專利名稱：濾波器結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及濾波器結(jié)構(gòu)，所述濾波器結(jié)構(gòu)包括第一信號(hào)線、第二信號(hào)線、第三信號(hào)線和第四信號(hào)線，所述第一和第三信號(hào)線限定一節(jié)濾波器結(jié)構(gòu)的輸入端口，而所述第二和第四信號(hào)線限定所述一節(jié)濾波器結(jié)構(gòu)的輸出端口，所述一節(jié)濾波器結(jié)構(gòu)由以下各部分限定連接在所述第一信號(hào)線和第二信號(hào)線之間的第一體聲波諧振器；連接在所述第三信號(hào)線和第四信號(hào)線之間的第二體聲波諧振器；連接在所述第一信號(hào)線和第四信號(hào)線之間的第三體聲波諧振器；以及連接在所述第二信號(hào)線和第三信號(hào)線之間的第四體聲波諧振器。提供至少一個(gè)具有第一、第二、第三和第四聲波諧振器的另一節(jié)濾波器結(jié)構(gòu)，每一個(gè)所述另一節(jié)濾波器結(jié)構(gòu)的輸入端口與前節(jié)的輸出端口連接以構(gòu)成多節(jié)濾波器結(jié)構(gòu)。
薄膜體聲波濾波器(BAW濾波器)具有高度小型化、潛在的可集成的、可選作諸如第二代(2G)和第三代(3G)手機(jī)等無(wú)線通信設(shè)備的前端的前景。小型化來(lái)自在給定頻率下聲波波長(zhǎng)比電磁波波長(zhǎng)小幾個(gè)數(shù)量級(jí)。在薄膜BAW濾波器中所需的機(jī)電能量轉(zhuǎn)換是由厚度與濾波器的中心頻率成反比的壓電層提供的，所述厚度在2千兆赫(GHz)頻率時(shí)為1-2微米。
目前已經(jīng)獲得使用氮化鋁(AlN)材料制造的，在晶體取向和聲損耗方面的最佳壓電薄膜。所述材料的優(yōu)異性能轉(zhuǎn)化成為重要的前端濾波器特性，如低的通帶插入損失和無(wú)寄生模阻帶等。已經(jīng)研究出膜反射器結(jié)構(gòu)和布拉格(Bragg)反射器結(jié)構(gòu)作為將聲能限制在壓電層的裝置。本發(fā)明同時(shí)適用于兩種類型的結(jié)構(gòu)。
作為制造BAW濾波器的材料氮化鋁(AlN)的主要缺點(diǎn)是，它的壓電耦合系數(shù)相對(duì)較小，這是一個(gè)決定最大可利用帶寬的參數(shù)。
傳統(tǒng)上，濾波器被構(gòu)造成所謂梯形濾波器，其中，多個(gè)串聯(lián)諧振器連接在濾波器的輸入端口和輸出端口之間并且通過(guò)連接在每對(duì)串聯(lián)諧振器之間的并聯(lián)諧振器接地。
在歐洲專利EP 1017170A2中公開了在引言部分定義的格型濾波器結(jié)構(gòu)，它基于串聯(lián)連接和交叉連接的薄膜BAW諧振器的組合。所述濾波器結(jié)構(gòu)使得通帶以外的衰減坡度非常陡峭。美國(guó)專利US 5692279A介紹了類似的格型結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的目的是提供一種帶寬進(jìn)一步擴(kuò)展的濾波器結(jié)構(gòu)，供第二代和第三代移動(dòng)通信系統(tǒng)使用。
所述目的通過(guò)權(quán)利要求1的濾波器結(jié)構(gòu)達(dá)到。各最佳實(shí)施例是各項(xiàng)從屬權(quán)利要求的主題?；谒鰹V波器結(jié)構(gòu)的移動(dòng)通信裝置是權(quán)利要求6的主題。
根據(jù)本發(fā)明，所述各聲波諧振器中至少一個(gè)的頻率牽引因子δ是非零的。
所述頻率牽引因子δ定義如下對(duì)于具有諧振頻率fr1的第一和第二體聲波諧振器，所述頻率牽引因子由下式定義δ=2(fr1f0-1)·1k2]]>而對(duì)于具有反諧振頻率fa2的第三和第四體聲波諧振器，δ=2(1-fa2f0)·1k2]]>f0是濾波器結(jié)構(gòu)的中心頻率，而k為相應(yīng)的諧振器的耦合因子。諧振器的諧振和反諧振頻率分別表示為fr和fa。
通過(guò)將格型結(jié)構(gòu)和頻率牽引相結(jié)合，可以得到通帶的更寬的平坦區(qū)域。增加額外的濾波器節(jié)，導(dǎo)致在格型濾波器設(shè)計(jì)的頻帶邊緣附近的密集的附加傳輸最大值群，因此為達(dá)到本發(fā)明的目的，使用多于一個(gè)濾波器節(jié)是至關(guān)重要的。
在最佳實(shí)施例中，頻率牽引因子是正的，最好還應(yīng)該等于或大于0.1，而等于或大于0.2更好。一般最好將頻率牽引因子設(shè)定為等于或小于10.0，而等于或小于1.0更好。
頻率牽引的缺點(diǎn)是在頻帶中心形成凹下部分。因此，在另一個(gè)最佳實(shí)施例中，在所述第一、第二、第三和第四信號(hào)線的任一個(gè)中包括至少一個(gè)電感器，由此恢復(fù)近乎平坦的通帶。
本發(fā)明可以用來(lái)實(shí)現(xiàn)多路復(fù)用濾波器。3G的WCDMA系統(tǒng)是用全雙工方式工作的。如果將RX(接收)和TX(發(fā)送)通道都接入同一根天線，在前端就需要雙工器來(lái)分離兩種信號(hào)?？梢钥吹?，目前是用陶瓷雙工濾波器來(lái)解決問(wèn)題的。雙工器和獨(dú)立的濾波器的重要區(qū)別是，在天線端口處兩個(gè)并聯(lián)的子濾波器在電氣上互為負(fù)載。對(duì)于使用氮化鋁(AlN)為材料的體聲波(BAW)濾波器解決方案，兩個(gè)濾波器相互在對(duì)方的通帶中呈現(xiàn)為數(shù)值不同的電容。
下面將參照附圖，用示例說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例，附圖中

圖1表示兩節(jié)格型濾波器的電原理圖；圖2(a)和(b)表示在沒有頻率牽引和不帶串聯(lián)電感的情況下單節(jié)格型和梯型濾波器的響應(yīng)，其中諧振器優(yōu)值分別為10和40。
圖3(a)和(b)表示在沒有頻率牽引和不帶串聯(lián)電感的情況下兩節(jié)格型和梯型濾波器的響應(yīng)，其中諧振器優(yōu)值分別為10和40。
圖4(a)和(b)表示在頻率牽引因子為0.2和不帶串聯(lián)電感的情況下兩節(jié)格型和梯型濾波器的響應(yīng)，其中諧振器優(yōu)值分別為10和40。
圖5(a)和(b)表示在頻率牽引因子為0.2和歸一化串聯(lián)感抗為0.3的情況下兩節(jié)格型和梯型濾波器的響應(yīng)，其中諧振器優(yōu)值分別為10和40。
圖6(a)和(b)表示以具有通路的單一諧振器的形式實(shí)現(xiàn)的并且采用膜結(jié)構(gòu)來(lái)限制能量的薄膜BAW諧振器；圖7(a)和(b)表示以兩個(gè)完全一樣的串聯(lián)諧振器的形式實(shí)現(xiàn)的并且采用布拉格(Brag)反射器結(jié)構(gòu)來(lái)限制能量的薄膜BAW諧振器；
圖8表示雙格型濾波器的頂部金屬化層；圖9表示從下面看的雙格型濾波器的頂部和底部金屬化層；圖10表示雙格型濾波器的頂部金屬化層、附加厚金屬層和質(zhì)量加載層，其中用點(diǎn)表示可能的接線點(diǎn)；圖11表示從下面看到的雙格型濾波器的頂部和底部金屬化層，其中設(shè)置一些孔來(lái)降低對(duì)掩模不對(duì)準(zhǔn)的敏感性；以及圖12是雙工器的電原理圖，所述雙工器采用雙格型RX和TX濾波器以及在天線端口的單一匹配電感器。
下面是將使用的簡(jiǎn)寫符號(hào)；一部分是從窄帶近似推導(dǎo)出來(lái)的f0濾波器的中心頻率fr諧振器的諧振頻率fa諧振器的反諧振頻率δ頻率牽引因子k=[(fa2/fr2)-1]]]>諧振器之間的耦合因子Q諧振器的品質(zhì)因素η＝Qk2諧振器的優(yōu)值Ω＝2(f-f0)/(f0k2)歸一化頻率α在濾波器的中心頻率處串聯(lián)調(diào)諧電感的電抗與終端電阻的比值。
諧振頻率與反諧振頻率可以具體表示為串聯(lián)諧振器(兩種類型濾波器均適用)的諧振頻率fr1＝(1+0.5δk2)f0串聯(lián)諧振器(兩種類型濾波器均適用)的反諧振頻率fa1＝(1+0.5δk2)(1+k2)f0并聯(lián)諧振器(梯型)或交叉諧振器(格型)的諧振頻率fr2＝(1-0.5δk2)f0/(1+k2)并聯(lián)諧振器(梯型)或交叉諧振器(格型)的反諧振頻率fa2＝(1-0.5δk2)f0
在這里所討論的每一種配置中，假定兩種類型的諧振器中每一種的靜態(tài)電容C0相等，其中，所述值提供與濾波器終端阻抗的最佳電氣匹配。
圖1表示兩節(jié)的格型濾波器的電原理圖。橫跨節(jié)點(diǎn)1和3定義濾波器的輸入端口，橫跨節(jié)點(diǎn)2和4定義濾波器的輸出端口。濾波器的每一節(jié)由四個(gè)薄膜BAW諧振器A、C、E、G和B、D、F、H組成，其中諧振器A、G和B、H是串聯(lián)諧振器對(duì)，而諧振器E、C和D、F是交叉諧振器對(duì)。在節(jié)點(diǎn)5和6，兩節(jié)濾波器相互連接。圖1中忽略了各端口處的串聯(lián)電感器。
如圖2(a)和2(b)所示，與具有兩個(gè)串聯(lián)諧振器和一個(gè)并聯(lián)諧振器的用于梯形濾波器的T型濾波器節(jié)相比，具有兩個(gè)串聯(lián)諧振器和兩個(gè)交叉諧振器的格型濾波器節(jié)本身并不提供更大的帶寬。無(wú)論頻率牽引如何，這都是對(duì)的。其主要優(yōu)點(diǎn)是它的阻帶僅受寄生參數(shù)限制，而不受諧振器本身的靜態(tài)電容的限制。結(jié)果，如范例所示，對(duì)于兩個(gè)優(yōu)值為10和40的諧振器(對(duì)應(yīng)于Q～200和Q～800，同時(shí)，k＝0.22，而δ＝α＝0)，印證了如下結(jié)論單一的格型濾波器節(jié)具有更好的對(duì)稱性并且提供更大的帶外衰減，但是它的通帶寬度并不比單一的梯形濾波器的T型節(jié)寬。
如圖3(a)和3(b)所示；如果濾波器包括多于一節(jié)但沒有引入頻率牽引，那么，格型濾波器比梯形濾波器具有更寬的帶寬。然而，格型濾波器的頻率響應(yīng)并不很平。格型和梯形濾波器的通帶響應(yīng)的損失效應(yīng)也不盡相同。
圖4(a)和4(b)表示對(duì)于其他條件完全相同的兩節(jié)濾波器，在δ＝0.2但維持歸一化串聯(lián)電感器電抗α＝0的情況下，增大串聯(lián)和交叉連接諧振器的頻率分隔的效果。現(xiàn)在，格型濾波器的頻率響應(yīng)除了在頻帶中心有更明顯的凹下部分之外，比梯形濾波器平坦了。這是頻率牽引的缺點(diǎn)。
如圖5(a)和5(b)所示，對(duì)1dB左右的小凹下部分，通過(guò)加入串聯(lián)電感器顯然可以恢復(fù)近似平坦的通帶。利用所提出的措施能夠達(dá)到有效支配帶寬上限的程度。雖然大數(shù)值高Q外接電感器是完全沒有必要的，但已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，本發(fā)明通常只需要小數(shù)值、低Q因子的電感器。例如，Q～20的1.5納亨(nH)的電感器已經(jīng)足夠。與相同數(shù)值的理想無(wú)損耗電感器比較，所述串聯(lián)電感器的Q值只增加了0.1分貝(dB)左右的插入損耗。這就是說(shuō)，通常每個(gè)電感器所需要的空間不會(huì)超過(guò)1平方毫米(mm2)，這樣，這些元件可以在IC(集成電路)、MCM(微電路組件)或PCB(印刷線路板)等級(jí)上集成，或者甚至將其以連接線的形式引入。圖5(a)和(b)的響應(yīng)曲線表示，梯形濾波器的通帶在帶邊緣處呈現(xiàn)顯著的“作用不足”(“role-off”)，而格型濾波器的通帶在邊緣附近呈現(xiàn)增強(qiáng)跡象，給出近乎平坦的響應(yīng)，因而可以提供更實(shí)用的帶寬。對(duì)于諧振器Q因子的兩種數(shù)值，兩種結(jié)構(gòu)在帶寬和響應(yīng)平坦性方面的差異是明顯的。因此，雖然絕對(duì)插入損耗隨著Q值的增加而減小，而在有損耗的情況下保持通帶平坦在某些情況下可能會(huì)降低諧振器的指標(biāo)(specification)。一個(gè)具有兩個(gè)格型節(jié)的濾波器，亦稱為雙格型設(shè)計(jì)，在對(duì)其它參數(shù)最優(yōu)化后，顯然能夠給出最平坦的通帶響應(yīng)。還有，由于由格型節(jié)提供的帶外衰減固有地遠(yuǎn)大于梯形的T型節(jié)的帶外衰減，因此，要滿足典型的帶外指標(biāo)很可能不需要多于兩個(gè)濾波器節(jié)。
采用雙格型設(shè)計(jì)與采用多于兩個(gè)格型節(jié)相比有兩個(gè)特別好處。首先，由于每增加一節(jié)都會(huì)增加損耗，所以采用雙格型設(shè)計(jì)的總體插入損耗會(huì)降低。第二，可以實(shí)現(xiàn)無(wú)通孔布局，這一點(diǎn)下面還要講到，而對(duì)于多于兩個(gè)格型節(jié)的設(shè)計(jì)，由于互聯(lián)的復(fù)雜性，這一點(diǎn)看來(lái)做不到。這樣，可以把晶片處理費(fèi)用維持在與薄膜BAW梯形濾波器所需要的差不多的水平。
格型濾波器的另一個(gè)好處是，與梯形濾波器的非平衡端口相比，它們具有在電氣上平衡的端口。因而在格型濾波器中很容易引入平衡-不平衡阻抗變換功能，只需要將一個(gè)端口的一側(cè)接地就行。所述功能通常在天線和低噪聲放大器(LNA)之間的收發(fā)器的接收(RX)鏈中是需要的。
薄膜BAW濾波器包括一組以分層結(jié)構(gòu)的形式形成的互聯(lián)諧振器。圖6和圖7分別以側(cè)視圖(a)和頂視圖(b)的方式表示薄膜型和布拉格反射器型諧振器的例子。二者都采用壓電層3(通常1微米左右厚度的c-軸取向的氮化鋁(AlN)，夾在兩個(gè)金屬電極層1、2中間，每個(gè)金屬電極通常具有0.1微米左右的厚度)，所述結(jié)構(gòu)提供主要的諧振器功能。覆蓋層4(通常是氧化硅SiO2)用于頻率調(diào)節(jié)，在需要的時(shí)候，由它的機(jī)械加載效應(yīng)來(lái)提供所述頻率調(diào)節(jié)。
圖6表示經(jīng)由通孔5接通底層電極2的結(jié)構(gòu)。
圖7表示一種可供選擇的替代結(jié)構(gòu)，其中，以與底部金屬化層的浮動(dòng)中心電極2串聯(lián)的兩個(gè)完全相同的諧振器R1、R2的形式實(shí)現(xiàn)所述諧振器。這種結(jié)構(gòu)不需通孔，但增加了面積增大4倍的成本。
所述兩種類型的諧振器配置都可以用薄膜式或布拉格反射器結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)。當(dāng)某種頻率(這種頻率的厚度伸縮聲模式的波長(zhǎng)約為壓電層厚度的兩倍)的電信號(hào)加到兩個(gè)電極之間時(shí)，強(qiáng)烈地激發(fā)一種以在厚度方向上交替地伸長(zhǎng)和壓縮為特征的模式。壓電層或備擇的晶體對(duì)稱性材料的其它取向會(huì)激發(fā)其它聲學(xué)模式。
本發(fā)明在本質(zhì)上與所采用的各種諧振器設(shè)計(jì)方法無(wú)關(guān)。但重要的是，提供了雙格型無(wú)通孔布局設(shè)計(jì)的可能性。
圖8表示在雙格型濾波器的一個(gè)實(shí)施例中頂部金屬化層的布局；圖9表示從下面看的頂部和底部金屬化層的圖案。節(jié)點(diǎn)和諧振器的標(biāo)號(hào)與圖1一樣?；野档膮^(qū)域是頂部金屬化層，通常是鋁(Al)或鉬(Mo)材料制造的；光亮的區(qū)域是底部金屬化層，通常是用鉑(Pt)、鋁(Al)或鉬(Mo)制造的。諧振器由這兩個(gè)區(qū)域交疊而成。示意圖的每一個(gè)諧振器以兩個(gè)串聯(lián)的實(shí)際諧振器的形式實(shí)現(xiàn)，如上所述，在這種情況下不需要通孔。
圖10也是以暗(dark)的形式表示頂部的金屬化層，同時(shí)，灰色(grey)的區(qū)域表示其中淀積質(zhì)量加載(mass-loading)覆蓋層以便降低交叉連接諧振器的頻率，而深灰色區(qū)域表示頂部金屬化層的厚度增加(通常是5微米)，目的是減小互連電阻。圖中還表示了接觸點(diǎn)3a、3b、4a、4b的可能位置。兩個(gè)端口的位置在布局圖的左邊和右邊。在本設(shè)計(jì)，還通過(guò)把諧振器E和G連接到節(jié)點(diǎn)3a和3b的導(dǎo)線以及把諧振器F和H連接到節(jié)點(diǎn)4a和4b的導(dǎo)線來(lái)提供所需要的串聯(lián)電感。所展示的布局圖的總體尺寸為約2.5毫米×1.7毫米，所述設(shè)計(jì)的中心頻率是2.14千兆赫(GHz)。
圖8到圖10表示通過(guò)將圖1所示的示意的電路展開以便將交叉轉(zhuǎn)移到端口，可以在交叉連接中不使用通孔的情況下實(shí)現(xiàn)雙格型設(shè)計(jì)。在平面結(jié)構(gòu)的約束下，這仍然在每一個(gè)端口留有一個(gè)端子(terminal)是接觸不到的。然而，在實(shí)際上，為了封裝，很可能在各端口采用三維設(shè)計(jì)，在倒裝片配置中或者使用粘合線或者使用焊接球。這樣，兩個(gè)接觸不到的端子就變成可以接觸了。因此，可以用載體上的連接線和/或印刷的連線來(lái)實(shí)現(xiàn)所需的小電感器。
圖11表示作為所述設(shè)計(jì)的變換方案的頂部(暗的)和底部(亮的)金屬化圖案。這包括頂部金屬化層中對(duì)應(yīng)于底部電極邊緣的位置上的矩形槽。這具有使諧振器區(qū)域?qū)蓚€(gè)電極掩模的不對(duì)準(zhǔn)不敏感的效果。使用封口槽或孔確保把由這種措施在互連通路中引入的附加電阻減至最小。
圖12表示雙工器的示意的電路，所述雙工器采用在接收(RX)和發(fā)送(TX)側(cè)的雙格型濾波器以及在天線端口處的單一的匹配電感器。本發(fā)明所提供的附加帶寬允許TX和RX通路中的濾波器采用一樣厚度的氮化鋁(AlN)，只是通過(guò)對(duì)TX濾波器進(jìn)行掩模加載，例如利用附加的氧化硅(SiO2)覆蓋層進(jìn)行掩模加載來(lái)實(shí)現(xiàn)所述頻率差別。這樣做雖然減小了TX濾波器的帶寬，但是，由本發(fā)明提供的頻帶裕度使我們可以這樣做。因而，這既降低了薄膜處理工藝的復(fù)雜性又降低了其成本，這是因?yàn)橐呀?jīng)要求用質(zhì)量加載(mass-loading)來(lái)獲得交叉連接濾波器的低頻率，而淀積不定形的氧化硅(SiO2)比淀積高取向性的氮化鋁(AlN)容易得多。
多工器的濾波器和獨(dú)立濾波器之間的重要差別在于在天線端口處的并聯(lián)的、電氣上互為負(fù)載的兩個(gè)子濾波器。在節(jié)省了串聯(lián)電感器的情況下通過(guò)公共端口處的單一匹配電感器來(lái)對(duì)此作出補(bǔ)償。
權(quán)利要求
1.一種包括第一信號(hào)線、第二信號(hào)線、第三信號(hào)線和第四信號(hào)線的濾波器結(jié)構(gòu)，所述第一和第三信號(hào)線限定一節(jié)所述濾波器結(jié)構(gòu)的輸入端口，而所述第二和第四信號(hào)線限定所述一節(jié)濾波器結(jié)構(gòu)的輸出端口，所述一節(jié)濾波器結(jié)構(gòu)由以下各部分限定連接在所述第一信號(hào)線和所述第二信號(hào)線之間的第一體聲波諧振器(A)；連接在所述第三信號(hào)線和所述第四信號(hào)線之間的第二體聲波諧振器(G)；連接在所述第一信號(hào)線和所述第四信號(hào)線之間的第三體聲波諧振器(C)；以及連接在所述第二信號(hào)線和所述第三信號(hào)線之間的第四體聲波諧振器(E)；其中，提供至少一個(gè)具有第一、第二、第三和第四體聲波諧振器(B、H、F、D)的另一節(jié)濾波器結(jié)構(gòu)；其中，每一個(gè)所述另一節(jié)濾波器結(jié)構(gòu)的所述輸入端口與前一節(jié)的所述輸出端口相連接，以便形成多節(jié)濾波器結(jié)構(gòu)，其特征在于所述各體聲波諧振器中至少一個(gè)的頻率牽引因子δ是非零的，對(duì)于具有諧振頻率fr1的第一和第二體聲波諧振器，所述頻率牽引因子δ由下式定義δ=2(fr1f0-1)·1k2]]>而對(duì)于具有反諧振頻率fa2的第三和第四體聲波諧振器，δ=2(1-fa2f0)·1k2]]>其中f0是所述濾波器結(jié)構(gòu)的中心頻率，而k是相應(yīng)的諧振器的耦合因子。
2.如權(quán)利要求1所述的濾波器結(jié)構(gòu)，其特征在于所述頻率牽引因子是正的。
3.如權(quán)利要求1或2所述的濾波器結(jié)構(gòu)，其特征在于所述頻率牽引因子等于或大于0.1。
4.如權(quán)利要求1或2所述的濾波器結(jié)構(gòu)，其特征在于所述頻率牽引因子等于或大于0.2。
5.如權(quán)利要求1所述的濾波器結(jié)構(gòu)，其特征在于所述頻率牽引因子等于或小于10.0。
6.如權(quán)利要求1所述的濾波器結(jié)構(gòu)，其特征在于所述頻率牽引因子等于或小于1.0。
7.如權(quán)利要求1到6中任何一項(xiàng)所述的濾波器結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第一、第二、第三和第四信號(hào)線中任何一條包括至少一個(gè)電感器。
8.一種包括至少一個(gè)濾波器結(jié)構(gòu)的移動(dòng)通信裝置，所述濾波器結(jié)構(gòu)具有第一信號(hào)線、第二信號(hào)線、第三信號(hào)線和第四信號(hào)線，所述第一和第三信號(hào)線限定一節(jié)所述濾波器結(jié)構(gòu)的輸入端口，而所述第二和第四信號(hào)線限定所述一節(jié)濾波器結(jié)構(gòu)的輸出端口，所述一節(jié)濾波器結(jié)構(gòu)由以下各部分限定連接在所述第一信號(hào)線和所述第二信號(hào)線之間的第一體聲波諧振器(A)；連接在所述第三信號(hào)線和所述第四信號(hào)線之間的第二體聲波諧振器(G)；連接在所述第一信號(hào)線和所述第四信號(hào)線之間的第三體聲波諧振器(C)；以及連接在所述第二信號(hào)線和所述第三信號(hào)線之間的第四體聲波諧振器(E)；其中，提供至少一個(gè)具有第一、第二、第三和第四體聲波諧振器(B、H、F、D)的另一節(jié)濾波器結(jié)構(gòu)；其中，每一個(gè)所述另一節(jié)濾波器結(jié)構(gòu)的所述輸入端口與前一節(jié)的所述輸出端口相連接，以便形成多節(jié)濾波器結(jié)構(gòu)，其特征在于所述各體聲波諧振器中至少一個(gè)的頻率牽引因子δ是非零的，對(duì)于具有諧振頻率fr1的第一和第二體聲波諧振器，所述頻率牽引因子δ由下式定義δ=2(fr1f0-1)·1k2]]>而對(duì)于具有反諧振頻率fa2的第三和第四體聲諧振器，δ=2(1-fa2f0)·1k2]]>其中f0是所述濾波器結(jié)構(gòu)的中心頻率，而k是相應(yīng)的諧振器的耦合因子。
9.一種如權(quán)利要求1到7中任何一項(xiàng)所述的濾波器結(jié)構(gòu)的布局，其特征在于通過(guò)將連接線的交叉轉(zhuǎn)換到輸入和輸出端口以便展開所述結(jié)構(gòu)而基本上在平面上實(shí)現(xiàn)所述布局。
全文摘要
一種包括第一信號(hào)線、第二信號(hào)線、第三信號(hào)線和第四信號(hào)線的濾波器結(jié)構(gòu)，所述第一和第三信號(hào)線限定一節(jié)濾波器結(jié)構(gòu)的輸入端口，而所述第二和第四信號(hào)線限定所述一節(jié)濾波器結(jié)構(gòu)的輸出端口，所述一節(jié)濾波器結(jié)構(gòu)由以下各部分限定連接在所述第一信號(hào)線和第二信號(hào)線之間的第一體聲波諧振器(A)；連接在所述第三信號(hào)線和第四信號(hào)線之間的第二體聲波諧振器(G)；連接在所述第一信號(hào)線和第四信號(hào)線之間的第三體聲波諧振器(C)；以及連接在所述第二信號(hào)線和第三信號(hào)線之間的第四體聲波諧振器(E)，其特征在于所述各體聲波諧振器中至少一個(gè)的頻率牽引因子δ是非零的，所述頻率牽引因子δ是針對(duì)具有諧振頻率f
文檔編號(hào)H03H9/17GK1653688SQ03811092
公開日2005年8月10日 申請(qǐng)日期2003年5月16日 優(yōu)先權(quán)日2002年5月20日
發(fā)明者R·F·米爾索姆, H·P·勒布爾 申請(qǐng)人:皇家飛利浦電子股份有限公司