，所述旋轉(zhuǎn)部分包括軸承端蓋504、軸承底座506和所述推力調(diào)心滾子軸承503，所述兩個(gè)限位擋塊508固定設(shè)在所述底板501上，所述直線導(dǎo)軌507設(shè)在所述兩個(gè)限位擋塊508之間，所述直線導(dǎo)軌507上表面設(shè)有導(dǎo)軌槽，所述滑塊509在所述導(dǎo)軌槽內(nèi)直線移動(dòng)，所述滑塊509與所述軸承底座506固定連接，所述軸承底座506與所述軸承端蓋504分別與所述推力調(diào)心滾子軸承503內(nèi)圈與外圈固定連接，從而使得所述軸承端蓋504與所述軸承底座506之間通過所述推力調(diào)心滾子軸承503實(shí)現(xiàn)相對旋轉(zhuǎn)，所述軸承端蓋504與所述機(jī)柜3固定連接。采用推力調(diào)心滾子軸承503能夠克服廠房地面不平整的缺陷，避免了機(jī)柜懸空的危險(xiǎn)。
[0030]所述底部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)5還包括若干圓柱銷505，所述圓柱銷505固定設(shè)在所述軸承端蓋504上，所述軸承底座506上設(shè)有環(huán)形槽，所述軸承端蓋504相對所述軸承底座506旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述圓柱銷505在所述環(huán)形槽內(nèi)移動(dòng)。該設(shè)置可以保證在機(jī)柜3直線移動(dòng)的過程中不會(huì)發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)，僅僅是到達(dá)了旋轉(zhuǎn)位置的時(shí)候才能夠旋轉(zhuǎn)。
[0031]所述底板5上還設(shè)有防撞橡膠塊502，所述防撞橡膠塊502平行于所述限位擋塊508，且位于所述水平移動(dòng)部分與所述整機(jī)框架I之間。該防撞橡膠塊502能夠保證機(jī)柜3旋轉(zhuǎn)到位后停止旋轉(zhuǎn)。
[0032]請參考圖5，并結(jié)合圖6，所述機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)還包括一個(gè)銷軸6，所述銷軸6固定設(shè)置在所述機(jī)柜3的底部，所述底板501上設(shè)有移動(dòng)槽510，所述機(jī)柜3相對于所述底板501移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)時(shí)所述銷軸6在所述移動(dòng)槽510內(nèi)移動(dòng)，所述移動(dòng)槽510的形狀與所述機(jī)柜3相對于所述底板501移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)的軌跡匹配。在本實(shí)施例中，請參考圖6，由于機(jī)柜3相對于底板501，即相對于整機(jī)框架I先做了直線移動(dòng)，再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，所以，移動(dòng)槽510包括直線部512和弧線部511。
[0033]請參考圖1和圖3，所述機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)還包括設(shè)于所述機(jī)柜3底部的三個(gè)腳輪4，所述底部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)5、頂部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)2靠近所述機(jī)柜3的一角設(shè)置，所述三個(gè)腳輪4分別靠近所述機(jī)柜3的另外三個(gè)角設(shè)置。
[0034]所述腳輪4上設(shè)有用于支撐所述機(jī)柜3三個(gè)角且可調(diào)升降的調(diào)整塊。該調(diào)整塊能夠起到升降支撐的作用，即當(dāng)不需要腳輪4進(jìn)行移動(dòng)時(shí)，可以調(diào)整調(diào)整塊，使其支撐其整個(gè)機(jī)柜3，而不需要通過腳輪4去支撐整個(gè)機(jī)柜3的重量。
[0035]在使用和安裝本實(shí)施例所提供的機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)時(shí)，先安裝底部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)5，具體來說，先將501底板與整機(jī)框架I連接，然后安裝直線導(dǎo)軌507、滑塊509、限位擋塊508以及502防撞橡膠塊，然后在直線導(dǎo)軌507上安裝軸承座506、推力調(diào)心滾子軸承503、軸承端蓋504以及圓柱銷505，與此同時(shí)，將三個(gè)帶有調(diào)整塊的腳輪4安裝到機(jī)柜3的底部，兩者均完成安裝后，將機(jī)柜3與底部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)5中的軸承端蓋504固定連接。到此就完成底部旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)5的安裝。
[0036]然后可以通過滑塊509相對于直線導(dǎo)軌507的移動(dòng)實(shí)現(xiàn)機(jī)柜3的直線移動(dòng)，移動(dòng)到旋轉(zhuǎn)的位置后，安裝頂部旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)2，或者先安裝頂部旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)2，但不將其與整機(jī)框架I固定連接，而是等到機(jī)柜移動(dòng)到旋轉(zhuǎn)位置后，將其與整機(jī)框架I固定連接。本實(shí)施例中采用了先移動(dòng)到旋轉(zhuǎn)位置后，再安裝頂部旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)2，安裝時(shí)，先將旋轉(zhuǎn)軸205與調(diào)心球軸承203安裝好之后與機(jī)柜3連接，再將連接板204與整機(jī)框架I連接，最后安裝軸承蓋202，保證其中頂部旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)2與底部旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)5同軸安裝。安裝完成后，即可進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)90度后就可以讓出足夠的空間，便于工作人員進(jìn)入維護(hù)整機(jī)內(nèi)部，等維護(hù)結(jié)束后，在將機(jī)柜3轉(zhuǎn)到原始位置。然后再將機(jī)柜3沿著直線導(dǎo)軌507的方向推進(jìn)到初始位置，最后調(diào)整腳輪4上的調(diào)整塊，保證調(diào)整塊全部著地，避免用腳輪4去支撐整個(gè)機(jī)柜3的重量，完成了一次操作過程。本專利具有結(jié)構(gòu)簡單，易于制造，強(qiáng)度剛度好，可充分利用機(jī)柜體內(nèi)的空間，使整體結(jié)構(gòu)堅(jiān)固緊湊的突出優(yōu)點(diǎn)。此外，所述機(jī)柜與整機(jī)框架的結(jié)合面非常嚴(yán)密，整機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊。從外觀上來看四周非常平整、美觀、簡潔、大方。
[0037]本實(shí)施例還提供了一種光刻機(jī)的控制機(jī)柜系統(tǒng)，包括機(jī)柜3、整機(jī)框架I和本實(shí)用新型提供的機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，所述機(jī)柜3通過所述機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)其相對于所述整機(jī)框架I的旋轉(zhuǎn)。
【權(quán)利要求】
1.一種機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，用以使得機(jī)柜相對整機(jī)框架旋轉(zhuǎn)，其特征在于:包括位于所述機(jī)柜和整機(jī)框架頂部的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)和位于所述機(jī)柜和整機(jī)框架底部的底部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述頂部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)和所述底部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)均與所述整機(jī)框架固定連接，且均與所述機(jī)柜轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述頂部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)和所述底部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)分別包括一個(gè)調(diào)心球軸承和推力調(diào)心滾子軸承，且通過所述推力調(diào)心滾子軸承和所述調(diào)心球軸承與所述機(jī)柜轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述推力調(diào)心滾子軸承和所述調(diào)心球軸承同軸設(shè)置，所述機(jī)柜能夠繞該軸旋轉(zhuǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述頂部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)還包括連接板和旋轉(zhuǎn)軸，所述旋轉(zhuǎn)軸與所述機(jī)柜固定連接，所述連接板可與所述整機(jī)框架固定連接，所述調(diào)心球軸承的外圈與所述連接板固定連接，所述調(diào)心球軸承的內(nèi)圈與所述旋轉(zhuǎn)軸固定連接，從而使得所述旋轉(zhuǎn)軸與所述連接板之間通過所述調(diào)心球軸承實(shí)現(xiàn)相對旋轉(zhuǎn)。
3.如權(quán)利要求2所述的機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述頂部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)還包括軸承蓋和夾緊螺栓，所述軸承蓋與所述旋轉(zhuǎn)軸從所述調(diào)心球軸承的內(nèi)圈的上方與下方夾緊所述調(diào)心球軸承的內(nèi)圈，且所述軸承蓋與所述旋轉(zhuǎn)軸之間通過所述夾緊螺栓連接。
4.如權(quán)利要求1所述的機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述底部轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)還包括底板、水平移動(dòng)部分和旋轉(zhuǎn)部分，所述底板與所述整機(jī)框架固定連接，所述旋轉(zhuǎn)部分與所述機(jī)柜固定連接，所述旋轉(zhuǎn)部分通過所述水平移動(dòng)部分在所述底板上移動(dòng)，所述機(jī)柜通過所述旋轉(zhuǎn)部分在所述水平移動(dòng)部分上旋轉(zhuǎn)。
5.如權(quán)利要求4所述的機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述水平移動(dòng)部分包括直線導(dǎo)軌、滑塊和兩個(gè)平行設(shè)置的限位擋塊，所述旋轉(zhuǎn)部分包括軸承端蓋、軸承底座和所述推力調(diào)心滾子軸承，所述兩個(gè)限位擋塊固定設(shè)在所述底板上，所述直線導(dǎo)軌設(shè)在所述兩個(gè)限位擋塊之間，所述直線導(dǎo)軌上表面設(shè)有導(dǎo)軌槽，所述滑塊在所述導(dǎo)軌槽內(nèi)直線移動(dòng)，所述滑塊與所述軸承底座固定連接，所述軸承底座與所述軸承端蓋分別與所述推力調(diào)心滾子軸承的內(nèi)圈與外圈固定連接，從而使得所述軸承端蓋與所述軸承底座之間通過所述推力調(diào)心滾子軸承實(shí)現(xiàn)相對旋轉(zhuǎn)，所述軸承端蓋與所述機(jī)柜固定連接。
6.如權(quán)利要求5所述`的機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述底部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括若干圓柱銷，所述圓柱銷固定設(shè)在所述軸承端蓋上，所述軸承底座上設(shè)有環(huán)形槽，所述軸承端蓋相對所述軸承底座旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述圓柱銷在所述環(huán)形槽內(nèi)移動(dòng)。
7.如權(quán)利要求5所述的機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述底板上還設(shè)有防撞橡膠塊，所述防撞橡膠塊平行于所述限位擋塊，且位于所述水平移動(dòng)部分與所述整機(jī)框架之間。
8.如權(quán)利要求4所述的機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于:還包括一個(gè)銷軸，所述銷軸固定設(shè)置在所述機(jī)柜的底部，所述底板上設(shè)有移動(dòng)槽，所述機(jī)柜相對于所述底板移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)時(shí)所述銷軸在所述移動(dòng)槽內(nèi)移動(dòng)，所述移動(dòng)槽的形狀與所述機(jī)柜相對于所述底板移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)的軌跡匹配。
9.如權(quán)利要求1所述的機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于:還包括設(shè)于所述機(jī)柜底部的三個(gè)腳輪，所述底部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、頂部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)靠近所述機(jī)柜的一角設(shè)置，所述三個(gè)腳輪分別靠近所述機(jī)柜的另外三個(gè)角設(shè)置。
10.如權(quán)利要求9所述的機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述腳輪上設(shè)有用于支撐所述機(jī)柜三個(gè)角且可調(diào)升降的調(diào)整塊。
11.一種光刻機(jī)的控制機(jī)柜系統(tǒng)，其特征在于:包括機(jī)柜、整機(jī)框架和如權(quán)利要求1至10任意之一所述的機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，所述機(jī)柜通過所述機(jī)柜用旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)其相對于所述整機(jī)框架的旋轉(zhuǎn)。`
【文檔編號(hào)】H05K5/02GK203446130SQ201320453902
【公開日】2014年2月19日 申請日期:2013年7月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月26日
【發(fā)明者】李東升, 黃靜莉, 賈海立, 朱岳彬, 秦磊, 曹文 申請人:上海微電子裝備有限公司