專利名稱：一種精密提升裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種提升裝置，尤其涉及一種精密儀器安裝的提升裝置。
技術(shù)背景對于剪式升降臺來說，本身最小高度一般較小，但是在實際工作中往往需 要提升較大的高度，所以外形尺寸一般比較大，這樣一來就會降低提升精度。 同時提升時會有較大的振動，不能用于提升高精密設(shè)備。并且整個升降臺不能 靈活移動和旋轉(zhuǎn)，在整個提升過程中，沒有高度限位機構(gòu)，完全依賴目測，很 難達(dá)到精確對準(zhǔn)。不管升降方式采用手動、氣動、液壓、油壓還是電動，整個 升降臺的重量都較重，搬運不方便。中國專利CN2761570Y公布了一種氣動剪式升降臺，包括底架、臺面板和 舉升撐臂，臺面板由舉升撐臂撐于底架上，在底架上裝有氣動千金頂，該氣動 千斤頂?shù)幕钊麠U與舉升撐臂相連接。該氣動剪式升降臺主要應(yīng)用于摩托車修理， 但是該裝置不能用于精確對準(zhǔn)，因而不能適用于精密儀器的安裝，并且它的靈 敏度有限。在光刻機整機集成過程中，大多數(shù)部件都需要精密提升工裝，將部件精密 提升到安裝位置，實現(xiàn)機械接口的連接。調(diào)焦調(diào)平部件就是一個精密測量部件， 在安裝過程中，不能有大的震動，在它周圍有許多已經(jīng)要裝好的精密部件，但 調(diào)焦調(diào)平部件本身較大，給的安裝空間有限，所以要求工裝能靈活自由移動和 旋轉(zhuǎn)，當(dāng)?shù)竭_(dá)定位點后能快速固定，無需機械連接，而目前的提升裝置都不能 滿足這樣的要求。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供了一種精密提升裝置，它體積小，質(zhì)量小，提升高度和負(fù)載都 比較大，并且可以靈活的移動和旋轉(zhuǎn)，穩(wěn)定性也較好，適用于精密儀器的安裝，
并且該裝置中還有高度限位機構(gòu)，能保證提升過程中的安全性。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明公布了一種精密提升裝置，包括承載板，提 升機構(gòu)，上面板，下面板，驅(qū)動裝置，其中提升機構(gòu)由兩個以上的提升單元并 聯(lián)組成，所述的提升單元由兩個X型桁架通過鉸鏈連接，驅(qū)動裝置裝配在所述 的鉸鏈連接處。其中，裝置還包括一個固定裝置，固定在下面板上， 一個滾動裝置，固定在下 面板上， 一個高度限位機構(gòu)，固定在承載板的一端。其中該高度限位機構(gòu)包括彈簧、螺母、螺桿，其中彈簧和螺母套在螺桿上， 螺母在彈簧的上部，高度限位機構(gòu)的螺桿的頂部安裝有橡膠端蓋，橡膠端蓋的 頂面高于待安裝部件的上部安裝面，高度限位機構(gòu)的螺桿頂端安裝有一.個接近 開關(guān)。其中固定裝置為真空吸附機構(gòu)或者螺栓連接固定裝置，真空吸附機構(gòu)包括 氣管、彈簧、滑桿、吸附墊、氣管，其中，吸附墊安裝在滑桿的一端，彈簧套在滑桿上，滑桿固定在下面板上，第一氣管和第二氣管與滑桿的另一端相連。 其中驅(qū)動裝置可以是.手輪或者電動驅(qū)動裝置。 其中滾動裝置可以是鋼珠滾輪機構(gòu)或者萬向腳輪裝置。 與現(xiàn)有的技術(shù)相比，本發(fā)明有以下的優(yōu)點1， 體積小，質(zhì)量小，但是負(fù)載大，提升高度大，并且可以靈活移動和旋轉(zhuǎn)；2, 利用真空吸附的方式固定整個精密提升裝置，穩(wěn)定性好，在提升過程 中，提升平穩(wěn)，提升高度值分辨率高，所需力矩??；3, 本裝置中還有高度限位機構(gòu)，能保證提升操作過程的安全性；4， 應(yīng)用范圍廣，可以實現(xiàn)對多個部件的整體安裝，通用性強，尤其適用 于精密儀器的安裝。


圖l是精密提升裝置正視示意圖； 圖2是精密提升裝置仰視示意圖； 圖3是精密提升裝置真空吸附機構(gòu)示意圖； 圖4是鋼珠滾輪機構(gòu)示意圖具體實施方式
下面結(jié)合附圖，對本發(fā)明一種精密提升裝置作進(jìn)一步說明如圖l所示，本發(fā)明包括定位塊2，承載板4，提升機構(gòu)6，鋼珠滾輪機構(gòu) 16,手輪19,真空吸附?jīng)_幾構(gòu)，高度限位機構(gòu)。定位塊2利用螺釘3固定在承載板4的兩端，承載板4利用螺釘5安裝在 提升機構(gòu)6的上面板601上，高度限位機構(gòu)固定在承載板4的一端。其中提升機構(gòu)6由兩個以上的提升單元并聯(lián)組成，所述的提升單元由兩個X 型街架通過鉸鏈連接，驅(qū)動裝置裝配在所漆的鉸鏈連接處。其中高度限位機構(gòu)包括彈簧23,墊片24，螺母25，螺桿26和橡膠端蓋 27。橡膠端蓋27固定在螺桿的頂端，其中螺母25,墊片24，彈簧23,螺母21 順次連接將螺桿26固定在連接板22上，連接板22通過螺釘20固定在提升機 構(gòu)6的上面板601的一端。其使用方法為通過調(diào)整螺母21和螺母25,使橡膠 端蓋27的頂面高于待安裝部件的上部安裝面在提升過程中，通過觀察螺母21 和螺桿26就可以判斷待安裝部件是否提升到位。手輪19固定在提升機構(gòu)6的雙頭螺柱603的中間，鋼珠滾輪16和真空吸 附機構(gòu)安裝在提升機構(gòu)6的下面板602上，鋼珠滾輪如圖4所示。其中手輪19用于手動調(diào)節(jié)提升機構(gòu)，實現(xiàn)提升機構(gòu)高度的調(diào)節(jié)，手輪也可 以用電動驅(qū)動裝置來替換，來實現(xiàn)提升裝置的自動升降。真空吸附機構(gòu)如圖3所示，包括管接頭7、第一氣管8、螺母9、墊片10、 彈簧ll、滑桿12、吸附墊13、滑套14、管接頭15、氣管17、管接頭18、第二 氣管28?；?4固定安裝在提升機構(gòu)6的下面板602上。吸附墊13安裝在滑 桿12的一端。利用彈簧ll、墊片10、螺母9將滑桿12固定在滑套14中，滑 桿12可以在滑套14中靈活滑動。調(diào)節(jié)彈簧11的壓縮量，保證吸附墊13與吸 附面有約2毫米的間隙，以保證精密提升裝置移動和旋轉(zhuǎn)時，吸附墊13與吸附 面之間不會有摩擦。管接頭7、管接頭15安裝在滑桿12上，氣管8連接管接頭 7和管接頭15,氣管17連接管接頭15和管接頭18、氣管28連接管接頭15和 管接頭18,管接頭18接真空氣源。
當(dāng)管接頭18接通真空氣源，管路內(nèi)形成真空后，吸附墊13會自動吸附到 吸附面上，在大氣壓的作用下，吸附墊13會牢牢的吸附在吸附面上，使得整個 提升裝置相當(dāng)?shù)姆€(wěn)固；當(dāng)管接頭18與真空氣源斷開，管路內(nèi)氣壓與環(huán)境大氣壓 相同時，吸附墊13在彈簧11的作用下，會自動上升，脫離吸附面，在滾輪裝 置的共同作用下，能夠自由靈活的轉(zhuǎn)動和移動。其中滾動裝置可以是鋼珠滾動機構(gòu)或者萬向腳輪裝置等類似裝置。其中提升機構(gòu)可以是剪式提升機構(gòu)或者千斤頂或者液壓缸或者氣壓缸。圖2為本發(fā)明的仰視圖，其中吸附機構(gòu)共有四個，鋼珠滾輪機構(gòu)也有四個， 分別固定在下面板602的四個角上。本發(fā)明一種精密提升裝置中，還可以在高度限位機構(gòu)上安裝接近開關(guān)，精 確控制提升高度，使提升裝置提升到正確的位置。下面結(jié)合在光刻機整機集成過程中，安裝調(diào)平調(diào)焦部件，對本發(fā)明的使用 方法作具體介紹首先，先將調(diào)焦調(diào)平部件1放在定位塊上；其次，移動整個精密提升裝置到安裝位置后，將管接頭18與真空氣源接通， 由于吸附墊離吸附面距離約2毫米，真空產(chǎn)生的吸力會大于彈簧的彈力'，滑桿 12自動下滑，吸附墊與吸附面接觸后，由于吸附墊內(nèi)外存在氣壓差，4個吸附 墊非常牢固的吸附在吸附面上，由于滑桿12與滑套14之間只有一個小的間隙， 所以整個精密提升裝置的位置被固定了 。第三，轉(zhuǎn)動手輪19，實現(xiàn)精密提升機構(gòu)6的高度改變，從而實現(xiàn)調(diào)焦調(diào)平 部件安裝高度位置的改變。最后，調(diào)整螺母21和螺母25,使橡膠端蓋27的頂面高于調(diào)焦調(diào)平部件1 的上部安裝面，在提升時，通過觀察螺母21和螺桿26可以判斷調(diào)焦調(diào)平部件1 是否提升到位。
權(quán)利要求
1、一種精密提升裝置，包括承載板(4)，提升機構(gòu)(6)，上面板(601)，下面板(602)，驅(qū)動裝置(19)，其特征在于，所述的提升機構(gòu)(6)由兩個以上的提升單元并聯(lián)組成，所述的提升單元由兩個X型桁架通過鉸鏈連接，所述的驅(qū)動裝置(19)裝配在所述的鉸鏈連接處。
2、 如權(quán)利要求1所述的一種精密提升裝置，其特征在于，該裝置還包括 一個固定裝置，固定在下面板(602)上。
3、 如權(quán)利要求1所述的一種精密提升裝置，其特征在于，該裝置還包括 一個滾動裝置，固定在下面板(602)上。
4、 權(quán)利要求1所述的一種精密提升裝置，其特征在于，該裝置還包括一 個高度限位機構(gòu)，固定在承載板(4 )的一端。 '
5、 如權(quán)利要求4所述的一種精密提升裝置，其特征在于，所述的高度限 位機構(gòu)包括彈簧(23)、螺母(25)、螺桿(26),其中彈簧(23)和 螺母(25)套在螺桿(26)上，螺母(25)在彈簧(23)的上部。
6、 如權(quán)利要求4所述的一種精密提升裝置，其特征在于，所述高度限位 機構(gòu)的螺桿(26)的頂部安裝有橡膠端蓋(27)。
7、 如權(quán)利要求4所述的一種精密提升裝置，其特征在于，所述的高度限 位機構(gòu)中，橡膠端蓋(27)的頂面高于待安裝部件的上部安裝面。
8、 如權(quán)利要求1所述的一種精密提升裝置，其特征在于，所述的高度限 位機構(gòu)的螺桿(26)頂端安裝有一個接近開關(guān)。
9、 如權(quán)利要求2所述的一種精密提升裝置，其特征在于，所述的固定裝 置為真空吸附機構(gòu)或者螺栓連接固定裝置。
10、 如權(quán)利要求9所述的一種精密提升裝置，其特征在于，所述的真空吸 附機構(gòu)包括氣管(8)、彈簧(11)、滑桿(12)、吸附墊(13)、氣管(28),其中，吸附墊(13)安裝在滑桿(12)的一端，彈簧(ll)套 在滑桿(12)上，滑桿(12)固定在下面^反(602)上，第一氣管(8) 和第二氣管(28)與滑桿(12)的另一端相連。
11、 如權(quán)利要求1所述地一種精密提升裝置，其特征在于，所述的驅(qū)動裝 置(19)可以是手輪或者電動驅(qū)動裝置。
12、如權(quán)利要求3所述的一種精密提升裝置，其特征在于所述的滾動裝置 可以是鋼珠滾輪機構(gòu)(16)或者萬向腳輪裝置。
全文摘要
本發(fā)明為一種精密提升裝置，包括承載板(4)，提升機構(gòu)(6)，上面板(601)，下面板(602)，驅(qū)動裝置(19)，其中提升機構(gòu)(6)由兩個以上的提升單元并聯(lián)組成，所述的提升單元由兩個X型桁架通過鉸鏈連接，所述的驅(qū)動裝置(19)裝配在所述的鉸鏈連接處。該裝置體積小，靈活性好，并且也更加穩(wěn)定，移動方便，適用于精密儀器的安裝提升。
文檔編號B66F7/06GK101164859SQ20071004558
公開日2008年4月23日 申請日期2007年9月4日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月4日
發(fā)明者嚴(yán)天宏, 肖可云, 袁志揚 申請人:上海微電子裝備有限公司