振動元件、振子、振蕩器、電子設備以及移動體的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供振動元件、振子、振蕩器、電子設備以及移動體，能夠降低由加速度等外力引起的振動特性的變化，發(fā)揮穩(wěn)定的振動特性。振動元件（1）具有包含振動部（21）和厚度比振動部（21）厚的厚壁部（22）的壓電基板（2）。此外，厚壁部（22）具有沿著振動部（21）的第1外緣（211）設置的第1厚壁部（23）、沿著第2外緣（212）設置的第2厚壁部（24）以及沿著第3外緣（213）設置的第3厚壁部（25），在壓電基板（2）的連接第2厚壁部（24）和第3厚壁部（25）的角部上，設有分別相對于X軸方向和Z’軸方向這兩個方向傾斜的第1傾斜外緣部（26）。
【專利說明】振動元件、振子、振蕩器、電子設備以及移動體

【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及振動元件、振子、振蕩器、電子設備以及移動體。

【背景技術】
[0002]關于AT切石英振動元件，由于激勵的主振動的振動模式是厚度剪切振動，適合小型化、高頻率化，并且頻率溫度特性呈優(yōu)良的三次曲線，因此被用于壓電振蕩器、電子設備等多個方面。
[0003]專利文獻I中公開有具有薄壁的振動部和設于振動部的全周上的厚壁部的倒臺面構造的AT切石英振動元件,該AT切石英振動元件在所述厚壁部的一端部通過粘接劑被固定在封裝上。在AT切石英振動元件被懸臂支撐的狀態(tài)下，對AT切石英振動元件施加厚度方向的加速度時，前端部(振動部)發(fā)生變形，存在振動特性(頻率特性)不穩(wěn)定的問題。特別是在專利文獻I所述的AT切石英振動元件中，在振動部的整個周圍形成有厚壁部,前端部的重量較重，因此對加速度的影響較大，相應地，頻率的偏離量也變大。另外，為了減輕上述那樣的前端部(振動部)的變形，考慮增厚厚壁部的厚度來提高剛性，但是，當增厚厚壁部的厚度時，基于濕式蝕刻的振動部的形成精度降低，產生所得到的振動元件的振動特性無法收斂于規(guī)定的特性的問題。
[0004]專利文獻1:日本特開2002-198772號公報


【發(fā)明內容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種振動元件、振子、振蕩器、電子設備以及移動體，能夠降低大型化(厚壁化)，并且降低由加速度(振動)等外力引起的振動特性的變化，能夠發(fā)揮穩(wěn)定的振動特性。
[0006]本發(fā)明正是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，能夠作為以下的應用例而實現(xiàn)。
[0007][應用例I]
[0008]本應用例的振動元件的特征在于，該振動元件包含:
[0009]基板，其包含第I區(qū)域和第2區(qū)域，該第I區(qū)域包含以厚度剪切振動的方式進行振動的振動區(qū)域，該第2區(qū)域與所述第I區(qū)域一體，厚度比所述第I區(qū)域厚；以及
[0010]激勵電極，其分別設于所述振動區(qū)域的彼此處于正反關系的第I主面和第2主面，
[0011]所述第I區(qū)域包含:
[0012]第I外緣和第2外緣,它們在所述厚度剪切振動的振動方向上隔開,并與所述振動方向交叉；以及
[0013]第3外緣和第4外緣，它們在與所述振動方向垂直的方向上隔開，
[0014]所述第2區(qū)域包含:
[0015]第I厚壁部，其沿著所述第I外緣設置，設置有固定于對象物的固定部；
[0016]第2厚壁部，其沿著所述第2外緣設置；以及
[0017]第3厚壁部，其沿著所述第3外緣設置，并且，與所述第I厚壁部和所述第2厚壁部連接，
[0018]在所述基板的連接所述第2厚壁部和所述第3厚壁部的連接部上，設置有在俯視時相對于所述振動方向和與所述振動方向垂直的方向交叉的第I外緣部。
[0019]由此，可得到能夠降低前端側(固定部的相反側)的質量，降低由加速度(振動)等外力引起的振動特性的變化，發(fā)揮穩(wěn)定的振動特性的振動元件。此外，能夠降低厚壁部的厚度，能夠降低振動元件的大型化。
[0020][應用例2]
[0021]在本應用例的振動元件中，優(yōu)選的是，所述第I外緣部是在俯視時相對于所述振動方向和所述垂直的方向傾斜的第I傾斜外緣部，
[0022]所述第I傾斜外緣部相對于所述振動方向的傾斜角為30°以上60°以下。
[0023]由此，能夠更有效地發(fā)揮第I傾斜外緣部的質量降低效果。
[0024][應用例3]
[0025]在本應用例的振動元件中，優(yōu)選的是，所述第2厚壁部沿著所述振動方向的長度為40 μ m以上100 μ m以下。
[0026]由此，能夠進一步降低前端側的質量。
[0027][應用例4]
[0028]在本應用例的振動元件中，優(yōu)選的是，所述第2區(qū)域的厚度為50 μ m以上70 μ m以下。
[0029]由此，能夠提高振動元件的剛性，并高精度地形成第I區(qū)域。
[0030][應用例5]
[0031]在本應用例的振動元件中，優(yōu)選的是，所述第3厚壁部沿著與所述振動方向垂直的方向的長度為200 μ m以上。
[0032]由此，能夠充分提高振動元件的剛性。
[0033][應用例6]
[0034]在本應用例的振動元件中，優(yōu)選的是，在俯視時所述第2厚壁部的與所述第3厚壁部相反一側的端部上，設置有相對于所述振動方向和與所述振動方向垂直的方向交叉的第2外緣部。
[0035]由此，能夠進一步降低前端側的質量。
[0036][應用例7]
[0037]在本應用例的振動元件中，優(yōu)選的是，所述第2外緣部是在俯視時相對于所述振動方向和所述垂直的方向傾斜的第2傾斜外緣部，
[0038]所述第2傾斜外緣部相對于所述振動方向的傾斜角為30°以上60°以下。
[0039]由此，能夠更有效地發(fā)揮第2傾斜外緣部的質量降低效果。
[0040][應用例8]
[0041]在本應用例的振動元件中，優(yōu)選的是，所述第2傾斜外緣部被設置成跨過所述第I區(qū)域。
[0042]由此，能夠更有效地發(fā)揮第2傾斜外緣部的質量降低效果。
[0043][應用例9]
[0044]在本應用例的振動元件中，優(yōu)選的是，所述基板是如下的石英板:在石英晶軸即作為電氣軸的X軸、作為機械軸的Y軸以及作為光學軸的Z軸中，將所述X軸作為旋轉軸，將使所述Z軸以+Z側向所述Y軸的-Y方向旋轉的方式傾斜后的軸作為Z’軸，將使所述Y軸以+Y側向所述Z軸的+Z方向旋轉的方式傾斜后的軸作為Y’軸，將包含所述X軸和所述V軸的面作為主面，將沿著所述Y’軸的方向作為厚度方向。
[0045]由此，能夠得到溫度特性優(yōu)異的振動元件。
[0046][應用例10]
[0047]本應用例的振子的特征在于，該振子包含上述應用例的振動元件以及收納所述振動元件的封裝。
[0048]由此，可得到高可靠性的振子。
[0049][應用例11]
[0050]本應用例的振蕩器的特征在于，該振蕩器具有上述應用例的振動元件以及驅動所述振動元件的振蕩電路。
[0051]由此，可得到高可靠性的振蕩器。
[0052][應用例12]
[0053]本應用例的電子設備的特征在于，該電子設備具有上述應用例的振動元件。
[0054]由此，可得到可靠性高的電子設備。
[0055][應用例13]
[0056]本應用例的移動體的特征在于,該移動體具有上述應用例的振動元件。
[0057]由此，可得到高可靠性的移動體。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0058]圖1是本發(fā)明的第I實施方式的振動元件的立體圖。
[0059]圖2是圖1所示的振動元件的俯視圖。
[0060]圖3是對AT切石英基板與石英晶軸之間的關系進行說明的圖。
[0061]圖4是示出將圖1所示的振動元件固定在對象物上的狀態(tài)的側視圖。
[0062]圖5是示出第I傾斜外緣部的大小與G靈敏度之間的關系的曲線圖。
[0063]圖6是示出第2厚壁部的寬度與G靈敏度之間的關系的曲線圖。
[0064]圖7是示出第2厚壁部的寬度與撓曲量之間的關系的曲線圖。
[0065]圖8是示出厚壁部的厚度與G靈敏度之間的關系的曲線圖。
[0066]圖9是示出第3厚壁部的寬度與G靈敏度之間的關系的曲線圖。
[0067]圖10是示出降低振動元件的前端部的質量的圖案的圖。
[0068]圖11是示出圖10所示的各圖案的去除部的力矩與G靈敏度之間的關系的曲線圖。
[0069]圖12是示出石英晶軸與應力靈敏度之間的關系的曲線圖。
[0070]圖13是本發(fā)明的第2實施方式的振動元件的俯視圖。
[0071]圖14是示出第2傾斜外緣部的大小與G靈敏度之間的關系的曲線圖。
[0072]圖15是示出角度Θ 2與G靈敏度之間的關系的曲線圖。
[0073]圖16是本發(fā)明的第3實施方式的振動元件的立體圖。
[0074]圖17是示出本發(fā)明的振子的優(yōu)選實施方式的剖視圖。
[0075]圖18是示出本發(fā)明的振蕩器的優(yōu)選實施方式的剖視圖。
[0076]圖19是示出應用本發(fā)明的電子設備的移動式(或筆記本式)的個人計算機的結構的立體圖。
[0077]圖20是示出應用本發(fā)明的電子設備的便攜電話(包含PHS)的結構的立體圖。
[0078]圖21是示出應用本發(fā)明的電子設備的數(shù)字靜態(tài)照相機的結構的立體圖。
[0079]圖22是概略地示出作為本發(fā)明的移動體的一例的汽車的立體圖。
[0080]標號說明
[0081]I…振動兀件10…振子100…振蕩器110...1C芯片120…內部端子2…壓電基板21…振動部211…第I外緣212…第2外緣213…第3外緣214…第4外緣219…振動區(qū)域22…厚壁部23…第I厚壁部231…傾斜部232…厚壁部主體24…第2厚壁部241...傾斜部242…厚壁部主體25…第3厚壁部251…傾斜部252…厚壁部主體26…第I傾斜外緣部27…第2傾斜外緣部29…安裝部3…電極31、32…激勵電極33、34".盤電極35、36."引出電極91…粘接劑92…對象物4…封裝41…基座411…凹部42…蓋451、461…連接電極452、462…外部実裝端子51…導電性粘接劑52…接合引線1100…個人計算機1102...鍵盤1104…主體部1106…顯示單元1200…便攜電話1202…操作按鍵1204…受話口 1206…送話口 1300…數(shù)字靜態(tài)照相機1302…殼體1304…受光單元1306…快門按鈕1308…存儲器1312…視頻信號輸出端子1314…輸入輸出端子1430…電視監(jiān)視器1440…個人計算機1500…汽車2000…顯示部 L、L1、L2…長度W、W24, W25…寬度T…厚度S…收納空間PU P2、P3、P4…圖案θ、Θ 1、Θ 2…角度

【具體實施方式】
[0082]以下，根據附圖所示的優(yōu)選實施方式來詳細說明本發(fā)明的振動元件、振子、振蕩器、電子設備以及移動體。
[0083]1.振動元件
[0084]首先，對本發(fā)明的振動元件進行說明。
[0085]<第I實施方式>
[0086]圖1是本發(fā)明的第I實施方式的振動元件的立體圖。圖2是圖1所示的振動元件的俯視圖。圖3是對AT切石英基板與石英晶軸之間的關系進行說明的圖。圖4是示出將圖1所示的振動元件固定在對象物上的狀態(tài)的側視圖。圖5是示出第I傾斜外緣部的大小與G靈敏度之間的關系的曲線圖。圖6是示出第2厚壁部的寬度與G靈敏度之間的關系的曲線圖。圖7是示出第2厚壁部的寬度與撓曲量之間的關系的曲線圖。圖8是示出厚壁部的厚度與G靈敏度之間的關系的曲線圖。圖9是示出第3厚壁部的寬度與G靈敏度之間的關系的曲線圖。圖10是示出降低振動元件的前端部的質量的圖案的圖。圖11是示出圖10所示的各圖案的去除部的力矩與G靈敏度之間的關系的曲線圖。圖12是示出石英晶軸與應力靈敏度之間的關系的曲線圖。另外，以下為了便于說明，將圖2中的右側稱作前端，左側稱作基端。
[0087]如圖1和圖2所不，振動兀件I具有壓電基板(基板)2和形成在壓電基板2上的電極3。
[0088](壓電基板)
[0089]壓電基板2是板狀的石英基板。這里，作為壓電基板2的材料的石英屬于三方晶系，如圖3所示，具有彼此垂直的晶軸X、Y、Z0將X軸、Y軸、Z軸分別稱作電氣軸、機械軸、光學軸。本實施方式的壓電基板2是沿著將XZ面繞X軸旋轉規(guī)定的角度Θ后的平面切出的“旋轉Y切石英基板”，例如將沿著旋轉Θ =35° 15’后的平面切出時的基板稱作“AT切石英基板”。通過使用這樣的石英基板而成為具有優(yōu)異溫度特性的振動元件I。但是，壓電基板2不限于AT切壓電基板，只要能夠激勵厚度剪切振動即可，例如，也可以使用BT切的壓電基板。
[0090]另外，以下將與角度Θ對應地繞X軸旋轉后的Y軸和Z軸設為Y’軸和ZH即，壓電基板2在Y’軸方向上具有厚度，在XZ’面方向上具有廣度。
[0091]壓電基板2在俯視時呈以沿X軸的方向為長邊，沿Z’軸的方向為短邊的大致長方形狀。此外，壓電基板2將-X軸方向作為前端側，+X軸方向作為基端側。
[0092]如圖1和圖2所示，壓電基板2具有:振動部(第I區(qū)域)21，其包含薄壁的振動區(qū)域(封閉振動能量的區(qū)域)219 ;以及厚壁部(第2區(qū)域)22，其與振動部21 —體，厚度比振動區(qū)域219厚。例如可通過濕式蝕刻在石英基板的+Y’軸側的主面上形成凹陷部，由此形成振動部21。
[0093]振動部21相對于壓電基板2的中央靠近-X軸方向側和-V軸方向側，其外緣的一部分從厚壁部22露出。具體而言，振動部21具有第I外緣211和第2外緣212以及第3外緣213和第4外緣214，在俯視振動元件I時，第I外緣211和第2外緣212在X軸方向(厚度剪切振動的振動方向)上隔開，并在V軸方向(與X軸方向交叉的方向)上延伸，第3外緣213和第4外緣214在Z’軸方向上隔開，并在X軸方向上延伸。在第I外緣211、第2外緣212中，第I外緣211位于+X軸側，第2外緣212位于-X軸側。此外，在第3外緣213、第4外緣214中，第3外緣213位于+Z’軸側，第4外緣214位于-Z’軸側。
[0094]以包圍這樣的振動部21的三個方向的方式設置有厚壁部22。如圖1所示，厚壁部22的正面(+Y’軸方向側的主面)被設置成與振動部21的正面(+Y’軸方向側的主面)相比向+Y’軸方向側突出。另一方面，厚壁部22的背面(-Y’軸方向側的主面)被設置成與振動部21的背面(-Y’軸方向側的主面)在同一平面上。
[0095]如圖1和圖2所示，厚壁部22具有:沿著第I外緣211配置的第I厚壁部23 ;沿著第2外緣212配置的第2厚壁部24 ;沿著第3外緣213配置，并與第I厚壁部23、第2厚壁部24連接的第3厚壁部25。因此，厚壁部22具有在俯視時沿著振動部21彎曲的構造，成大致U字狀。另一方面，在振動部21的第4外緣214上未形成厚壁部22，第4外緣214從厚壁部22露出。這樣，通過將厚壁部22局部地設置在振動部21的外緣上而成為大致U字形，并且不沿著第4外緣214設置，由此，能夠保持振動元件I (振動部21)的剛性，并且降低振動元件I的前端側的質量。此外，能夠實現(xiàn)振動元件I的小型化。
[0096]這里，將第3厚壁部25相對于振動部21設置在+Z’軸側，由此，與將第3厚壁部25設置在-V軸側的情況相比，能夠縮短后述的傾斜部251的寬度(Z’軸方向的長度)。因此，根據這樣的厚壁部22，能夠實現(xiàn)振動元件I的小型化。
[0097]第I厚壁部23具有:傾斜部(殘渣部)231，其與第I外緣211連續(xù)設置，厚度朝向+X軸方向逐漸增大；以及厚度大致固定的厚壁部主體232，其與傾斜部231的+X軸方向側的端緣連接。同樣，第2厚壁部24具有:傾斜部(殘渣部)241，其與第2外緣212連續(xù)設置，厚度朝向-X軸方向逐漸增大；以及厚度大致固定的厚壁部主體242，其與傾斜部241的-X軸方向側的端緣連接。同樣，第3厚壁部25具有:傾斜部(殘渣部)251，其與第3外緣213連續(xù)設置，厚度朝向+Z’軸方向逐漸增大；以及厚度大致固定的厚壁部主體252，其與傾斜部251的+Z’軸方向側的端緣連接。
[0098]在第I厚壁部23的厚壁部主體232的正面即振動元件I的基端側設有安裝部(固定部)29。如圖4所示，通過該安裝部29，使用粘接劑91將振動元件I固定于對象物92。另外，安裝部29的位置沒有特別的限定，例如也可以設于厚壁部主體232的背面。
[0099](電極)
[0100]電極3具有:一對激勵電極31、32 ;—對盤電極33、34 ;以及一對引出電極35、36。激勵電極31、32形成于振動區(qū)域219的彼此處于正反關系的正面(第I主面)和背面(第2主面)。具體而言，激勵電極31形成于振動區(qū)域219的正面，激勵電極32形成于振動區(qū)域219的背面。此外，激勵電極32被配置成在俯視時與激勵電極31重疊。這些激勵電極31、32是以X軸方向為長度，以Z’軸方向為寬度的大致矩形。此外，背面?zhèn)鹊募铍姌O32的面積比正面?zhèn)鹊募铍姌O31大，在俯視振動元件I時，激勵電極31的整個區(qū)域位于激勵電極32內。
[0101]盤電極33形成于厚壁部主體232正面的安裝部29。另一方面，盤電極34與盤電極33相對地形成于厚壁部主體232背面。
[0102]從激勵電極31延伸出引出電極35，激勵電極31和盤電極33經由該引出電極35電連接。此外，從激勵電極32延伸出引出電極36，激勵電極32和盤電極34經由該引出電極36電連接。引出電極36 被設置成在俯視時不隔著壓電基板2與引出電極35重疊。由此，能夠抑制引出電極35、36之間的靜電容量。
[0103]這樣的電極3的結構沒有特別的限定，能夠由金屬覆蓋膜構成，該金屬覆蓋膜是在例如Cr (鉻)、Ni (鎳)等的基底層上層疊Au (金)、A1 (鋁)以及以Au (金)、A1 (鋁)為主成分的合金而成的。
[0104]以上說明了振動元件I的基本結構。接著，詳細說明振動元件I的外形。另外，以下記載的各部的大小是在振動元件I的外形(長度L、寬度W)處于規(guī)定范圍內時特別有效的值。該規(guī)定范圍是指滿足L ^ 5mm的關系并且滿足W ^ 3mm的關系的范圍。
[0105]如圖1和圖2所示，在連接第2厚壁部24和第3厚壁部25的連接部(角部)上，設置有在俯視時分別相對于X軸方向和Z’軸方向這兩個方向傾斜的第I傾斜外緣部(第I外緣部)26。以切去位于-X軸側且+Z’側的角部的方式設置第I傾斜外緣部26。由于具有這樣的第I傾斜外緣部26，因此，能夠降低振動元件I的前端側的質量。因此，如圖4所示，能夠減小在安裝部29上通過粘接劑固定于對象物的狀態(tài)下，向振動元件I施加Y’軸方向的角速度時振動元件I的前端側(振動部21)的撓曲量。其結果是，能夠將由于Y’軸方向的加速度引起的振動特性(頻率)的變化抑制得較小，能夠降低振動元件I對Y’軸方向的加速度的靈敏度。因此，不管是否施加Y’軸方向的加速度，振動元件I都能夠發(fā)揮穩(wěn)定的振動特性。特別是如本實施方式那樣，通過去除位于-X軸側且+Z’側的角部的厚壁部22，能夠更有效地發(fā)揮質量降低效果。這樣，根據振動元件1，能夠充分地降低振動元件I對Y’軸方向的加速度的靈敏度，因此，例如不需要過度地增厚厚壁部22來提高剛性，能夠防止振動元件I的大型化。
[0106]這里，第I傾斜外緣部26相對于X軸的傾斜角Θ I沒有特別的限定，但是優(yōu)選為30°以上60°以下。由此，能夠更有效地發(fā)揮質量降低效果。另外，在本實施方式中，為大致45°。此外，如本實施方式那樣，第I傾斜外緣部26被設置成不分斷第2厚壁部24和第3厚壁部25。由此，能夠防止非本意的振動元件I的剛性降低。當通過第I傾斜外緣部26分斷第2厚壁部24、第3厚壁部25時，第2厚壁部24主要作為前端部的施重部而發(fā)揮作用，振動元件I的剛性降低，與此對應地，振動部21的Y’軸方向的撓曲量變大。
[0107]圖5的曲線圖示出向Y’軸方向施加加速度時的第I傾斜外緣部26的大小不同引起的G靈敏度特性(歸一化的G靈敏度)的變化。另外，在圖5中，將圖2所示的長度LI設為第I傾斜外緣部26的大小。此外，歸一化的G靈敏度能夠由如下公式表不,意味著歸一化的G靈敏度越低，則相對于比較例，對Y’軸方向的加速度的靈敏度越低(以下同樣)。此外，在所述比較例中使用圖10的(a)所示的不具有第I傾斜外緣部26的構造(LI = O)。
[0108]

【權利要求】
1.一種振動元件，其特征在于，該振動元件包含: 基板，其包含第I區(qū)域和第2區(qū)域，該第I區(qū)域包含以厚度剪切振動的方式進行振動的振動區(qū)域，該第2區(qū)域與所述第I區(qū)域一體，厚度比所述第I區(qū)域厚；以及 激勵電極，其分別設于所述振動區(qū)域的彼此處于正反關系的第I主面和第2主面， 所述第I區(qū)域包含: 第I外緣和第2外緣，它們在所述厚度剪切振動的振動方向上隔開，并與所述振動方向交叉；以及 第3外緣和第4外緣,它們在與所述振動方向垂直的方向上隔開， 所述第2區(qū)域包含: 第I厚壁部，其沿著所述第I外緣設置，設置有固定于對象物的固定部； 第2厚壁部，其沿著所述第2外緣設置；以及 第3厚壁部，其沿著所述第3外緣設置，并且，與所述第I厚壁部和所述第2厚壁部連接， 在所述基板的連接所述第2厚壁部和所述第3厚壁部的連接部上，設置有在俯視時相對于所述振動方向和與所述振動方向垂直的方向交叉的第I外緣部。
2.根據權利要求1所述的振動元件,其中， 所述第I外緣部是在俯視時相對于所述振動方向和所述垂直的方向傾斜的第I傾斜外緣部， 所述第I傾斜外緣部相對于所述振動方向的傾斜角為30°以上60°以下。
3.根據權利要求1或2所述的振動元件，其中， 所述第2厚壁部沿著所述振動方向的長度為40 μ m以上100 μ m以下。
4.根據權利要求1或2所述的振動元件，其中， 所述第2區(qū)域的厚度為50 μ m以上70 μ m以下。
5.根據權利要求1或2所述的振動元件，其中， 所述第3厚壁部沿著與所述振動方向垂直的方向的長度為200 μ m以上。
6.根據權利要求1或2所述的振動元件，其中， 在俯視時所述第2厚壁部的與所述第3厚壁部相反一側的端部上，設置有相對于所述振動方向和與所述振動方向垂直的方向交叉的第2外緣部。
7.根據權利要求6所述的振動元件，其中， 所述第2外緣部是在俯視時相對于所述振動方向和所述垂直的方向傾斜的第2傾斜外緣部， 所述第2傾斜外緣部相對于所述振動方向的傾斜角為30°以上60°以下。
8.根據權利要求6所述的振動元件，其中， 所述第2傾斜外緣部被設置成跨過所述第I區(qū)域。
9.根據權利要求1或2所述的振動元件，其中， 所述基板是如下的石英板:在石英晶軸即作為電氣軸的X軸、作為機械軸的Y軸以及作為光學軸的Z軸中，將所述X軸作為旋轉軸，將使所述Z軸以+Z側向所述Y軸的-Y方向旋轉的方式傾斜后的軸作為Z’軸，將使所述Y軸以+Y側向所述Z軸的+Z方向旋轉的方式傾斜后的軸作為Y’軸，將包含所述X軸和所述Z’軸的面作為主面，將沿著所述Y’軸的方向作為厚度方向。
10.—種振子,其特征在于,該振子包含: 權利要求1或2所述的振動元件；以及 收納所述振動元件的封裝。
11.一種振蕩器，其特征在于，該振蕩器具有: 權利要求1或2所述的振動元件；以及 驅動所述振動元件的振蕩電路。
12.一種電子設備，其特征在于，該電子設備具有權利要求1或2所述的振動元件。
13.—種移動體，其 特征在于，該移動體具有權利要求1或2所述的振動元件。
【文檔編號】H03H9/02GK104079255SQ201410106982
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2014年3月21日 優(yōu)先權日:2013年3月29日
【發(fā)明者】田中雅子, 小幡直久, 菊島正幸 申請人:精工愛普生株式會社