專利名稱：圖像拾取設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及如下的圖像拾取設(shè)備，該圖像拾取設(shè)備拍攝對(duì)象(諸如待測(cè)對(duì)象)的圖像以便將其顯示在顯示器上，并且適合用作例如用于拍攝樣本的圖像以便將其顯示在顯示器上以便被觀察的顯微鏡。
背景技術(shù)：
近來(lái)，已經(jīng)提出了能夠作為電子圖像顯示(包括在監(jiān)視器上縮放)從待測(cè)對(duì)象整體到細(xì)胞組織的形狀信息的數(shù)字顯微鏡。專利文獻(xiàn)I公開了連接(attach)利用高倍率和高分辨率獲得的多個(gè)拍攝的圖像以便形成待測(cè)對(duì)象的整體的圖像的虛擬顯微鏡。通常，針對(duì)待測(cè)對(duì)象的整體逐一地獲得具·有高倍率的圖像的圖像拾取方法花費(fèi)很多時(shí)間。在專利文獻(xiàn)2和專利文獻(xiàn)3中公開的顯微鏡系統(tǒng)中，雖然觀察的視場(chǎng)較大，但是制備高分辨率的物鏡。它們公開了制定圖像拾取單元·的配置以便以高速利用高倍率拍攝圖像的方法(設(shè)備)。通常，很難制備具有能夠針對(duì)廣視場(chǎng)來(lái)同時(shí)拍攝圖像的尺寸的圖像拾取元件。因此，在專利文獻(xiàn)2和專利文獻(xiàn)3中公開的顯微鏡系統(tǒng)中，多個(gè)圖像拾取元件被設(shè)置在圖像拾取單元中以便拍攝具有廣視場(chǎng)的圖像。在這些顯微鏡系統(tǒng)中，在拍攝圖像時(shí)樣本或者圖像拾取單元在一個(gè)平面中被驅(qū)動(dòng)多于一次，以便通過(guò)合成拍攝的圖像來(lái)形成整體圖像。因此，公開了作為圖像獲得從待測(cè)對(duì)象的整體到細(xì)胞組織的形狀信息的顯微鏡系統(tǒng)。引文列表專利文獻(xiàn)[PTL1]日本專利公開 No. 2008-510201[PTL2]日本專利公開 No. 2009-003016[PTL3]日本專利公開 No. 2009-06365
發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問(wèn)題當(dāng)多個(gè)圖像拾取元件被排列在圖像拾取表面上作為這些顯微鏡時(shí)，樣本(待測(cè)對(duì)象)的圖像也被形成在多個(gè)圖像拾取元件之間。通常，電氣基底或者機(jī)械單元被形成在圖像拾取元件之間。因此，當(dāng)與樣本有關(guān)的成像的光進(jìn)入電氣基底或者機(jī)械單元時(shí)，從電氣基底或者機(jī)械單元產(chǎn)生反射光或者散射光。這時(shí)的反射光或者散射光可以照射其它電氣基底、機(jī)械單元、圖像拾取光學(xué)系統(tǒng)的透鏡等，最后進(jìn)入圖像拾取元件。這時(shí)的反射光或者散射光對(duì)于拍攝樣本的圖像而言是不必要的光(有害光)，并且使得圖像質(zhì)量劣化。在顯微鏡系統(tǒng)中，強(qiáng)烈地期望利用高精度檢測(cè)待測(cè)對(duì)象的異常的部分，并且由有害光所引起的圖像質(zhì)量的劣化是要解決的主要問(wèn)題。本發(fā)明提供如下的圖像拾取設(shè)備，該圖像拾取設(shè)備能夠減少在布置多個(gè)圖像拾取元件以獲得和觀察圖像中由通過(guò)圖像拾取元件之間的非圖像拾取區(qū)域中的反射或者散射產(chǎn)生的有害光所引起的圖像質(zhì)量的劣化。問(wèn)題的解決方案本發(fā)明的圖像拾取設(shè)備包括光源單元；照明光學(xué)系統(tǒng)，被配置為將來(lái)自光源單元的光引導(dǎo)到待照射面上；樣本臺(tái)，被配置為將對(duì)象放置在待照射面上；圖像拾取光學(xué)系統(tǒng)，被配置為形成放置在 待照射面上的對(duì)象的圖像；圖像拾取元件部，通過(guò)在圖像拾取光學(xué)系統(tǒng)的像面上設(shè)置多個(gè)圖像拾取元件來(lái)配置；以及遮光部件，被配置為減少光進(jìn)入到?jīng)]有設(shè)置圖像拾取元件部的多個(gè)圖像拾取元件的區(qū)域。本發(fā)明的有利效果根據(jù)本發(fā)明，可以獲得如下的圖像拾取設(shè)備，該圖像拾取設(shè)備能夠減少在布置多個(gè)圖像拾取元件以獲得和觀察圖像中由通過(guò)圖像拾取元件之間的非圖像拾取區(qū)域中的反射或者散射產(chǎn)生的有害光所引起的圖像質(zhì)量的劣化。


圖I是描述本發(fā)明的圖像拾取設(shè)備的整體結(jié)構(gòu)的圖。圖2A是描述圖I中示出的電氣基底和圖像拾取元件的布置的圖。圖2B是描述圖I中示出的電氣基底和圖像拾取元件的布置的圖。圖3是描述圖I中示出的樣本單元中的待測(cè)對(duì)象的圖。圖4是描述圖I中示出的圖像拾取單元中的待測(cè)對(duì)象的圖像的圖。圖5A是描述圖I中的通過(guò)拍攝多個(gè)圖像獲取整體圖像的圖。圖5B是描述圖I中的通過(guò)拍攝多個(gè)圖像獲取整體圖像的圖。圖5C是描述圖I中的通過(guò)拍攝多個(gè)圖像獲取整體圖像的圖。圖是描述圖I中的通過(guò)拍攝多個(gè)圖像獲取整體圖像的圖。圖5E是描述圖I中的通過(guò)拍攝多個(gè)圖像獲取整體圖像的圖。圖5F是描述圖I中的通過(guò)拍攝多個(gè)圖像獲取整體圖像的圖。圖6A是描述圖I中的通過(guò)拍攝多個(gè)圖像獲取整體圖像的圖。圖6B是描述圖I中的通過(guò)拍攝多個(gè)圖像獲取整體圖像的圖。圖6C是描述圖I中的通過(guò)拍攝多個(gè)圖像獲取整體圖像的圖。圖6D是描述圖I中的通過(guò)拍攝多個(gè)圖像獲取整體圖像的圖。圖6E是描述圖I中的通過(guò)拍攝多個(gè)圖像獲取整體圖像的圖。圖6F是描述圖I中的通過(guò)拍攝多個(gè)圖像獲取整體圖像的圖。圖7A是描述圖I中的圖像拾取元件和遮光部件的布置的圖。圖7B是描述圖I中的圖像拾取元件和遮光部件的布置的圖。圖8是描述設(shè)置有遮光部件的圖像拾取設(shè)備的整體結(jié)構(gòu)的圖。圖9是描述根據(jù)圖像拾取元件的布置執(zhí)行照明的照明光學(xué)系統(tǒng)的圖。圖10是描述在本發(fā)明中的具有根據(jù)圖像拾取元件的布置執(zhí)行照明的照明光學(xué)系統(tǒng)和遮光部件的圖像拾取設(shè)備的整體結(jié)構(gòu)的圖。圖11是描述在圖像拾取單元中產(chǎn)生模糊時(shí)的樣本表面照度分布的圖。圖12是描述圖I中的圖像拾取單元的圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的圖像拾取設(shè)備包括光源單元10、照明光學(xué)系統(tǒng)20以及樣本臺(tái)，所述照明光學(xué)系統(tǒng)20將來(lái)自光源單元10的光引導(dǎo)到其上設(shè)置觀察對(duì)象32的待照射面上，所述樣本臺(tái)可在設(shè)置有觀察對(duì)象的該待照射面的平面中移動(dòng)。此外，圖像拾取設(shè)備包括對(duì)待照射面上的對(duì)象成像的圖像拾取光學(xué)系統(tǒng)40。另外，圖像拾取設(shè)備包括圖像拾取元件部(圖像拾取單元)50，在該圖像拾取元件部50中在圖像拾取光學(xué)系統(tǒng)40的像面上設(shè)置多個(gè)圖像拾取元件53。然后，防止光進(jìn)入其中沒有設(shè)置圖像拾取元件部50的多個(gè)圖像拾取元件53的區(qū)域的遮光部件被設(shè)置在圖像拾取元件部50的光入射側(cè)處的區(qū)域、待照射面或者相對(duì)于待照射面共軛的平面中的至少一個(gè)上。在本發(fā)明的圖像拾取設(shè)備中，在與光軸正交的平面中的圖像拾取元件部50、光接收部件60以及待照射面中的至少一個(gè)的相對(duì)位置被改變，以便拍攝待照射面上的對(duì)象的多個(gè)圖像。圖像拾取設(shè)備包括合成多個(gè)拍攝的圖像的圖像處理器61以及顯示通過(guò)圖像處理器61處理的圖像的圖像顯示器62。圖像拾取設(shè)備還包括存儲(chǔ)通過(guò)圖像處理器61處理的·圖像信息的存儲(chǔ)單元63。(第一實(shí)施例)圖I是在本發(fā)明的第一實(shí)施例中的使用透射式顯微鏡的圖像拾取設(shè)備的示意圖。在圖I中，圖像拾取設(shè)備I包括光源(光源單元)10、照明光學(xué)系統(tǒng)20、樣本單元30、圖像拾取光學(xué)系統(tǒng)40、以及圖像拾取單元50。圖像拾取設(shè)備I利用圖像拾取元件53拍攝樣本32的圖像。光源10發(fā)射光以便照射樣本單元30的樣本32，并且通過(guò)鹵素?zé)簟㈦瘹鉄?、LED等被配置。照明光學(xué)系統(tǒng)20包括光學(xué)部件20a和20b以及反射鏡25,所述光學(xué)部件20a和20b適當(dāng)?shù)厥箒?lái)自光源10的光的直徑成形以便將其引導(dǎo)到樣本單元30，所述反射鏡25將在水平方向上行進(jìn)的光學(xué)路徑彎曲到垂直方向。樣本單元30包括樣本臺(tái)31以及樣本32，該樣本臺(tái)31可在與光軸正交的平面中移動(dòng)。在圖I中，樣本32被示出為僅僅包括載玻片，但是實(shí)際上它通過(guò)載玻片、待測(cè)對(duì)象、蓋玻片等被一體化地配置。通過(guò)具有β倍的光學(xué)倍率的成像光學(xué)系統(tǒng)來(lái)配置圖像拾取光學(xué)系統(tǒng)40，該成像光學(xué)系統(tǒng)被用于通過(guò)圖像拾取單元50拍攝樣本32的圖像。樣本單元30和圖像拾取單元50 (更詳細(xì)地，樣本32和圖像拾取元件53)相對(duì)于圖像拾取光學(xué)系統(tǒng)40被設(shè)置為具有物面和像面的共軛關(guān)系。通過(guò)圖像拾取單元50獲得的圖像由圖像處理器61處理以便被顯示在圖像顯示器62上。存儲(chǔ)單元63存儲(chǔ)由圖像處理器61處理的圖像信息、顯示在圖像顯示器62上的圖像
信息等。圖像拾取單元50包括圖像拾取臺(tái)51、電氣基底52和多個(gè)圖像拾取元件53。多個(gè)圖像拾取元件53如圖2Α和圖2Β中所示出地被布置在電氣基底52上。圖3是描述作為觀察對(duì)象的待測(cè)對(duì)象33的圖。在樣本32中，作為觀察對(duì)象的待測(cè)對(duì)象33的圖像33a由圖像拾取光學(xué)系統(tǒng)40成像在圖像拾取單元50上，如圖4的虛線所指示的。多個(gè)圖像拾取元件53以相對(duì)于相應(yīng)的相鄰圖像拾取元件的間隔被設(shè)置在電氣基底52上。在拍攝圖像時(shí)，在樣本32或者圖像拾取單元50在與圖像拾取光學(xué)系統(tǒng)40的光軸垂直的平面中被相對(duì)地驅(qū)動(dòng)時(shí)拍攝多個(gè)圖像，并且基于交迭的部分來(lái)連接圖像以便形成樣本32的整體的所拍攝的圖像。例如，在圖5A到5F中，以矩陣的形式設(shè)置多個(gè)圖像拾取元件53，并且每當(dāng)樣本32在附圖中的傾斜的方向上被移位時(shí)拍攝圖像，以便連接拍攝的圖像。圖5A到5C示出在樣本32在與光軸垂直的X和Y方向上被移位了圖像拾取元件53的有效尺寸的一半時(shí)圖像拾取單元50中的圖像拾取元件53和待測(cè)對(duì)象33的圖像33a之間的關(guān)系。當(dāng)在圖5A的位置處拍攝第一圖像時(shí)，僅僅對(duì)待測(cè)對(duì)象33的圖像33a中的存在圖像拾取元件53的區(qū)域離散地成像，如圖中所示出的。隨后，當(dāng)樣本32被移位以便在圖5B的位置處拍攝第二圖像時(shí)，與先前獲得的圖像結(jié)合地對(duì)圖5E中示出的部分成像。最后，當(dāng)樣本32被進(jìn)一步移位以便將樣本32移動(dòng)到圖5C的位置來(lái)拍攝圖像并且該圖像與通過(guò)拍攝先前兩個(gè)圖像獲得的圖像交迭時(shí)，可以產(chǎn)生圖5F中示出的圖像拾取區(qū)域的整體的圖像。在本實(shí)施例中，也可以應(yīng)用如下的方法，在該方法中，如圖6A到6C中所示出的，以之字形布置方式設(shè)置多個(gè)圖像拾取元件53，并且如圖6D到6F中所示出的，每當(dāng)樣本32在 圖像拾取元件53的X方向上被移位了有效尺寸時(shí)拍攝圖像以便連接拍攝的圖像。在X方向上移動(dòng)樣本32時(shí)重復(fù)拍攝圖像中，圖像拾取元件53被設(shè)置為沿X方向觀看時(shí)被交迭以便連接圖像。描述如在圖6A到6F中示出的其中排列多個(gè)圖像拾取元件53的示例。在實(shí)施例中，待觀察的樣本32的視場(chǎng)是20mm X 20mm，并且光學(xué)倍率是10倍大。在該情況下，需要在圖像拾取單元50中拍攝200mmX200mm的區(qū)域的圖像。為了拍攝該區(qū)域的圖像，考慮其中使用具有有效面積24X 36mm的圖像拾取元件的情況?？紤]交迭部分具有作為圖像拾取元件53的尺寸的20%的尺寸以便連接圖像，圖像拾取元件53可以被交替地布置，使得在X方向上存在八個(gè)圖像拾取元件，并且相對(duì)于X方向在Y方向上存在三個(gè)或者四個(gè)圖像拾取元件，如圖7A中所示出的。在該情況下，真實(shí)的有效面積是在X方向上206. 4mm以及在Y方向上208. 8mm。在交迭部分被細(xì)微地調(diào)節(jié)從而在X方向上為22. 7%并且在Y方向上為24%時(shí)，可以形成期望的圖像拾取區(qū)域。在圖7A中，相對(duì)于圖像拾取元件53的X方向上的長(zhǎng)度DX以I. 2DX的間距在X方向上設(shè)置多個(gè)圖像拾取元件53。相對(duì)于Y方向上的長(zhǎng)度DY以I. 6DY的間距在Y方向上設(shè)置多個(gè)圖像拾取元件53。在X方向上排列的圖像拾取元件中的相鄰圖像拾取元件在Y方向上移位了 O. 8DY的間距。圖12是描述在該情況下的圖像拾取元件53的布置的圖。圖像拾取元件53在X方向上具有24mm的長(zhǎng)度并且在Y方向上具有36mm的長(zhǎng)度。圖像拾取元件53的X和Y方向上的長(zhǎng)度分別被表示為X和Y。在該情況下，以X方向上的I. 2X的間距和Y方向上的I. 6Y的間距來(lái)設(shè)置圖像拾取元件53。當(dāng)聚焦于X方向時(shí)，M行之后的圖像拾取元件被設(shè)置為位于L行的圖像拾取元件的中間處，并且還被設(shè)置為與圖像拾取元件之一在Y方向上交迭20%。當(dāng)聚焦于Y方向時(shí)，M行之后的圖像拾取元件與圖像拾取元件之一交迭20%。在圖12中，通過(guò)使用X和Y來(lái)指示每個(gè)圖像拾取元件的X和Y方向的位置關(guān)系。由虛線包圍的區(qū)域是通過(guò)使用多個(gè)圖像拾取元件獲得的合成圖像拾取區(qū)域。在圖12中，合成圖像拾取區(qū)域的尺寸如下。X 方向8. 6X=8. 6 X 24=206. 4 (mm)
Y 方向5. 8Y=5. 8 X 36=208. 8 (mm)在使用第一實(shí)施例的顯微鏡的圖像拾取設(shè)備中，如圖7B中所示出的遮光部件60被設(shè)置在光學(xué)路徑中使得來(lái)自樣本32的光僅僅進(jìn)入圖像拾取元件53。 在本實(shí)施例中，當(dāng)遮光部件被設(shè)置在光學(xué)路徑中時(shí)，該遮光部件具有通過(guò)開口部和遮光部配置的板(plate)形狀，該開口部是與多個(gè)圖像拾取元件接收光的有效光接收區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域，該遮光部是除開口區(qū)域以外的區(qū)域。具體地，光接收部件60包括光通過(guò)其的開口部60a和其中遮蔽光的光接收部60b。然而，由于存在根據(jù)成像次數(shù)X和Y方向反轉(zhuǎn)的情況，因此可以根據(jù)圖像拾取光學(xué)系統(tǒng)40適當(dāng)?shù)卦O(shè)置它。優(yōu)選的是，設(shè)置遮光部件60的位置是像面(其上設(shè)置圖像拾取元件53的平面)和與圖像拾取光學(xué)系統(tǒng)40或者照明光學(xué)系統(tǒng)20的像面共軛的平面中的至少一個(gè)的位置。作為與像面共軛的平面，存在除圖像拾取光學(xué)系統(tǒng)的成像面以外的成像面或者物面(其上設(shè)置樣本32的平面)。如果遮光部件60的遮光部60b完全地吸收光，則該遮光部件可以被設(shè)置在像面上。當(dāng)遮光部件60被設(shè)置在除像面以外的位置處時(shí)，其尺寸需要通過(guò)考慮對(duì)于圖像拾取單元50的光學(xué)倍率來(lái)被確定。
例如，當(dāng)遮光部件60被設(shè)置在樣本單元30中時(shí)，圖像拾取光學(xué)系統(tǒng)40的成像倍率被設(shè)定為β。在該情況下，可以設(shè)置遮光部件60的整體的尺寸、開口部60a和遮光部60b的尺寸以及開口部60a的間隔全部被放大l/β倍的遮光部件60。通過(guò)遮光部件60減少進(jìn)入圖像拾取元件53的外圍的光。因此，進(jìn)入在圖像拾取元件53的外圍處提供的電氣基底52的光被反射，并且被其它部件進(jìn)一步反射以便減少進(jìn)入圖像拾取元件53的光斑(flare)，并且結(jié)果圖像質(zhì)量的劣化被減少。到樣本32的照明光可以被設(shè)定為與圖像拾取元件53對(duì)應(yīng)，而不是遮蔽成像光。為了被離散地照射，遮光部件可以被設(shè)置在照明光學(xué)系統(tǒng)20中的與待照射面32共軛的平面上。圖8是遮光部件被提供在照明光學(xué)系統(tǒng)20的光學(xué)路徑中時(shí)的主要部分的示意圖。相對(duì)于成像光學(xué)系統(tǒng)24和26，樣本32和平面27具有共軛關(guān)系。當(dāng)共軛面27和待照射面(其上設(shè)置樣本32的平面)的光學(xué)倍率是β ’時(shí)，可以在共軛面27上設(shè)置具有其中遮光部件60的整體的尺寸、開口的尺寸以及開口部60a的間隔等全部被放大1/(β X β ’)倍的形狀的遮光部件60。在該情況下，在樣本單元30和遮光部件60中的至少一個(gè)在與光軸垂直的平面中移動(dòng)時(shí)拍攝圖像?？商娲兀谡诠獠考?0和圖像拾取單元50在與光軸垂直的平面中移動(dòng)時(shí)也可以拍攝圖像。然而，在該情況下，遮光部件60的移動(dòng)量相對(duì)于圖像拾取單元50的移動(dòng)量是1/(β X β ’)。在本實(shí)施例中，還可以在光學(xué)路徑中設(shè)置兩個(gè)或更多個(gè)遮光部件。根據(jù)該配置，可以有效地減少有害光。(第二實(shí)施例)在使用本發(fā)明的顯微鏡的圖像拾取設(shè)備中，照明光學(xué)系統(tǒng)20還可以被配置為使得在沒有使用遮光部件的情況下光僅僅進(jìn)入多個(gè)圖像拾取元件。根據(jù)圖像拾取元件的布置的照明還可以通過(guò)照明光學(xué)系統(tǒng)20被執(zhí)行。在圖9中示出的照明光學(xué)系統(tǒng)中，來(lái)自光源單元10的光被準(zhǔn)直儀21成形為平行光以便進(jìn)入衍射光學(xué)元件22。通過(guò)傅里葉變換透鏡23在中間像面27上對(duì)于來(lái)自衍射光學(xué)元件22的衍射光執(zhí)行傅里葉變換，以便形成圖像。在中間像面27上，獲得可以照射根據(jù)圖像拾取元件53的布置的多個(gè)矩形區(qū)域的光分布。這與遮光部件60被設(shè)置在圖8的平面27上時(shí)的平面27上的光分布相同。通過(guò)將平面27的中間像面上的光學(xué)倍率設(shè)定為β ’倍來(lái)照射樣本單元30的樣本32。該照明被設(shè)計(jì)為使得通過(guò)圖像拾取光學(xué)系統(tǒng)40光僅僅出現(xiàn)到圖像拾取元件53上。因此，對(duì)于拍攝圖像不必要的光不進(jìn)入圖像拾取元件53。在本實(shí)施例中，由于光僅僅被衍射光學(xué)元件22成形為被照射到用于拍攝圖像的有效部分上，因此與使用遮光部件的情況相比，可以抑制光功率(功率消耗)。可以通過(guò)使用CG (計(jì)算機(jī)圖形學(xué))等的已知方法制作衍射光學(xué)元件22。(第三實(shí)施例)存在其中進(jìn)入樣本單兀30的光由于衍射光學(xué)兀件22的衍射效率、成像光學(xué)系統(tǒng)24和26的像差等而稍微模糊的情況。在該情況下，還可以結(jié)合第一實(shí)施例中描述的遮光部件60。在圖10中示出的顯微鏡中，來(lái)自發(fā)光單元10的光被準(zhǔn)直儀21變?yōu)槠叫泄鈴亩?進(jìn)入衍射光學(xué)元件22。衍射光學(xué)元件22形成照射中間像面27上的多個(gè)矩形形狀的平面。成像光學(xué)系統(tǒng)24和26利用中間像面27的光分布照射樣本32。在該情況下，如圖11中所示出的，例如在樣本32的照明分布中可以產(chǎn)生模糊。在該情況下，遮光部件60可以被設(shè)置在樣本32處以便遮蔽由于模糊產(chǎn)生的不必要的光。然后，從樣本32經(jīng)過(guò)圖像拾取光學(xué)系統(tǒng)40的光進(jìn)入圖像拾取單元50中的圖像拾取元件53。結(jié)果，可以進(jìn)一步減少對(duì)于拍攝圖像不必要的光。如上所述，在其中布置各個(gè)實(shí)施例的多個(gè)圖像拾取元件的圖像拾取設(shè)備中，在不設(shè)置圖像拾取元件的區(qū)域上成像的光被遮蔽?？商娲?，圖像拾取設(shè)備被配置為不照射沒有設(shè)置圖像拾取元件的區(qū)域。因此，基本上不必要的光沒有進(jìn)入圖像拾取單元。結(jié)果，由于可以抑制通過(guò)光進(jìn)入額外區(qū)域上產(chǎn)生的反射或者散射，因此可以提高拍攝的圖像的質(zhì)量。此外，由于可以減少由圖像拾取單元中的電氣基底等上的反射所引起的影響，因此可以提高布置電線或者機(jī)械單元的自由度。如上所述，本發(fā)明被應(yīng)用于顯微鏡的情況被描述作為本發(fā)明的光學(xué)系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施例。在每個(gè)實(shí)施例中描述了在像面上形成照射在樣本上的光的透射光的圖像的透射式光學(xué)系統(tǒng)，但是還可以采用反射式光學(xué)系統(tǒng)。實(shí)施例被類似地應(yīng)用于除顯微鏡以外的圖像拾取設(shè)備。附圖標(biāo)記列表I圖像拾取設(shè)備的示意圖10 光源20照明光學(xué)系統(tǒng)30樣本單元31樣本臺(tái)32 樣本33待測(cè)對(duì)象40圖像拾取光學(xué)系統(tǒng)50圖像拾取單元52電氣基底
53圖像拾取元件60遮光部件·
權(quán)利要求
1.一種圖像拾取設(shè)備，包括 光源單元； 照明光學(xué)系統(tǒng)，被配置為將來(lái)自光源單元的光引導(dǎo)到待照射面上； 樣本臺(tái)，被配置為將對(duì)象放置在待照射面上； 圖像拾取光學(xué)系統(tǒng)，被配置為形成放置在待照射面上的對(duì)象的圖像； 圖像拾取元件部，通過(guò)在圖像拾取光學(xué)系統(tǒng)的像面上設(shè)置多個(gè)圖像拾取元件被配置；以及 遮光部件，被配置為減少光進(jìn)入到?jīng)]有設(shè)置圖像拾取元件部的多個(gè)圖像拾取元件的區(qū)域。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的圖像拾取設(shè)備， 其中遮光部件被設(shè)置在圖像拾取元件部的光入射側(cè)、待照射面以及與待照射面共軛的平面中的至少一個(gè)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的圖像拾取設(shè)備， 其中，遮光部件具有通過(guò)包括開口部和遮光部而配置的板形狀，所述開口部是在被設(shè)置在光學(xué)路徑中時(shí)與在其中多個(gè)圖像拾取元件接收光的有效光接收區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域，所述遮光部是除開口部以外的區(qū)域。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的圖像拾取設(shè)備，還包括 圖像處理器，被配置為改變圖像拾取元件部、遮光部件以及待照射面中的至少一個(gè)的相對(duì)位置，以便合成通過(guò)拍攝待照射面上的對(duì)象的多個(gè)圖像獲得的多個(gè)圖像；以及圖像顯示器，被配置為顯示通過(guò)圖像處理器處理的圖像。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圖像拾取設(shè)備，還包括存儲(chǔ)單元，所述存儲(chǔ)單元被配置為存儲(chǔ)通過(guò)圖像處理器處理的圖像信息。
全文摘要
本發(fā)明的圖像拾取設(shè)備包括光源單元；照明光學(xué)系統(tǒng)，被配置為將來(lái)自光源單元的光引導(dǎo)到待照射面上；樣本臺(tái)，被配置為將對(duì)象放置在待照射面上；圖像拾取光學(xué)系統(tǒng)，被配置為形成放置在待照射面上的對(duì)象的圖像；圖像拾取元件部，通過(guò)在圖像拾取光學(xué)系統(tǒng)的像面上設(shè)置多個(gè)圖像拾取元件來(lái)配置；以及遮光部件，被配置為減少光進(jìn)入到?jīng)]有設(shè)置圖像拾取元件部的多個(gè)圖像拾取元件的區(qū)域。
文檔編號(hào)H04N5/225GK102906620SQ20118002534
公開日2013年1月30日 申請(qǐng)日期2011年5月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月27日
發(fā)明者川上智朗 申請(qǐng)人:佳能株式會(huì)社