專利名稱:靜電屏蔽袋膜以及靜電屏蔽袋的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型揭示了一種靜電屏蔽袋膜，所述靜電屏蔽袋膜為多層結(jié)構(gòu)，所述靜電屏蔽袋膜的內(nèi)層為熱封層，所述靜電屏蔽袋膜的外層為雙向拉伸聚丙烯薄膜，所述熱封層和雙向拉伸聚丙烯薄膜之間設(shè)置有金屬層。本實(shí)用新型還提供一種靜電屏蔽袋，所述靜電屏蔽袋所述靜電屏蔽袋膜圍繞形成一密封腔，所述熱封層為所述密封腔的內(nèi)壁。所述靜電屏蔽袋膜能夠提高靜電屏蔽袋的拉伸性能以及抗刺穿性，可以有效地提高靜電屏蔽袋的強(qiáng)度。
【專利說明】靜電屏蔽袋膜以及靜電屏蔽袋

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及防靜電【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種靜電屏蔽袋膜以及靜電屏蔽袋。

【背景技術(shù)】
[0002]目前，隨著現(xiàn)代工業(yè)的不斷發(fā)展，防靜電危害問題日益受到關(guān)注和重視。在紡織、造紙、印刷、微電子技術(shù)、計(jì)算機(jī)、膠片制造、塑料化工以及交通運(yùn)輸?shù)炔块T中，靜電不僅影響產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)的正常進(jìn)行，嚴(yán)重情況下，甚至造成故障，產(chǎn)品報(bào)廢，以至發(fā)生爆炸與火災(zāi)。例如，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，制備好的晶圓需要放在晶圓盒中，以便于運(yùn)輸。在運(yùn)輸過程中，晶圓盒收到摩擦、撞擊、外界電場和磁場的影響，容易產(chǎn)生靜電，導(dǎo)致晶圓的電性能收到影響。
[0003]在現(xiàn)有技術(shù)中，為了避免靜電影響，一般需要將晶圓盒防止于靜電屏蔽袋中，靜電屏蔽袋一般由靜電屏蔽袋膜熱封形成。然而，現(xiàn)有的靜電屏蔽袋膜的強(qiáng)度不夠，靜電屏蔽袋在運(yùn)輸?shù)倪^程中，容易出現(xiàn)破損、劃痕等現(xiàn)象，特別是棱角的地方，從而不能對所述晶圓起到良好的防靜電保護(hù)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型的目的在于，提供一種靜電屏蔽袋膜以及靜電屏蔽袋，能夠提高靜電屏蔽袋的拉伸性能以及抗刺穿性，可以有效地提高靜電屏蔽袋的強(qiáng)度。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種靜電屏蔽袋膜，所述靜電屏蔽袋膜為多層結(jié)構(gòu)，所述靜電屏蔽袋膜的內(nèi)層為熱封層，所述靜電屏蔽袋膜的外層為雙向拉伸聚丙烯薄膜，所述熱封層和雙向拉伸聚丙烯薄膜之間設(shè)置有金屬層。
[0006]進(jìn)一步的，所述靜電屏蔽袋膜還包括一拉伸增強(qiáng)層，所述拉伸增強(qiáng)層位于所述熱封層和雙向拉伸聚丙烯薄膜之間。
[0007]進(jìn)一步的，所述拉伸增強(qiáng)層位于所述熱封層和金屬層之間。
[0008]進(jìn)一步的，所述拉伸增強(qiáng)層位于所述雙向拉伸聚丙烯薄膜和金屬層之間。
[0009]進(jìn)一步的，所述拉伸增強(qiáng)層的厚度為0.005mm?0.05_。
[0010]進(jìn)一步的，所述熱封層的厚度為0.0lmm?0.5mm。
[0011]進(jìn)一步的，所述金屬層的厚度為0.0Olmm?0.02mm。
[0012]進(jìn)一步的，所述雙向拉伸聚丙稀薄膜的厚度為0.0Olmm?0.05mm。
[0013]根據(jù)本實(shí)用新型的另一面，還提供一種靜電屏蔽袋，用于將一晶圓盒裝入所述靜電屏蔽袋中，其特征在于，所述靜電屏蔽袋由如上任意一項(xiàng)所述的靜電屏蔽袋膜圍繞形成一密封腔，所述晶圓盒放置于所述密封腔中，所述熱封層為所述密封腔的內(nèi)壁。
[0014]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的靜電屏蔽袋膜以及靜電屏蔽袋具有以下優(yōu)占.V.
[0015]在本實(shí)用新型提供的靜電屏蔽袋膜以及靜電屏蔽袋中，所述靜電屏蔽袋膜為多層結(jié)構(gòu)，所述靜電屏蔽袋膜的內(nèi)層為熱封層，所述靜電屏蔽袋膜的外層為雙向拉伸聚丙烯薄膜，所述熱封層和雙向拉伸聚丙烯薄膜之間設(shè)置有金屬層，所述金屬層可以有效地對晶圓盒中的晶圓進(jìn)行靜電保護(hù)；所述雙向拉伸聚丙烯薄膜中的聚丙烯分子鏈呈無規(guī)則排序，能夠有效提高所述靜電屏蔽袋膜在不同方向上的抗拉伸性能。

【附圖說明】

[0016]圖1為本實(shí)用新型第一實(shí)施例中靜電屏蔽袋膜的斷面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為雙向拉伸聚丙烯薄膜中的聚丙烯分子鏈的分布示意圖；
[0018]圖3為本實(shí)用新型第一實(shí)施例中靜電屏蔽袋的截面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖4為本實(shí)用新型第二實(shí)施例中靜電屏蔽袋膜的斷面結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0020]下面將結(jié)合示意圖對本實(shí)用新型的靜電屏蔽袋膜以及靜電屏蔽袋進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型，而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本實(shí)用新型的限制。
[0021]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0022]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實(shí)用新型。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0023]本實(shí)用新型的核心思想在于，提供一種靜電屏蔽袋膜，所述靜電屏蔽袋膜為多層結(jié)構(gòu)，所述靜電屏蔽袋膜的內(nèi)層為熱封層，所述靜電屏蔽袋膜的外層為雙向拉伸聚丙烯薄膜，所述熱封層和雙向拉伸聚丙烯薄膜之間設(shè)置有金屬層。所述金屬層可以有效地對晶圓盒中的晶圓進(jìn)行靜電保護(hù)；所述雙向拉伸聚丙烯薄膜中的聚丙烯分子鏈呈無規(guī)則排序，能夠有效提高所述靜電屏蔽袋膜在不同方向上的抗拉伸性能。
[0024]以下列舉所述靜電屏蔽袋膜以及靜電屏蔽袋的幾個(gè)實(shí)施例，以清楚說明本實(shí)用新型的內(nèi)容，應(yīng)當(dāng)明確的是，本實(shí)用新型的內(nèi)容并不限制于以下實(shí)施例，其他通過本領(lǐng)域普通技術(shù)人員的常規(guī)技術(shù)手段的改進(jìn)亦在本實(shí)用新型的思想范圍之內(nèi)。
[0025]第一實(shí)施例
[0026]在本實(shí)施例中，所述靜電屏蔽袋膜包括一拉伸增強(qiáng)層，所述拉伸增強(qiáng)層可以進(jìn)一步提高所述靜電屏蔽袋膜的強(qiáng)度，所述拉伸增強(qiáng)層位于所述熱封層和金屬層之間。具體的，請參考圖1和圖2，其中，圖1為本實(shí)用新型第一實(shí)施例中靜電屏蔽袋膜的斷面結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為雙向拉伸聚丙烯薄膜中的聚丙烯分子鏈的分布示意圖。
[0027]如圖1所示，所述靜電屏蔽袋膜I為多層結(jié)構(gòu)，即為復(fù)合薄膜結(jié)構(gòu)。在本實(shí)施例中，所述靜電屏蔽袋膜I為四層結(jié)構(gòu)的復(fù)合薄膜，其內(nèi)層為熱封層11，在所述熱封層11上覆蓋有拉伸增強(qiáng)層12，所述拉伸增強(qiáng)層12上有金屬層13，所述金屬層13外覆蓋有雙向拉伸聚丙稀薄膜(Biaxially Oriented Polypropylene，簡稱B0PP) 14，所述雙向拉伸聚丙稀薄膜的材料為現(xiàn)有的雙向拉伸聚丙烯材料。
[0028]所述熱封層11為所述靜電屏蔽袋膜I的最內(nèi)層，當(dāng)將所述靜電屏蔽袋膜I制作為靜電屏蔽袋時(shí)，所述熱封層11折疊在里面，以便于熱封設(shè)備加熱封合。在本實(shí)施例中，所述熱封層11為現(xiàn)有的低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯混合的薄膜，低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯的薄膜可以很好地進(jìn)行熱封。在本實(shí)用新型的其它實(shí)施例中，所述熱封層11還可以為現(xiàn)有的低密度聚乙烯的薄膜、現(xiàn)有的線性低密度聚乙烯的薄膜或現(xiàn)有的未拉伸聚丙烯的薄膜等熔點(diǎn)不太高(不超過300°c，可以進(jìn)行熱封)的薄膜。較佳的，所述熱封層11的厚度為0.01mm?0.5mm,例如0.05mm、0.1mm.0.2mm、0.3mm.0.4mm等等，可以進(jìn)行有效地?zé)岱?，并可以保證所述靜電屏蔽袋的真空性。
[0029]在本實(shí)施例中，所述拉伸增強(qiáng)層12為現(xiàn)有的尼龍層，所述尼龍層具有抗擊穿、抗拉伸以及隔氧的作用，可以進(jìn)一步提高所述靜電屏蔽袋膜I的強(qiáng)度。在本實(shí)用新型的其它實(shí)施例中，所述拉伸增強(qiáng)層12并不限于為尼龍層，所述拉伸增強(qiáng)層12還可以為高密度聚丙烯薄膜等，只要是拉伸強(qiáng)度較高的薄膜，亦可以提高所述靜電屏蔽袋膜I的強(qiáng)度。較佳的，所述拉伸增強(qiáng)層12的厚度為0.005mm?0.05mm，例如0.01mm.0.02mm、0.03mm、0.04mm等等，可以有效提高靜電屏蔽袋膜I的強(qiáng)度，同時(shí)不會(huì)使得所述靜電屏蔽袋膜I過厚。
[0030]所述金屬層13用于靜電屏蔽、隔氧、防潮，在本實(shí)施例中，所述金屬層13為現(xiàn)有的鋁薄膜，鋁薄膜在在高分子薄膜上的延展性能較好，且可以對晶圓進(jìn)行有效地屏蔽。在本實(shí)用新型的其它實(shí)施例中，所述金屬層13還可以為鋁銅薄膜、銀薄膜、錫薄膜等等。較佳的，所述金屬層13的厚度為0.0Olmm?0.02mm,例如0.005mm、0.01mm、0.015mm等等。
[0031]所述雙向拉伸聚丙烯薄膜14位于為所述靜電屏蔽袋膜I的最外層，當(dāng)將所述靜電屏蔽袋膜I制作為靜電屏蔽袋時(shí)，所述雙向拉伸聚丙烯薄膜14暴露在外面。如圖2所示，所述雙向拉伸聚丙烯薄膜14中的聚丙烯分子鏈141呈無規(guī)則排序，從而能夠有效提高所述靜電屏蔽袋膜I在不同方向上的抗拉伸性能。較佳的，所述雙向拉伸聚丙烯薄膜14的厚度為 0.001mm ?0.05mm,例如 0.005mm、0.01mm、0.02mm、0.03mm、0.04mm 等等，可以有效地提高所述靜電屏蔽袋膜I的厚度。
[0032]如圖3所示，所述靜電屏蔽袋膜I可以制備用于裝一晶圓盒的所述靜電屏蔽袋10，所述靜電屏蔽袋10由所述靜電屏蔽袋膜I圍繞形成一密封腔101，所述晶圓盒放置于所述密封腔101中，所述熱封層11位于所述靜電屏蔽袋10的內(nèi)表面，所述熱封層11為所述密封腔101的內(nèi)壁，所述雙向拉伸聚丙烯薄膜14位于所述靜電屏蔽袋10的外表面。
[0033]在本實(shí)施例中，將所述晶圓盒放置于所述密封腔101中，當(dāng)所述靜電屏蔽袋膜I被拉伸或受力時(shí)，最外側(cè)的所述雙向拉伸聚丙烯薄膜14受力，無規(guī)則排序的聚丙烯分子鏈141使得所述雙向拉伸聚丙烯薄膜14不易破裂，從而保證所述熱封層11、拉伸增強(qiáng)層12和金屬層13均不破損，以保證所述靜電屏蔽袋膜I抗靜電保護(hù)能力。
[0034]本實(shí)施例的所述靜電屏蔽袋膜I的穿刺強(qiáng)度為200N以上，橫向伸長率為100%，而現(xiàn)有技術(shù)中的靜電屏蔽袋膜的穿刺強(qiáng)度僅為100N左右，橫向伸長率僅為50%左右，本實(shí)施例的所述靜電屏蔽袋膜I的強(qiáng)度明顯優(yōu)于現(xiàn)有技術(shù)中的靜電屏蔽袋膜。
[0035]第二實(shí)施例
[0036]請參閱圖4，其中，圖4為本實(shí)用新型第二實(shí)施例中靜電屏蔽袋膜的斷面結(jié)構(gòu)示意圖。在圖4中，參考標(biāo)號表不與圖1-圖3相同的表述與第一實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)。所述第二實(shí)施例的靜電屏蔽袋膜2與所述第一實(shí)施例的靜電屏蔽袋膜I基本相同，其區(qū)別在于:所述拉伸增強(qiáng)層12位于所述雙向拉伸聚丙烯薄膜14和金屬層13之間，所述拉伸增強(qiáng)層12亦可以進(jìn)一步提高所述靜電屏蔽袋膜2的強(qiáng)度。
[0037]本實(shí)施例的所述靜電屏蔽袋膜2亦可以制備所述靜電屏蔽袋10，將所述晶圓盒放置于所述密封腔101中，當(dāng)所述靜電屏蔽袋膜2被拉伸或受力時(shí)，最外側(cè)的所述雙向拉伸聚丙烯薄膜14受力，無規(guī)則排序的聚丙烯分子鏈141使得所述雙向拉伸聚丙烯薄膜14不易破裂，從而保證所述熱封層11、拉伸增強(qiáng)層12和金屬層13均不破損，以保證所述靜電屏蔽袋膜2抗靜電保護(hù)能力。
[0038]本實(shí)施例的所述靜電屏蔽袋膜2的穿刺強(qiáng)度為200N左右，橫向伸長率接近100%，而現(xiàn)有技術(shù)中的靜電屏蔽袋膜的穿刺強(qiáng)度僅為100N左右，橫向伸長率僅為50%左右，本實(shí)施例的所述靜電屏蔽袋膜2的強(qiáng)度明顯優(yōu)于現(xiàn)有技術(shù)中的靜電屏蔽袋膜。
[0039]本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例如上所述，但是，本實(shí)用新型的靜電屏蔽袋膜并不限于上述公開的范圍，例如，所述靜電屏蔽袋膜還可以不包括所述拉伸增強(qiáng)層12 ;并且，所述靜電屏蔽袋膜并不限于用于晶圓的靜電屏蔽，只要需要進(jìn)行靜電屏蔽的產(chǎn)品，均可采用本實(shí)用新型的靜電屏蔽袋膜。
[0040]綜上所述，本實(shí)用新型提供一種靜電屏蔽袋膜以及靜電屏蔽袋，所述靜電屏蔽袋膜為多層結(jié)構(gòu)，所述靜電屏蔽袋膜的內(nèi)層為熱封層，所述靜電屏蔽袋膜的外層為雙向拉伸聚丙烯薄膜，所述熱封層和雙向拉伸聚丙烯薄膜之間設(shè)置有金屬層。所述金屬層可以有效地對晶圓盒中的晶圓進(jìn)行靜電保護(hù)；所述雙向拉伸聚丙烯薄膜中的聚丙烯分子鏈呈無規(guī)則排序，能夠有效提高所述靜電屏蔽袋膜在不同方向上的抗拉伸性能。
[0041]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種靜電屏蔽袋膜，其特征在于，所述靜電屏蔽袋膜為多層結(jié)構(gòu)，所述靜電屏蔽袋膜的內(nèi)層為熱封層，所述靜電屏蔽袋膜的外層為雙向拉伸聚丙烯薄膜，所述熱封層和雙向拉伸聚丙烯薄膜之間設(shè)置有金屬層。2.如權(quán)利要求1所述的靜電屏蔽袋膜，其特征在于，所述靜電屏蔽袋膜還包括一拉伸增強(qiáng)層，所述拉伸增強(qiáng)層位于所述熱封層和雙向拉伸聚丙烯薄膜之間。3.如權(quán)利要求2所述的靜電屏蔽袋膜，其特征在于，所述拉伸增強(qiáng)層位于所述熱封層和金屬層之間。4.如權(quán)利要求2所述的靜電屏蔽袋膜，其特征在于，所述拉伸增強(qiáng)層位于所述雙向拉伸聚丙烯薄膜和金屬層之間。5.如權(quán)利要求1所述的靜電屏蔽袋膜，其特征在于，所述拉伸增強(qiáng)層的厚度為0.005mm ?0.05mm。6.如權(quán)利要求1所述的靜電屏蔽袋膜，其特征在于，所述熱封層的厚度為0.0lmm?0.5mmο7.如權(quán)利要求1所述的靜電屏蔽袋膜，其特征在于，所述金屬層的厚度為0.0Olmm?0.02mnu8.如權(quán)利要求1所述的靜電屏蔽袋膜，其特征在于，所述雙向拉伸聚丙烯薄膜的厚度為 0.0Olmm ?0.05mm。9.一種靜電屏蔽袋，用于將一晶圓盒裝入所述靜電屏蔽袋中，其特征在于，所述靜電屏蔽袋由如權(quán)利要求1至8中任意一項(xiàng)所述的靜電屏蔽袋膜圍繞形成一密封腔，所述晶圓盒放置于所述密封腔中，所述熱封層為所述密封腔的內(nèi)壁。
【文檔編號】B32B33-00GK204296142SQ201420766415
【發(fā)明者】程琳, 上官遨宇 [申請人]中芯國際集成電路制造(北京)有限公司