專利名稱：電容麥克風(fēng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種麥克風(fēng)，尤其涉及一種微機(jī)電麥克風(fēng)。
背景技術(shù)：
隨著無線通訊的發(fā)展，全球移動(dòng)電話用戶越來越多，用戶對移動(dòng)電話的要求已不 僅滿足于通話，而且要能夠提供高質(zhì)量的通話效果，尤其是目前移動(dòng)多媒體技術(shù)的發(fā)展，移 動(dòng)電話的通話質(zhì)量更顯重要，移動(dòng)電話的麥克風(fēng)作為移動(dòng)電話的語音拾取裝置，其設(shè)計(jì)好 壞直接影響通話質(zhì)量。 而目前應(yīng)用較多且性能較好的麥克風(fēng)是微電機(jī)系統(tǒng)麥克風(fēng)(Micro-Electro-Mech anical-System Microphone,簡稱MEMS)，相關(guān)技術(shù)中，背板與振膜之間的空氣隙與外部氣 壓不夠平衡，抗沖擊性能較差。因此有必要提供一種新型的MEMS麥克風(fēng)。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型需解決的技術(shù)問題是提供一種振膜與背板之間的空氣隙與外部氣壓 平衡的電容麥克風(fēng)。 根據(jù)上述需解決的技術(shù)問題，設(shè)計(jì)了一種電容麥克風(fēng)，包括設(shè)有空腔的基底，與基 底相連的背板，與背板相對的振膜，支撐振膜并將振膜與背板間隔的支撐層，該振膜與背板 之間有空氣間隙，背板上設(shè)有聲孔，支撐層上設(shè)置有槽，所述振膜覆蓋槽的一部分并與該槽 形成支撐縫隙，該支撐縫隙與所述空氣間隙相通。 優(yōu)選的，振膜包括振動(dòng)部和與支撐層相連的支撐部，所述支撐部自振動(dòng)部外圍向 遠(yuǎn)離振膜中心方向延伸；支撐層上設(shè)置有槽，所述支撐部部分遮蔽該槽并與該槽形成支撐 縫隙，該支撐縫隙與所述空氣間隙相通。 優(yōu)選的，所述振膜為圓形。 優(yōu)選的，所述支撐部是自振膜外圍向遠(yuǎn)離振膜中心延伸的凸塊。 本實(shí)用新型的有益效果在于由于支撐縫隙與空氣間隙相通，保證了空氣間隙與
外部氣壓的平衡。 由于振膜的支撐部基本不參與振動(dòng)過程，有效緩解支撐部與振動(dòng)部連接處的應(yīng)力 集中，提高了麥克風(fēng)的抗沖擊性能。而且支撐縫隙對于尺寸的精度要求較低，有效降低了對 工藝的要求，簡化工藝流程。

圖l是本實(shí)用新型 圖2是本實(shí)用新型 圖3是本實(shí)用新型 圖4是本實(shí)用新型
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一個(gè)實(shí)施例的立體分解圖； 一個(gè)實(shí)施例立體一個(gè)實(shí)施例中振膜與支撐層相連的平面圖； 一個(gè)實(shí) 例的剖面圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施方式對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。 參見圖1和2，本實(shí)用新型提供的電容麥克風(fēng)1包括基底ll，與基底11相連的背 板13，與基底11和背板13相連的支撐層12。 參見圖4，有一空腔111穿過基底ll，振膜14與背板13相對設(shè)置，且振膜14與背 板13之間形成有空氣間隙15。背板13上設(shè)有聲孔131。振膜14包括振動(dòng)部141和支撐 部142，支撐部142自振動(dòng)部141的外周向遠(yuǎn)離振膜14中心方向延伸。支撐部142和振動(dòng) 部141 一體成型。 在一個(gè)實(shí)施例中，支撐部142是自振動(dòng)部141的外周向遠(yuǎn)離振膜14中心方向延伸 出的凸塊。但是支撐部142的形狀不受此限制，可以是任一形狀。支撐部142至少有一個(gè)。 參見圖1、圖4，支撐層12設(shè)有槽121，支撐部142部分遮蔽槽121并與槽121形成 支撐縫隙123(參見圖3)，該支撐縫隙123與空氣間隙15相通。支撐縫隙123也至少有一 個(gè)。由于支撐縫隙123與空氣間隙15相通，保證了空氣隙與外部氣壓的平衡。 由于采用了此種結(jié)構(gòu)，本實(shí)用新型提供的電容麥克風(fēng)1的振膜14的支撐部142基 本不參與振動(dòng)過程，有效緩解了支撐部142與振動(dòng)部141之間的應(yīng)力集中，提高了電容麥克 風(fēng)1的抗沖擊性能。而且，該結(jié)構(gòu)對支撐縫隙123尺寸的精度要求較低，有效降低了對工藝 的要求，簡化了工藝流程。 振膜14可以是圓形，也可以是方形、橢圓形等。 本實(shí)用新型還提供了一種電容麥克風(fēng)，與上述電容麥克風(fēng)l不同之處在于，振膜 不包括支撐部，而是振膜部分覆蓋設(shè)置在支撐層上的槽并與該槽形成支撐縫隙，該支撐縫 隙與所述空氣間隙相通。 以上所述的僅是本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式，在此應(yīng)當(dāng)指出，對于本領(lǐng)域的普通 技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出改進(jìn)，但這些均屬于本 實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求一種電容麥克風(fēng)，包括設(shè)有空腔的基底，與基底相連的背板，與背板相對的振膜，支撐振膜并將振膜與背板間隔的支撐層，該振膜與背板之間有空氣間隙，背板上設(shè)有聲孔，其特征在于支撐層上設(shè)置有槽，所述振膜覆蓋槽的一部分并與該槽形成支撐縫隙，該支撐縫隙與所述空氣間隙相通。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容麥克風(fēng)，其特征在于振膜包括振動(dòng)部和與支撐層相連 的支撐部，所述支撐部自振動(dòng)部外圍向遠(yuǎn)離振膜中心方向延伸；支撐層上設(shè)置有槽，所述支 撐部部分遮蔽該槽并與該槽形成支撐縫隙，該支撐縫隙與所述空氣間隙相通。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容麥克風(fēng)，其特征在于所述振膜為圓形。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容麥克風(fēng)，其特征在于所述支撐部是自振膜外圍向遠(yuǎn)離 振膜中心延伸的凸塊。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種電容麥克風(fēng)，包括設(shè)有空腔的基底，與基底相連的背板，與背板相對的振膜，支撐振膜并將振膜與背板間隔的支撐層，該振膜與背板之間有空氣間隙，背板上設(shè)有聲孔，支撐層上設(shè)置有槽，所述振膜覆蓋槽的一部分并與該槽形成支撐縫隙，該支撐縫隙與所述空氣間隙相通。由于支撐縫隙與空氣間隙相通，保證了空氣間隙與外部氣壓的平衡。
文檔編號H04R19/04GK201467442SQ20092013147
公開日2010年5月12日 申請日期2009年5月15日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月15日
發(fā)明者張睿 申請人:瑞聲聲學(xué)科技(常州)有限公司;瑞聲聲學(xué)科技(深圳)有限公司