專利名稱：修正電路以及測試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及修正電路以及測試裝置。本發(fā)明特別涉及生成對所給予的輸入信 號強(qiáng)調(diào)了規(guī)定的信號成分的輸出信號的修正電路，以及利用該修正電路對被測試 元件進(jìn)行測試的測試裝置。
背景技術(shù)：
作為對半導(dǎo)體電路等被測試元件進(jìn)行測試的裝置，可以考慮一種對被測試元 件供給測試信號，并對被測試元件所輸出的被測定信號進(jìn)行測定的測試裝置。例 如，可根據(jù)是否輸出正常的被測定信號而判定被測試元件的好壞。
在測試裝置和被測試元件之間，設(shè)置用于傳送信號的傳送路徑。但是，由于 該傳送路徑存在電阻、電容等，所以信號波形會發(fā)生劣化。針對這種問題，已知 的技術(shù)，例如有一種用于生成對應(yīng)該輸入到被測試元件的測試信號的波形，預(yù)先 補(bǔ)償了傳送路徑中的損失的測試信號的技術(shù)(例如，參照專利文獻(xiàn)l，)。而且，還 可以考慮對從被測試元件所接收的信號，補(bǔ)償傳送路徑中的損失的技術(shù)。
作為損失補(bǔ)償?shù)姆绞?，可以考慮生成與原信號的波形對應(yīng)的修正信號，并將 修正信號加在原信號上。例如，通過生成原信號的微分波形，并依據(jù)傳送路徑中 的損失量而放大微分波形，可生成修正信號。特開2006_337140號公報
但是，在使微分波形的放大率變化的情況下，在修正信號上所施加的直流成 分有時也產(chǎn)生變動。因此，當(dāng)將修正信號加在原信號上而生成輸出信號時，輸出信號的直流成分會依據(jù)微分波形的放大率而變動，使修正后的輸出信號的直流電 壓精度劣化。
而且，在對差動信號補(bǔ)償傳送路徑中的損失時，是對差動信號中的非反轉(zhuǎn)信 號及反轉(zhuǎn)信號分別生成上述的修正信號。此時，例如，由于生成各個修正信號的 元件的特性差異等，而使各個修正信號的直流成分產(chǎn)生差異，則修正后的差動信 號的直流電壓精度會劣化。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠解決上述課題的修正電路以及測試裝 置，該目的通過權(quán)利要求的獨(dú)立項(xiàng)所記述的特征的組合而達(dá)成。而且，從屬項(xiàng)規(guī) 定本發(fā)明的更加有利的具體例。
為了解決上述課題，本發(fā)明的第1實(shí)施方式提供一種修正電路，是用于生成 針對所給予的輸入信號強(qiáng)調(diào)了規(guī)定的信號成分的輸出信號的修正電路，包括第l 檢測部，其檢測輸入信號的波形；放大部，其將第1檢測部所檢測的波形進(jìn)行放 大；修正信號生成部，其提取放大部所放大的波形的交流成分而生成修正信號； 輸出信號生成部，其在輸入信號的波形上重疊修正信號而生成輸出信號。
本發(fā)明的第2實(shí)施方式提供一種測試裝置，是對被測試元件進(jìn)行測試的測試 裝置，包括測試信號生成部，其生成用于輸入到被測試元件的測試信號；修正 電路，其對測試信號生成部所生成的測試信號，強(qiáng)調(diào)規(guī)定的信號成分，并輸入到
被測試元件；測量部，其測定被測試元件依據(jù)測試信號所輸出的被測定信號；判 定部，其根據(jù)測量部的測定結(jié)果，判定被測試元件的好壞；而且，修正電路包括 第1檢測部，其檢測測試信號的波形；放大部，其將第1檢測部所檢測的波形進(jìn) 行放大；修正信號生成部，其生成將放大部所放大的波形的交流成分提取的修正信號；輸出信號生成部，其在測試信號的波形上重疊修正信號，并輸入到被測試元件。
本發(fā)明的第3實(shí)施方式提供一種測試裝置，是對被測試元件進(jìn)行測試的測試裝置，包括測試信號生成部，其生成用于輸入到被測試元件的測試信號；修正電路，其接收被測試元件依據(jù)測試信號所輸出的被測定信號，并取得被測定信號的電平是否較預(yù)先所確定的電平大的比較結(jié)果，且對被測定信號的傳送路徑中的損失進(jìn)行補(bǔ)償；判定部，其根據(jù)修正電路所取得的比較結(jié)果，而判定被測試元件的好壞；而且，修正電路包括第1檢測部，其檢測被測定信號的波形，放大部，其將第1檢測部所檢測的波形進(jìn)行放大；修正信號生成部，其提取放大部所放大的波形的交流成分而生成修正信號；輸出信號生成部，其在被測定信號的波形上重疊修正信號；比較結(jié)果生成部，其根據(jù)輸出信號生成部所生成的信號，生成比較結(jié)果。
另外，上述發(fā)明的概要并未列舉本發(fā)明全部的必要特征，且上述必要特征的子組合也可形成本發(fā)明。


圖1是修正電路200的構(gòu)成的一個例子。
圖2是輸出信號生成部70的構(gòu)成的一個例子。
圖3是修正電路200的動作的一個例子。
圖4是輸出信號生成部70所輸出的輸出信號的波形的另一個例子。圖5是關(guān)于本發(fā)明的一實(shí)施方式的修正電路100的構(gòu)成的一個例子。圖6是修正電路100的動作的一個例子。圖7是修正信號生成部130的另外的構(gòu)成例子。圖8是圖7中的修正信號生成部130的動作的一個例子。圖9是輸出信號生成部70的另外的構(gòu)成例子。
圖10是關(guān)于本發(fā)明的一實(shí)施方式的測試裝置300的構(gòu)成的一個例子。
圖11是測試裝置300的另外的構(gòu)成例子。
附圖標(biāo)記說明
40-1:第1修正部
40-2:第2修正部
70:輸出信號生成部
72:第2檢測部
74、 76:電流源
78:第1差動晶體管80:第2差動晶體管82:晶體管84:電流源86:重疊部
88、 90:晶體管92、 94:電阻
100:修正電路110:第l檢測部112:電阻114:晶體管116:電流源118:晶體管130:修正信號生成部132:第1電容器133:第l控制配線134:第2電容器135:第2控制配線
136、 138、 140:電阻
142:第l電流鏡用晶體管
144:第2電流鏡用晶體管
146:基準(zhǔn)晶體管148:電流源150:放大部
152、 154:電阻
156、 158:晶體管
160、 162、 164:電阻
166、 168:晶體管
170:電阻200:修正電路210:第l檢測部212:電阻214:晶體管216:電阻
218、 220、 222:晶體管230:修正信號生成部
11232: 電容器236:電阻250:放大部252、 254:電阻256、 258:晶體管260:電流源262、 264:電阻266、 268:晶體管270:電流源300:測試裝置
310:測試信號生成部320:圖案產(chǎn)生器330:波形成形器340:修正電路350:判定部360:傳送路徑400:被測試元件
具體實(shí)施例方式
以下，通過發(fā)明的實(shí)施方式對本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說明，但以下的實(shí)施方式并不對權(quán)利要求范圍所涉及的發(fā)明進(jìn)行限定，而且，并不是實(shí)施方式中所說明的特征的組合的都是發(fā)明的解決方案所必須的。
圖1是修正電路200的構(gòu)成的一個例子。修正電路200是用于生成對給予的輸入信號強(qiáng)調(diào)規(guī)定的信號成分的輸出信號的電路。例如，修正電路200可為了補(bǔ)償傳送路徑等中的輸入信號的衰減，而生成強(qiáng)調(diào)所給予的輸入信號的交流成分的輸出信號。修正電路200包括第1檢測部210、修正信號生成部230、放大部250及輸出信號生成部70 。
第1檢測部210檢測輸入信號Vin的波形。本例的第1檢測部210包括晶體管214、晶體管218、晶體管220、晶體管222、電阻212及電阻216。晶體管214在基極端接收輸入信號Vin。借此而檢測輸入信號Vin的波形。
晶體管220使集電極端與晶體管214的發(fā)射極端相連接，而對柵極端賦予規(guī)定的電壓V1。而且，電阻212連接在晶體管220的發(fā)射極端與電源線VEE之間。即，晶體管220及電阻212作為流過與電壓VI對應(yīng)的電流的電流源而發(fā)揮功能。
晶體管218在基極端接收預(yù)先所確定的基準(zhǔn)電壓Vref，并流過與基準(zhǔn)電壓Vref對應(yīng)的發(fā)射極電流。而且，晶體管218可與晶體管214并列設(shè)置，并具有與晶體管214相同的特性。
晶體管222使集電極端與晶體管218的發(fā)射極端相連接。而且，晶體管222的柵極端與晶體管220的柵極端相連接，并被賦予規(guī)定的電壓V1。而且，電阻216連接在晶體管222的發(fā)射極端與電源線VEE之間。晶體管222可與晶體管220具有大致相同的特性，電阻216可與電阻212具有大致相同的電阻值。在這種情況下，晶體管222及電阻216與晶體管220及電阻212具有大致相同的電流。
修正信號生成部230生成用于強(qiáng)調(diào)輸入信號Vin的波形的修正信號。例如，修正信號生成部230可提取晶體管214所檢測的輸入信號Vin的交流成分Ia，并將該交流成分Ia作為修正信號Ia。修正信號生成部230可利用電壓信號所賦予的輸入信號Vin，使電容器232充放電，并將由此所得到的電流信號，作為交流成分Ia而提取。本例的修正信號生成部230在晶體管214的發(fā)射極端和晶體管218的發(fā)射極 端之間，具有串聯(lián)連接的電容器232及電阻236。
電容器232使晶體管214的發(fā)射極電流的交流成分通過。而且，電容器232 可使電容器214的發(fā)射極電流中的頻率成分通過，且上述頻率成分與電阻212的 電阻值、電容器232的容量、電阻236的電阻值等對應(yīng)。例如，電容器232可使 晶體管214的發(fā)射極電流的波形的微分波形通過。
作為具體例子，在輸入信號Vin的電壓值變動的情況下，修正信號生成部230 從晶體管214側(cè)向晶體管218側(cè)，流過與輸入信號的變動對應(yīng)的電流Ia。此時， 由于晶體管220生成一定的電流，所以，晶體管214的發(fā)射極電流依據(jù)供給到修 正信號生成部230的電流Ia而增加。同樣，晶體管218的發(fā)射極電流依據(jù)從修正 信號生成部230所接收的電流Ia而減少。
例如，在晶體管214中，流過在晶體管220所生成的一定電流上加上修正信 號(電流Ia)的發(fā)射極電流。而且，在晶體管218中，流過從晶體管222所生成的 一定電流中減去修正信號(電流Ia)的發(fā)射極電流。
放大部250通過放大晶體管214及晶體管218的發(fā)射極電流而放大修正信號， 并供給到輸出信號生成部70。本例的放大部250包括電流源260、晶體管256、電 阻252、晶體管258、電阻254、電流源270、晶體管266、電阻262、晶體管268 及電阻264。
電流源260、晶體管256、電阻252、晶體管258及電阻254，通過以規(guī)定的 放大率將加上了修正信號的晶體管214的發(fā)射極電流進(jìn)行放大，而調(diào)整修正信號 的振幅。在本例中，是通過調(diào)整修正信號(電流Ia)分別被分配到晶體管256及晶 體管258的比例，并取出晶體管256中所流過的電流，而生成調(diào)整了振幅的修正 信號。在這種情況下，上述的放大率可小于l。
14晶體管256的發(fā)射極端通過電阻252，與晶體管214的集電極端相連接。而且， 晶體管258的發(fā)射極端通過與電阻252并列設(shè)置的電阻254，而與晶體管214的集 電極端連接。在晶體管256的集電極端和電源線VCC之間設(shè)置有電流源260。晶體 管258的集電極端與電源線VCC相連接。
在這種構(gòu)成中，通過調(diào)整在晶體管256的柵極端上所施加的電壓V3及在晶體 管258的柵極端上所施加的電壓V2，可調(diào)整晶體管214的電流中的，流過晶體管 256的電流Ib的比例。S卩通過調(diào)整電壓V2及V3的比率，可使晶體管214的發(fā)射 極電流，以1以下的任意的放大率而流過晶體管256。放大部250將從電流源260 所生成的一定電流中減去晶體管256中所流過的電流Ib的電流，作為反轉(zhuǎn)修正信 號12而供給到輸出信號生成部70。
同樣，電流源270、晶體管266、電阻262、晶體管268及電阻264將晶體管 218的發(fā)射極電流進(jìn)行放大，其中，該發(fā)射極電流是利用修正信號生成部230減去 了修正信號的電流。晶體管218、放大部250中的電流源270、晶體管266、電阻 262、晶體管268及電阻264的連接關(guān)系，與晶體管214、放大部250中的電流源 260、晶體管256、電阻252、晶體管258及電阻254的連接關(guān)系相同。
另外，對晶體管266的柵極端賦予電壓V3，并對晶體管268的柵極端賦予電 壓V2。 g卩，由晶體管266及晶體管268所形成的修正信號Ia的放大率，與晶體管 256及晶體管258所形成的修正信號Ia的放大率大致相同地進(jìn)行控制。而且，放 大部250將從電流源270所生成的一定電流中，減去晶體管266中所流過的電流 Ic的電流，作為修正信號II而供給到輸出信號生成部70。
輸出信號生成部70輸出根據(jù)從放大部250所賦予的修正信號II及反轉(zhuǎn)修正 信號12，而強(qiáng)調(diào)了輸入信號Vin的波形的輸出信號Voutl及Vout2。例如，輸出 信號生成部70可通過在與輸入信號Vin對應(yīng)的電流的波形上重疊修正信號II的
15波形，再將該電流波形轉(zhuǎn)換為電壓波形，從而生成輸出信號VouU。同樣，也可通 過在與輸入信號Vin對應(yīng)的電流的反轉(zhuǎn)波形上重疊反轉(zhuǎn)修正信號12的波形，再將 該電流波形轉(zhuǎn)換為電壓波形，從而生成輸出信號Vout2。通過這種構(gòu)成，可在差動 的輸出信號中，生成補(bǔ)償傳送路徑中的損失的波形。
圖2是輸出信號生成部70的構(gòu)成的一個例子。輸出信號生成部70具有第2 檢測部72及重疊部86。第2檢測部72檢測輸入信號Vin，并生成與輸入信號對 應(yīng)的差動信號。本例的第2檢測部72具有電流源74、電流源76、第1差動晶體 管78、第2差動晶體管80、晶體管82及電流源84。
第1差動晶體管78在柵極端接收輸入信號Vin。第2差動晶體管80與第1 差動晶體管78并列設(shè)置，并在柵極端接收參照電壓Vref。晶體管82的集電極端 與第1差動晶體管78的發(fā)射極端及第2差動晶體管80的發(fā)射極端連接。而且， 在晶體管82的柵極端上，賦予一定電壓V1，且在晶體管82的發(fā)射極端和電源線 VEE之間設(shè)置有電流源84。
艮卩，晶體管82規(guī)定在第1差動晶體管78及第2差動晶體管80中所流過的電 流的和。例如，在輸入電壓Vin增加的情況下，在第1差動晶體管78中所流過的 電流，依據(jù)輸入電壓Vin而增加。而且，在第2差動晶體管80中所流過的電流， 依據(jù)第1差動晶體管78的電流增加而減少。借此構(gòu)成，可生成具有輸入信號Vin 的波形及反轉(zhuǎn)波形的差動信號。
而且，第1差動晶體管78的集電極端是通過電流源74而與電源線VCC相連 接，第2差動晶體管80的集電極端是通過電流源76而與電源線VCC相連接。而 且，從電流源74所生成的一定電流中減去在第1差動晶體管78中所流過的電流 的電流，作為輸入信號的反轉(zhuǎn)波形Id而傳送到重疊部86。而且，從電流源76所 生成的一定電流中減去在第2差動晶體管80中所流過的電流的電流，作為輸入信號的波形Ie而傳送到重疊部86。
重疊部86根據(jù)修正信號及反轉(zhuǎn)修正信號，強(qiáng)調(diào)第2檢測部72所檢測到的差 動信號的規(guī)定的信號成分。例如，重疊部86可通過在第2檢測部72所檢測到的 輸入信號的波形Ie上重疊修正信號Il，而生成輸出信號Voutl。而且，重疊部86 可通過在第2檢測部72所檢測到的輸入信號的反轉(zhuǎn)波形Id上重疊反轉(zhuǎn)修正信號 12，而生成輸出信號Vout2。
本例的重疊部86具有第1修正部40-1及第2修正部40-2。第1修正部40_1 依據(jù)第1鏡像電流(修正信號II)，修正第2檢測部72所檢測的輸入信號的波形 Ie。例如，第1修正部40-1可在輸入信號的電流波形Ie上加上第1鏡像電流II。 而且，第1修正部40-1可將所生成的電流波形轉(zhuǎn)換為電壓波形而輸出。
第2修正部40-2依據(jù)第2鏡像電流(反轉(zhuǎn)修正信號12)，對第2檢測部72所 檢測到的輸入信號的反轉(zhuǎn)波形Id進(jìn)行修正。例如，第2修正部40-2可在輸入信 號的反轉(zhuǎn)電流波形Id上加上第2鏡像電流I2。而且，第2修正部40-2可將所生 成的電流波形轉(zhuǎn)換為電壓波形而輸出。
第1修正部40-1具有晶體管90及電阻94。晶體管90中流過與賦予到發(fā)射極 端上的、加上了輸入信號的非反轉(zhuǎn)波形Ie及修正信號12的電流對應(yīng)的電流。而 且，在晶體管90的柵極端上被賦予一定電壓V4。
電阻94設(shè)置在晶體管90的集電極端和電源線VEE之間。電阻94生成與晶體 管90中所流過的電流波形對應(yīng)的電壓波形，并作為輸出信號Voutl輸出。在本例 中，晶體管90的集電極電壓作為輸出信號Voutl輸出。利用這種構(gòu)成，可生成強(qiáng) 調(diào)了輸入信號的波形的規(guī)定信號成分的輸出信號。
第2修正部40-2具有晶體管88及電阻92。晶體管88與晶體管90并列設(shè)置。 而且，晶體管88與晶體管90具有大致相同的特性較佳。晶體管88在發(fā)射極端，接收加上了輸入信號的反轉(zhuǎn)波形Id及反轉(zhuǎn)修正信號12的電流。而且，在晶體管 88的柵極端上，被賦予與晶體管90相同的一定電壓V4。
電阻92設(shè)置在晶體管88的集電極端和電源線VEE之間。電阻92生成與流過 晶體管88的電流波形對應(yīng)的電壓波形，并作為輸出信號Vout2而輸出。在本例中， 晶體管88的集電極電壓是作為輸出信號Vout2輸出。通過這種構(gòu)成，可生成強(qiáng)調(diào) 了輸入信號的反轉(zhuǎn)波形的規(guī)定信號成分的輸出信號。
圖3是修正電路200的動作的一個例子。如上所述，對修正電路200賦予因 傳送路徑而導(dǎo)致了衰減的輸入信號Vin。例如，圖3所說明的例子是矩形波(以波 浪線表示)的輸入信號Vin的高頻成分在傳送路徑等中產(chǎn)生衰減，并形成實(shí)線所示 的波形的情況。
例如，在根據(jù)輸入信號Vin的電平是否較規(guī)定的參照值Vref大，而檢測輸入 信號Vin的邊緣時序(edge timing)的情況下，由于上述傳送路徑中的損失，會對 原輸入信號的邊緣時序產(chǎn)生誤差(AT1)。修正電路200籍由補(bǔ)償輸入信號的損失， 而減輕邊緣時序的誤差。
如上所述，修正信號生成部230提取輸入信號Vin的交流成分而生成修正信 號Ia。修正信號生成部230可具有與傳送路徑的時間定量對應(yīng)的時間定量。
而且，修正信號生成部230所生成的修正信號Ia及其反轉(zhuǎn)信號，在放大部250 中被調(diào)整為任意的振幅，形成修正信號II及反轉(zhuǎn)修正信號12。此時，理想上的修 正信號II的直流電平a和反轉(zhuǎn)修正信號12的直流電平e相同。
而且，第2檢測部72檢測輸入信號的非反轉(zhuǎn)波形Ie及反轉(zhuǎn)波形Id。然后， 重疊部86從在非反轉(zhuǎn)波形Ie上加上修正信號II的電流中，生成輸出信號Voutl。 而且，重疊部86從在反轉(zhuǎn)信號Id上加上反轉(zhuǎn)修正信號12的電流中，生成輸出信 號Vout2。通過從該差動信號(Voutl、 Vout2)的交叉點(diǎn)測定輸入信號的邊緣時序，可減 輕對原輸入信號的邊緣時序的誤差(AT2)。但是，由于第1檢測部210及放大部 250中的各個晶體管及電阻的特性的差異，難以完全相同地控制修正信號II及反 轉(zhuǎn)修正信號I2的直流電平。而且，在使放大部250的放大率變化的情況下，修正 信號II及反轉(zhuǎn)修正信號12的直流電平的差也會產(chǎn)生變動。
在這種情況下，輸出信號生成部70所輸出的信號的直流電平，會依據(jù)修正信 號II及反轉(zhuǎn)修正信號12的直流電平之差的變動而進(jìn)行變動。因此會產(chǎn)生輸出信 號的直流誤差。
圖4是輸出信號生成部70所輸出的輸出信號的波形的其它例子，如上所述， 在修正信號II的直流電平a和反轉(zhuǎn)修正信號12的直流電平e不同的情況下，輸 出信號產(chǎn)生與該差分對應(yīng)的直流成分。因此，例如交叉點(diǎn)的時序等的測定誤差(A T3)也會增大。
圖5表示本發(fā)明的一個實(shí)施方式涉及的修正電路100的構(gòu)成的一個例子。修 正電路100為用于生成對所給予的輸入信號強(qiáng)調(diào)規(guī)定的信號成分的輸出信號的電 路，包括第1檢測部110、放大部150、修正信號生成部130及輸出信號生成部70。
首先，說明修正電路100的概要。第1檢測部110檢測輸入信號Vin的波形。 而且，第1檢測部110也可檢測輸入信號Vin的反轉(zhuǎn)波形。放大部150將第1檢 測部110所檢測的輸入信號Vin的波形進(jìn)行放大。而且，放大部150可將輸入信 號Vin的波形和輸入信號Vin的反轉(zhuǎn)波形分別進(jìn)行放大。
修正信號生成部130提取放大部150所放大的輸入信號Vin的波形的交流成 分，而生成修正信號。而且，修正信號生成部130可提取放大部150所放大的輸 入信號Vin的反轉(zhuǎn)波形的交流成分。在這種情況下，修正信號生成部130可從輸 入信號Vin的波形及反轉(zhuǎn)波形，生成修正信號及反轉(zhuǎn)修正信號。
19例如，可從輸入信號Vin的波形的交流成分生成修正信號，也可從輸入信號 Vin的反轉(zhuǎn)波形的交流成分生成修正信號。同樣，可從輸入信號Vin的反轉(zhuǎn)波形的 交流成分生成反轉(zhuǎn)修正信號，也可從輸入信號Vin的波形的交流成分生成反轉(zhuǎn)修 正信號。
輸出信號生成部70在輸入信號Vin的波形上重疊修正信號，而生成輸出信號。 而且，輸出信號生成部70還可生成在輸入信號Vin的反轉(zhuǎn)波形上重疊反轉(zhuǎn)修正信 號的信號，而生成輸出信號的差動信號對。
圖1 圖4中所說明的修正電路200，在生成修正信號Ia之后，將該修正信 號Ia放大，而生成任意振幅的修正信號。因此，在放大時有時會產(chǎn)生直流誤差。 對此，本例的修正電路100是在放大所檢測的輸入信號的波形而調(diào)整振幅后，提 取該波形的交流成分而生成修正信號。因此，修正信號的直流成分被去除，可減 輕因元件差異、放大率的變化等所生成的直流誤差。
本例的第1檢測部110包括晶體管114、晶體管118、晶體管112及電流源116。 晶體管114在柵極端接收輸入信號Vin。晶體管118是與晶體管114并列設(shè)置，并 在柵極端接收參照電壓Vref。晶體管112的集電極端是與晶體管114的發(fā)射極端 及晶體管118的發(fā)射極端相連接。而且，在晶體管112的柵極端上賦予一定電壓 VI，并在晶體管112的發(fā)射極端和電源線VEE之間設(shè)置電流源116。
艮卩，晶體管112規(guī)定在晶體管114及晶體管118中所流過的電流之和。例如， 在輸入電壓Vin增加的情況下，在晶體管114中所流過的電流依據(jù)輸入電壓Vin 而增加。而且，在晶體管118中所流過的電流依據(jù)晶體管114的電流增加而減少。 通過這種構(gòu)成，可生成具有輸入信號的Vin的波形及反轉(zhuǎn)波形的差動信號。
放大部150具有電阻(152、 154、 160)、晶體管(156、 158)、電阻(162、 164、 170)及晶體管(166、 168)。電阻160及電阻170作為圖1中所說明的電流源260 20及電流源270而發(fā)揮功能，放大部150的動作與圖1至圖4中所說明的放大部250 相同，所以省略說明。
修正信號生成部130具有第1電容器132、第2電容器134、第1控制配線133、 第2控制配線135、 3個電阻(136、 138、 140)、基準(zhǔn)晶體管146、第1電流鏡用晶 體管(mirror transistor) 142、第2電流鏡用晶體管144及電流源148。基準(zhǔn)晶體 管146、第1電流鏡用晶體管142及第2電流鏡用晶體管144分別并列地設(shè)置，且 柵極端彼此進(jìn)行連接。而且，基準(zhǔn)晶體管146的集電極端與柵極端相連接。這3 個晶體管可分別具有大致相同的特性。g卩，第1電流鏡用晶體管142及第2電流 鏡用晶體管144作為流過與基準(zhǔn)晶體管146中所流過的電流大致相同的電流的電 流鏡電路而發(fā)揮功能。
電阻140設(shè)置在基準(zhǔn)晶體管146的發(fā)射極端和電源線VCC之間。而且，電阻 136設(shè)置在第1電流鏡用晶體管142的發(fā)射極端和電源線VCC之間，電阻138設(shè)置 在第2電流鏡用晶體管144的發(fā)射極端和電源線VCC之間。這3個電阻可分別具 有大致相同的電阻值。
而且，基準(zhǔn)晶體管146的集電極端通過電流源148而與電源線VEE相連接。 通過這種構(gòu)成，而在第1電流鏡用晶體管142及第2電流鏡用晶體管144中，流 過與電流源148所規(guī)定的一定的基準(zhǔn)電流對應(yīng)的相同的第1電流鏡用電流及第2 電流鏡用電流。
第1電容器132使放大部150所放大的輸入信號的波形的交流成分通過，生 成修正信號Ig。本例中的第1電容器132設(shè)置在晶體管166的集電極端和第1電 流鏡用晶體管142的發(fā)射極端之間。
第2電容器134使放大部150所放大的輸入信號的反轉(zhuǎn)波形的交流成分通過， 而生成反轉(zhuǎn)修正信號If 。本例中的第2電容器134設(shè)置在晶體管156的集電極端和第2電流鏡用晶體管144的發(fā)射極端之間。
第1控制配線133通過根據(jù)第1電容器132所生成的修正信號Ig，對第1電 流鏡用晶體管142的發(fā)射極電位進(jìn)行控制，而在第1鏡像電流上重疊修正信號。 本例的第1控制配線133通過將第1電容器132和第1電流鏡用晶體管142的發(fā) 射極端進(jìn)行連接，而在第l鏡像電流上重疊修正信號。
第2控制配線135通過根據(jù)第2電容器134所生成的反轉(zhuǎn)修正信號If ，對第 2電流鏡用晶體管144的發(fā)射極電位進(jìn)行控制，而在第2鏡像電流上重疊反轉(zhuǎn)修正 信號。本例的第2控制配線135通過將第2電容器134和第2電流鏡用晶體管144 的發(fā)射極端進(jìn)行連接，而在第2鏡像電流上重疊反轉(zhuǎn)修正信號。
輸出信號生成部70根據(jù)從修正信號生成部130所給予的修正信號II (第1鏡 像電流)及反轉(zhuǎn)修正信號12 (第2鏡像電流)，強(qiáng)調(diào)輸入信號Vin的規(guī)定的信號成分。 輸出信號生成部70可與圖2中所說明的輸出信號生成部70具有相同的功能及構(gòu) 成。但是，在圖2中，是從放大部250接收修正信號及反轉(zhuǎn)修正信號，而在本例 中，是從修正信號生成部130接收修正信號及反轉(zhuǎn)修正信號。
通過這種構(gòu)成，可使修正信號Ig及反轉(zhuǎn)修正信號If的直流電平大致相同(大 致為零)。而且，由于將這些修正信號Ig及反轉(zhuǎn)修正信號If，重疊在利用電流鏡 電路而相同地進(jìn)行控制的第1鏡像電流及第2鏡像電流上，所以可精度良好且相 同地控制在鏡像電流上進(jìn)行重疊之后的修正信號12及反轉(zhuǎn)修正信號II的直流成 分。因此，能夠減少因修正信號I2及反轉(zhuǎn)修正信號I1所形成的直流誤差。
圖6是修正電路100的動作的一個例子。與圖3的例子相同，對修正電路100 賦予因傳送路徑而形成衰減的輸入信號Vin。第1檢測部110檢測輸入信號Vin 的波形。另外，在圖6中省略輸入信號Vin的反轉(zhuǎn)波形。
放大部150將第1檢測部110所檢測的輸入信號Vin的波形及反轉(zhuǎn)波形的振幅，以規(guī)定的放大率進(jìn)行放大，而生成波形Ib及Ic。但是，對輸入信號Vin的波 形的放大率與對反轉(zhuǎn)波形的放大率相同。而且，該放大率可以在l以下。
第1電容器132及第2電容器134提取波形Ib及Ic的交流成分，生成修正 信號Ig及反轉(zhuǎn)修正信號If。此時，由于各個信號的直流成分被除去，所以修正信 號Ig及反轉(zhuǎn)修正信號If的直流電平大致為零。
另外，通過將修正信號Ig重疊在第1鏡像電流上而生成修正信號II，通過將 反轉(zhuǎn)修正信號If重疊在第2鏡像電流上而生成反轉(zhuǎn)修正信號12。但是，第1鏡像 電流及第2鏡像電流利用電流鏡電路而控制為相同的電流值。因此，修正信號Il 及反轉(zhuǎn)修正信號12的直流電平形成相同電平。
通過將這樣生成的修正信號II及反轉(zhuǎn)修正信號12，在如圖3所示的非反轉(zhuǎn)信 號Ic及反轉(zhuǎn)信號Id上進(jìn)行重疊，可如圖3所示，得到對傳送路徑的損失進(jìn)行補(bǔ) 償?shù)牟顒拥妮敵鲂盘?。而且，如上所述，可減少因修正信號II及反轉(zhuǎn)修正信號12 所形成的直流誤差。
圖7是修正信號生成部130的另外的構(gòu)成例子。修正信號生成部130相對圖5 所示的修正信號生成部130的構(gòu)成，分別具有兩個第1電容器132、第2電容器 134、電阻140、基準(zhǔn)晶體管146及電流源148。
而且，圖5中的修正信號生成部130使第1電流鏡用晶體管142及第2電流 鏡用晶體管144的基極端，與共同的基準(zhǔn)晶體管146的基極端相連接，但本例的 修正信號生成部130是使第1電流鏡用晶體管142的基極端與第1基準(zhǔn)晶體管 146-1的基極端相連接，使第2電流鏡用晶體管144的基極端與另外的第2基準(zhǔn)晶 體管146-2的基極端相連接。而且，在各個基準(zhǔn)晶體管146上，與圖5所示的基 準(zhǔn)晶體管同樣地連接電阻140及電流源148。
其中一個第1電容器132-1設(shè)置在放大部150和第1電流鏡用晶體管142的發(fā)射極端之間。另一個第1電容器132-2設(shè)置在放大部150和第2電流鏡用晶體 管144的柵極端之間。第1電容器132-1及132-2可分別與圖5中所說明的第1 電容器132相同。
而且， 一個第2電容器134-1設(shè)置在放大部150和第2電流鏡用晶體管144 的發(fā)射極端之間。另一個第2電容器134-2設(shè)置在放大部150和第1電流鏡用晶 體管142的柵極端之間。第2電容器134-1及134-2可分別與圖5中所說明的第2 電容器134相同。
第1控制配線133根據(jù)修正信號Ig，對第1基準(zhǔn)晶體管146-1及第1電流鏡 用晶體管142的各個基極電壓以及第2電流鏡用晶體管144的發(fā)射極電壓進(jìn)行控 制。例如，第1控制配線133可通過使第1基準(zhǔn)晶體管146-1及第1電流鏡用晶 體管142的各個基極電流以及第2電流鏡用晶體管144的發(fā)射極電流，依據(jù)修正 信號Ig進(jìn)行變化，而控制上述的基極電壓及發(fā)射極電壓。
同樣，第2控制配線135根據(jù)反轉(zhuǎn)修正信號If ，對第2基準(zhǔn)晶體管146-2及 第2電流鏡用晶體管144的各個基極電壓以及第1電流鏡用晶體管142的發(fā)射極 電壓進(jìn)行控制。例如，第2控制配線135可通過使第2基準(zhǔn)晶體管146-2及第2 電流鏡用晶體管144的各個基極電流以及第1電流鏡用晶體管142的發(fā)射極電流， 依據(jù)修正信號If進(jìn)行變化，而控制上述的基極電壓及發(fā)射極電壓。
圖8給出了圖7所示的修正信號生成部130的動作的一個例子。在放大部150 中，輸入信號的波形及反轉(zhuǎn)波形的放大率是由共同的電壓V2及V3的比而確定， 所以理想狀態(tài)下相同。因此，在圖5所說明的修正信號生成部130的構(gòu)成中，第l 電容器132及第2電容器134所輸出的修正信號Ig及反轉(zhuǎn)修正信號If的振幅如 圖6所示是相同的。
但是，因放大部150的元件特性的差異，有時輸入信號的波形的放大率及反轉(zhuǎn)波形的放大率會有所不同。在這種情況下，加在第1鏡像電流及第2鏡像電流 上的修正信號Ig的振幅Al及反轉(zhuǎn)修正信號If的振幅A2會有所不同。
對此，本例中的修正信號生成部130是通過圖7中所說明的構(gòu)成，而在第1 鏡像電流Il上加上修正信號Ig及反轉(zhuǎn)修正信號If的和。而且，從第2鏡像電流 12減去修正信號Ig及反轉(zhuǎn)修正信號If的和。因此，即使在修正信號Ig的振幅 Al及反轉(zhuǎn)修正信號If的振幅A2不同的情況下，也可使在第1鏡像電流II及第2 鏡像電流I2上所加的修正信號及反轉(zhuǎn)修正信號的振幅相等。所以，可對差動信號 強(qiáng)調(diào)精度更加良好的信號成分。
圖9是輸出信號生成部70的另外的構(gòu)成例子。本例中的輸出信號生成部70 具有第2檢測部72及重疊部86。重疊部86的構(gòu)成可與圖2中所說明的重疊部86 的構(gòu)成相同。
而且，本例中的第2檢測部72，與圖2中所說明的重疊部86的不同之處是不 具有電流源74及電流源76。第1差動晶體管78、第2差動晶體管80、晶體管82 及電流源84，可與圖2中所說明的第1差動晶體管78、第2差動晶體管80、晶體 管82及電流源84相同。另外，第1差動晶體管78的集電極端與第2電流鏡用晶 體管144相連接，第2差動晶體管80的集電極端與第1電流鏡用晶體管142相連 接。
通過這種構(gòu)成，可從第1電流鏡用晶體管142及第2電流鏡用晶體管供給在 第1差動晶體管78及第2差動晶體管80中所流過的電流。g卩，可省略電流源74 及電流源76而減小電路規(guī)模。
圖10是本發(fā)明的一個實(shí)施方式涉及的測試裝置300的構(gòu)成的一個例子。測試 裝置300是用于測試半導(dǎo)體晶片等的被測試元件400的裝置，包括測試信號生成 部310、修正電路340及判定部350。而且，測試裝置300和被測試元件400是由
25包含圖案配線、電纜等的傳送路徑360電連接。
測試信號生成部310生成應(yīng)輸入到被測試元件400的測試信號，并通過傳送 路徑360進(jìn)行輸入。例如，測試信號生成部310可將具有規(guī)定邏輯圖案的測試信 號輸入到被測試元件400，并依據(jù)該邏輯圖案而使被測試元件400動作。
測試信號生成部310具有圖案產(chǎn)生器320及波形成形器330。圖案產(chǎn)生器320 實(shí)行使用者等所給予的測試程序，而生成測試信號應(yīng)具有的邏輯圖案。波形成形 器330形成具有邏輯圖案的測試信號的波形，其中，該邏輯圖案是由圖案產(chǎn)生器 320生成。
被測試元件400依據(jù)所輸入的測試信號進(jìn)行動作，并輸出與動作結(jié)果對應(yīng)的 被測定信號。例如，被測試元件400可具有依據(jù)測試信號進(jìn)行動作的數(shù)字電路， 也可具有存儲電路，用于輸出與測試信號對應(yīng)的地址數(shù)據(jù)。
修正電路340接收被測試元件400依據(jù)測試信號所輸出的被測定信號，并取 得被測定信號的電平是否較預(yù)先所確定的參照電平大的比較結(jié)果，且對被測定信 號的傳送路徑中的損失進(jìn)行補(bǔ)償。修正電路340可與圖1至圖9中所說明的修正 電路100或修正電路200相同。
本例的修正電路340可接收被測定信號，作為圖1至圖9中所說明的輸入信 號。而且，本例中的參照電平可為被測定信號中的L邏輯的電壓電平和H邏輯的 電壓電平的中間電平。修正電路340可將圖1至圖9中所說明的輸出信號，作為 比較結(jié)果而供給到判定部350。
判定部350根據(jù)修正電路340所取得的比較結(jié)果，判定被測定元件400的好 壞。例如，判定部350可在所給予的時鐘信號的時序，依次檢測所給予的比較結(jié) 果的邏輯值。然后，可通過將所檢測的邏輯圖案與所期待的邏輯圖案進(jìn)行比較， 而判定被測試元件400的好壞。所期待的邏輯圖案是根據(jù)測試信號的邏輯圖案而由圖案產(chǎn)生器320生成。
根據(jù)本例中的測試裝置300，則可以通過強(qiáng)調(diào)被測定信號的規(guī)定的信號成分， 補(bǔ)償傳送路徑360的損失，而對被測定信號進(jìn)行測定。因此，能夠減輕測試中所 利用的傳送路徑360的影響，精度良好地對被測試元件400的安裝狀態(tài)的特性進(jìn) 行測試。另外，修正電路340的各元件的特性可依據(jù)傳送路徑360的特性而進(jìn)行 設(shè)定。
圖11是測試裝置300的另外的構(gòu)成例子示意圖。本例的測試裝置300相對圖 10所示的測試裝置300的構(gòu)成，還具有測量部370。而且，修正電路340設(shè)置在 測試信號生成部310和傳送路徑360之間，強(qiáng)調(diào)測試信號的規(guī)定的信號成分。
測量部370對來自被測試元件400的被測定信號進(jìn)行測定。例如，測量部370 可輸出表示被測定信號的信號電平和規(guī)定的參照電平的大小關(guān)系的比較結(jié)果。判 定部350根據(jù)測量部370的比較結(jié)果，對被測試元件400的好壞進(jìn)行判定。
通過這種構(gòu)成，可利用預(yù)先補(bǔ)償了傳送路徑360的損失的測試信號，而對被 測試元件400進(jìn)行測試。因此，能夠精度良好地測試被測試元件400。另外，相對 圖ll所示的構(gòu)成，還可取代測量部370而設(shè)置修正電路340。 g卩，測試裝置300 可具有修正電路340，其強(qiáng)調(diào)測試信號的規(guī)定的信號成分并供給到被測試元件 400;修正電路340，其強(qiáng)調(diào)被測定信號的規(guī)定的信號成分并進(jìn)行測定。借此，可 補(bǔ)償測試信號及被測定信號的雙方的損失，更加精度良好地測試被測試元件400。
以上，雖然已通過實(shí)施例說明了本發(fā)明，但是，本發(fā)明的技術(shù)范圍并不受上 述實(shí)施例記載的范圍所限制，另外，本領(lǐng)域技術(shù)人員明白，對上述實(shí)施例可以進(jìn) 行多種多樣的改良和變更。根據(jù)權(quán)利要求的記載可以明確，實(shí)施了這樣的變更和 改良的實(shí)施方式也包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍之內(nèi)。
例如，可將圖1至圖9所示的PNP晶體管置換為NPN晶體管，還可將圖1至圖9所示的NPN晶體管置換為PNP晶體管的形式，也可包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍中。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，可補(bǔ)償傳送路徑中的信號的損失。另外， 在調(diào)整修正信號的放大率并調(diào)整損失補(bǔ)償?shù)那闆r下，可不產(chǎn)生直流誤差地對修正 信號的放大率進(jìn)行調(diào)整。而且，也可排除因元件差異等所引起的直流誤差。
權(quán)利要求
1.一種修正電路，是針對所給予的輸入信號，生成強(qiáng)調(diào)規(guī)定的信號成分的輸出信號的修正電路，其包括第1檢測部，檢測前述輸入信號的波形；放大部，將前述第1檢測部所檢測的波形進(jìn)行放大；修正信號生成部，提取前述放大部所放大的波形的交流成分，生成修正信號；以及輸出信號生成部，在前述輸入信號的波形上重疊前述修正信號，生成前述輸出信號。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的修正電路，其中，前述第1檢測部檢測前述輸入信號的波形及反轉(zhuǎn)波形；前述放大部放大前述輸入信號的波形及反轉(zhuǎn)波形；前述修正信號生成部分別提取前述放大部所放大的前述輸入信號的波形及反轉(zhuǎn)波形的交流成分，而生成修正信號及反轉(zhuǎn)修正信號；前述輸出信號生成部在前述輸入信號的波形上重疊前述修正信號，并在前述輸入信號的反轉(zhuǎn)波形上重疊前述反轉(zhuǎn)修正信號，生成前述輸出信號的差動信號對。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的修正電路，其中，前述輸出信號生成部包括第2檢測部，檢測前述輸入信號的波形及前述輸入信號的反轉(zhuǎn)波形；以及重疊部，其在前述第2檢測部所檢測的前述輸入信號的波形上重疊前述修正信號，并在前述第2檢測部所檢測的前述輸入信號的反轉(zhuǎn)波形上重疊前述反轉(zhuǎn)修正信號。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的修正電路，其中，前述修正信號生成部包括第1電容器，使前述放大部所放大的前述輸入信號的波形的交流成分通過，而生成前述修正信號；第2電容器，使前述放大部所放大的前述輸入信號的反轉(zhuǎn)波形的交流成分通過，而生成前述反轉(zhuǎn)修正信號；基準(zhǔn)晶體管，流過預(yù)先所確定的基準(zhǔn)電流；第1電流鏡用晶體管，使前述基準(zhǔn)晶體管和基極端彼此連接，并流過與前述基準(zhǔn)電流相對應(yīng)的第1鏡像電流；第2電流鏡用晶體管，使前述基準(zhǔn)晶體管和基極端彼此連接，并流過與前述基準(zhǔn)電流相對應(yīng)的第2鏡像電流；第1控制配線，通過根據(jù)前述修正信號對前述第1電流鏡用晶體管的發(fā)射極電壓進(jìn)行控制，在前述第l鏡像電流上重疊前述修正信號；以及第2控制配線，通過根據(jù)前述反轉(zhuǎn)修正信號對前述第2電流鏡用晶體管的發(fā)射極電位進(jìn)行控制，在前述第2鏡像電流上重疊前述反轉(zhuǎn)修正信號；前述重疊部包括第1修正部，依據(jù)前述第1鏡像電流，對前述第2檢測部所檢測的前述輸入信號的波形進(jìn)行修正；以及第2修正部，依據(jù)前述第2鏡像電流，對前述第2檢測部所檢測的前述輸入信號的反轉(zhuǎn)波形進(jìn)行修正。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的修正電路，其中，前述修正信號生成部包括第1電容器，使前述放大部所放大的前述輸入信號的波形的交流成分通過，而生成前述修正信號；第2電容器，使前述放大部所放大的前述輸入信號的反轉(zhuǎn)波形的交流成分通 過，而生成前述反轉(zhuǎn)修正信號；第1基準(zhǔn)晶體管，流過預(yù)先所確定的基準(zhǔn)電流；第1電流鏡用晶體管，使前述第1基準(zhǔn)晶體管和基極端連接，并流過與前述 基準(zhǔn)電流對應(yīng)的第1鏡像電流；第2基準(zhǔn)晶體管，其流過預(yù)先所確定的基準(zhǔn)電流；第2電流鏡用晶體管，使前述第2基準(zhǔn)晶體管和基極端連接，并流過與前述 基準(zhǔn)電流對應(yīng)的第2鏡像電流；第1控制配線，通過根據(jù)前述修正信號，對前述第1基準(zhǔn)晶體管及前述第1 電流鏡用晶體管的基極電壓以及前述第2電流鏡用晶體管的發(fā)射極電壓進(jìn)行控制； 以及第2控制配線，通過根據(jù)前述反轉(zhuǎn)修正信號，對前述第2基準(zhǔn)晶體管及前述第2電流鏡用晶體管的基極電壓以及前述第1電流鏡用晶體管的發(fā)射極電壓進(jìn)行 控制；前述重疊部包括第1修正部，依據(jù)前述第1鏡像電流對前述第2檢測部所檢測的前述輸入信號的波形進(jìn)行修正；以及第2修正部，依據(jù)前述第2鏡像電流對前述第2檢測部所檢測的前述輸入信 號的反轉(zhuǎn)波形進(jìn)行修正。
6.根據(jù)權(quán)利要求4項(xiàng)或第5所述的修正電路，其中，前述第2檢測部具有用于檢測前述輸入信號的波形及反轉(zhuǎn)波形的第1差動晶體管及第2差動晶體管；其中的一個前述差動晶體管與前述第1電流鏡用晶體管相連接， 另一個前述差動晶體管與前述第2電流鏡用晶體管相連接。
7. —種測試裝置，是對被測試元件進(jìn)行測試的測試裝置，包括 測試信號生成部，生成用于對被測試元件輸入的測試信號；修正電路，對前述測試信號生成部所生成的前述測試信號，強(qiáng)調(diào)規(guī)定的信號成分，并輸入至前述被測試元件；測量部，測定前述被測試元件依據(jù)前述測試信號所輸出的被測定信號；以及 判定部，根據(jù)前述測量部的測定結(jié)果，判定前述被測試元件的好壞； 前述修正電路包括第1檢測部，檢測前述測試信號的波形；放大部，將前述第l檢測部所檢測的波形進(jìn)行放大；修正信號生成部，生成將前述放大部所放大的波形的交流成分提取的修正信 號；以及輸出信號生成部，在前述測試信號的波形上重疊前述修正信號，并輸入到前 述被測試元件。
8. —種測試裝置，是對被測試元件進(jìn)行測試的測試裝置，包括 測試信號生成部，生成用于輸入到被測試元件的測試信號；修正電路，接收前述被測試元件依據(jù)前述測試信號所輸出的被測定信號，并 取得前述被測定信號的電平是否較預(yù)先所確定的電平大的比較結(jié)果，且對前述被 測定信號的傳送路徑中的損失進(jìn)行補(bǔ)償；以及判定部，根據(jù)前述修正電路所取得的前述比較結(jié)果，而判定前述被測試元件 的好壞；前述修正電路包括第1檢測部，檢測前述被測定信號的波形； 放大部，將前述第l檢測部所檢測的波形進(jìn)行放大；修正信號生成部，提取前述放大部所放大的波形的交流成分而生成修正信號； 輸出信號生成部，在前述被測定信號的波形上重疊前述修正信號；以及 比較結(jié)果生成部，根據(jù)前述輸出信號生成部所生成的信號，生成前述比較結(jié)
全文摘要
提供一種修正電路，其包括第1檢測部、放大部、修正信號生成部與輸出信號生成部。第1檢測部檢測輸入信號的波形。放大部將第1檢測部所檢測的波形進(jìn)行放大。修正信號生成部提取放大部所放大的波形的交流成分而生成修正信號。輸出信號生成部在輸入信號的波形上重疊修正信號而生成輸出信號。第1檢測部檢測輸入信號的波形及反轉(zhuǎn)波形；放大部放大輸入信號的波形及反轉(zhuǎn)的波形；修正信號生成部，分別提取放大部所放大的輸入信號的波形及反轉(zhuǎn)的波形的交流成分而生成修正信號及反轉(zhuǎn)修正信號；輸出信號生成部在輸入信號的波形上重疊修正信號、在輸入信號的反轉(zhuǎn)波形上重疊反轉(zhuǎn)修正信號，而生成輸出信號的差動信號對。
文檔編號H04B3/04GK101689886SQ20088002391
公開日2010年3月31日 申請日期2008年7月9日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月9日
發(fā)明者松本直木, 桑名勇治 申請人:愛德萬測試株式會社