專利名稱：硅單晶爐測(cè)溫探頭安裝機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及硅單晶爐測(cè)溫裝置，尤其涉及一種硅單晶爐測(cè)溫探頭安裝機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
目前，硅單晶爐工藝中有加熱和控溫過程，安裝有測(cè)溫探頭。探頭的安裝方式可以是螺紋式或法蘭式，法蘭式采用幾個(gè)(通常是4)均勻分布的螺釘固定，但是測(cè)溫探頭對(duì)安裝位置，角度，以及探頭本身的旋轉(zhuǎn)角度比較敏感，在現(xiàn)實(shí)維護(hù)安裝時(shí)上述安裝方式無法保證重復(fù)性，結(jié)果會(huì)引起測(cè)量誤差。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種硅單晶爐測(cè)溫探頭安裝機(jī)構(gòu)，其具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單， 安裝便捷以及避免產(chǎn)生安裝偏差的特點(diǎn)。本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)一種硅單晶爐測(cè)溫探頭安裝機(jī)構(gòu)，其包括測(cè)溫探頭，所述測(cè)溫探頭通過安裝法蘭安裝于硅單晶爐體之上，其中，所述安裝法蘭上開設(shè)有若干個(gè)不對(duì)稱分布的安裝孔，利用固定螺釘穿過安裝孔固定測(cè)溫探頭。特別地，所述安裝孔設(shè)置為3個(gè)，對(duì)應(yīng)安裝孔設(shè)置有3個(gè)固定螺釘。特別地，所述安裝孔處于同一圓周上，且將所處圓周分割成中心角分別為130°、 130°和100°的三段圓弧。本實(shí)用新型的有益效果為，所述硅單晶爐測(cè)溫探頭安裝機(jī)構(gòu)的安裝法蘭的安裝孔采用不對(duì)稱分布，避免了維修拆裝時(shí)，產(chǎn)生的位置偏差，確保每次安裝的一致性，不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于實(shí)現(xiàn)，而且安裝便捷，避免由于位置偏差導(dǎo)致的溫度偏差。

下面根據(jù)附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。圖1為本實(shí)用新型硅單晶爐測(cè)溫探頭安裝機(jī)構(gòu)的主視圖；圖2為本實(shí)用新型硅單晶爐測(cè)溫探頭安裝機(jī)構(gòu)的剖面圖。圖中1、測(cè)溫探頭；2、安裝法蘭；3、安裝孔。
具體實(shí)施方式
請(qǐng)參照?qǐng)D1及圖2所示，圖1為本實(shí)用新型硅單晶爐測(cè)溫探頭安裝機(jī)構(gòu)的主視圖； 圖2為本實(shí)用新型硅單晶爐測(cè)溫探頭安裝機(jī)構(gòu)的剖面圖。于本實(shí)施例中，一種硅單晶爐測(cè)溫探頭安裝機(jī)構(gòu)，其包括測(cè)溫探頭1，所述測(cè)溫探頭1通過安裝法蘭2安裝于硅單晶爐體之上，所述安裝法蘭2上開設(shè)有3個(gè)不對(duì)稱分布的安裝孔3，對(duì)應(yīng)安裝孔3設(shè)置有3個(gè)固定螺釘，利用固定螺釘穿過安裝，3固定測(cè)溫探頭1，所述安裝孔3處于同一圓周上，且將所處圓周分割成三段圓弧，所述三段圓弧的中心角分別為 A = 130°，B = 130°，C = 100°。上述硅單晶爐測(cè)溫探頭安裝機(jī)構(gòu)的安裝法蘭的安裝孔采用不對(duì)稱分布，避免了維修拆裝時(shí)，產(chǎn)生的位置偏差，確保每次安裝的一致性，不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于實(shí)現(xiàn)，而且安裝便捷，避免由于位置偏差導(dǎo)致的溫度偏差。以上實(shí)施例只是闡述了本實(shí)用新型的基本原理和特性，可隨安裝孔的設(shè)置個(gè)數(shù)的改變而改變。本實(shí)用新型不受上述事例限制，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還有各種變化和改變，這些變化和改變都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
權(quán)利要求1.一種硅單晶爐測(cè)溫探頭安裝機(jī)構(gòu)，其包括測(cè)溫探頭，所述測(cè)溫探頭通過安裝法蘭安裝于硅單晶爐體之上，其特征在于所述安裝法蘭上開設(shè)有若干個(gè)不對(duì)稱分布的安裝孔，利用固定螺釘穿過安裝孔固定測(cè)溫探頭。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅單晶爐測(cè)溫探頭安裝機(jī)構(gòu)；其特征在于所述安裝孔設(shè)置為3個(gè)，對(duì)應(yīng)安裝孔設(shè)置有3個(gè)固定螺釘。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅單晶爐測(cè)溫探頭安裝機(jī)構(gòu)；其特征在于所述安裝孔處于同一圓周上，且將所處圓周分割成中心角分別為130°、130°和100°的三段圓弧。
專利摘要本實(shí)用新型公開一種硅單晶爐測(cè)溫探頭安裝機(jī)構(gòu)，其包括測(cè)溫探頭，所述測(cè)溫探頭通過安裝法蘭安裝于硅單晶爐體之上，所述安裝法蘭上開設(shè)有若干個(gè)不對(duì)稱分布的安裝孔，所述安裝孔處于同一圓周上，利用固定螺釘穿過安裝孔固定測(cè)溫探頭，上述硅單晶爐測(cè)溫探頭安裝機(jī)構(gòu)的安裝法蘭的安裝孔采用不對(duì)稱分布，避免了維修拆裝時(shí)，產(chǎn)生的位置偏差，確保每次安裝的一致性，不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于實(shí)現(xiàn)，而且安裝便捷，避免由于位置偏差導(dǎo)致的溫度偏差。
文檔編號(hào)C30B35/00GK202054929SQ20112011889
公開日2011年11月30日 申請(qǐng)日期2011年4月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月21日
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