專利名稱：表面聲波器件的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及表面聲波器件，尤其涉及具有差動端子對(differentialterminal pair)的表面聲波器件。
背景技術：
當前，在無線設備(作為應用示例，以便攜式電話為代表)的高頻電路中，作為具有濾波功能的器件，表面聲波器件得到了廣泛的應用。近年來，在這種無線設備的高頻電路中，已經使用了帶有平衡或差異輸入/輸出的集成電路(IC)元件。
相反，采用表面聲波器件的常規(guī)濾波器(根據情況，后文稱為SAW濾波器)的輸入端子和輸出端子都采用不平衡端子(unbalanced terminal)。因而，需要使用被稱為平衡-不平衡變壓器(balun)的用于進行不平衡到平衡轉換的組件，或者由離散組件構成的不平衡到平衡轉換器。
另外，SAW濾波器通常具有50Ω的輸入/輸出阻抗。相反，用于帶有平衡端子對的混頻器等的IC在許多情況下具有從100Ω到200Ω范圍的高阻抗。為了將這種IC與SAW濾波器相連，還需要阻抗轉換電路。
在這種情況下，增加了無線設備的電路元件數量。另外，為了使這種無線設備進一步小型化，需要進行節(jié)省空間的設計。為此目的，研究和開發(fā)了集成有不平衡到平衡轉換功能和阻抗轉換功能，同時能夠小型化的表面聲波器件。
在這種研究和開發(fā)的過程中，本發(fā)明的發(fā)明人提出了具有不平衡到平衡轉換功能和阻抗轉換功能的表面聲波器件，其以國際申請?zhí)朠CT/JP01/05677公開。
在上述申請(PCT/JP01/05677)中公開的表面聲波器件的基本結構在圖1和圖2中示出。
圖1示出了構成表面聲波器件(SAW)濾波器的電極的結構，圖2示出了表面聲波器件10，其中在壓電基板上形成該電極結構。
在形成于壓電基板11上的表面聲波器件的傳播路徑上設置由梳狀結構形成的輸入叉指式換能器(IDT)100和輸出叉指式換能器(IDT)200。這里，這些輸入IDT 100和輸出IDT 200的關系是可逆的。因而，可以相反地將IDT 100側設置為不平衡輸出，而將IDT 200側設置為平衡輸出，這也適用于以下的說明。
另外，由以預定角度切割的LiTaO3或LiNbO3晶體基板獲得其上設置有圖1所示的電極結構的壓電基板11。
在圖2中，在未示出的封裝的外側設置表面聲波器件的輸入端子IN、接地端子GND和輸出端子OUT1、OUT2。通過延伸引線將形成在壓電基板11上的電極焊盤連接到各個端子。
在圖1和圖2中，將一側上的梳狀第一電極指101連接到輸入信號端子IN，而將相對的梳狀第二電極指102連接到地電位。將第一電極指101和第二電極指102之間的重疊長度X稱為輸入IDT 100的孔徑長度(aperture length)。
同時，輸出IDT 200包括叉指式換能器(IDT)201、202，該叉指式換能器(IDT)201、202被分為第一分瓣(split)和第二分瓣。每一個分瓣的孔徑長度為X1、X2(孔徑長度X1、X2大約為孔徑長度X的一半)，并且設置在輸入IDT 100的孔徑長度X的范圍內。
以下述方式構造SAW濾波器將第一分瓣IDT 201一側的電極指和第二分瓣IDT 202一側的電極指分別連接到平衡輸出端子對OUT1、OUT2。另外，將第一分瓣IDT 201和第二分瓣IDT 202的其它電極指通過公共電極203串聯(lián)連接。
利用圖1、2所示的結構，可以將輸入IDT 100側的端子設置為不平衡型，而將輸出IDT 200側的另一端子設置為平衡型。另外，因為構成輸出IDT 200的第一分瓣IDT 201和第二分瓣IDT 202之間的串聯(lián)連接，所以可以獲得四倍于輸入IDT 100的阻抗的IDT 200的阻抗。
這里，特別設置第一和第二分瓣IDT 201、202中的電極指，使其位置相互偏離一個周期，也就是表面聲波波長λ的一半。
另外，在圖1中，通過電極213將設置在IDT 201和IDT 202之間的連接部分中的公共電極203連接到第二電極指102(該第二電極指102與輸入IDT 100的一個電極側的地電位相連)。這使得能夠將設置在連接IDT 201和IDT 202的部分中的電極203強行連接到地電位GND。利用這種結構，可以在平衡輸出端子對OUT1、OUT2上獲得滿意的信號相差平衡。
另外，圖3所示的電極結構示出了圖1所示的基本電極結構應用于雙模式(double-mode)表面聲波器件的應用示例。也就是，根據輸入IDT100和輸出IDT 200，在多IDT(IDT 1-IDT 3，構成圖3所示示例中的三個IDT)的兩側設置反射器(reflector)REF1、REF2，由此形成雙模式表面聲波結構。級聯(lián)連接該不平衡輸入級和平衡的輸出級。
在圖3所示的結構中，將串聯(lián)連接分瓣IDT 201和IDT 202的公共電極203連接到相鄰的IDT 204、205的地電極。這也使得能夠在圖3所示的帶有雙模式多IDT級聯(lián)結構的表面聲波器件中獲得滿意的相差平衡。

發(fā)明內容
在采用本發(fā)明的發(fā)明人在本發(fā)明的前述申請中所公開的表面聲波器件的基礎上，本發(fā)明的一個目的是提供一種表面聲波器件，該表面聲波器件改善了平衡輸入端子或平衡輸出端子中的相差平衡，并進一步優(yōu)選地抑制通帶中的混附波(spurious)，防止插入損耗的增大。
作為實現上述目的的根據本發(fā)明的表面聲波器件的第一方面，該表面聲波器件包括壓電基板；輸入叉指式換能器和輸出叉指式換能器，分別設置在所述壓電基板上的表面聲波傳播路徑上，并由至少一個或更多個叉指式換能器構成。當將輸入叉指式換能器或輸出叉指式換能器的電極指的孔徑長度定義為X時，輸入叉指式換能器或輸出叉指式換能器包括兩個分瓣叉指式換能器，所述兩個分瓣叉指式換能器分別具有孔徑長度大約為X/2的多個電極指。將這兩個分瓣叉指式換能器中的各個電極指的電極從所述兩個分瓣叉指式換能器中引出，并以下述方式設置連接到平衡端子對的兩個輸出或輸入中的信號具有180°的相位差。通過實心(非中空的)形狀的公共電極(其電極寬度大于這兩個分瓣叉指式換能器中的電極指的間距的兩倍)串聯(lián)這兩個分瓣叉指式換能器，此外，將該公共電極連接到地電位。
作為實現上述目的的根據本發(fā)明的表面聲波器件的第二方面，在第一方面中，該表面聲波器件還包括與所述兩個分瓣叉指式換能器相鄰的叉指式換能器。所述公共電極通過該相鄰叉指式換能器的電極指連接到地電位。
作為實現上述目的的根據本發(fā)明的表面聲波器件的第三方面，在第一方面中，該表面聲波器件還包括用于發(fā)送和接收的叉指式換能器。通過該發(fā)送和接收叉指式換能器以兩級的方式連接輸入叉指式換能器和輸出叉指式換能器。
作為實現上述目的的根據本發(fā)明的表面聲波器件的第四方面，該表面聲波器件包括壓電基板；輸入叉指式換能器和輸出叉指式換能器，分別設置在所述壓電基板上的表面聲波傳播路徑上，并由至少一個或更多個叉指式換能器構成。當將輸入叉指式換能器或輸出叉指式換能器的電極指的孔徑長度定義為X時，輸入叉指式換能器或輸出叉指式換能器包括第一和第二分瓣叉指式換能器，該第一和第二分瓣叉指式換能器分別具有孔徑長度大約為X/2的電極指。將該第一和第二分瓣叉指式換能器中的各個電極指的電極從所述兩個分瓣叉指式換能器中引出，并以下述方式設置連接到平衡端子對的兩個輸出或輸入中的信號具有180°的相位差。在共同連接所述第一分瓣叉指式換能器的多個電極指的第一公共電極和共同連接所述第二分瓣叉指式換能器的多個電極指的第二公共電極之間設置間隙，此外，將所述第一和第二公共電極連接到地電位。
作為實現上述目的的根據本發(fā)明的表面聲波器件的第五方面，在第四方面中，該表面聲波器件還包括與所述第一和第二分瓣叉指式換能器相鄰的叉指式換能器。所述第一和第二分瓣換能器的所述第一和第二公共電極通過所述相鄰的叉指式換能器的電極指連接到地電位。
作為實現上述目的的根據本發(fā)明的表面聲波器件的第六方面，在第四方面中，該表面聲波器件還包括用于發(fā)送和接收的叉指式換能器。通過發(fā)送和接收叉指式換能器以兩級的方式連接該輸入叉指式換能器和輸出叉指式換能器。
作為實現上述目的的根據本發(fā)明的表面聲波器件的第七方面，在第四方面中，通過一電極在所述第一公共電極和第二公共電極之間的間隙的各端連接該間隙。
作為實現上述目的的根據本發(fā)明的表面聲波器件的第八方面，在第四方面中，通過多個電極連接所述第一公共電極和第二公共電極之間的間隙。
作為實現上述目的的根據本發(fā)明的表面聲波器件的第九方面，在第四方面中，通過長度小于所述第一公共電極和第二公共電極長度的一電極連接所述第一和第二公共電極之間的間隙。


通過以面結合附圖對實施例的描述，本發(fā)明的其它范圍和特征將變得更加明顯。
圖1表示在先前發(fā)明中提出的構成表面聲波(SAW)濾波器的電極結構；圖2表示其中將圖1所示的電極結構形成在壓電基板上的表面聲波器件；圖3表示其中將圖1所示的基本電極結構應用于雙模式表面聲波器件的應用示例；圖4表示其中實現本發(fā)明的第一特征的實施例；圖5表示其中實現本發(fā)明的第一特征的第二實施例，其具有與圖3所示的示例相對應的結構，其中輸入級和輸出級以級聯(lián)的方式連接；圖6表示在根據本發(fā)明第一特征的SAW過濾器中的相差平衡的改善；圖7表示比較示圖，用于比較只根據本發(fā)明的第一特征的實施例和除了第一特征之外還并入了第二特征的實施例之間的衰減特性；圖8表示被放大的圖7中的通帶部分；圖9表示根據本發(fā)明的第二實施例，其改善了驟降波(dip)；圖10表示一應用示例，其中將本發(fā)明第二特征的結構應用于圖5所示的具有第一特征的實施例；圖11表示實現本發(fā)明第二特征的另一實施例；圖12表示實現本發(fā)明的第二特征的又一實施例。
具體實施例方式
下文中參照附圖描述本發(fā)明的優(yōu)選實施例。
圖4表示本發(fā)明的一實施例，其中實現了本發(fā)明的第一特征。雖然與圖1類似，圖中只示出了電極結構，但是以類似于圖2的方式在具有該電極結構的壓電基板上形成了表面聲波器件。這也適用于后面的實施例，在這些實施例中，為了簡化說明的目的，只示出了電極結構。
在圖4中，該實施例由輸入IDT 300、輸入IDT 301和平衡輸出IDT200構成，IDT 200包括串聯(lián)的第一分瓣IDT 201和第二分瓣IDT 202。
另外，在下文中將說明圖4中的阻抗。設置在兩側的輸入IDT 300、301的阻抗分別為100Ω。將輸入IDT 300、301共同連接到IN端子產生了50Ω的輸入阻抗。對于輸出IDT 200，分開前的阻抗為50Ω，分開后的阻抗為100Ω。另外，作為串聯(lián)連接的結果，可以獲得200Ω的輸出阻抗，這與輸入阻抗的四倍相對應。此外，在該附圖中，設置在輸入IDT中的電極對的數量與輸出IDT的相等。然而，根據一個實施例，在輸出IDT 200中的電極對的數量大約為輸入IDT中的數量的兩倍，因此，分開前的輸出IDT 200的阻抗為50Ω，為一個輸入IDT的阻抗的一半。
作為根據本發(fā)明的該實施例的特征，應該注意，串聯(lián)連接第一分瓣IDT 201和第二分瓣IDT 202的公共電極203的電極寬度被設置為大于表面聲波的波長λ。
圖5表示實現本發(fā)明第一特征的第二實施例，其中與圖3所示的結構示例相對應，以級聯(lián)連接的方式構造輸入級和輸出級。
輸入級由帶有不平衡端子的輸入IDT 100以及用于將輸入IDT 100中產生的表面聲波傳送到輸出級的發(fā)送IDT 110、111構成。同時，輸出級由分別與設置在輸入級中的發(fā)送IDT 110、111串聯(lián)的接收IDT 210、211和帶有平衡輸出端子的輸出IDT 200構成。
在圖5所示的實施例中，與圖4所示的實施例類似，輸出IDT 200由第一分瓣IDT 201和第二分瓣IDT 202構成。
將串聯(lián)連接第一分瓣IDT 201和第二分瓣IDT 202的公共電極203通過接收IDT 210、211的梳狀電極指強行連接到地電位。另外，串聯(lián)連接第一分瓣IDT 201和第二分瓣IDT 202的公共電極203的電極的電極寬度大于第一分瓣IDT 201和第二分瓣IDT 202的各個電極指的間距的兩倍(與表面聲波的波長λ相對應)。
作為圖4和圖5中所示的前述實施例的共同特征，將串聯(lián)連接第一分瓣IDT 201和第二分瓣IDT 202的公共電極203構造為實心形狀，其電極寬度大于第一分瓣IDT 201和第二分瓣IDT 202的各個電極指的間距的兩倍。由于本發(fā)明的該第一特征，可以獲得更好的經改善的相差。
圖6表示根據本發(fā)明第一特征的SAW濾波器中的經改善的相差平衡。在圖6中，曲線I表示具有以與圖3所示的電極結構類似的方式分別由級聯(lián)連接的三個IDT 1-3構成的輸入級和輸出級的SAW濾波器的相位平衡特性。
另外，在以上所示的結構中，將輸入級中的三個IDT 1-3中的IDT 1和IDT 3分別分成三塊。關于這些塊的電極對數量和波長λ(＝電極間距[λ/2]×2)，從左塊到右塊，電極對的數量為12-2-1.5[對]，波長為4.43-4.315-4.005[μm]，并且電極孔徑長度X為244μm。同樣，將IDT 2分為三個塊，關于所分的塊的電極對數量和波長λ(＝電極間距[λ/2]×2)，從左塊到右塊，電極對的數量為2.5-14-2.5[對]，波長為4.21-4.47-4.21[μm]，并且電極孔徑長度X為244μm。
同時，輸出級的三個IDT 1-3中的IDT 1和IDT 3分別被分成三個塊。關于這些所分的塊的電極對數量和波長λ(＝電極間距[λ/2]×2)，從左塊到右塊，電極對的數量為12-2-1.5[對]，波長為4.43-4.315-4.005[μm]，并且電極孔徑長度X為244μm。另外，IDT 2由兩個分瓣IDT構成，這兩個分瓣IDT被分別分為三個塊。關于波長λ(＝電極間距[λ/2]×2)，從左塊到右塊，電極對的數量為2.5-14-2.5[對]，波長為4.21-4.47-4.21[μm]，并且電極孔徑長度X為133μm。
在具有上述電極結構的SAW濾波器中，圖6所示的曲線I表示當將串聯(lián)連接這兩個分瓣IDT的公共電極203的電極寬度設置為2.5μm(小于中心塊波長λ＝4.47μm)時的特性。
同時，圖6所示的曲線II表示當將串聯(lián)連接這兩個分瓣IDT的公共電極203的電極寬度設置為7.5μm(大于中心塊波長λ＝4.47μm)時的特性。
在這些特性曲線中，SAW濾波器的通帶在歸一化頻率0.98-1.02的范圍內，在電極寬度為7.5μm的情況下，此時的相差范圍為174°-186°，或在電極寬度為2.5μm的情況下，為173°-188°。
因此，根據圖6所示的曲線，在圖4和圖5中所示的前述實施例中，可以理解，當將串聯(lián)連接第一分瓣IDT 201和第二分瓣IDT 202的公共電極203的電極寬度設置得較大時，可以改善平衡輸出端子或平衡輸入端子的相差平衡(曲線I→曲線II)。
同時，已經報導，考慮到通帶中的混附特性，將串聯(lián)連接第一分瓣IDT 201和第二分瓣IDT 202的電極203的電極寬度設置為小于表面聲波波長λ是理想的(見日本未審專利公報號2001-292050的官方公報)。
本發(fā)明的發(fā)明人已證實因為在通帶中產生驟降波(也被稱為陷波(notch)或混附波)，所以隨著將串聯(lián)連接第一分瓣IDT 201和第二分瓣IDT 202的電極203的電極寬度設置得越大，插入損耗變得越大。驟降波產生的原理為，在第一分瓣IDT 201和第二分瓣IDT 202中的每一個中產生的橫向模式(表面聲波前進的方向)的振動和在IDT 201和IDT 202之間產生的縱向信號模式的振動之間產生互相干擾。
因此，本發(fā)明的發(fā)明人在保持由本發(fā)明第一特征(其中，串聯(lián)連接第一分瓣IDT 201和第二分瓣IDT 202的電極203的電極寬度被設置為大于表面聲波的波長λ)起到的改善相差平衡的效果的同時，對防止由上述驟降波導致的插入損耗的增加進行了研究。
圖7表示比較以下兩個實施例的衰減特性的簡圖一個實施例僅基于本發(fā)明的第一特征，通過將串聯(lián)連接第一分瓣IDT 201和第二分瓣IDT202的電極203的電極寬度設置為大于表面聲波的波長λ，以改善相位平衡；而另一個實施例除了第一特征之外還包括將隨后描述的第二特征，以改善由混附波引起的驟降波而導致的插入損耗增大。
圖8進一步表示通過放大圖7所示的通帶部分的放大圖。在圖8中，在將串聯(lián)連接第一分瓣IDT 201和第二分瓣IDT 202的電極203的電極寬度設置為大于表面聲波波長λ的第一實施例的特性方面，可以識別出在由圓圈包圍的部分中產生了驟降波。
圖9表示包括改善上述驟降波的第二特征的根據本發(fā)明的另一實施例。與圖4所示的實施例相類似，本實施例包括輸入電極300、301以及由串聯(lián)連接的第一分瓣IDT 201和第二分瓣IDT 202構成的平衡輸出電極端子200。
另外，作為一個特征，串聯(lián)連接第一分瓣IDT 201和第二分瓣IDT 202的電極203不再是實心形電極。而是將電極203構造為具有間隙214。
也就是，將電極203分為第一分瓣IDT 201的梳狀電極的公共電極203-1和第二分瓣IDT 202的梳狀電極的公共電極203-2，并在電極203-1和電極203-2之間設置間隙214。此外，通過設置在間隙214各端的電極216、217連接公共電極203-1、203-2。
間隙214兩端的電極216、217通過分別連接相鄰輸入電極300、301的梳狀電極的電極213而連接到地電位。
通過這種方式，通過不是實心形狀的，而是帶有間隙214的串聯(lián)連接第一分瓣IDT 201和第二分瓣IDT 202的電極203，可以消除在通帶中產生的驟降波。
在與圖8所示的插入損耗相關的特性圖中，在曲線I中所示的驟降波在表示根據圖9所示的實施例的特性的曲線II中消失?？梢岳斫?，通過本發(fā)明的第二特征，可以減少插入損耗。
與圖9所示的實施例類似，圖10示出了其中將根據本發(fā)明第二特征的串聯(lián)連接第一分瓣IDT 201和第二分瓣IDT 202的電極203中的間隙214應用于圖5所示的具有第一特征的實施例的應用示例。
在該實施例中，也可以包括本發(fā)明的第一和第二特征。
這里，作為本發(fā)明的第二特征，可以具有其它的結構，而不限于圖9和圖10所示間隙214的方案。
圖11表示實現本發(fā)明第二特征的另一實施例。與圖9所示的實施例相比較，位于第一分瓣IDT 201的公共電極203-1和第二分瓣IDT 202的公共電極203-2之間的間隙214與多個電極217相連。
圖12表示實現本發(fā)明第二特征的又一實施例。在圖12所示的實施例中，與圖4所示的實施例相比較，通過形成串聯(lián)連接第一分瓣IDT 201的公共電極203-1和第二分瓣IDT 202的公共電極203-2的電極203，來在電極203的兩端設置間隙214，以縮短長度。通過這種結構，可以實現本發(fā)明的第一和第二特征。
工業(yè)適用性已根據附圖描述了多個實施例，在具有不平衡到平衡轉換功能的表面聲波器件中，可以改善插入損耗以及相位平衡。
這些實施例的前述說明并不是旨在將本發(fā)明限制為所示示例的特定細節(jié)。在本發(fā)明的范圍內，可以進行任何適當的改進和等同。所附權利要求涵蓋了落入本發(fā)明范圍內的所有特征和優(yōu)點。
權利要求
1.一種表面聲波器件，其包括壓電基板；以及輸入叉指式換能器和輸出叉指式換能器，其分別設置在所述壓電基板上的表面聲波傳播路徑上，并由至少一個或更多個叉指式換能器構成，其中，當所述輸入叉指式換能器或輸出叉指式換能器的電極指的孔徑長度被定義為X時，所述輸入叉指式換能器或輸出叉指式換能器包括兩個分瓣叉指式換能器，所述兩個分瓣叉指式換能器分別包括孔徑長度大約為X/2的多個電極指，并且將所述第一和第二分瓣叉指式換能器中的各個電極指的電極從這兩個分瓣叉指式換能器中引出，并以在連接到一平衡端子對的兩個輸出或輸入中的信號具有180°相差的方式進行設置，并且所述兩個分瓣叉指式換能器通過實心形狀的公共電極串聯(lián)連接，所述公共電極的電極寬度大于所述兩個分瓣叉指式換能器中的電極指間距的兩倍，并且所述公共電極被連接到地電位。
2.根據權利要求1所述的表面聲波器件，還包括與所述兩個分瓣叉指式換能器相鄰的叉指式換能器，其中，所述公共電極通過所述相鄰叉指式換能器的電極指連接到地電位。
3.根據權利要求1所述的表面聲波器件，還包括發(fā)送和接收叉指式換能器，其中，所述輸入叉指式換能器和輸出叉指式換能器通過所述發(fā)送和接收叉指式換能器以兩級的方式進行連接。
4.一種表面聲波器件，其包括壓電基板；以及輸入叉指式換能器和輸出叉指式換能器，其分別設置在所述壓電基板上的表面聲波傳播路徑上，并由至少一個或更多個叉指式換能器構成，其中，當所述輸入叉指式換能器或輸出叉指式換能器的電極指的孔徑長度被定義為X時，所述輸入叉指式換能器或輸出叉指式換能器包括第一和第二分瓣叉指式換能器，所述第一和第二分瓣叉指式換能器分別包括孔徑長度大約為X/2的多個電極指，并且將所述第一和第二分瓣叉指式換能器中的各個電極指的電極從這兩個分瓣叉指式換能器中引出，并以在連接到一平衡端子對的兩個輸出或輸入中的信號具有180°相差的方式進行設置，并且在共同連接所述第一分瓣叉指式換能器的所述多個電極指的第一公共電極和共同連接所述第二分瓣叉指式換能器的所述多個電極指的第二公共電極之間設置一間隙，并且，所述第一和第二公共電極被連接到地電位。
5.根據權利要求4所述的表面聲波器件，還包括與所述第一和第二分瓣叉指式換能器相鄰的叉指式換能器，其中，所述第一和第二分瓣叉指式換能器的所述第一和第二公共電極通過所述相鄰叉指式換能器的電極指連接到地電位。
6.根據權利要求4所述的表面聲波器件，還包括發(fā)送和接收叉指式換能器，其中，所述輸入叉指式換能器和輸出叉指式換能器通過所述發(fā)送和接收叉指式換能器以兩級的方式進行連接。
7.根據權利要求4所述的表面聲波器件，其中，通過一電極在設置在所述第一公共電極和第二公共電極之間的間隙的各端連接所述間隙。
8.根據權利要求4所述的表面聲波器件，其中，通過多個電極連接設置在所述第一公共電極和第二公共電極之間的間隙。
9.根據權利要求4所述的表面聲波器件，其中，通過長度小于所述第一公共電極和第二公共電極的一個電極來連接所述第一公共電極和第二公共電極之間的間隙。
全文摘要
一種表面聲波器件，可改善插入損耗以及相位平衡。在該表面聲波器件中，當輸入叉指式換能器或輸出叉指式換能器的電極指的孔徑長度被定義為X時，輸入叉指式換能器或輸出叉指式換能器包括兩個分瓣叉指式換能器，這兩個分瓣叉指式換能器分別包括孔徑長度大約為X/2的多個電極指，并且將該第一和第二分瓣叉指式換能器中的各個電極指的電極從這兩個分瓣叉指式換能器中引出，并以在連接到一平衡端子對的兩個輸出或輸入中的信號具有180°相差的方式進行設置，并且這兩個分瓣叉指式換能器通過實心形狀的公共電極串聯(lián)，該公共電極的電極寬度大于這兩個分瓣叉指式換能器中的電極指間距的兩倍，并且該公共電極連接到地電位。
文檔編號H03H9/64GK1647375SQ0380885
公開日2005年7月27日 申請日期2003年4月3日 優(yōu)先權日2002年4月19日
發(fā)明者川內治, 田島基行, 阿部卓也 申請人:富士通媒體部品株式會社