專利名稱：擴(kuò)散系統(tǒng)中的懸臂式推拉裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體器件及集成電路制造過(guò)程中用于對(duì)硅片進(jìn)行工藝處理的擴(kuò)散系統(tǒng)中的懸臂式推拉裝置。
背景技術(shù)：
擴(kuò)散系統(tǒng)是在半導(dǎo)體器件及集成電路制造過(guò)程中用于對(duì)硅片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝處理的熱加工設(shè)備。擴(kuò)散系統(tǒng)主要包括擴(kuò)散爐及推拉裝置，擴(kuò)散爐用于對(duì)工件(即硅片)進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等處理，而所述的推拉裝置則是用于將工件送入擴(kuò)散爐中進(jìn)行加工，并在加工過(guò)程結(jié)束后將其從擴(kuò)散爐中取出。
目前，擴(kuò)散系統(tǒng)中使用的推拉裝置多為手動(dòng)推拉裝置，即人工將承載著硅片的裝置(通常稱為石英舟)沿石英管送入擴(kuò)散爐內(nèi)腔中進(jìn)行相應(yīng)的工藝處理，處理完成后，再人工將承載著硅片的裝置沿石英管從擴(kuò)散爐中取出。在擴(kuò)散爐中對(duì)硅片進(jìn)行熱加工處理的過(guò)程中，通常要求整個(gè)硅片各點(diǎn)均勻受熱，且在升溫的過(guò)程中也同樣要求均勻升溫，否則將無(wú)法生產(chǎn)出符合質(zhì)量要求的硅片。然而，現(xiàn)有技術(shù)中采用的人工推拉裝置在應(yīng)用過(guò)程中，人工往往無(wú)法保證硅片以均勻的速度進(jìn)入擴(kuò)散爐中，如果硅片不能以均勻的速度進(jìn)入擴(kuò)散爐，則上述均勻受熱、均勻升溫的要求便無(wú)法滿足。因此，這種手動(dòng)推拉裝置的應(yīng)用最終的結(jié)果就是無(wú)法生產(chǎn)出質(zhì)量較佳的產(chǎn)品。
另外現(xiàn)有的推拉裝置將硅片送入擴(kuò)散爐中及從擴(kuò)散爐中取出的過(guò)程中承載著硅片的舟是沿著擴(kuò)散爐的內(nèi)壁滑入的，這樣，在送入硅片或取出硅片時(shí)舟與擴(kuò)散爐內(nèi)壁間的磨擦將產(chǎn)生粉塵，對(duì)于加工過(guò)程環(huán)境要求較高的硅片加工過(guò)程來(lái)說(shuō)，這些粉塵足以影響產(chǎn)品的質(zhì)量。
綜上所述，就要求設(shè)計(jì)一種操作簡(jiǎn)單、使用可靠、保證硅片以均勻的速度進(jìn)入擴(kuò)散爐中，能生產(chǎn)出質(zhì)量較佳的產(chǎn)品，同時(shí)在送入硅片或取出硅片時(shí)舟與擴(kuò)散爐內(nèi)壁間不產(chǎn)生磨擦，這樣就無(wú)粉塵，對(duì)于加工過(guò)程環(huán)境要求較高的硅片加工過(guò)程來(lái)說(shuō)，將很大提高產(chǎn)品的質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是設(shè)計(jì)一種擴(kuò)散系統(tǒng)中的懸臂式推拉裝置，操作簡(jiǎn)單、使用可靠、保證硅片以均勻的速度進(jìn)入擴(kuò)散爐中，能生產(chǎn)出質(zhì)量較佳的產(chǎn)品，同時(shí)在送入硅片或取出硅片時(shí)舟與擴(kuò)散爐內(nèi)壁間不產(chǎn)生磨擦，這樣就無(wú)粉塵，對(duì)于加工過(guò)程環(huán)境要求較高的硅片加工過(guò)程來(lái)說(shuō)，將很大提高產(chǎn)品的質(zhì)量。
本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的所述的一種擴(kuò)散系統(tǒng)中的懸臂式推拉裝置，其特征在于由懸臂式槳、夾持裝置與推拉機(jī)構(gòu)組成；懸臂式槳為一支撐臂僅后端由夾持裝置夾住；夾持裝置固定于推拉機(jī)構(gòu)的移動(dòng)部件上。
所述的夾持裝置由夾持體、壓塊及其聯(lián)接螺釘組成；聯(lián)接螺釘將壓塊固定于夾持體前端夾住懸臂式槳的支撐臂后端。
所述的擴(kuò)散系統(tǒng)中的懸臂式推拉裝置的結(jié)構(gòu)還包括位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述的位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由左右調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與上下調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)組成；左右調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由調(diào)節(jié)掛板、主調(diào)節(jié)螺釘、輔助調(diào)節(jié)螺釘、螺母塊、調(diào)節(jié)基板、及其固定螺釘組成；調(diào)節(jié)掛板固定于推拉機(jī)構(gòu)的移動(dòng)部件上，螺母塊用固定螺釘鉸接于調(diào)節(jié)基板上，主調(diào)節(jié)螺釘安裝于調(diào)節(jié)掛板中部，前端與螺母塊聯(lián)接，輔助調(diào)節(jié)螺釘安裝于主調(diào)節(jié)螺釘兩側(cè)調(diào)節(jié)掛板上，前端與調(diào)節(jié)基板側(cè)面接觸；上下調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由固定塊、外伸桿、調(diào)節(jié)手輪螺母、聯(lián)接支柱、定位螺母及其固定螺釘組成；固定塊將外伸桿通過(guò)固定螺釘固定于夾持體的中前部，外伸桿的伸出端設(shè)置有調(diào)節(jié)手輪螺母與調(diào)節(jié)基板上面接觸，聯(lián)接支柱下端固定在調(diào)節(jié)基板上，上端安裝于夾持體后端的孔中，在夾持體上下的聯(lián)接支柱上安裝有定位螺母。
所述的位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)在推拉機(jī)構(gòu)的移動(dòng)部件上還設(shè)置有限位機(jī)構(gòu)，限位機(jī)構(gòu)由立板、定位滾輪與固定螺釘組成，立板由固定螺釘安裝于推拉機(jī)構(gòu)的移動(dòng)部件上，定位滾輪用固定螺釘安裝于立板上，定位滾輪外圓面壓在調(diào)節(jié)基板上。
所述的推拉機(jī)構(gòu)由電機(jī)、聯(lián)軸器、旋轉(zhuǎn)-直線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)、移動(dòng)塊及底座組成；電機(jī)固定于底座上，電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸器與旋轉(zhuǎn)-直線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)相連；導(dǎo)向機(jī)構(gòu)由導(dǎo)桿、滑塊與直線軸承組成，導(dǎo)桿兩端固定于底座上，滑塊的孔中安裝直線軸承后套于導(dǎo)桿上，滑塊與移動(dòng)塊相連，移動(dòng)塊固定于旋轉(zhuǎn)-直線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上。
所述的旋轉(zhuǎn)-直線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)由軸承、軸承座、主軸與驅(qū)動(dòng)塊組成；主軸安裝于裝有軸承的軸承座上，軸承座固定于底座上，驅(qū)動(dòng)塊套于主軸上與移動(dòng)塊相連；驅(qū)動(dòng)塊由固定塊、活動(dòng)塊、滾輪、固定螺釘、墊圈、壓簧、調(diào)壓螺釘及銷(xiāo)釘組成；固定塊與活動(dòng)塊由銷(xiāo)釘定位通過(guò)壓簧與調(diào)壓螺釘聯(lián)接起來(lái)，固定塊與活動(dòng)塊相接觸面開(kāi)有缺口組成適合主軸通過(guò)的孔，在孔的兩側(cè)分別用固定螺釘固定有三個(gè)滾輪，滾輪與固定塊或活動(dòng)塊間裝有墊圈；固定塊還與移動(dòng)塊相連。
所述的旋轉(zhuǎn)-直線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)也可以為絲杠-螺母?jìng)鲃?dòng)，還可以為齒輪-齒條傳動(dòng)。
所述的擴(kuò)散系統(tǒng)中的懸臂式推拉裝置的結(jié)構(gòu)還包括爐門(mén)裝置，所述的爐門(mén)裝置由固定支撐座、爐門(mén)支撐軸、外爐門(mén)、限位擋圈、內(nèi)爐門(mén)、爐門(mén)挑桿及其彈簧和緊固件組成；固定支撐座固定于夾持裝置的夾持體上，爐門(mén)支撐軸后端固定于固定支撐座上，爐門(mén)支撐軸中部位置由后向前安裝有彈簧、外爐門(mén)與限位擋圈，爐門(mén)支撐軸前端通過(guò)爐門(mén)挑桿安裝有內(nèi)爐門(mén)和彈簧。
所述的爐門(mén)支撐軸前端為中空管狀，內(nèi)爐門(mén)安裝于爐門(mén)挑桿前端，爐門(mén)挑桿伸入爐門(mén)支撐軸前端管中，并在爐門(mén)挑桿與爐門(mén)支撐軸間設(shè)有彈簧。
所述的內(nèi)爐門(mén)上還設(shè)置有排氣管。
由上述方案可以得知，本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)由懸臂式槳、夾持裝置、位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、推拉機(jī)構(gòu)與爐門(mén)裝置組成；懸臂式槳為一支撐臂僅后端由夾持裝置夾住；夾持裝置位于位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上，夾持裝置與位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上固定于推拉機(jī)構(gòu)的移動(dòng)部件上，爐門(mén)裝置固定于位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上。由于是懸臂式結(jié)構(gòu)，在送入硅片或取出硅片時(shí)舟與擴(kuò)散爐內(nèi)壁間不產(chǎn)生磨擦，這樣就無(wú)粉塵，對(duì)于加工過(guò)程環(huán)境要求較高的硅片加工過(guò)程來(lái)說(shuō)，將很大提高產(chǎn)品的質(zhì)量。夾持裝置固定于位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上隨推拉機(jī)構(gòu)一同移動(dòng)。實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)化，操作簡(jiǎn)單、使用可靠、保證硅片以均勻的速度進(jìn)入擴(kuò)散爐中，能生產(chǎn)出質(zhì)量較佳的產(chǎn)品。


圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖的主視圖；圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖的府視圖；圖3為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖的左視圖；圖4為本實(shí)用新型驅(qū)動(dòng)塊的結(jié)構(gòu)示意圖的主視圖；圖5為本實(shí)用新型驅(qū)動(dòng)塊的結(jié)構(gòu)示意圖的府視圖；圖6為本實(shí)用新型驅(qū)動(dòng)塊的結(jié)構(gòu)示意圖的A-A視圖；圖7為本實(shí)用新型驅(qū)動(dòng)塊的結(jié)構(gòu)示意圖的B-B視圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
結(jié)合附圖敘述如下如圖1、圖2與圖3擴(kuò)散系統(tǒng)中的懸臂式推拉裝置，其結(jié)構(gòu)由懸臂式槳1、夾持裝置、位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、推拉機(jī)構(gòu)與爐門(mén)裝置組成；懸臂式槳1為一支撐臂僅后端由夾持裝置夾?。粖A持裝置位于位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上，夾持裝置與位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上固定于推拉機(jī)構(gòu)的移動(dòng)部件上，爐門(mén)裝置固定于位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上。
其中夾持裝置由夾持體2、壓塊3及其聯(lián)接螺釘組成；聯(lián)接螺釘將壓塊3固定于夾持體2前端夾住懸臂式槳1的支撐臂后端。支撐臂的前端放硅片，在送入硅片或取出硅片時(shí)舟與擴(kuò)散爐內(nèi)壁間不產(chǎn)生磨擦，這樣就無(wú)粉塵，對(duì)于加工過(guò)程環(huán)境要求較高的硅片加工過(guò)程來(lái)說(shuō)，將很大提高產(chǎn)品的質(zhì)量。
其中位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由左右調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與上下調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)組成。
左右調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由調(diào)節(jié)掛板4、主調(diào)節(jié)螺釘5、輔助調(diào)節(jié)螺釘6、螺母塊7、調(diào)節(jié)基板8、及其固定螺釘組成；調(diào)節(jié)掛板4固定于推拉機(jī)構(gòu)的移動(dòng)部件上，螺母塊7用固定螺釘鉸接于調(diào)節(jié)基板8上，主調(diào)節(jié)螺釘5安裝于調(diào)節(jié)掛板4中部前端與螺母塊7聯(lián)接，輔助調(diào)節(jié)螺釘6安裝于主調(diào)節(jié)螺釘5兩側(cè)調(diào)節(jié)掛板4上，前端與調(diào)節(jié)基板8側(cè)面接觸；這樣同時(shí)將主調(diào)節(jié)螺釘5與輔助調(diào)節(jié)螺釘6向一個(gè)方向等量調(diào)節(jié)就可以使夾持體2在調(diào)節(jié)基板8上左右移動(dòng)，而隨意調(diào)節(jié)主調(diào)節(jié)螺釘5與輔助調(diào)節(jié)螺釘6可獲得夾持體2與調(diào)節(jié)基板8的包括相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)的不同相對(duì)位置。
上下調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由固定塊9、外伸桿10、調(diào)節(jié)手輪螺母11、聯(lián)接支柱12、定位螺母13及其固定螺釘組成；固定塊9將外伸桿10通過(guò)固定螺釘固定于夾持體2的中前部，外伸桿10的伸出端設(shè)置有調(diào)節(jié)手輪螺母11與調(diào)節(jié)基板8上面接觸，聯(lián)接支柱12下端固定在調(diào)節(jié)基板8上，上端安裝于夾持體2后端的孔中，在夾持體2上下的聯(lián)接支柱12上安裝有定位螺母13；這里轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)手輪螺釘11與定位螺母13可以使夾持體2上下移動(dòng)，移動(dòng)至合適位置后用定位螺母13將夾持體2定位，當(dāng)然控制調(diào)節(jié)手輪螺母11與定位螺母13的不同高度可以得到夾持體2的不同仰角。
另外，位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)在推拉機(jī)構(gòu)的移動(dòng)部件上還設(shè)置有限位機(jī)構(gòu)，限位機(jī)構(gòu)由立板14、定位滾輪15與固定螺釘組成，立板14由固定螺釘安裝于推拉機(jī)構(gòu)的移動(dòng)部件上，定位滾輪15用固定螺釘安裝于立板14上，定位滾輪15外圓面壓在調(diào)節(jié)基板8上，防止調(diào)節(jié)基板8及上面安裝的部件傾翻。
其中推拉機(jī)構(gòu)由電機(jī)16、聯(lián)軸器17、旋轉(zhuǎn)-直線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)、移動(dòng)塊18及底座19組成；電機(jī)16固定于底座19上，電機(jī)16通過(guò)聯(lián)軸器17與旋轉(zhuǎn)-直線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，用來(lái)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)-直線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)；導(dǎo)向機(jī)構(gòu)由導(dǎo)桿20、滑塊21與直線軸承22組成，導(dǎo)桿20兩端固定于底座19上，滑塊21的孔中安裝直線軸承22后套于導(dǎo)桿20上，滑塊21與移動(dòng)塊18相連，移動(dòng)塊18固定于旋轉(zhuǎn)-直線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上，這樣電機(jī)工作可帶動(dòng)移動(dòng)塊18沿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)作直線運(yùn)動(dòng)。
其中旋轉(zhuǎn)-直線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)由軸承23、軸承座24、主軸25與驅(qū)動(dòng)塊組成；主軸25上裝有軸承23裝于軸承座24上，軸承座24固定于底座19上，驅(qū)動(dòng)塊套于主軸25上與移動(dòng)塊18相連；如圖4、圖5、圖6與圖7驅(qū)動(dòng)塊由固定塊26、活動(dòng)塊27、滾輪28、固定螺釘29、墊圈30、壓簧31、調(diào)壓螺釘32及銷(xiāo)釘33組成；固定塊26與活動(dòng)塊27由銷(xiāo)釘33定位，通過(guò)壓簧31與調(diào)壓螺釘32聯(lián)接起來(lái)，固定塊26與活動(dòng)塊27相接觸面開(kāi)有缺口組成適合主軸25通過(guò)的孔，在孔的兩側(cè)合適的位置分別用固定螺釘29成一定角度固定有三個(gè)滾輪28，滾輪28與固定塊26或活動(dòng)塊27間裝有墊圈30；固定塊26還與移動(dòng)塊18相連。這樣主軸25旋轉(zhuǎn)與滾輪28產(chǎn)生摩擦，由于滾輪28與主軸25有一定的空間角度，在滾輪28產(chǎn)生一個(gè)軸向的分力，使驅(qū)動(dòng)塊直線運(yùn)動(dòng)。進(jìn)而可帶動(dòng)移動(dòng)塊18沿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)作直線運(yùn)動(dòng)?？梢哉{(diào)整調(diào)壓螺釘32來(lái)改變壓簧31對(duì)主軸25的壓力，確保推拉裝置全程運(yùn)行平穩(wěn)、可靠。另外，所述的旋轉(zhuǎn)-直線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)也可以為絲杠-螺母?jìng)鲃?dòng)，還可以為齒輪-齒條傳動(dòng)，由于這兩種的傳動(dòng)方式比較普遍，一般技術(shù)人員不經(jīng)過(guò)創(chuàng)新都可以完成，就不再詳細(xì)敘述。
其中爐門(mén)裝置由固定支撐座34、爐門(mén)支撐軸35、外爐門(mén)36、限位擋圈37、內(nèi)爐門(mén)38、爐門(mén)挑桿39及其彈簧和緊固件組成；固定支撐座34固定于分立夾持裝置的夾持體2上，爐門(mén)支撐軸35后端固定于固定支撐座34上，爐門(mén)支撐軸35中部合適位置由后向前安裝有彈簧、外爐門(mén)36與限位擋圈37，爐門(mén)支撐軸35前端通過(guò)爐門(mén)挑桿39固定有內(nèi)爐門(mén)38和彈簧。由于裝有彈簧實(shí)現(xiàn)了外爐門(mén)36與內(nèi)爐門(mén)38與爐體的柔性接觸，避免損壞設(shè)備。這里內(nèi)爐門(mén)38上還設(shè)置有排氣管40，可保持爐體內(nèi)外的壓力平衡。
上述的述的爐門(mén)支撐軸35前端可以為中空管狀，內(nèi)爐門(mén)38安裝于爐門(mén)挑桿39前端，爐門(mén)挑桿39后端伸入爐門(mén)支撐軸35前端管中，爐門(mén)挑桿39與爐門(mén)支撐軸35間設(shè)有彈簧。
工作時(shí)，將裝有工件的石英舟放在懸臂式槳1上，電機(jī)16通過(guò)旋轉(zhuǎn)-直線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上的懸臂式槳1向前移動(dòng)將工件送入爐體中。外爐門(mén)36與內(nèi)爐門(mén)38將爐體封住。進(jìn)行工藝處理，工藝處理結(jié)束后，電機(jī)16通過(guò)旋轉(zhuǎn)-直線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上的懸臂式槳1向后移動(dòng)將工件退出爐體。
以上所述，僅為本實(shí)用新型較佳的具體實(shí)施方式
，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書(shū)的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種擴(kuò)散系統(tǒng)中的懸臂式推拉裝置，其特征在于由懸臂式槳(1)、夾持裝置與推拉機(jī)構(gòu)組成；懸臂式槳(1)為一支撐臂僅后端由夾持裝置夾??；夾持裝置固定于推拉機(jī)構(gòu)的移動(dòng)部件上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散系統(tǒng)中的懸臂式推拉裝置，其特征在于所述的夾持裝置由夾持體(2)、壓塊(3)及其聯(lián)接螺釘組成；聯(lián)接螺釘將壓塊(3)固定于夾持體(2)前端夾住懸臂式槳(1)的支撐臂后端。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散系統(tǒng)中的懸臂式推拉裝置，其特征在于還包括位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述的位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由左右調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與上下調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)組成；左右調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由調(diào)節(jié)掛板(4)、主調(diào)節(jié)螺釘(5)、輔助調(diào)節(jié)螺釘(6)、螺母塊(7)、調(diào)節(jié)基板(8)、及其固定螺釘組成；調(diào)節(jié)掛板(4)固定于推拉機(jī)構(gòu)的移動(dòng)部件上，螺母塊(7)用固定螺釘鉸接于調(diào)節(jié)基板(8)上，主調(diào)節(jié)螺釘(5)安裝于調(diào)節(jié)掛板(4)中部，前端與螺母塊(7)聯(lián)接，輔助調(diào)節(jié)螺釘(6)安裝于主調(diào)節(jié)螺釘(5)兩側(cè)調(diào)節(jié)掛板(4)上，前端與調(diào)節(jié)基板(8)側(cè)面接觸；上下調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由固定塊(9)、外伸桿(10)、調(diào)節(jié)手輪螺母(11)、聯(lián)接支柱(12)、定位螺母(13)及其固定螺釘組成；固定塊(9)將外伸桿(10)通過(guò)固定螺釘固定于夾持體(2)的中前部，外伸桿(10)的伸出端設(shè)置有調(diào)節(jié)手輪螺母(11)與調(diào)節(jié)基板(8)上面接觸，聯(lián)接支柱(12)下端固定在調(diào)節(jié)基板(8)上，上端安裝于夾持體(2)后端的孔中，在夾持體(2)上下的聯(lián)接支柱(12)上安裝有定位螺母(13)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的擴(kuò)散系統(tǒng)中的懸臂式推拉裝置，其特征在于所述的位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)在推拉機(jī)構(gòu)的移動(dòng)部件上還設(shè)置有限位機(jī)構(gòu)，限位機(jī)構(gòu)由立板(14)、定位滾輪(15)與固定螺釘組成，立板(14)由固定螺釘安裝于推拉機(jī)構(gòu)的移動(dòng)部件上，定位滾輪(15)用固定螺釘安裝于立板(14)上，定位滾輪(15)外圓面壓在調(diào)節(jié)基板(8)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散系統(tǒng)中的懸臂式推拉裝置，其特征在于所述的推拉機(jī)構(gòu)由電機(jī)(16)、聯(lián)軸器(17)、旋轉(zhuǎn)-直線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)、移動(dòng)塊(18)及底座(19)組成；電機(jī)(16)固定于底座(19)上，電機(jī)(16)通過(guò)聯(lián)軸器(17)與旋轉(zhuǎn)-直線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)相連；導(dǎo)向機(jī)構(gòu)由導(dǎo)桿(20)、滑塊(21)與直線軸承(22)組成，導(dǎo)桿(20)兩端固定于底座(19)上，滑塊(21)的孔中安裝直線軸承(22)后套于導(dǎo)桿(20)上，滑塊(21)與移動(dòng)塊(18)相連，移動(dòng)塊(18)固定于旋轉(zhuǎn)-直線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的擴(kuò)散系統(tǒng)中的懸臂式推拉裝置，其特征在于所述的旋轉(zhuǎn)-直線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)由軸承(23)、軸承座(24)、主軸(25)與驅(qū)動(dòng)塊組成；主軸(25)安裝于裝有軸承(23)的軸承座(24)上，軸承座(24)固定于底座(19)上，驅(qū)動(dòng)塊套于主軸(25)上與移動(dòng)塊(18)相連；驅(qū)動(dòng)塊由固定塊(26)、活動(dòng)塊(27)、滾輪(28)、固定螺釘(29)、墊圈(30)、壓簧(31)、調(diào)壓螺釘(32)及銷(xiāo)釘(33)組成；固定塊(26)與活動(dòng)塊(27)由銷(xiāo)釘(33)定位通過(guò)壓簧(31)與調(diào)壓螺釘(32)聯(lián)接起來(lái)，固定塊(26)與活動(dòng)塊(27)相接觸面開(kāi)有缺口組成適合主軸(25)通過(guò)的孔，在孔的兩側(cè)分別用固定螺釘(29)固定有三個(gè)滾輪(28)，滾輪(28)與固定塊(26)或活動(dòng)塊(27)間裝有墊圈(30)；固定塊(26)還與移動(dòng)塊(18)相連。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的擴(kuò)散系統(tǒng)中的懸臂式推拉裝置，其特征在于所述的旋轉(zhuǎn)-直線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)也可以為絲杠-螺母?jìng)鲃?dòng)，還可以為齒輪-齒條傳動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散系統(tǒng)中的懸臂式推拉裝置，其特征在于還包括爐門(mén)裝置，所述的爐門(mén)裝置由固定支撐座(34)、爐門(mén)支撐軸(35)、外爐門(mén)(36)、限位擋圈(37)、內(nèi)爐門(mén)(38)、爐門(mén)挑桿(39)及其彈簧和緊固件組成；固定支撐座(34)固定于夾持裝置的夾持體(2)上，爐門(mén)支撐軸(35)后端固定于固定支撐座(34)上，爐門(mén)支撐軸(35)中部位置由后向前安裝有彈簧、外爐門(mén)(36)與限位擋圈(37)，爐門(mén)支撐軸(35)前端通過(guò)爐門(mén)挑桿(39)安裝有內(nèi)爐門(mén)(38)和彈簧。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或8所述的擴(kuò)散系統(tǒng)中的懸臂式推拉裝置，其特征在于所述的爐門(mén)支撐軸(35)前端為中空管狀，內(nèi)爐門(mén)(38)安裝于爐門(mén)挑桿(39)前端，爐門(mén)挑桿(39)伸入爐門(mén)支撐軸(35)前端管中，并在爐門(mén)挑桿(39)與爐門(mén)支撐軸(35)間設(shè)有彈簧。
10.根據(jù)權(quán)利要求1或8所述的擴(kuò)散系統(tǒng)中的懸臂式推拉裝置，其特征在于所述的內(nèi)爐門(mén)(38)上還設(shè)置有排氣管(40)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種擴(kuò)散系統(tǒng)中的懸臂式推拉裝置，其結(jié)構(gòu)由懸臂式槳、夾持裝置、位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、推拉機(jī)構(gòu)與爐門(mén)裝置組成；懸臂式槳為一支撐臂僅后端由夾持裝置夾??；夾持裝置位于位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上，夾持裝置與位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上固定于推拉機(jī)構(gòu)的移動(dòng)部件上，爐門(mén)裝置固定于位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上。由于是懸臂式結(jié)構(gòu)，在送入硅片或取出硅片時(shí)舟與擴(kuò)散爐內(nèi)壁間不產(chǎn)生摩擦，這樣就無(wú)粉塵，對(duì)于加工過(guò)程環(huán)境要求較高的硅片加工過(guò)程來(lái)說(shuō)，將很大提高產(chǎn)品的質(zhì)量。夾持裝置固定于位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上隨推拉機(jī)構(gòu)一同移動(dòng)。實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)化，操作簡(jiǎn)單、使用可靠、保證硅片以均勻的速度進(jìn)入擴(kuò)散爐中，能生產(chǎn)出質(zhì)量較佳的產(chǎn)品。
文檔編號(hào)C30B31/14GK2661712SQ20032010170
公開(kāi)日2004年12月8日 申請(qǐng)日期2003年10月24日 優(yōu)先權(quán)日2003年10月24日
發(fā)明者王茂林, 趙學(xué)文 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司