壓電振動(dòng)片、壓電振動(dòng)器、振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘表的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供能夠抑制高次振動(dòng)的產(chǎn)生并減小電阻值的壓電振動(dòng)片。壓電振動(dòng)片（3）包括：各自具有槽部（27、28）的一對(duì)振動(dòng)臂部（23、24）；配置在一對(duì)振動(dòng)臂部之間的基部（21）；以及連結(jié)一對(duì)振動(dòng)臂部的各自的基端（23a、24a）與基部的連結(jié)部（22）。在振動(dòng)臂部的長(zhǎng)邊方向，將從振動(dòng)臂部的基端到前端為止的長(zhǎng)度設(shè)為L(zhǎng)v，將從振動(dòng)臂部的基端到連結(jié)部中相對(duì)于振動(dòng)臂部相反側(cè)的端為止的長(zhǎng)度設(shè)為L(zhǎng)c的情況下，滿足Lc/Lv≥0.1的關(guān)系。
【專利說(shuō)明】壓電振動(dòng)片、壓電振動(dòng)器、振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘表

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及壓電振動(dòng)片、壓電振動(dòng)器、振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘表。

【背景技術(shù)】
[0002]壓電振動(dòng)器作為時(shí)刻源、控制信號(hào)的定時(shí)源、參考信號(hào)源等，利用于各種器件。壓電振動(dòng)器是在封裝件(package)收納壓電振動(dòng)片的結(jié)構(gòu)。
[0003]壓電振動(dòng)片例如如下述專利文獻(xiàn)I所開示的那樣，具備一對(duì)振動(dòng)臂部、設(shè)于一對(duì)振動(dòng)臂部之間的基部、及將一對(duì)振動(dòng)臂部的各個(gè)與基部連結(jié)的連結(jié)部。關(guān)于壓電振動(dòng)片，當(dāng)對(duì)形成在振動(dòng)臂部的激振電極施加了電壓時(shí)，振動(dòng)臂部以既定的頻率進(jìn)行彎曲振動(dòng)。
[0004]壓電振動(dòng)片的Cl值(晶體阻抗:Crystal Impedance)越小,這種壓電振動(dòng)片振動(dòng)所需要的電力越少，能夠減小使用壓電振動(dòng)片的各種器件的耗電。
[0005]在將壓電振動(dòng)片以等效電路表示的情況下，壓電振動(dòng)片的Cl值往往以串聯(lián)電阻值(以下，僅稱為電阻值)表示，在本說(shuō)明書中也以電阻值表示?，F(xiàn)在被提供的壓電振動(dòng)片，例如在輸出頻率為32.768kHz的情況下，電阻值為50 Ω到80 Ω左右。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1:日本特開2006 - 345519號(hào)公報(bào)。
[0007]如上述的壓電振動(dòng)片，在振動(dòng)臂部形成有槽部時(shí)，因電場(chǎng)效率變高等而電阻值變低。一般，壓電振動(dòng)片是槽部的長(zhǎng)度越長(zhǎng)電阻值就越低。但是，當(dāng)槽部的長(zhǎng)度為閾值以上時(shí)，高次振動(dòng)的電阻值比基本振動(dòng)的電阻值小，振動(dòng)模式發(fā)生變化，從而得不到所希望頻率的振動(dòng)。換句話說(shuō)，壓電振動(dòng)片抑制高次振動(dòng)的產(chǎn)生，但是降低電阻值并不容易。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的目的在于提供抑制高次振動(dòng)的產(chǎn)生并能減小電阻值的壓電振動(dòng)片。此夕卜，本發(fā)明的目的在于提供能減小耗電的壓電振動(dòng)器、振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘表。
[0009]本發(fā)明的第I形態(tài)的壓電振動(dòng)片，其中包括:各自具有槽部的一對(duì)振動(dòng)臂部；配置在一對(duì)振動(dòng)臂部之間的基部；以及連結(jié)一對(duì)振動(dòng)臂部的各自的基端與基部的連結(jié)部，在振動(dòng)臂部的長(zhǎng)邊方向，將從振動(dòng)臂部的基端到前端為止的長(zhǎng)度設(shè)為L(zhǎng)v，將從振動(dòng)臂部的基端到連結(jié)部中相對(duì)于振動(dòng)臂部相反側(cè)的端為止的長(zhǎng)度設(shè)為L(zhǎng)c的情況下，滿足Lc/Lv > 0.1的關(guān)系。
[0010]在第I形態(tài)的壓電振動(dòng)片中，連結(jié)部具有相對(duì)于振動(dòng)臂部在相反側(cè)突出的凸部，凸部在振動(dòng)臂部的長(zhǎng)邊方向包含連結(jié)部中相對(duì)于振動(dòng)臂部相反側(cè)的端也可。
[0011]第I形態(tài)的壓電振動(dòng)片，具備配置在基部與連結(jié)部的各個(gè)部分的基板安裝用的裝配電極也可。
[0012]本發(fā)明的第2形態(tài)的壓電振動(dòng)器，其中包括:第I形態(tài)的壓電振動(dòng)片；安裝壓電振動(dòng)片的基底部件；以及與基底部件一起形成收納壓電振動(dòng)片的空腔的蓋部件。
[0013]本發(fā)明的第3形態(tài)的振蕩器，其中包括:第2形態(tài)的壓電振動(dòng)器；以及與壓電振動(dòng)器電連接的集成電路。
[0014]本發(fā)明的第4形態(tài)的電子設(shè)備，其中包括:包含第2形態(tài)的壓電振動(dòng)器的計(jì)時(shí)部。
[0015]本發(fā)明的第4形態(tài)的電波鐘表，其中包括:包含第2形態(tài)的壓電振動(dòng)器的濾波器部。
[0016]依據(jù)本發(fā)明，提供能夠抑制高次振動(dòng)的產(chǎn)生并減小電阻值的壓電振動(dòng)片。此外，本發(fā)明的目的在于提供能夠減小耗電的壓電振動(dòng)器、振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘表。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1是示出本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)器的分解立體圖；
圖2是從厚度方向觀看本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片的平面圖；
圖3是圖2的A — A’線的位置上的一對(duì)振動(dòng)臂部的剖面圖；
圖4是示出振動(dòng)臂部的長(zhǎng)度Lv、連結(jié)部的長(zhǎng)度Lc、槽部的長(zhǎng)度La的組合不同的多個(gè)壓電振動(dòng)片各自的電阻值的表；
圖5是將2次振動(dòng)的電阻值R2對(duì)I次振動(dòng)的電阻值Rl之比(R2/R1 )，對(duì)于槽部的相對(duì)長(zhǎng)度(La/Lv)繪出的圖表；
圖6是示出變形例I所涉及的壓電振動(dòng)片的圖；
圖7是示出變形例2所涉及的壓電振動(dòng)片的圖；
圖8是示出變形例3所涉及的壓電振動(dòng)片的圖；
圖9是示出變形例4所涉及的壓電振動(dòng)片的圖；
圖10是示出變形例5所涉及的壓電振動(dòng)片的圖；
圖11是示出變形例6所涉及的壓電振動(dòng)片的圖；
圖12是示出壓電振動(dòng)片的制造方法的流程圖；
圖13是示出決定壓電振動(dòng)片的形狀信息的工序的流程圖；
圖14是示出本實(shí)施方式的振蕩器的圖；
圖15是示出一例本實(shí)施方式的便攜信息設(shè)備的圖；
圖16是示出本實(shí)施方式的電波鐘表的圖。

【具體實(shí)施方式】
[0018]接著，對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖1是示出本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)器I的分解立體圖。該壓電振動(dòng)器I是所謂的陶瓷封裝型的表面安裝型振動(dòng)器。壓電振動(dòng)器I包括:具有氣密地密封的空腔C的封裝件2 ;和收納于空腔C的壓電振動(dòng)片3。
[0019]圖1的壓電振動(dòng)器I外形大體為長(zhǎng)方體狀。在以下說(shuō)明中，將從壓電振動(dòng)片3的厚度方向T觀看時(shí)的壓電振動(dòng)器I的長(zhǎng)邊方向稱為長(zhǎng)度方向L、將壓電振動(dòng)器I的短邊方向稱為寬度方向W。
[0020]封裝件2具備封裝件主體(基底部件)4和封口板(蓋部件)5。封裝件主體4是具有有底凹部的部件。封口板5堵塞封裝件主體4的凹部的開口，與封裝件主體4接合?？涨籆是相當(dāng)于封裝件主體4的凹部?jī)?nèi)側(cè)的內(nèi)部空間，通過(guò)封裝件主體4和封口板5，與封裝件2的外部隔開。
[0021]封裝件主體4包含:第I基底基板10 ;配置在第I基底基板10上的第2基底基板11 ;以及配置在第2基底基板11上的密封圈12。
[0022]第I基底基板10和第2基底基板11分別為從厚度方向T觀看的外形大體為長(zhǎng)方形的板狀部件。第2基底基板11從厚度方向T觀看的外形尺寸與第I基底基板10大致相同。
[0023]第I基底基板10和第2基底基板11分別為陶瓷制的。第I基底基板10和第2基底基板11的形成材料，例如，可以為以氧化鋁為主成分的高溫?zé)商沾?HTCC)，也可為玻璃陶瓷等的低溫?zé)商沾?LTCC)。
[0024]第2基底基板11與第I基底基板10重疊，通過(guò)燒結(jié)等與第I基底基板10結(jié)合。即，第2基底基板11與第I基底基板10被一體化。在第2基底基板11中，朝著與第I基底基板10相反側(cè)的面，相當(dāng)于封裝件主體4的凹部的底面，是裝配壓電振動(dòng)片3的安裝面Ila0
[0025]密封圈12是框狀部件，包含封裝件主體4的凹部的側(cè)壁。密封圈12從厚度方向T觀看時(shí)的外形尺寸，比第2基底基板11小一圈。密封圈12通過(guò)利用銀焊料等的焊料或軟釬料等的燒焊，接合到安裝面11a。密封圈12通過(guò)對(duì)形成在安裝面Ila上的金屬接合層的熔敷等，與安裝面Ila接合也可。該金屬接合層利用電鍍法、化學(xué)鍍法、蒸鍍法、濺鍍法的至少一種形成也可。
[0026]密封圈12為導(dǎo)電性的部件，例如包含鎳基合金。該鎳基合金包含科瓦鐵鎳合金(Kovar)、埃林瓦爾合金(Elinvar)、因瓦合金(invar)、42 —合金之中I種或2種以上也可。密封圈12的形成材料也可以從熱膨脹系數(shù)接近第I基底基板10及第2基底基板11的材料中選擇。例如，作為第I基底基板10及第2基底基板11的形成材料，在使用熱膨脹系數(shù)6.8X10-7°C的氧化鋁的情況下，密封圈12的形成材料既可為熱膨脹系數(shù)5.2 X 10 — 6/°C的科瓦鐵鎳合金，也可為熱膨脹系數(shù)4.5?6.5X 10 — 6/°C的42 —合金。
[0027]封口板5重疊在密封圈12上，堵塞密封圈12的開口。上述的空腔C是被第2基底基板11和密封圈12和封口板5包圍的空間。即，在從厚度方向T觀看的情況下，壓電振動(dòng)片3被收納于密封圈12的內(nèi)側(cè)。
[0028]封口板5為導(dǎo)電性的基板，與密封圈12接合。密封圈12例如通過(guò)接觸滾盤電極來(lái)進(jìn)行的縫焊、激光焊接、超聲波焊接等的焊接，與封口板5接合。在焊接封口板5和密封圈12的情況下，若在封口板5的下表面和密封圈12的上表面的一方或雙方設(shè)置鎳、金等的接合層，則提高焊接形成的接合的可靠性，例如易于確?？涨籆的氣密性。
[0029]在密封圈12內(nèi)側(cè)的第2基底基板11的安裝面Ila上，設(shè)有電極焊盤14及電極焊盤15。電極焊盤14和電極焊盤15是與壓電振動(dòng)片3電連接的一對(duì)端子。雖然后面進(jìn)行詳細(xì)敘述，但在壓電振動(dòng)片3設(shè)有基板安裝用的裝配電極16和裝配電極17。電極焊盤14與壓電振動(dòng)片3的裝配電極16電連接，電極焊盤15與壓電振動(dòng)片3的裝配電極17電連接。
[0030]在第I基底基板10的下表面，設(shè)有外部電極18和外部電極19。外部電極18及外部電極19是接受來(lái)自壓電振動(dòng)器I的外部器件例如安裝壓電振動(dòng)器I的器件的電力供給的端子。
[0031]在封裝件主體4，設(shè)有電連接電極焊盤14和外部電極18的第I布線(省略圖示)、和電連接電極焊盤15和外部電極19的第2布線(省略圖示)。即，施加到外部電極18的電位，經(jīng)由第I布線及電極焊盤14，施加到壓電振動(dòng)片3的裝配電極16。此外，施加到外部電極19的電位，經(jīng)由第2布線及電極焊盤15，施加到壓電振動(dòng)片3的裝配電極17。壓電振動(dòng)片3利用供給裝配電極16及裝配電極17的電力而振動(dòng)。
[0032]再者，第I布線例如包含:沿厚度方向T貫通第I基底基板10而與外部電極18導(dǎo)通的第I貫通電極；沿厚度方向T貫通第2基底基板11而與電極焊盤14導(dǎo)通的第2貫通電極；以及設(shè)在第I基底基板10與第2基底基板之間并將第I貫通電極和第2貫通電極電連接的連接布線。電連接電極焊盤15與外部電極19的第2布線，為與第I布線同樣的構(gòu)成。第I布線和第2布線的構(gòu)成可以適宜變更。
[0033]接著，對(duì)壓電振動(dòng)片3進(jìn)行說(shuō)明。該壓電振動(dòng)片3是如圖1所示的板狀的部件。壓電振動(dòng)片3是在水晶(石英)、鉭酸鋰或鈮酸鋰等的壓電體形成有作為電極或布線起作用的導(dǎo)電膜圖案等的附帶物的部件。
[0034]圖2是從厚度方向T觀看本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片3的平面圖。本實(shí)施方式中，有時(shí)將壓電振動(dòng)片3的外面之中與厚度方向T正交的面稱為主面。即，壓電振動(dòng)片3的主面是與長(zhǎng)度方向L和寬度方向W的分別平行的面。
[0035]壓電振動(dòng)片3具備:一對(duì)振動(dòng)臂部20 ;配置在一對(duì)振動(dòng)臂部20之間的基部21 ;以及連結(jié)一對(duì)振動(dòng)臂部20和基部21的連結(jié)部22。本實(shí)施方式中，一對(duì)振動(dòng)臂部20和基部21和連結(jié)部22形成為一體，相鄰的各部分無(wú)界面地連續(xù)。圖2中，為了示出各部分的范圍，用雙點(diǎn)劃線示出各部分的基端或前端。
[0036]實(shí)施方式中的基部21在從厚度方向T觀看時(shí)外形為矩形狀，其長(zhǎng)邊方向與長(zhǎng)度方向L大致平行?；?1以長(zhǎng)度方向L的一 L側(cè)的端為基端21a，向+L側(cè)線性延伸。基部21在其基端21a與連結(jié)部22連續(xù)。
[0037]基部21包含安裝于圖1所示的壓電振動(dòng)器I的封裝件2的裝配部。本實(shí)施方式中的基部21具備裝配電極16及裝配電極17，裝配電極16及裝配電極17的各自為裝配部。
[0038]裝配電極16與圖1所示的電極焊盤14電連接。例如，電極焊盤14為凸點(diǎn)(bump)電極，裝配電極16經(jīng)由導(dǎo)電性粘接劑與電極焊盤14接觸，從而與電極焊盤14導(dǎo)通。裝配電極17也與裝配電極16同樣，與電極焊盤15電連接。
[0039]再者，裝配電極16不經(jīng)導(dǎo)電性粘接劑而與電極焊盤14直接接觸也可。此外，裝配電極16與電極焊盤14的電連接，采用凸點(diǎn)電極以外的連接方法也可。
[0040]一對(duì)振動(dòng)臂部20包含振動(dòng)臂部23及振動(dòng)臂部24。振動(dòng)臂部23以長(zhǎng)度方向L的一L側(cè)的端為基端23a，向+ L側(cè)線性延伸。振動(dòng)臂部23在其基端23a與連結(jié)部22連續(xù)，在連結(jié)部22以懸臂狀被支撐。振動(dòng)臂部23的長(zhǎng)邊方向與長(zhǎng)度方向L大致平行，也與基部21的長(zhǎng)邊方向大致平行。
[0041]振動(dòng)臂部23的長(zhǎng)度Lv是振動(dòng)臂部23的長(zhǎng)邊方向(長(zhǎng)度方向L)中，振動(dòng)臂部23的從基端23a到前端23b的長(zhǎng)度。在壓電振動(dòng)器I的長(zhǎng)度方向L的外形尺寸為Imm左右的情況下，振動(dòng)臂部23的長(zhǎng)度Lv為例如800 μ m左右。長(zhǎng)度方向L中的振動(dòng)臂部24的長(zhǎng)度實(shí)質(zhì)上與振動(dòng)臂部23相同，與振動(dòng)臂部23的長(zhǎng)度Lv的差落在制造公差內(nèi)。
[0042]振動(dòng)臂部23包含:以均勻的寬度線性延伸的帶狀部25 ;以及相對(duì)于帶狀部25的長(zhǎng)邊方向的寬度(寬度方向W中的尺寸)大于帶狀部25的錘頭部26。帶狀部25的一 L側(cè)的端相當(dāng)于振動(dòng)臂部23的基端23a，與連結(jié)部22連續(xù)。帶狀部25的+ L側(cè)的端與錘頭部26連續(xù)。
[0043]在振動(dòng)臂部23的帶狀部25形成有槽部27。槽部27與振動(dòng)臂部23的長(zhǎng)邊方向(長(zhǎng)度方向L)大致平行地延伸。槽部27形成在壓電振動(dòng)片3的主面，其深度方向與壓電振動(dòng)片3的厚度方向T大致平行。槽部27的長(zhǎng)度La是振動(dòng)臂部23的長(zhǎng)度方向中，從槽部27的一端到另一端的長(zhǎng)度。
[0044]振動(dòng)臂部24關(guān)于基部21的寬度方向W中的中心線，與振動(dòng)臂部23對(duì)稱地配置。振動(dòng)臂部24的形狀及尺寸與振動(dòng)臂部23大致相同。因此，對(duì)于振動(dòng)臂部24，簡(jiǎn)化或省略與振動(dòng)臂部23重復(fù)的說(shuō)明。
[0045]振動(dòng)臂部24以長(zhǎng)度方向L的一 L側(cè)的端為基端24a，向+ L側(cè)線性延伸。振動(dòng)臂部24在其基端24a與連結(jié)部22連續(xù)，在連結(jié)部22以懸臂狀被支撐。振動(dòng)臂部24包含形成有槽部28的帶狀部29和錘頭部30。
[0046]再者，圖2中的符號(hào)Wl是壓電振動(dòng)片3的最大寬度。圖2中的最大寬度Wl是從振動(dòng)臂部23的錘頭部26中的+ W側(cè)的端起到振動(dòng)臂部24的錘頭部30中的一 W側(cè)的端的距離。例如，在圖1所示的壓電振動(dòng)器I的寬度方向W的外形尺寸為800 μ m左右的情況下，壓電振動(dòng)片3的最大寬度Wl為400 μ m左右。
[0047]連結(jié)部22與基部21的基端21a連續(xù)，并且與振動(dòng)臂部23的基端23a連續(xù)。即，連結(jié)部22在基部21的基端21a與振動(dòng)臂部23的基端23a之間連續(xù)，連結(jié)基部21的基端21a與振動(dòng)臂部23的基端23a。同樣地，連結(jié)部22連結(jié)基部21的基端21a與振動(dòng)臂部24的基端24a。
[0048]圖2的連結(jié)部22沿與基部21的長(zhǎng)邊方向交叉的方向(寬度方向W)延伸。連結(jié)部22從壓電振動(dòng)片3的厚度方向觀看外形為矩形狀。振動(dòng)臂部23的基端23a配置在連結(jié)部22的+ W側(cè)的端部，振動(dòng)臂部24的基端24a配置在連結(jié)部22的一 W側(cè)的端部?；?1的基端21a配置在包含振動(dòng)臂部23的基端23a和振動(dòng)臂部24的基端24a的中心位置的范圍(壓電振動(dòng)片3的寬度方向W的中央部)。
[0049]連結(jié)部22的長(zhǎng)度Lc是振動(dòng)臂部23的長(zhǎng)邊方向中，從振動(dòng)臂部23的基端23a到連結(jié)部22中相對(duì)于振動(dòng)臂部23相反側(cè)的端為止的長(zhǎng)度。換句話說(shuō)，連結(jié)部22的長(zhǎng)度Lc是以包含振動(dòng)臂部23的基端23a和振動(dòng)臂部24的基端24a的面為基準(zhǔn)面，基準(zhǔn)面的法線方向中的連結(jié)部22的端與基準(zhǔn)面的間隔。
[0050]圖3是圖2的A — A’線的位置中的一對(duì)振動(dòng)臂部20的剖面圖。振動(dòng)臂部23包含壓電體31、激振電極32、及激振電極33。激振電極32與槽部27中的壓電體31的表面和槽部27周圍中的壓電體31的表面連續(xù)。激振電極33以與激振電極32不連續(xù)地形成，與激振電極32絕緣。激振電極33與壓電體31中與壓電振動(dòng)片3的主面同一側(cè)的表面的一部分、和相對(duì)于壓電振動(dòng)片3的主面朝著側(cè)方的表面(側(cè)面)連續(xù)。
[0051]激振電極32經(jīng)由設(shè)于連結(jié)部22及基部21的布線，與基部21的裝配電極16電連接。即，激振電極32與圖1所示的外部電極18電連接。激振電極33經(jīng)由設(shè)于連結(jié)部22及基部21的布線，與基部21的裝配電極17電連接。即，激振電極33與圖1所示的外部電極19電連接。激振電極32及激振電極33從外部電極18及外部電極19接受電力的供給，對(duì)振動(dòng)臂部23中的壓電體31施加電場(chǎng)。當(dāng)從激振電極32及激振電極33向壓電體31施加電場(chǎng)時(shí)，振動(dòng)臂部23朝著接近基部21的方向和分離的方向，以基端23a (參照?qǐng)D2)為起點(diǎn)振動(dòng)。
[0052]振動(dòng)臂部24包含壓電體31、激振電極34、及激振電極35。激振電極34形成在振動(dòng)臂部23中與激振電極33對(duì)應(yīng)的位置。激振電極34經(jīng)由設(shè)于連結(jié)部22及基部21的布線，與基部21的裝配電極16電連接。激振電極35形成在振動(dòng)臂部23中與激振電極32對(duì)應(yīng)的位置。激振電極35經(jīng)由設(shè)于連結(jié)部22及基部21的省略圖示的布線，與基部21的裝配電極17電連接。振動(dòng)臂部24與振動(dòng)臂部23同樣，通過(guò)從外部電極18及外部電極19供給的電力，從激振電極32及激振電極33向壓電體31施加電場(chǎng)，朝著接近基部21的方向和分離的方向，以基端24a (參照?qǐng)D2)為起點(diǎn)振動(dòng)。
[0053]再者，連結(jié)部22中，振動(dòng)臂部23的基端23a的位置或其附近的部分，能與振動(dòng)臂部23 —起振動(dòng)，但其振幅遠(yuǎn)小于振動(dòng)臂部23的振幅。S卩，振動(dòng)臂部23的基端23a相當(dāng)于振動(dòng)的振動(dòng)臂部23基波的波節(jié)位置或其附近的位置。
[0054]由于如上述的壓電振動(dòng)片3中一對(duì)振動(dòng)臂部20各自形成有槽部，所以電場(chǎng)效率變高等而電阻值降低。然而，電阻值是槽部的長(zhǎng)度越長(zhǎng)就越低，若槽部的長(zhǎng)度為閾值以上，則高次振動(dòng)的電阻值會(huì)比基本振動(dòng)的電阻值小。其結(jié)果，壓電振動(dòng)片會(huì)進(jìn)行高次振動(dòng)，不能得到所希望頻率的振動(dòng)。
[0055]本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片3由于連結(jié)部22滿足既定的條件，所以能夠抑制高次振動(dòng)的產(chǎn)生而降低電阻值。以下，參照實(shí)施例及比較例，對(duì)壓電振動(dòng)片3的振動(dòng)特性進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0056]圖4是示出振動(dòng)臂部23的長(zhǎng)度Lv、連結(jié)部22的長(zhǎng)度Lc、槽部27的長(zhǎng)度La的組合不同的多個(gè)壓電振動(dòng)片各自的電阻值的表I。圖5是關(guān)于實(shí)施例和比較例的壓電振動(dòng)片，相對(duì)于槽部的相對(duì)長(zhǎng)度(La/Lv)繪出2次振動(dòng)的電阻值R2相對(duì)于I次振動(dòng)的電阻值Rl的t匕(R2/R1)的圖表。關(guān)于振動(dòng)臂部23的長(zhǎng)度Lv、連結(jié)部22的長(zhǎng)度Lc、槽部27的長(zhǎng)度La，請(qǐng)參照?qǐng)D2及其說(shuō)明。
[0057]表I中，示出以N0.0到N0.9表示的10個(gè)試樣的數(shù)據(jù)。這些10個(gè)試樣中振動(dòng)臂部23和振動(dòng)臂部24的各自的長(zhǎng)度Lv均為820 μ m。N0.1到N0.3為比較例的數(shù)據(jù)，圖5中對(duì)應(yīng)于比較例I的圖表。N0.4到N0.9是實(shí)施例的數(shù)據(jù)，N0.4到N0.6對(duì)應(yīng)于圖5的實(shí)施例1，N0.7到N0.9對(duì)應(yīng)于圖5的實(shí)施例2。
[0058]N0.1到N0.3中連結(jié)部的長(zhǎng)度Lc均為50 μ m, Lc/Lv都約為6.1%0 N0.1到N0.3中，槽部的長(zhǎng)度La, N0.1最短為300 μ m,以N0.2為400 μ m、N0.3為500 μ m的順序變長(zhǎng)。此夕卜，I次振動(dòng)的電阻值Rl在N0.1約為20.51 Ω , N0.2約為14.72 Ω，N0.3約為11.81 Ω。如此，一般槽部的長(zhǎng)度La越長(zhǎng),I次振動(dòng)的電阻值Rl就越低。
[0059]另一方面，2次振動(dòng)的電阻值R2在N0.1約為45.94Ω ,N0.2約為8.24Ω ,N0.3約為2.99 Ω。如此,槽部的長(zhǎng)度La越長(zhǎng),2次振動(dòng)的電阻值R2也越低。加長(zhǎng)槽部時(shí)的2次振動(dòng)的電阻值R2的降低，比I次振動(dòng)的電阻值Rl的降低顯著，隨著槽部的長(zhǎng)度La變長(zhǎng)，R2/Rl減少。
[0060]圖5的比較例I中，La/Lv約為45%處R2/R1小于1，若La/Lv為45%以上則能推測(cè)壓電振動(dòng)片進(jìn)行2次振動(dòng)。圖4的N0.2的電阻值Rl為15 Ω左右，因此在La/Lv為45%處推測(cè)為電阻值Rl超過(guò)15Ω。如此，比較例I中，為了使壓電振動(dòng)片進(jìn)行I次振動(dòng)，使La/Lv小于45%，難以使電阻值Rl小于15 Ω。
[0061]適用本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片的N0.4到N0.6，連結(jié)部22的長(zhǎng)度Lc均為100 μ m，Lc/Lv都約為12.2%。N0.4到N0.6中，關(guān)于槽部27的長(zhǎng)度La，N0.4為最短的300 μ m，以N0.5為400 μ m、N0.6為500 μ m順序變長(zhǎng)。此外，I次振動(dòng)的電阻值Rl在N0.4約為14.77 Ω，N0.5約為10.82 Ω，N0.6約為8.83 Ω。2次振動(dòng)的電阻值R2在N0.4約為520.33 Ω，N0.5約為 22.36 Ω , N0.6 約為 4.88 Ω。
[0062]圖5的實(shí)施例1中，La/Lv為53.9%左右處R2/R1為I。因此，實(shí)施例1中，如果槽部的長(zhǎng)度La小于振動(dòng)臂部23的長(zhǎng)度的53.9 則推測(cè)為壓電振動(dòng)片3進(jìn)行I次振動(dòng)。即，實(shí)施例1中，Lc/Lv為0.1以上，因此在壓電振動(dòng)片3進(jìn)行I次振動(dòng)的條件下，能夠使槽部的長(zhǎng)度La長(zhǎng)于比較例I。圖4的N0.5中，La/Lv約為48.8%, I次振動(dòng)的電阻值Rl約為10.82 Ω，因此在實(shí)施例1中，能推測(cè)為可以抑制2次振動(dòng)的產(chǎn)生并且將I次振動(dòng)的電阻值Rl降低至10 Ω左右。如以上，通過(guò)滿足0.49 ( La/Lv ( 0.53，能夠抑制2次振動(dòng)的產(chǎn)生，并能使I次振動(dòng)的電阻值Rl為15 Ω以下。
[0063]適用本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片的N0.7到N0.9，連結(jié)部22的長(zhǎng)度Lc均為200 μ m,Lc/Lv都約為24.4%。N0.7到N0.9中，槽部27的長(zhǎng)度La在N0.7最短為300 μ m，以N0.8為400 μ m、N0.9為500 μ m的順序變長(zhǎng)。此外，I次振動(dòng)的電阻值Rl在N0.7約為14.16 Ω，N0.8約為10.41 Ω , N0.9約為8.83 Ω。2次振動(dòng)的電阻值R2在N0.7約為511.37 Ω，N0.8約為 27.54 Ω , N0.9 約為 5.34 Ω。
[0064]圖5的實(shí)施例2中，La/Lv為57.0%左右處R2/R1為I。因此，實(shí)施例2中，如果槽部的長(zhǎng)度La小于振動(dòng)臂部23的長(zhǎng)度的57.0 就推測(cè)為壓電振動(dòng)片3進(jìn)行I次振動(dòng)。即，實(shí)施例2中Lc/Lv為0.1以上，因此在壓電振動(dòng)片3進(jìn)行I次振動(dòng)的條件下，能夠使槽部的長(zhǎng)度La長(zhǎng)于比較例I。圖4的N0.5中，La/Lv約為48.8%, I次振動(dòng)的電阻值Rl約為
10.41 Ω，但是比N0.5將La/Lv擴(kuò)大到57.0%以下的范圍的情況下也能抑制2次振動(dòng)的產(chǎn)生，因此推測(cè)為在實(shí)施例2中，能夠?qū)次振動(dòng)的電阻值Rl降低到10 Ω左右。
[0065]可是，圖4的N0.0的試樣中，連結(jié)部22的長(zhǎng)度Lc為80 μ m, Lc/Lv約為9.8%，槽部27的長(zhǎng)度為350 μ m, La/Lv約為42.7%。該試樣的Lc/Lv稍微不足10%，但R2/R1超過(guò)1，抑制了 2次振動(dòng)的產(chǎn)生。由此，能推測(cè)為如果Lc/Lv為10%以上，可以充分地抑制2次振動(dòng)的產(chǎn)生。此外，N0.0的試樣中，I次振動(dòng)的電阻值Rl約為13.08 Ω，因此推測(cè)為如果Lc/Lv為10%以上，可以充分使I次振動(dòng)的電阻值Rl為15Ω以下。
[0066]這里，著眼于壓電振動(dòng)片進(jìn)行I次振動(dòng)的條件下的槽部的長(zhǎng)度La的最大值(以下，槽部的上限長(zhǎng)度)。關(guān)于槽部的上限長(zhǎng)度，實(shí)施例1 (54%左右)長(zhǎng)于比較例I (45%左右)，實(shí)施例2 (57%左右)長(zhǎng)于實(shí)施例1。此外，圖5中任意的La/Lv處，比較實(shí)施例1、實(shí)施例
2、比較例的R2/R1時(shí)，實(shí)施例1與實(shí)施例2之差，小于比較例I與實(shí)施例1之差。由此，推測(cè)為L(zhǎng)c/Lv越大，槽部的上限長(zhǎng)度的增加率相對(duì)Lc/Lv的增加率越小。因此，Lc/Lv既可為
0.25以下，也可為0.2以下，0.15以下也可。通過(guò)使Lc/Lv為閾值以下，能夠減小壓電振動(dòng)片3的外形尺寸。
[0067]如此，本實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片3中，振動(dòng)臂部23的長(zhǎng)度Lv和連結(jié)部22的長(zhǎng)度Lc滿足Lc/Lv ^ 0.1的關(guān)系，因此滿足R2/R1 < I的關(guān)系的同時(shí)能夠減小Rl。該原因未必清楚，但可考慮例如以下情況。
[0068]I次振動(dòng)是振動(dòng)臂部23的基端23a為波節(jié)、在振動(dòng)臂部23的前端(錘頭部26)振幅最大的振動(dòng)。2次振動(dòng)在振動(dòng)臂部23的基端23a為波節(jié)這一點(diǎn)上與I次振動(dòng)同樣，但是在振動(dòng)臂部23的基端23a與前端之間(帶狀部25)存在振動(dòng)的波腹這一點(diǎn)上與I次振動(dòng)不同。因此，2次振動(dòng)中，振動(dòng)臂部23的基端23a理論上不位移，但是推測(cè)為在連結(jié)部22中因振動(dòng)臂部23撓曲而有比I次振動(dòng)時(shí)大的彎曲應(yīng)力作用。該彎曲應(yīng)力以在包含長(zhǎng)度方向L及寬度方向W的面內(nèi)使連結(jié)部22彎曲的方式作用。在2次振動(dòng)的電阻值R2與I次振動(dòng)的電阻值Rl相同級(jí)別程度的情況下，若加長(zhǎng)連結(jié)部22的長(zhǎng)度Lc，則連結(jié)部22對(duì)彎曲應(yīng)力的剛性變高，結(jié)果認(rèn)為2次振動(dòng)的電阻值R2變高。
[0069]如以上，本實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片3能夠抑制2次振動(dòng)的產(chǎn)生并能減小I次振動(dòng)的電阻值R1。因此，能夠使壓電振動(dòng)片3以所希望的頻率振動(dòng)，并且能夠減少振動(dòng)所需要的電力。結(jié)果，具備壓電振動(dòng)片3的壓電振動(dòng)器I能夠輸出所希望的頻率，進(jìn)而能夠達(dá)到低耗電。
[0070]再者，關(guān)于壓電振動(dòng)片3的形狀，并不限于圖2的形態(tài)。以下，參照?qǐng)D6?圖11，對(duì)本實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片3的變形例進(jìn)行說(shuō)明。
[0071]圖6是不出變形例I所涉及的壓電振動(dòng)片3b的圖。該壓電振動(dòng)片3b中，連結(jié)部22包含:與基部21連續(xù)的主體部40 ;和相對(duì)于主體部40配置在基部21相反側(cè)的凸部41。
[0072]主體部40從厚度方向T觀看時(shí)為矩形狀。振動(dòng)臂部23在主體部40中與寬度方向W的+ W側(cè)的端部連續(xù)，振動(dòng)臂部24與主體部40的一 W側(cè)的端部連續(xù)。主體部40在寬度方向W的兩端分別具有朝著振動(dòng)臂部23相反側(cè)的端面40a。本變形例中端面40a為平面狀。
[0073]凸部41相對(duì)于振動(dòng)臂部23向相反側(cè)(長(zhǎng)度方向L的一 T側(cè))突出。凸部41寬度方向W的尺寸小于主體部40，與寬度方向W中的主體部40的中央部連續(xù)。凸部41具有相對(duì)于主體部40朝著振動(dòng)臂部23相反側(cè)的端面41a。本變形例中端面41a為平面狀。端面41a與連結(jié)部22的主體部40的端面40a大致平行，在與端面40a之間具有階梯差。端面41a在振動(dòng)臂部23的長(zhǎng)邊方向(長(zhǎng)度方向L)中，包含連結(jié)部22之中從振動(dòng)臂部23的基端23a最遠(yuǎn)的端。本變形例中，連結(jié)部22的長(zhǎng)度Lc是長(zhǎng)度方向L中的、連結(jié)部22的凸部41的端面41a與振動(dòng)臂部23的基端23a之間的間隔。
[0074]圖7是示出變形例2所涉及的壓電振動(dòng)片3c的圖。該壓電振動(dòng)片3c與變形例I的不同點(diǎn)是連結(jié)部22包含多個(gè)凸部(凸部42、凸部43)。凸部43在寬度方向W中與凸部42之間具有間隙。關(guān)于連結(jié)部22的寬度方向W的中心，凸部43與凸部42對(duì)稱地配置。本變形例中，凸部43與凸部42為大致相同的尺寸。凸部42具有相對(duì)于連結(jié)部22的主體部40朝著振動(dòng)臂部23相反側(cè)的端面42a。同樣地，凸部43具有相對(duì)于連結(jié)部22的主體部40朝著振動(dòng)臂部24相反側(cè)的端面43a。端面42a和端面43a分別為平面狀，配置在同一平面(共面)。
[0075]本變形例中，連結(jié)部22的長(zhǎng)度Lc是長(zhǎng)度方向L中的、連結(jié)部22的凸部42的端面42a與振動(dòng)臂部23的基端23a之間的間隔，本變形例中設(shè)為連結(jié)部22的凸部43的端面43a與振動(dòng)臂部24的基端24a之間的間隔也同樣。
[0076]再者，長(zhǎng)度方向L中，凸部43的端面43a的位置(坐標(biāo))也可以與凸部42的端面42a的位置不同。例如，相對(duì)于壓電振動(dòng)片3c的寬度方向W中的中心線，使壓電振動(dòng)片3c的壓電體31 (參照?qǐng)D3)和其附帶物的一方或雙方非對(duì)稱的情況下，通過(guò)使凸部43的形狀或尺寸與凸部42不同，以取得重量的平衡、振動(dòng)特性的平衡等也可。在這種情況下，作為連結(jié)部22的長(zhǎng)度Lc，也可以采用長(zhǎng)度方向L中的凸部42的端面42a與振動(dòng)臂部23的基端23a之間的間隔、和長(zhǎng)度方向L中的凸部43的端面43a與振動(dòng)臂部24的基端24a之間的間隔中較長(zhǎng)的值。
[0077]圖8是示出變形例3所涉及的壓電振動(dòng)片3d的圖。該壓電振動(dòng)片3d與變形例I的不同點(diǎn)在于連結(jié)部22的凸部41的端面41a彎曲。圖8中，凸部41中長(zhǎng)度方向L的最靠一 L側(cè)的端41a，是寬度方向W中凸部41的中心部分。本變形例中，連結(jié)部22的長(zhǎng)度Lc是長(zhǎng)度方向L中的、連結(jié)部22的凸部41的端41a與振動(dòng)臂部23的基端23a之間的間隔。
[0078]如上述的變形例I~3的壓電振動(dòng)片，通過(guò)使振動(dòng)臂部23的長(zhǎng)度Lv和連結(jié)部22的長(zhǎng)度Lc滿足Lc/Lv ^ 0.1的關(guān)系，能夠抑制高次振動(dòng)的產(chǎn)生并減小電阻值。以與圖2的壓電振動(dòng)片3和連結(jié)部22的長(zhǎng)度Lc相同的條件比較變形例I~3的壓電振動(dòng)片，則相當(dāng)于連結(jié)部22的一部分被切去的狀態(tài)，因此能夠減輕重量。此外，變形例I~3的壓電振動(dòng)片，在連結(jié)部22的角部分中，與圖1所示的封裝件2的間隙擴(kuò)大，因此難以與干涉封裝件2，例如提高安裝封裝件2時(shí)的作業(yè)性。
[0079]圖9是不出變形例4所涉及的壓電振動(dòng)片3e的圖。該壓電振動(dòng)片3e中，連結(jié)部22的凸部41的寬度方向W的尺寸大于主體部40。凸部41具有相對(duì)于連結(jié)部22的主體部40朝著振動(dòng)臂部23的相反側(cè)的端面41a。本變形例中，連結(jié)部22的長(zhǎng)度Lc是長(zhǎng)度方向L中的、連結(jié)部22的凸部41的端面41a與振動(dòng)臂部23的基端23a之間的間隔。這樣的壓電振動(dòng)片3e，通過(guò)使振動(dòng)臂部23的長(zhǎng)度Lv和連結(jié)部22的長(zhǎng)度Lc滿足Lc/Lv ^ 0.1的關(guān)系，能夠減小電阻值并抑制高次振動(dòng)的產(chǎn)生。
[0080]圖10是示出變形例5所涉及的壓電振動(dòng)片3f的圖。該壓電振動(dòng)片3f中的基部21為大致C字狀，具有沿長(zhǎng)度方向L延伸的狹縫45。在振動(dòng)臂部23的長(zhǎng)邊方向(長(zhǎng)度方向L)，基部21具有隔著狹縫 45而配置的基端21c及基端21d。在振動(dòng)臂部23的長(zhǎng)邊方向(長(zhǎng)度方向L)，基端21c的位置與振動(dòng)臂部23的基端23a的位置大致相同。此外，在振動(dòng)臂部23的長(zhǎng)邊方向(長(zhǎng)度方向L)，基端21d的位置與基端21c的位置大致相同，也與振動(dòng)臂部24的基端24a的位置大致相同。
[0081]本變形例中，連結(jié)部22包含:連結(jié)基部21的基端21c和振動(dòng)臂部23的基端23a的第I連結(jié)部46 ；以及連結(jié)基部21的基端21d和振動(dòng)臂部24的基端24a的第2連結(jié)部47。第I連結(jié)部46具有相對(duì)于振動(dòng)臂部23的基端23a朝著振動(dòng)臂部23的前端23b相反側(cè)的端面46a。同樣地，第2連結(jié)部47具有相對(duì)于振動(dòng)臂部24的基端24a朝著振動(dòng)臂部24的前端24b相反側(cè)的端面47a。第2連結(jié)部47的端面47a，其振動(dòng)臂部23的長(zhǎng)邊方向(長(zhǎng)度方向L)中的位置與第I連結(jié)部46的端面46a大致相同。
[0082]本變形例中，連結(jié)部22的長(zhǎng)度Lc是長(zhǎng)度方向L中的、第I連結(jié)部46的端面46a與振動(dòng)臂部23的基端23a之間的間隔，本變形例中設(shè)為連結(jié)部22的第2連結(jié)部47的端面47a與振動(dòng)臂部24的基端24a之間的間隔也同樣。
[0083]本變形例的壓電振動(dòng)片3f通過(guò)使振動(dòng)臂部23的長(zhǎng)度Lv和連結(jié)部22的長(zhǎng)度Lc滿足Lc/Lv≥0.1的關(guān)系，能夠減小電阻值并抑制高次振動(dòng)的產(chǎn)生。此外，壓電振動(dòng)片3f通過(guò)設(shè)置狹縫45，能夠減輕重量。
[0084]圖11是示出變形例6所涉及的壓電振動(dòng)片3g的圖。該壓電振動(dòng)片3g中，在基部21設(shè)有裝配電極16，在連結(jié)部22設(shè)有裝配電極17。本變形例的壓電振動(dòng)片3g，容易擴(kuò)大長(zhǎng)度方向L中的裝配電極16與裝配電極17的間隔。因此，與一對(duì)裝配電極的雙方配置在基部21的情況相比，能以接近雙支撐的狀態(tài)支撐壓電振動(dòng)片3g。因此，壓電振動(dòng)片3a例如提高安裝時(shí)的作業(yè)性。此外，壓電振動(dòng)片3a能抑制壓電振動(dòng)器I從外部受到撞擊等的情況下，從所希望的姿勢(shì)傾斜、與封裝件2的內(nèi)表面碰撞等的情況。
[0085]接著，對(duì)壓電振動(dòng)片的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。圖12是示出壓電振動(dòng)片的制造方法的流程圖。該制造方法是具備各自具有槽部的一對(duì)振動(dòng)臂部、配置在一對(duì)振動(dòng)臂部之間的基部、和連結(jié)一對(duì)振動(dòng)臂部的各自的基端和所述基部的連結(jié)部的壓電振動(dòng)片的制造方法。
[0086]壓電振動(dòng)片的制造方法包含:決定表示壓電振動(dòng)片的形狀的形狀信息的第I工序(步驟SI);按照第I工序中決定的形狀信息所示的形狀成形壓電體的第2工序(步驟S2)；以及在第2工序中成形的壓電體形成包含導(dǎo)電膜圖案的附帶物的第3工序(步驟S3)。
[0087]形狀信息包含:關(guān)于振動(dòng)臂部的長(zhǎng)邊方向，從振動(dòng)臂部的基端到前端的長(zhǎng)度的信息；表示槽部的長(zhǎng)度的信息；以及表示連結(jié)部中從振動(dòng)臂部的基端到振動(dòng)臂部相反側(cè)的端為止的長(zhǎng)度的信息。
[0088]決定形狀信息的第I工序(步驟SI)包含:決定壓電振動(dòng)片的I次振動(dòng)的電阻值Rl落在目標(biāo)值的范圍的槽部的長(zhǎng)度的第I處理(步驟Sll);對(duì)于第I處理中決定的槽部的長(zhǎng)度，決定壓電振動(dòng)片的2次振動(dòng)的電阻值R2大于電阻值Rl的連結(jié)部的長(zhǎng)度的第2處理(步驟S12)。
[0089]對(duì)于第I工序在后面做詳細(xì)說(shuō)明，首先對(duì)第2工序及第3工序進(jìn)行說(shuō)明。第2工序及第3工序中，以多單元用圓片(wafer)為基板，對(duì)該基板上的多個(gè)芯片區(qū)域的各區(qū)域形成壓電振動(dòng)片3的各種結(jié)構(gòu)。然后，將基板的各芯片區(qū)域單片化(切片化)，從而制造多個(gè)壓電振動(dòng)片3。
[0090]第2工序中，經(jīng)過(guò)步驟S21及步驟S22，成形壓電振動(dòng)片3的壓電體31。步驟S21中，覆蓋由壓電材料構(gòu)成的基板而形成第I抗蝕劑膜。然后，利用形成有對(duì)應(yīng)于壓電振動(dòng)片3的壓電體31的外形的圖案的第I光掩模等，通過(guò)曝光對(duì)第I抗蝕劑膜轉(zhuǎn)印第I光掩模的圖案。然后，使曝光后的第I抗蝕劑膜顯影，形成與壓電振動(dòng)片3的壓電體31的外形相應(yīng)的第I抗蝕劑圖案。第I抗蝕劑圖案形成在基板上的區(qū)域之中從厚度方向T觀看時(shí)相當(dāng)于壓電振動(dòng)片3的輪廓內(nèi)側(cè)的區(qū)域。步驟S22中，以步驟S21中形成的第I抗蝕劑圖案為掩模蝕刻基板，在蝕刻后剝離第I抗蝕劑圖案。由此，形成所希望外形的壓電體31。
[0091]步驟S21中轉(zhuǎn)印的圖案包含相當(dāng)于基部21的部分、相當(dāng)于振動(dòng)臂部23的部分、以及相當(dāng)于連結(jié)部22的部分，該圖案的各部分的尺寸是根據(jù)第I工序中決定的形狀信息來(lái)設(shè)定的。例如，圖案之中相當(dāng)于連結(jié)部22的部分的長(zhǎng)度設(shè)定為與步驟S12中決定的連結(jié)部22的長(zhǎng)度Lc和轉(zhuǎn)印圖案時(shí)的倍率相應(yīng)的尺寸。
[0092]第2工序中，經(jīng)過(guò)繼步驟S22的步驟S23及步驟S24，在壓電體31形成槽部(槽部27及槽部28)。步驟S23中，覆蓋步驟S22中成形的壓電體31而形成第2抗蝕劑膜。然后，利用形成有與壓電振動(dòng)片3的槽部相應(yīng)的圖案的第2光掩模等，通過(guò)曝光向第2抗蝕劑膜轉(zhuǎn)印第2光掩模的圖案。然后，使曝光后的第2抗蝕劑膜顯影，從而形成與壓電振動(dòng)片3的槽部相應(yīng)的第2抗蝕劑圖案。第2抗蝕劑圖案形成在壓電體31之中覆蓋除槽部以外的部分的區(qū)域。步驟S24中，以步驟S23中形成的第2抗蝕劑圖案為掩模，蝕刻壓電體31。然后，剝離第2抗蝕劑圖案。由此，在壓電體31上的所希望的位置形成有所希望的尺寸及形狀的槽部。
[0093]步驟S23中轉(zhuǎn)印的圖案包含相當(dāng)于槽部的部分，該部分的尺寸是根據(jù)第I工序中決定的形狀信息來(lái)設(shè)定的。例如，圖案之中相當(dāng)于槽部的部分的長(zhǎng)度被設(shè)定為與步驟Sll中決定的槽部的長(zhǎng)度La和轉(zhuǎn)印圖案時(shí)的倍率相應(yīng)的尺寸。
[0094]對(duì)于經(jīng)過(guò)如以上的第2工序而得到的壓電體31，在第3工序中形成導(dǎo)電膜圖案等的附帶物。該導(dǎo)電膜圖案包含將壓電振動(dòng)片3的裝配電極、激振電極、及裝配電極與激振電極電連接的布線。
[0095]在第3工序，步驟S31中，覆蓋經(jīng)過(guò)第2工序而得到的壓電體31，例如用濺鍍法、蒸鍍法等來(lái)成膜導(dǎo)電材料，形成導(dǎo)電膜。步驟S32中，在步驟S31中形成的導(dǎo)電膜上形成第3抗蝕劑膜。然后，利用形成有與壓電振動(dòng)片3的導(dǎo)電膜圖案相應(yīng)的圖案的第3光掩模等，通過(guò)曝光向第3抗蝕劑膜轉(zhuǎn)印第3光掩模的圖案。然后，使曝光的第3抗蝕劑膜顯影，從而形成與壓電振動(dòng)片3的導(dǎo)電膜圖案相應(yīng)的第3抗蝕劑圖案。第3抗蝕劑圖案形成在壓電體31之中除導(dǎo)電膜圖案的形成區(qū)域以外的區(qū)域。步驟S33中，以步驟S32中形成的第3抗蝕劑圖案為掩模，蝕刻導(dǎo)電膜。然后，剝離第3抗蝕劑圖案。由此，在壓電體31上的所希望的位置形成所希望的尺寸及形狀的導(dǎo)電膜圖案。然后，通過(guò)將經(jīng)過(guò)第2工序及第3工序的基板(圓片)單片化等，得到壓電振動(dòng)片3。
[0096]接著，參照一例，對(duì)第I工序(步驟SI)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。圖13是示出決定壓電振動(dòng)片的形狀信息的工序的流程圖。
[0097]在本實(shí)施方式，第I工序中，首先決定振動(dòng)臂部的長(zhǎng)度Lv(步驟S10)。振動(dòng)臂部的長(zhǎng)度Lv根據(jù)壓電體31的物性值等，決定為壓電振動(dòng)片3的振動(dòng)頻率成為目標(biāo)值的值。壓電振動(dòng)片3的振動(dòng)頻率的目標(biāo)值是按照壓電振動(dòng)器I的用途等來(lái)確定的，例如用于時(shí)刻的測(cè)量等的壓電振動(dòng)器中多設(shè)定為32.768kHz。
[0098]第I工序的第I處理(步驟Sll)中，基于振動(dòng)臂部的長(zhǎng)度Lv，決定槽部的長(zhǎng)度La及深度。步驟Sll中，決定電阻值Rl成為目標(biāo)值的范圍內(nèi)的槽部的長(zhǎng)度La。電阻值Rl的目標(biāo)值是從10Ω以上15Ω以下的范圍中選擇的值。
[0099]如圖4及圖5所示，壓電振動(dòng)片的I次振動(dòng)的電阻值Rl是La/Lv的函數(shù)，電阻值Rl成為目標(biāo)值的范圍內(nèi)的槽部的長(zhǎng)度La是利用數(shù)值模擬等來(lái)取得的。例如，首先一邊系統(tǒng)地變化槽部的長(zhǎng)度La —邊通過(guò)數(shù)值模擬來(lái)算出電阻值Rl。然后，利用通過(guò)數(shù)值模擬而得到的多個(gè)數(shù)據(jù)，以槽部的長(zhǎng)度La的函數(shù)體現(xiàn)電阻值R1。然后，算出該函數(shù)中電阻值Rl成為目標(biāo)值的范圍內(nèi)的槽部的長(zhǎng)度La，將算出的值決定為槽部的長(zhǎng)度La。
[0100]在第I工序的第2處理(步驟S12)中，對(duì)于步驟Sll的第I處理中決定的槽部的長(zhǎng)度La，決定滿足2次振動(dòng)的電阻值R2大于I次振動(dòng)的電阻值Rl的條件的連結(jié)部22的長(zhǎng)度Lc。滿足這樣的條件的連結(jié)部的長(zhǎng)度Lc，例如可以利用數(shù)值模擬等來(lái)求出。
[0101]這里，說(shuō)明一例決定連結(jié)部的長(zhǎng)度Lc的方法。本例中，臨時(shí)決定連結(jié)部的長(zhǎng)度Lc的臨時(shí)規(guī)定的值(以下，稱為臨時(shí)決定值)(步驟S13)。接著，利用數(shù)值模擬等來(lái)算出與長(zhǎng)度Lc的臨時(shí)決定值相應(yīng)的2次振動(dòng)的電阻值R2(步驟S14)。長(zhǎng)度Lc的臨時(shí)決定值為任意選擇的值，例如也可以設(shè)定為振動(dòng)臂部23的長(zhǎng)度Lv的10% (Lc/Lv = 0.1)。
[0102]接著，對(duì)利用長(zhǎng)度Lc的臨時(shí)決定值算出的2次振動(dòng)的電阻值R2和I次振動(dòng)的電阻值Rl的大小關(guān)系進(jìn)行比較(步驟S15)。步驟S15中用于比較的I次振動(dòng)的電阻值Rl既可以在步驟S15中算出，也可以是步驟Sll中用于槽部的長(zhǎng)度La的決定的I次振動(dòng)的電阻值Rl的目標(biāo)值。
[0103]在步驟S15的比較結(jié)果中，2次振動(dòng)的電阻值R2大于I次振動(dòng)的電阻值Rl的情況下(步驟S15 ;“是”)，將長(zhǎng)度Lc的臨時(shí)決定值正式?jīng)Q定為連結(jié)部22的長(zhǎng)度Lc (步驟S16)。在步驟S15的比較結(jié)果中，2次振動(dòng)的電阻值R2小于I次振動(dòng)的電阻值Rl的情況下(步驟S15 ;“否”)，更新長(zhǎng)度Lc的臨時(shí)決定值(步驟S17)。
[0104]如圖4及圖5所示，壓電振動(dòng)片的2次振動(dòng)的電阻值R2為L(zhǎng)c/Lv的函數(shù)，對(duì)于Lc/Lv的增加有增加傾向。因此，步驟S17中，將長(zhǎng)度Lc的臨時(shí)決定值更新為更大的值即可。
[0105]接著步驟S17，在步驟S14中利用更新后的長(zhǎng)度Lc的臨時(shí)決定值算出2次振動(dòng)的電阻值R2，接著在步驟S15中將算出的2次振動(dòng)的電阻值R2與I次振動(dòng)的電阻值Rl進(jìn)行比較。以下同樣，直至2次振動(dòng)的電阻值R2大于I次振動(dòng)的電阻值R1，適宜反復(fù)步驟S14、步驟S15、步驟S17的處理。這樣，能得到2次振動(dòng)的電阻值R2滿足大于I次振動(dòng)的電阻值Rl的條件的連結(jié)部的長(zhǎng)度Lc。
[0106]可是，在一般的壓電振動(dòng)片的制造方法中，需要在決定振動(dòng)臂部的長(zhǎng)度Lv及連結(jié)部的長(zhǎng)度Lc之后，根據(jù)振動(dòng)臂部的長(zhǎng)度Lv及連結(jié)部的長(zhǎng)度Lc，決定不產(chǎn)生2次振動(dòng)的槽部的長(zhǎng)度La。在這樣的制造方法值的值，槽部的長(zhǎng)度有可能無(wú)法加長(zhǎng)。例如，在圖5所示的比較例I中，設(shè)想Lc/Lv被預(yù)先設(shè)定在6.1 %的狀態(tài)下，決定不產(chǎn)生2次振動(dòng)的槽部的長(zhǎng)度La的情形。該情況下，不產(chǎn)生2次振動(dòng)的槽部的長(zhǎng)度La，可從R2/R1小于I的范圍，即La/Lv小于45%的范圍中選擇。因此，在槽部的長(zhǎng)度La為振動(dòng)臂部的長(zhǎng)度Lv的45%左右時(shí)，I次振動(dòng)的電阻值成為下限值，而該下限值有可能高于所希望的范圍(例如15Ω以下)。
[0107]在如上述的壓電振動(dòng)片的制造方法中，決定I次振動(dòng)的電阻值Rl成為所希望的值的槽部的長(zhǎng)度La，對(duì)于決定的槽部的長(zhǎng)度La，決定2次振動(dòng)的電阻值R2滿足大于I次振動(dòng)的電阻值Rl的條件的連結(jié)部的長(zhǎng)度Lc。因此，能夠抑制2次振動(dòng)的產(chǎn)生并能將電阻值Rl降低至所希望的值。結(jié)果，依據(jù)該制造方法，能夠制造抑制2次振動(dòng)的產(chǎn)生并能減小電阻值Rl的壓電振動(dòng)片。
[0108]再者，若將臨時(shí)決定值的初始值設(shè)定為振動(dòng)臂部的長(zhǎng)度Lv的10%以上即Lc/Lv ^ 0.1，則在算出步驟的結(jié)果中能推測(cè)為2次振動(dòng)的電阻值R2大于I次振動(dòng)的電阻值Rl0因此，能夠省去步驟S17及伴隨臨時(shí)決定值的變更的算出步驟(步驟S14)，或減少伴隨臨時(shí)決定值的變更的算出步驟的次數(shù)等。
[0109]再者，在上述的步驟S15中，2次振動(dòng)的電阻值R2大于I次振動(dòng)的電阻值Rl的情況下(步驟S15 ;“是”)，將長(zhǎng)度Lc的臨時(shí)決定值更新為更小的值后進(jìn)行步驟S14也可。該情況下，步驟S16包含將滿足壓電振動(dòng)片的2次振動(dòng)的電阻值R2大于I次振動(dòng)的電阻值Rl的條件的長(zhǎng)度Lc的臨時(shí)決定值之中相對(duì)較小的值(例如最小值)決定為連結(jié)部的長(zhǎng)度Lc的處理也可。這樣，將連結(jié)部的長(zhǎng)度Lc決定為滿足條件的長(zhǎng)度Lc的多個(gè)臨時(shí)決定值之中相對(duì)較小的值，因此能夠?qū)弘娬駝?dòng)片小型化。該情況下，步驟S13中，將長(zhǎng)度Lc的臨時(shí)決定值設(shè)定為比振動(dòng)臂部的長(zhǎng)度Lv的10%充分大的值(例如15%、20%、25%)也可。
[0110]再者，上述例中，電阻值是通過(guò)數(shù)值模擬來(lái)算出的，但是通過(guò)利用試樣的實(shí)驗(yàn)等來(lái)測(cè)定的值也可。此外，第I處理Sll中，預(yù)先準(zhǔn)備表示槽部的長(zhǎng)度La與電阻值Rl的關(guān)系的數(shù)值表，通過(guò)參照該數(shù)值表，求出電阻值Rl落在目標(biāo)值的范圍的槽部的長(zhǎng)度La也可。同樣地，第2處理S12中，預(yù)先準(zhǔn)備表示連結(jié)部的長(zhǎng)度Lc和電阻值R2的關(guān)系的數(shù)值表，通過(guò)參照該數(shù)值表，決定電阻值R2大于電阻值Rl的連結(jié)部的長(zhǎng)度Lc也可。
[0111]接著，對(duì)本實(shí)施方式所涉及的振蕩器進(jìn)行說(shuō)明。圖14是示出本實(shí)施方式的振蕩器100的圖。振蕩器100具備基板101、集成電路102、電子部件103、及壓電振動(dòng)器I。電子部件103為例如電容器等，安裝于基板101。集成電路102用于振蕩器，安裝于基板101。集成電路102經(jīng)由省略圖示的布線與壓電振動(dòng)器I和電子部件103分別電連接。壓電振動(dòng)器I例如安裝在基板101中集成電路102的附近。壓電振動(dòng)器I是參照?qǐng)D1等而說(shuō)明的本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)器，作為振子起作用。振蕩器100的至少一部分可以適當(dāng)?shù)赜梦磮D示的樹脂來(lái)模制(mould)。
[0112]振蕩器100中，對(duì)壓電振動(dòng)器I供給電力時(shí)，壓電振動(dòng)器I的壓電振動(dòng)片振動(dòng)。壓電振動(dòng)片的振動(dòng)因壓電振動(dòng)片所具有的壓電特性而轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。該電信號(hào)從壓電振動(dòng)器I輸出到集成電路102。集成電路102對(duì)從壓電振動(dòng)器I輸出的電信號(hào)執(zhí)行各種處理，從而生成頻率信號(hào)。
[0113]振蕩器100能夠應(yīng)用在例如控制鐘表用的單功能振蕩器、計(jì)算機(jī)等各種裝置的工作定時(shí)的定時(shí)控制裝置、提供時(shí)刻或日歷等的裝置等中。集成電路102按照振蕩器100所要求的功能而構(gòu)成，包含所謂的RTC (實(shí)時(shí)時(shí)鐘)模塊也可。
[0114]本實(shí)施方式的振蕩器100具備抑制振動(dòng)不良的發(fā)生的壓電振動(dòng)器1，因此能夠?qū)崿F(xiàn)低耗電且穩(wěn)定的動(dòng)作。
[0115]接著，作為本實(shí)施方式所涉及的電子設(shè)備的一種形態(tài)，對(duì)便攜信息設(shè)備進(jìn)行說(shuō)明。該便攜信息設(shè)備為如手表那樣的形態(tài)，比一般的便攜電話格外小型及輕量，但能進(jìn)行與便攜電話同樣的通信。該便攜信息設(shè)備在相當(dāng)于表盤的部分配置有液晶顯示器等的顯示部，可在顯示部中顯示時(shí)刻信息等。此外，該便攜信息設(shè)備在表帶的內(nèi)側(cè)部分設(shè)有揚(yáng)聲器、麥克風(fēng)等的輸入輸出部，利用輸入輸出部可以進(jìn)行通話等。
[0116]圖15是一例示出本實(shí)施方式的便攜信息設(shè)備110的圖。圖15所示的便攜信息設(shè)備110具備計(jì)時(shí)部111、顯示部112、通信部113、控制部114、電源部115、電壓檢測(cè)部116、及電源截?cái)嗖?17。
[0117]控制部114總括地控制便攜信息設(shè)備110的各部分。例如，控制部114控制計(jì)時(shí)部111進(jìn)行的時(shí)刻的測(cè)量、顯示部112進(jìn)行的信息的顯示、通信部113進(jìn)行的與外部的通信等?？刂撇?14例如包含:預(yù)先寫入程序的ROM、讀出寫入到該ROM的程序并根據(jù)該程序執(zhí)行各種處理的CPU、和用作為該CPU的工作區(qū)的RAM。
[0118]計(jì)時(shí)部111具備集成電路及壓電振動(dòng)器I。該集成電路包含振蕩電路、寄存器電路、計(jì)數(shù)器電路、及接口電路。壓電振動(dòng)器I是如參照?qǐng)D1而說(shuō)明的本實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)器。壓電振動(dòng)器I接受電力供給而使壓電振動(dòng)片振動(dòng)，并將該振動(dòng)轉(zhuǎn)換為與壓電振動(dòng)片所具有的壓電特性相應(yīng)的電信號(hào)。從壓電振動(dòng)器I輸出的電信號(hào)輸入到集成電路的振蕩電路。
[0119]在計(jì)時(shí)部111的集成電路中，振蕩電路的輸出被二值化，由寄存器電路和計(jì)數(shù)器電路來(lái)計(jì)數(shù)。該計(jì)數(shù)結(jié)果經(jīng)由接口電路供給至控制部114?？刂撇?14基于來(lái)自集成電路的計(jì)數(shù)結(jié)果執(zhí)行各種運(yùn)算等，從而算出時(shí)刻或日期等，基于該算出結(jié)果，在顯示部112顯示時(shí)刻、日期、日歷等的各種信息。
[0120]通信部113進(jìn)行與外部的通信，即向外部的數(shù)據(jù)發(fā)送及來(lái)自外部的數(shù)據(jù)接收。通信部113包含無(wú)線部120、聲音處理部121、切換部122、放大部123、聲音輸入輸出部124、電話號(hào)碼輸入部125、來(lái)電音產(chǎn)生部126、及呼叫控制存儲(chǔ)器部127。
[0121]通過(guò)天線128，無(wú)線部120與基站進(jìn)行編碼后的聲音數(shù)據(jù)等各種數(shù)據(jù)的交換。聲音處理部121將從無(wú)線部120輸入的數(shù)據(jù)解碼并向放大部123輸出。此外，聲音處理部121將從放大部123輸入的數(shù)據(jù)編碼并向無(wú)線部120輸出。放大部123進(jìn)行聲音處理部121與聲音輸入輸出部124之間的信號(hào)的交付，并且將交付的信號(hào)放大到適當(dāng)?shù)募榷娖?。聲音輸入輸出?24包含揚(yáng)聲器及麥克風(fēng)等,將與來(lái)自放大部123的信號(hào)相應(yīng)的聲音向外部輸出，從外部接受聲音的輸入。
[0122]此外，切換部122通過(guò)與來(lái)自基站的呼叫等相應(yīng)的來(lái)自控制部114的指令，將來(lái)電音產(chǎn)生部126連接到放大部123。來(lái)電音產(chǎn)生部126通過(guò)與來(lái)自基站的呼叫相應(yīng)的來(lái)自控制部114的指令，將來(lái)電音的數(shù)據(jù)輸出至切換部122。S卩，控制部114響應(yīng)來(lái)自基站的呼叫等，將來(lái)電音的數(shù)據(jù)輸出到放大部123,從而通過(guò)聲音輸入輸出部124輸出來(lái)電音。
[0123]呼叫控制存儲(chǔ)器部127存放與通信的呼叫及來(lái)電控制相關(guān)的程序。此外，電話號(hào)碼輸入部125具備例如O至9的號(hào)碼鍵及其他鍵，通過(guò)按壓這些號(hào)碼鍵等，用于通話對(duì)象的電話號(hào)碼等的輸入。
[0124]電源部115包含例如鋰離子二次電池，向便攜信息設(shè)備110的各部分供給電力。電壓檢測(cè)部116檢測(cè)從電源部115供給至便攜信息設(shè)備110的各部分的電壓。電壓檢測(cè)部116在檢測(cè)到的電壓為既定值以下的情況下，向控制部114通知電壓為既定值以下的情況。該既定值是被預(yù)先設(shè)定為使通信部113穩(wěn)定工作所需要的電壓的值，例如3V左右。從電壓檢測(cè)部116接受電壓下降的通知的控制部114，禁止或限制包括無(wú)線部120、聲音處理部121、切換部122、及來(lái)電音產(chǎn)生部126在內(nèi)的多個(gè)功能部的至少一部分的動(dòng)作。該情況下，控制部114先于多個(gè)功能部中耗電相對(duì)小的功能部而禁止或限制多個(gè)功能部中耗電相對(duì)大的功能部的動(dòng)作。控制部114使顯示部112顯示表示因供給電力下降而功能被停止或限制的情況的信息。該顯示可以包括文字，也可以包括符號(hào)，例如在顯示部112顯示的電話圖標(biāo)打“X (叉)”標(biāo)記的形態(tài)也可。電源截?cái)嗖?17選擇性停止對(duì)多個(gè)功能部之中因電壓下降而停止功能的功能部的電力供給。
[0125]如上述便攜信息設(shè)備110那樣的本實(shí)施方式的電子設(shè)備，具備本實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)器1，因此能夠?qū)崿F(xiàn)低耗電且穩(wěn)定的動(dòng)作。
[0126]接著，對(duì)電波鐘表進(jìn)行說(shuō)明。電波鐘表具有將顯示的時(shí)刻與從標(biāo)準(zhǔn)電波取得的時(shí)刻匹配的功能。標(biāo)準(zhǔn)電波通過(guò)包含稱為定時(shí)碼的時(shí)刻信息的調(diào)制信號(hào)，對(duì)既定頻率的載波施加AM調(diào)制的電波。標(biāo)準(zhǔn)電波例如在日本國(guó)內(nèi)，從福島縣的發(fā)送站和佐賀縣的發(fā)送站發(fā)送。從福島縣的發(fā)送站發(fā)送的標(biāo)準(zhǔn)電波的載波頻率為40kHz，從佐賀縣的發(fā)送站發(fā)送的標(biāo)準(zhǔn)電波的載波頻率為60kHz。
[0127]圖16是示出本實(shí)施方式的電波鐘表130的圖。該電波鐘表130具備天線131、放大器132、濾波器部133、檢波整流電路134、波形整形電路135、CPU136、及RTC137。
[0128]天線131接收標(biāo)準(zhǔn)電波。放大器132將天線131接收的標(biāo)準(zhǔn)電波的信號(hào)放大并向?yàn)V波器部133輸出。濾波器部133對(duì)來(lái)自放大器132的信號(hào)進(jìn)行濾波、調(diào)諧，向檢波整流電路134輸出。檢波整流電路134對(duì)來(lái)自濾波器部133的信號(hào)進(jìn)行檢波解調(diào)，向波形整形電路135輸出。波形整形電路135從來(lái)自檢波整流電路134的信號(hào)取得定時(shí)碼，將該定時(shí)碼向CPU136供給。CPU136從定時(shí)碼取得與當(dāng)前的年、累積日、星期、時(shí)刻等的時(shí)刻相關(guān)的信息。RTC137是所謂的實(shí)時(shí)時(shí)鐘，保持著當(dāng)前的年、月、日、時(shí)、分、秒等的信息。CPU136將從定時(shí)碼取得的時(shí)刻相關(guān)的信息反映于RTC137所保持的信息中。RTC137所保持的信息被適當(dāng)?shù)刈x取而利用于時(shí)刻的顯示。
[0129]濾波器部133包含與濾波的信號(hào)的頻率相當(dāng)?shù)闹C振頻率的壓電振動(dòng)器。濾波器部133中，壓電振動(dòng)器作為諧振子起作用。例如，圖16的電波鐘表130是假設(shè)在日本國(guó)內(nèi)使用，濾波器部133包含諧振頻率為40kHz的壓電振動(dòng)器la、和諧振頻率為60kHz的壓電振動(dòng)器lb。再者，假設(shè)在日本國(guó)內(nèi)以外的地域使用的電波鐘表130，按照與所使用的地域?qū)?yīng)的標(biāo)準(zhǔn)電波的載波頻率，設(shè)定濾波器部133的壓電振動(dòng)器的諧振頻率。
[0130]本實(shí)施方式中，濾波器部133的壓電振動(dòng)器Ia和壓電振動(dòng)器Ib分別為如用圖1來(lái)說(shuō)明的本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)器。本實(shí)施方式的電波鐘表130具備本實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)器1，因此能夠?qū)崿F(xiàn)低耗電且穩(wěn)定的動(dòng)作。
[0131]再者，本發(fā)明的技術(shù)范圍并不限于上述的實(shí)施方式或變形例。例如，可以省略上述的實(shí)施方式或變形例中說(shuō)明的一個(gè)以上的要素。此外，在上述的實(shí)施方式或變形例中說(shuō)明的要素，可以適當(dāng)?shù)亟M合。
[0132]再者，上述的實(shí)施方式中，壓電振動(dòng)器I為陶瓷封裝型的壓電振動(dòng)器，但是也可為所謂的玻璃封裝型的壓電振動(dòng)器。此外，以第I基底基板10及第2基底基板11的2塊基板構(gòu)成了基底基板，但是基底基板也可以用I塊基板構(gòu)成。
[0133]再者，上述的實(shí)施方式中，封裝件主體4通過(guò)在基底基板接合密封圈12來(lái)形成成為空腔C的凹部，但是也以在基底基板形成凹部來(lái)取代使用密封圈12。
[0134]符號(hào)說(shuō)明
I,la, Ib壓電振動(dòng)器；3，3b?3h壓電振動(dòng)片；4封裝件主體(基底部件)；5封口板(脊部件)；16裝配電極；17裝配電極；20 —對(duì)振動(dòng)臂部；21基部；22連結(jié)部；27,28槽部；41?43凸部；100振蕩器；110便攜信息設(shè)備(電子設(shè)備);130電波鐘表。
【權(quán)利要求】
1.一種壓電振動(dòng)片，其中包括: 各自具有槽部的一對(duì)振動(dòng)臂部； 配置在所述一對(duì)振動(dòng)臂部之間的基部；以及 連結(jié)所述一對(duì)振動(dòng)臂部的各自的基端與所述基部的連結(jié)部， 在所述振動(dòng)臂部的長(zhǎng)邊方向，將從所述振動(dòng)臂部的基端到前端為止的長(zhǎng)度設(shè)為L(zhǎng)v，將從所述振動(dòng)臂部的基端到所述連結(jié)部中相對(duì)于所述振動(dòng)臂部相反側(cè)的端為止的長(zhǎng)度設(shè)為L(zhǎng)c的情況下，滿足Lc/Lv≥ 0.1的關(guān)系。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電振動(dòng)片，其中， 所述連結(jié)部具有相對(duì)于所述振動(dòng)臂部在相反側(cè)突出的凸部， 所述凸部在所述振動(dòng)臂部的長(zhǎng)邊方向，包含所述連結(jié)部中相對(duì)于所述振動(dòng)臂部相反側(cè)的端。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電振動(dòng)片，其中包括: 在所述基部和所述連結(jié)部分別配置的基板安裝用的裝配電極。
4.一種壓電振動(dòng)器,其中包括: 權(quán)利要求1至3的任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)片； 安裝所述壓電振動(dòng)片的基底部件；以及 與所述基底部件一起形成收納所述壓電振動(dòng)片的空腔的蓋部件。
5.—種振蕩器,其中包括: 權(quán)利要求4所述的壓電振動(dòng)器；以及 與所述壓電振動(dòng)器電連接的集成電路。
6.一種電子設(shè)備，其中包括:包含權(quán)利要求4所述的壓電振動(dòng)器的計(jì)時(shí)部。
7.一種電波鐘表，其中包括:包含權(quán)利要求4所述的壓電振動(dòng)器的濾波器部。
【文檔編號(hào)】H03H9/02GK104052429SQ201410094486
【公開日】2014年9月17日 申請(qǐng)日期:2014年3月14日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月15日
【發(fā)明者】田村正典 申請(qǐng)人:精工電子水晶科技股份有限公司