專利名稱：彈性波裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及彈性波裝置。本發(fā)明尤其涉及在壓電基板上具備與IDT電極串聯(lián)連接且具有梳齒狀電極對(duì)的電容電極的彈性波裝置。
背景技術(shù)：
目前，各種利用了彈性表面波、彈性邊界波等的彈性波的彈性波裝置已得到應(yīng)用。彈性波裝置具備壓電基板、在壓電基板之上形成的IDT電極。彈性波裝置中，利用該IDT電極中激振得到的彈性波來(lái)實(shí)現(xiàn)諧振特性、濾波器特性等。但是，為了提高彈性波裝置的特性，存在有設(shè)置附加電容的情形。具體而言，例如，如下述的專利文獻(xiàn)I所記載的那樣，存在有與構(gòu)成梯型彈性表面波濾波器裝置的IDT電極并聯(lián)連接電容或與IDT電極串聯(lián)連接電容的情形。如此，在對(duì)彈性波裝置設(shè)置有電容的情 況下，如專利文獻(xiàn)I所記載的那樣已知有形成在壓電基板上，通過(guò)相互插入其間的梳齒狀電極對(duì)來(lái)構(gòu)成電容。通過(guò)由梳齒狀電極對(duì)來(lái)構(gòu)成電容，由于能夠增大電極的對(duì)置面積，所以能夠獲得較大的靜電電容。在先技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I JP特開平8-65089號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的課題但是，如專利文獻(xiàn)I所記載的那樣，在通過(guò)形成在壓電基板上的梳齒狀電極對(duì)(以下，稱為“電容形成用梳齒狀電極對(duì)”。)來(lái)形成電容的情況下，在電容形成用梳齒狀電極對(duì)，會(huì)發(fā)生非意圖的彈性波激振。因此，由于該非意圖的彈性波產(chǎn)生，為了不使彈性波裝置的特性劣化，優(yōu)選電容形成用梳齒狀電極對(duì)的交叉幅寬方向相對(duì)于IDT電極的交叉幅寬方向成為垂直地，設(shè)置電容形成用梳齒狀電極對(duì)。但是，如圖12所示，為了獲得較大的靜電電容而增加電容形成用梳齒狀電極對(duì)101的對(duì)個(gè)數(shù)時(shí)，電容形成用梳齒狀電極對(duì)101在交叉幅寬方向上變細(xì)，由此，將在壓電基板102上形成較大的死區(qū)103。另一方面，如圖13所示，為了獲得較大的靜電電容而增大電容形成用梳齒狀電極對(duì)101的交叉幅寬的情況下，與圖12所示的情況下不同，電容形成用梳齒狀電極對(duì)101在交叉幅寬方向上變?yōu)榧?xì)長(zhǎng)，因此，難以產(chǎn)生較大的死區(qū)。因此，能夠使彈性波裝置實(shí)現(xiàn)小型化。但是，在增大電容形成用梳齒狀電極對(duì)101的交叉幅寬時(shí)，電容形成用梳齒狀電極對(duì)101中的電阻損耗變大，因此，存在彈性波裝置的特性發(fā)生劣化這樣的問(wèn)題。具體而言，例如在彈性波裝置為彈性波濾波器裝置的情況下，存在插入損失變大這樣的問(wèn)題。本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題點(diǎn)而開發(fā)的，其目的在于，在壓電基板上具備與IDT電極串聯(lián)連接且具有梳齒狀電極對(duì)的電容電極的彈性波裝置中，謀求兼顧高性能化與小型化。
用于解決課題的手段本發(fā)明所涉及的彈性波裝置彈性波裝置具備壓電基板、IDT電極和電容電極。IDT電極形成在壓電基板之上。電容電極形成在壓電基板之上且與IDT電極串聯(lián)連接。電容電極具有多個(gè)電容電極部。多個(gè)電容電極部分別具有由相互插入其間的一對(duì)梳齒狀電極構(gòu)成。多個(gè)電容電極部相互并聯(lián)連接。多個(gè)電容電極部按照電容電極部的交叉幅寬方向與IDT電極的交叉幅寬方向發(fā)生傾斜的方式形成。多個(gè)電容電極部沿著IDT電極的彈性波傳播方向而進(jìn)行排列。本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的某特定方式中，電容電極的至少一部分與IDT電極沿著與彈性波傳播方向垂直的方向進(jìn)行排列。本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的其他特定方式中，多個(gè)電容電極部的各個(gè)具有多個(gè)電極指、匯流條。多個(gè)電極指向電容電極部的交叉幅寬方向進(jìn)行延伸。匯流條與多個(gè)電極指相連接。且匯流條向相對(duì)于電容電極部的交叉幅寬方向而垂直的方向進(jìn)行延伸。構(gòu)成多 個(gè)電容電極部的多個(gè)梳齒狀電極中的至少一個(gè)匯流條與多個(gè)梳齒狀電極中的另一個(gè)匯流 條一體地形成。根據(jù)該構(gòu)成，能夠更進(jìn)一步使電容電極小型化，能夠更進(jìn)一步使彈性波裝置小型化。本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的其他特定方式中，彈性波裝置是利用彈性表面波的彈性表面波裝置。本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的再其他的特定方式中，彈性波裝置是利用彈性邊界波的彈性邊界波裝置。本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的再其他特定方式中，彈性波裝置是具備串聯(lián)臂諧振器的梯型彈性波濾波器裝置，該串聯(lián)臂諧振器具有IDT電極。在該情況下，能夠形成較大的電容，能夠抑制因形成電容而產(chǎn)生的插入損失的惡化。因此，能夠獲得良好的濾波器特性。本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的再其他特定方式中，彈性波裝置具備與IDT電極串聯(lián)且與電容電極并聯(lián)連接的電感器。根據(jù)該構(gòu)成，利用由電容電極與電感器所構(gòu)成的LC并聯(lián)諧振電路，能夠在所希望頻率產(chǎn)生衰減極。本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的再另外其他特定方式中，多個(gè)電容電極部按照電容電極部的交叉幅寬方向與IDT電極的交叉幅寬方向進(jìn)行正交的方式形成。發(fā)明的效果本發(fā)明中，電容電極由相互插入其間的一對(duì)梳齒狀電極構(gòu)成，具有相互并聯(lián)連接的多個(gè)電容電極部。并且，多個(gè)電容電極部按照電容電極部的交叉幅寬方向與IDT電極的交叉幅寬方向進(jìn)行正交的方式來(lái)形成。并且，多個(gè)電容電極部沿著IDT電極的彈性波傳播方向而進(jìn)行排列。因此，例如，與電容電極由一對(duì)梳齒狀電極構(gòu)成的情況相比，能夠減小交叉幅寬，且能夠獲得較大的電容。因此，能夠兼顧彈性波裝置的高性能化與小型化。


圖I是實(shí)施本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的彈性波裝置的等效電路圖。圖2是實(shí)施本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的彈性波裝置的一部分的示意性俯視圖。圖3是表示實(shí)施本發(fā)明的一實(shí)施方式中的彈性波濾波器裝置的一部分的簡(jiǎn)略的剖視圖。
圖4是將實(shí)施本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的彈性波裝置的電容電極部分進(jìn)行擴(kuò)大后的示意性剖視圖。圖5是表示實(shí)施本發(fā)明的一實(shí)施方式中的彈性波裝置的插入損失的圖表的一個(gè)示例。圖6是表示實(shí)施例以及比較例中的彈性波濾波器裝置的濾波器特性的圖表。圖7是比較例所涉及的彈性波裝置的一部分的示意性俯視圖。圖8是第I變形例所涉及的彈性波裝置的一部分的示意性俯視圖。圖9是第2變形例所涉及的彈性波裝置的一部分的示意性俯視圖。圖10是第3變形例所涉及的彈性波濾波器裝置的簡(jiǎn)略的剖視圖。圖11是第4變形例所涉及的彈性波濾波器裝置的簡(jiǎn)略的剖視圖。 圖12是用于說(shuō)明第I參考例所涉及的彈性波裝置中的IDT電極與電容形成用梳齒狀電極對(duì)的配置的示意性俯視圖。圖13是用于說(shuō)明第2參考例所涉及的彈性波裝置中的IDT電極與電容形成用梳齒狀電極對(duì)的配置的示意性俯視圖。
具體實(shí)施例方式以下，關(guān)于實(shí)施本發(fā)明的優(yōu)選的方式，以圖I所示的、作為彈性波濾波器裝置的彈性波裝置I為例進(jìn)行說(shuō)明。其中，彈性波裝置I僅僅只是例示。本發(fā)明所涉及的彈性波裝置并不限于彈性波裝置I。本發(fā)明所涉及的彈性波裝置也可以不是彈性波濾波器裝置，例如也可以為彈性波諧振器。圖I是本實(shí)施方式所涉及的彈性波裝置的等效電路圖。圖2是本實(shí)施方式所涉及的彈性波裝置的一部分的示意性俯視圖。圖3是本實(shí)施方式中的彈性波濾波器裝置的一部分的簡(jiǎn)略的剖視圖。圖4是將本實(shí)施方式所涉及的彈性波裝置的電容電極部分進(jìn)行擴(kuò)大后的示意性剖視圖。圖5是表示本實(shí)施方式中的彈性波裝置的插入損失的圖表的一個(gè)示例。本實(shí)施方式所涉及的彈性波裝置I是利用彈性表面波的彈性表面波裝置。詳細(xì)而言，彈性波裝置I是具有梯型彈性表面波濾波器部20的梯型彈性表面波濾波器裝置。該本實(shí)施方式的彈性波裝置I被用作為UMTS Band2的雙工器(duplexer)的發(fā)送側(cè)帶通濾波器(發(fā)送頻帶1850MHz 1910MHz)。彈性波裝置I具備與天線11連接的信號(hào)輸出端子21、與發(fā)送側(cè)信號(hào)端子12連接的信號(hào)輸入端子22。在信號(hào)輸出端子21與信號(hào)輸入端子22之間連接有梯型彈性表面波濾波器部20。如圖I以及圖2所示，梯型彈性表面波濾波器部20具有在信號(hào)輸入端子22與信號(hào)輸出端子21之間連接的串聯(lián)臂23。在串聯(lián)臂23中，串聯(lián)連接有多個(gè)串聯(lián)臂諧振器SI、S2-1、S2-2、S3。在串聯(lián)臂23與接地電位之間連接有多個(gè)并聯(lián)臂24 26。在并聯(lián)臂24 26各個(gè)中設(shè)置有并聯(lián)臂諧振器Pl P3。在并聯(lián)臂諧振器Pl與接地電位之間連接有電感器L2。在并聯(lián)臂諧振器P2以及P3的連接點(diǎn)、和接地電位之間連接有電感器L3。在此，串聯(lián)臂諧振器S1、S2-1、S2_2、S3與并聯(lián)臂諧振器Pl P3由相互插入其間的I對(duì)梳齒狀電極構(gòu)成的IDT電極、在IDT電極的兩側(cè)所設(shè)置的2個(gè)反射器構(gòu)成。
另外，電容C2與串聯(lián)臂諧振器S2-2并聯(lián)連接。并且，LC諧振電路27連接在串聯(lián)臂諧振器SI與信號(hào)輸入端子22之間。LC諧振電路27具有相互并聯(lián)連接的電感器LI以及電容Cl。通過(guò)設(shè)置該LC諧振電路27，如圖5所示，在4300MHz附近形成以箭頭所示的衰減極。此外，圖5所示的圖表是在下述的設(shè)計(jì)參數(shù)的情況下的圖表。(設(shè)計(jì)參數(shù))串聯(lián)臂諧振器S3 對(duì)個(gè)數(shù)168對(duì)，交叉幅寬:30·29μπι，波長(zhǎng)=1.8931 μ m,占空比:0.486，級(jí)數(shù)3串聯(lián)臂諧振器S2-2
對(duì)個(gè)數(shù)230對(duì)，交叉幅寬:37·34μπι，波長(zhǎng)=1.9232 μ m,占空比:0.475，級(jí)數(shù)2串聯(lián)臂諧振器S2-1 對(duì)個(gè)數(shù)200對(duì)，交叉幅寬:30·47μπι，波長(zhǎng)=1.9148 μ m,占空比:0.441，級(jí)數(shù)1串聯(lián)臂諧振器SI 對(duì)個(gè)數(shù)168對(duì)，交叉幅寬:30·26μπι，波長(zhǎng)=1.8938 μ m,占空比:0.476，級(jí)數(shù)3并聯(lián)臂諧振器P3 對(duì)個(gè)數(shù)124對(duì)，交叉幅寬58·22μπι，波長(zhǎng):1.9811 μ m，占空比:0. 475，級(jí)數(shù)2并聯(lián)臂諧振器P2:對(duì)個(gè)數(shù):120對(duì)，交叉幅寬:49·47μπι，波長(zhǎng)=1.9744 μ m,占空比:0.475，級(jí)數(shù)2并聯(lián)臂諧振器Pl 對(duì)個(gè)數(shù):104對(duì)，交叉幅寬:42·77μπι，波長(zhǎng)=1.9828 μ m,占空比:0.475，級(jí)數(shù)2電容Cl:0.57pF電容C2:0.21pF電感器Ll:1.5nH電感器L2 0. InH電感器L3:1. OnH電感器L4:3.6nH如圖3所示，梯型彈性表面波濾波器部20具有壓電基板30、形成在壓電基板30之上的電極31。通過(guò)該電極31來(lái)構(gòu)成所述串聯(lián)臂23、并聯(lián)臂24 26、串聯(lián)臂諧振器SI，S2-1，S2-2，S3、并聯(lián)臂諧振器Pl P3、LC諧振電路27等。此外，電感器LI L3是通過(guò)在安裝了壓電基板30的安裝基板(未圖示)上形成的電極來(lái)構(gòu)成。此外，作為壓電基板30，能夠利用由適當(dāng)?shù)膲弘姴牧蠘?gòu)成的基板。壓電基板30例如也可以由LiTa03、LiNb03、水晶、壓電陶瓷等來(lái)形成。電極31能夠由適當(dāng)?shù)膶?dǎo)電材料來(lái)形成。電極31例如能夠由Al、Pt、Au、Ag、Cu、Ni、Ti、Pd等金屬或者包含這些的金屬的一種以上的合金來(lái)形成。另外，電極31例如也能夠通過(guò)由上述金屬或合金構(gòu)成的多個(gè)導(dǎo)電膜的層疊體來(lái)構(gòu)成。接下來(lái)，對(duì)電容Cl進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。電容Cl形成在壓電基板30之上，由與構(gòu)成串聯(lián)臂諧振器SI的一部分的IDT電極29串聯(lián)連接的電容電極28 (參照?qǐng)D2)來(lái)構(gòu)成。如圖4所示，電容電極28與IDT電極29沿著與彈性波傳播方向D3垂直的交叉幅寬方向D2而進(jìn)行排列。
電容電極28具有相互并聯(lián)連接的多個(gè)電容電極部28a 28e。多個(gè)電容電極部28a 28e的各個(gè)由相互插入其間的一對(duì)梳齒狀電極28al、28a2、28bl、28b2、28cl、28c2、28dl、28d2、28el、28e2 來(lái)形成。各梳齒狀電極 28al、28a2、28bl、28b2、28cl、28c2、28dl、28d2、28el、28e2具備多個(gè)電極指32、以及與多個(gè)電極指32連接的匯流條(bus bar) 33。在本實(shí)施方式中，構(gòu)成多個(gè)電容電極部28a 28e的多個(gè)梳齒狀電極28al、28a2、28bl、28b2、28cl、28c2、28dl、28d2、28el、28e2中的至少一個(gè)匯流條33與多個(gè)梳齒狀電極28al、28a2、28bl、28b2、28cl、28c2、28dl、28d2、28el、28e2中的其他匯流條33 —體地形成。具體而言，在本實(shí)施方式中，梳齒狀電極28a2的匯流條33與梳齒狀電極28bI的匯流條33 —體地形成。梳齒狀電極28b2的匯流條33與梳齒狀電極28c I的匯流條33 —體地形成。梳齒狀電極28c2的匯流條33與梳齒狀電極28dl的匯流條33 —體地形成。梳齒狀電極28d2的匯流條33與梳齒狀電極28el的匯流條33 —體地形成。因此，例如，與將各匯流條33單個(gè)獨(dú)立地設(shè)置的情況相比較，能夠使電容電極28實(shí)現(xiàn)小型化。因此，能夠使彈性波裝置I小型化。本實(shí)施方式中，多個(gè)電容電極部28a 28e按照電容電極部28a 28e的交叉幅寬方向D I與IDT電極29的交叉幅寬方向D2進(jìn)行正交的方式來(lái)形成。并且，多個(gè)電容電 極部28a 28e沿著與交叉幅寬方向Dl平行的、IDT電極29中的彈性波傳播方向D3而進(jìn)行排列。因此，多個(gè)電極指32沿著交叉幅寬方向Dl (=彈性波傳播方向D3)延伸地形成，匯流條33沿著交叉幅寬方向D2延伸地形成。此外，本實(shí)施方式中，說(shuō)明了電容電極部28a 28e的交叉幅寬方向Dl與IDT電極29的交叉幅寬方向D2進(jìn)行正交的情況。在此，本發(fā)明并不限于該構(gòu)成。電容電極部的交叉幅寬方向與IDT電極的交叉幅寬方向也可以發(fā)生傾斜，并不必需一定為正交。如上所述，在本實(shí)施方式中，通過(guò)多個(gè)電容電極部28a 28e并聯(lián)連接來(lái)構(gòu)成電容電極28。因此，即使在電容電極部28a 28e的各個(gè)的交叉幅寬小的情況下，也能夠獲得較大的靜電電容。因此，能夠獲得較大的靜電電容，能夠抑制彈性波裝置I的插入損失的惡化。以下，基于具體例，對(duì)其效果進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。圖6示出了具有與上述實(shí)施方式所涉及的彈性波裝置相同構(gòu)成的實(shí)施例的彈性波裝置的濾波器特性。另外，在圖6中一并地表示如圖7所示除了將電容電極28以一對(duì)梳齒狀電極來(lái)形成以及使電容Cl的靜電電容值成為O. 30pF來(lái)構(gòu)成電容電極28之外的部分與所述實(shí)施例具有同樣構(gòu)成的比較例中的彈性波裝置的濾波器特性。此外，實(shí)施例中的電容電極部28a 28e的交叉幅寬均設(shè)為34 μ m。比較例的交叉幅寬設(shè)為89 μ m。如圖6所示，實(shí)施例的彈性波裝置I即便是電容Cl的靜電電容值與比較例的彈性波裝置相比而成為較大的接近2倍，實(shí)施例中的通帶(1850MHz 1910MHz)的插入損失與比較例中的通帶的插入損失也為同等。由此可知由并聯(lián)連接的多個(gè)電容電極部28a 28e來(lái)構(gòu)成電容電極28，通過(guò)減小電容電極部28a 28e的交叉幅寬，能夠獲得較大的靜電電容，能夠抑制通帶中的插入損失的惡化。另外，本實(shí)施方式中，電容電極部28a 28e的交叉幅寬方向Dl與IDT電極29的交叉幅寬方向D3垂直。因此，即使在電容電極部28a 28e發(fā)生彈性表面波被激振，在實(shí)質(zhì)上不會(huì)對(duì)彈性波裝置I的特性造成影響。因此，能夠抑制彈性波裝置I的特性劣化。
并且，本實(shí)施方式中，多個(gè)電容電極部28a 28e沿著IDT電極29的彈性波傳播方向D3而進(jìn)行排列。因此，電容電極28與IDT電極29同樣地，成為長(zhǎng)邊方向朝向彈性波傳播方向D3的細(xì)長(zhǎng)形狀。因此，在壓電基板30上難形成死區(qū)。而且，如能夠增大電容Cl的靜電電容值，電感器LI所要求的電感值變小，所以，能夠使形成有電感器LI的安裝基板實(shí)現(xiàn)小型化。因此，能使壓電基板30以及安裝基板小型化，其結(jié)果，能夠使彈性波裝置I小型化。以下，對(duì)所述實(shí)施方式的變形例進(jìn)行說(shuō)明。在下述說(shuō)明中，對(duì)于與所述實(shí)施方式在實(shí)質(zhì)上具有相同功能的部件賦予相同的標(biāo)號(hào)，并省略說(shuō)明。(第I以及第2變形例) 圖8是第I變形例所涉及的彈性波裝置的一部分的示意性俯視圖。圖9是第2變形例所涉及的彈性波裝置的一部分的示意性俯視圖。在所述實(shí)施方式中，說(shuō)明電容電極部28a 28e在實(shí)質(zhì)上具有相同形狀的情況。在此，本發(fā)明中的電容電極部28a 28e也可以具有相互不同的形狀。即，在本發(fā)明中，多個(gè)電容電極部的各個(gè)只要是由一對(duì)梳齒狀電極來(lái)構(gòu)成，而關(guān)于對(duì)個(gè)數(shù)、交叉幅寬、電極指間距等均不受限定。例如，如圖8所示，在電容電極部28a 28e，對(duì)個(gè)數(shù)也可以相互不同。另外，如圖9所示，在電容電極部28a 28e，交叉幅寬也可以相互不同。圖8所示的第I變形例中，交叉幅寬被加權(quán)后的IDT電極29的匯流條29a與交叉幅寬對(duì)應(yīng)地，在外周具有凹凸形狀，與該凹凸形狀對(duì)應(yīng)，電容電極部28a 28e的對(duì)個(gè)數(shù)為不同。具體而言，在IDT電極29的交叉幅寬方向D2上鄰接的部分的交叉幅寬越小則電容電極部28a 28e的對(duì)個(gè)數(shù)越多。更具體而言，IDT電極29的交叉幅寬越大，在沿著交叉幅寬方向D2的尺寸較大的部分，交叉幅寬方向D2上鄰接的電容電極部28c的對(duì)個(gè)數(shù)變少，沿著交叉幅寬方向D2的尺寸變小。IDT電極29的交叉幅寬越小，在沿著交叉幅寬方向D2的尺寸較小的部分，在交叉幅寬方向D2上鄰接的電容電極部28a、28e的對(duì)個(gè)數(shù)越多，沿著交叉幅寬方向D2的尺寸越大。電容電極部28b的對(duì)個(gè)數(shù)介于電容電極部28a的對(duì)個(gè)數(shù)與電容電極部28c的對(duì)個(gè)數(shù)之間。電容電極部28d的對(duì)個(gè)數(shù)介于電容電極部28c的對(duì)個(gè)數(shù)與電容電極部28e的對(duì)個(gè)數(shù)之間。在圖9所示的第2變形例中，與所述第I變形例相同地，在IDT電極29的交叉幅寬方向D2上鄰接的部分的交叉幅寬越小則電容電極部28a 28e的對(duì)個(gè)數(shù)越多。并且，電容電極部28a 28e中的對(duì)個(gè)數(shù)越少，交叉幅寬越變長(zhǎng)。具體而言,本變形例中，電容電極部28b的交叉幅寬設(shè)為大于其他的電容電極部28a、28c 28e的交叉幅寬。由此，能夠進(jìn)一步使彈性波裝置小型化。(第3以及第4變形例)圖10是第3變形例所涉及的彈性波濾波器裝置的簡(jiǎn)略的剖視圖。圖11是第4變形例所涉及的彈性波濾波器裝置的簡(jiǎn)略的剖視圖。在上述實(shí)施方式中，作為本發(fā)明的實(shí)施方式例舉了利用彈性表面波的彈性表面波裝置，本發(fā)明的彈性波裝置并不限于彈性表面波裝置。本發(fā)明并不限于彈性表面波裝置，對(duì)于彈性邊界波裝置也適合。即，本發(fā)明的彈性波裝置也可以是利用彈性邊界波的彈性邊界波裝置。更具體而言，本發(fā)明的彈性波裝置也可以是諸如圖10所示的所謂的2介質(zhì)型的彈性邊界波裝置，也可以是諸如圖11所示的所謂3介質(zhì)型的彈性邊界波裝置。如圖10所示，2介質(zhì)型的彈性邊界波裝置中，在壓電基板30之上形成電介質(zhì)層34。通過(guò)該電介質(zhì)層34來(lái)覆蓋形成IDT電極的區(qū)域等、彈性邊界波進(jìn)行傳播的區(qū)域。電介質(zhì)層34的厚度只要是通過(guò)IDT電極所激振得到的彈性波成為彈性邊界波的厚度即可，并不特別限定，能夠根據(jù)要求特性而適當(dāng)?shù)卦O(shè)定。電介質(zhì)層34例如能夠由SiO2等的氧化娃、SiN等的氮化硅等來(lái)形成。如圖11所示，在3介質(zhì)型的彈性邊界波裝置中，在電介質(zhì)層34之上進(jìn)一步形成電介質(zhì)層35。電介質(zhì)層35由電介質(zhì)層35的音速比電介質(zhì)層34的音速變快的材料來(lái)形成。具體而言，例如，電介質(zhì)層34由SiO2等的氧化硅構(gòu)成的情況下，電介質(zhì)層35由SiN等的氮化硅等形成。因此，彈性邊界波實(shí)質(zhì)被禁閉于電介質(zhì)層34中進(jìn)行傳播。標(biāo)號(hào)說(shuō)明I…彈性波裝置 11…天線12…發(fā)送側(cè)信號(hào)端子20…梯型彈性表面波濾波器部21…信號(hào)輸出端子22…信號(hào)輸入端子23…串聯(lián)臂24 26…并聯(lián)臂27…LC諧振電路28…電容電極28a 28e …電容電極部28al、28a2、28bl、28b2、28cl、28c2、28dl、28d2、28el、28e2 …梳齒狀電極29…IDT 電極29a…匯流條30…壓電基板31…電極32…電極指33…匯流條34…電介質(zhì)層35…電介質(zhì)層LI L4…電感器SI、S2-1、S2-2、S3…串聯(lián)臂諧振器PI、P2、P3…并聯(lián)臂諧振器C1、C2 …電容DL···電容電極部的交叉幅寬方向D2…交叉幅寬方向D3··· IDT電極的交叉幅寬方向
權(quán)利要求
1.一種彈性波裝置，其具備 壓電基板； 形成在所述壓電基板之上的IDT電極；和 形成在所述壓電基板之上且與所述IDT電極串聯(lián)連接的電容電極， 所述彈性波裝置的特征在于， 所述電容電極具有相互并聯(lián)連接、并且分別由相互插入其間的一對(duì)梳齒狀電極構(gòu)成的多個(gè)電容電極部， 所述多個(gè)電容電極部按照所述電容電極部的交叉幅寬方向與所述IDT電極的交叉幅寬方向發(fā)生傾斜的方式形成， 所述多個(gè)電容電極部沿著所述IDT電極的彈性波傳播方向而進(jìn)行排列。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的彈性波裝置，其中， 所述電容電極的至少一部分與所述IDT電極沿著與彈性波傳播方向垂直的方向進(jìn)行排列。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的彈性波裝置，其中， 所述多個(gè)電容電極部分別具有沿所述電容電極部的交叉幅寬方向進(jìn)行延伸的多個(gè)電極指、以及與所述多個(gè)電極指相連接且沿相對(duì)于所述電容電極部的交叉幅寬方向而垂直的方向進(jìn)行延伸的匯流條， 構(gòu)成所述多個(gè)電容電極部的多個(gè)梳齒狀電極中的至少一個(gè)匯流條與所述多個(gè)梳齒狀電極中的另一個(gè)匯流條一體地形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求I至3任意一項(xiàng)所述的彈性波裝置，其中， 所述彈性波裝置是利用彈性表面波的彈性表面波裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至3任意一項(xiàng)所述的彈性波裝置，其中， 所述彈性波裝置是利用彈性邊界波的彈性邊界波裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求I至5任意一項(xiàng)所述的彈性波裝置，其中， 所述彈性波裝置是具備具有所述IDT電極的串聯(lián)臂諧振器的梯型彈性波濾波器裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的彈性波裝置，其中， 所述彈性波裝置還具備與所述IDT電極串聯(lián)且與所述電容電極并聯(lián)連接的電感器。
8.根據(jù)權(quán)利要求I至6任意一項(xiàng)所述的彈性波裝置，其中， 所述多個(gè)電容電極部按照所述電容電極部的交叉幅寬方向與所述IDT電極的交叉幅寬方向正交的方式形成。
全文摘要
具備在壓電基板上與IDT電極串聯(lián)連接且具有梳齒狀電極對(duì)的電容電極的彈性波裝置中，謀求兼顧高性能化與小型化。彈性波裝置(1)具備壓電基板(30)；形成在壓電基板(30)之上的IDT電極(29)；和形成在壓電基板(30)之上且與IDT電極(29)串聯(lián)連接的電容電極(28)。電容電極(28)具有分別由相互插入其間的一對(duì)梳齒狀電極構(gòu)成的多個(gè)電容電極部(28a～28e)。多個(gè)電容電極部(28a～28e)相互地并聯(lián)連接。多個(gè)電容電極部(28a～28e)按照電容電極部(28a～28e)的交叉幅寬方向(D1)與IDT電極(29)的交叉幅寬方向(D2)發(fā)生傾斜的方式形成。多個(gè)電容電極部(28a～28e)沿著IDT電極(29)中的彈性波傳播方向(D1)排列。
文檔編號(hào)H03H9/145GK102823130SQ20118001510
公開日2012年12月12日 申請(qǐng)日期2011年1月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月13日
發(fā)明者相合谷真一, 奧田哲朗, 葛下琢真 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所