專利名稱：新型多晶硅還原爐紅外預加熱器的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種新型多晶硅還原爐紅外預加熱器，用于改良西門子法多晶硅生產還原爐啟動時硅芯擊穿的預加熱階段。
二背景技術：
目前，國內生產多晶硅還原爐啟動時硅芯擊穿大致分兩種:一種是用高電壓將還原爐內娃芯擊穿；另一種是使用預加熱器對還原爐內部加熱至400 500攝氏度,使娃芯溫度升高，電阻急聚下降，再施加電壓擊穿。國內還原爐預加熱器通常使用電加熱管電阻加熱方式，設備可靠，但是加熱效率低。采用紅外預加熱器啟動方式，選擇易于硅芯吸收的紅外短波，加熱效率高，升溫迅速，同時操作簡單，對電極絕緣要求低，安全可靠。紅外預加熱器也要保持自身的潔凈度，保證不向還原爐內帶入雜物。
三
實用新型內容本實用新型提供一種針對多晶硅還原爐啟動的紅外預加熱器。本實用新型的目的是這樣來實現的:它由主體、保護底座和燈管組成,主體分為三層結構:防爆層、支撐層和紅外鹵素燈管捆綁層，防爆層包括吊環(huán)、墊片、上頂蓋、防爆電源插座、接地端構成，防爆層內部是由支撐層經隔離孔的隔離堵頭引進來得紅外鹵素燈管的電源線引入固定在內部端子排上，將紅外鹵素燈管的電源線和接地線經過防爆插坐與外部交流電插頭相接；支撐層由支撐桿和定位板構成，支撐桿的長度可調，定位板卡住紅外鹵素燈管，固定牢固，支撐桿連接防爆耐溫層和定位板，防爆耐溫接線盒牢固的固定在定位板之上；紅外鹵素燈管捆綁層由紅外鹵素燈管、定位板和固定板組成，五塊固定板將9根紅外鹵素燈管固定成一體，穿過定位板形成一個捆綁一體的紅外燈管層；紅外鹵素燈管的電源線經由支撐層到防爆耐溫接線盒，由防爆電源插座2引出，與外部電源由插座和插頭的形式相連接，防爆耐溫接線盒作為一個隔離的整體；所述的預加熱器的保護底座可連接保護氣體接頭充入壓縮空氣。本實用新型解決的其技術問題是:1、保證了電源接線盒的低溫，防止高溫老化損壞。2、實現了電氣防爆隔離，提高了設備的安全性。3、該裝置可放置在預加熱器保護底座內，充壓縮空氣保護，防止環(huán)境腐蝕，大大提高了預加熱器壽命和還原爐內潔凈度。4、采用大功率紅外短波鹵素燈管，易于硅芯吸收，加熱效率高，速度快。5、上頂蓋可拆卸的設計，更換燈管方便，維護簡單。
四
附圖1是本實用新型的結構示意圖。圖中:1--- 吊環(huán)，2—防爆電源插座，3—上頂蓋，4—防爆耐溫接線盒，5—接地端，6---支撐桿，7---定位板,8---紅外1 素燈管,9---固定板，10---墊片，11---預加
熱器保護底座，12保護氣體接頭。
五具體實施方式
以下結合附圖及實施例對本實用新型進一步說明。參照附圖，本實用新型多晶硅還原爐紅外預加熱器，它由主體、保護底座和燈管組成，主體分為三層結構:防爆層、支撐層和紅外鹵素燈管捆綁層，防爆層包括吊環(huán)1、墊片10、上頂蓋3、防爆電源插座2、接地端5構成，防爆層內部是由支撐層經隔離孔的隔離堵頭引進來紅外鹵素燈管的電源線引入固定連接在內部端子排上，紅外鹵素燈管的電源線和接地線經過防爆電源插座2與外部380v交流電插頭相接；支撐層由支撐桿6和定位板7構成，支撐桿6的長度可調，固定桿6卡住紅外鹵素燈管8，固定牢固，支撐桿6連接防爆耐溫層4和定位板7，防爆耐溫接線層4牢固的固定在定位板7之上；紅外鹵素燈管捆綁層由紅外鹵素燈管、定位板7和固定板9組成，五塊固定板9將9根紅外鹵素燈管固定成一體，穿過定位板7形成一個捆綁一體的紅外燈管層。紅外鹵素燈管的電源線經由支撐層到防爆耐溫接線盒，由防爆電源插座(2)引出，與外部電源由插座和插頭的形式相連接，防爆耐溫接線盒作為一個隔離的整體；預加熱器的保護底座11可連接保護氣體接頭12充入壓縮空氣。本紅外預加熱器的總長度340cm，防爆層和支撐層的高度為50cm，紅外燈管層為290cm。本實用新型 定位板7的直徑與還原爐頂部的連接法蘭直徑相等，而紅外鹵素燈管捆綁層的9固定板的直徑小于還原爐頂部連接法蘭直徑。五個固定板以45cm的等間距分布在紅外鹵素燈管捆綁層，這樣既能使紅外鹵素燈管捆綁層順利進入還原爐，又能減少熱量的散失，提高預熱效率。本實用新型防爆耐溫接線盒4的高度設計為20cm,而支撐層的高度設計的30cm,拉大了紅外燈管與防爆層的距離，盡可能的減少了熱量的傳導。在預加熱器溫度在700度以下時，安全可靠。由支撐桿6傳導給防爆層的熱量很少，使防爆層一直保持在較低的溫度，提高了設備的安全性，保證了操作人員的人身安全。本預加熱器采用大功率紅外短波鹵素燈管8，總功率80kw，短波易于硅芯吸收，使預加熱器的加熱效果達到了最大化。不但提高了加熱效率，而且根本不用考慮燈管由于變形，掉渣對還原爐帶來得污染；而且使用時間較長，由于自身的設計，上頂蓋經耐溫墊片，卸下螺絲，即可打開，更換方便。保護底座減少了灰塵對預加熱器的污染，同時在預加熱器未使用時沖入壓縮空氣，防止各種有害物質的腐蝕，提高了的預加熱器壽命和潔凈度。本紅外預加熱器，保證了設備的安全性和自身的潔凈度，提高了加熱效率，大大縮短了加熱時間。從而提高了多晶硅生產的工作效率，減低了生產成本。
權利要求1.一種新型多晶硅還原爐紅外預加熱器，它由主體、保護底座和燈管組成，其特征在于:主體分為三層結構:防爆層、支撐層和紅外鹵素燈管捆綁層，防爆層包括吊環(huán)(I)、墊片(10)、上頂蓋(3)、防爆電源插座(2)、接地端(5)構成，防爆層內部是由支撐層經隔離孔的隔離堵頭引進來得紅外鹵素燈管的電源線引入固定連接在內部端子排上，紅外鹵素燈管的電源線和接地線經過防爆電源插座(2)與外部380v交流電插頭相接；支撐層由支撐桿(6)和定位板(X)構成，支撐桿(6)的長度可調,定位板(7)卡住紅外鹵素燈管(8),固定牢固，支撐桿(6)連接防爆耐溫層(4)和定位板(7)，防爆耐溫接線盒(4)牢固的固定在定位板(7)之上；紅外鹵素燈管捆綁層由紅外鹵素燈管、定位板(7)和固定板(9)組成，五塊固定板(9)將9根紅外鹵素燈管固定成一體，穿過定位板(7)形成一個捆綁一體的紅外燈管層。
2.如權利要求1所述的一種新型還原爐紅外預加熱器，其特征在于:紅外鹵素燈管的電源線經由支撐層到防爆耐溫接線盒，由防爆電源插座(2)引出，與外部電源由插座和插頭的形式相連接，防爆耐溫接線盒作為一個隔離的整體。
3.如權利要求1所述的一種新型還原爐紅外預加熱器，其特征在于:預加熱器的保護底座(11)可連 接保護氣體接頭(12)充入壓縮空氣。
專利摘要本實用新型涉及一種新型多晶硅還原爐紅外預加熱器，它由主體、保護底座和燈管組成，主體分為三層結構防爆層、支撐層和紅外鹵素燈管捆綁層，防爆層內部是由支撐層經隔離孔的隔離堵頭引進來得紅外鹵素燈管的電源線引入固定連接在內部端子排上，紅外鹵素燈管的電源線和接地線經過防爆插坐與外部380v交流電插頭相接；支撐層由支撐桿和定位板構成，支撐桿的長度可調，定位板卡住紅外鹵素燈管，固定牢固，支撐桿連接防爆耐溫層和定位板，防爆耐溫接盒牢固的固定在定位板之上；本預加熱器采用大功率紅外短波鹵素燈管，由定位板和固定板形成紅外鹵素燈管捆綁層，總功率80kw。保護底座減少了灰塵對預加熱器的污染，同時在預加熱器未使用時沖入壓縮空氣，防止各種有害物質的腐蝕，提高了的預加熱器壽命和潔凈度。
文檔編號H05B3/62GK203104821SQ20122075627
公開日2013年7月31日 申請日期2012年12月22日 優(yōu)先權日2012年12月22日
發(fā)明者張玉泉, 胡俊輝, 薛濤, 李波, 陳進陽 申請人:陜西天宏硅材料有限責任公司