專(zhuān)利名稱(chēng)：表面聲波器件及通信設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種表面聲波器件，這種表面聲波器件擁有一個(gè)濾波特性，具體地說(shuō)，擁有一個(gè)平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能，并涉及一個(gè)包括這樣一個(gè)新型表面聲波器件的通信設(shè)備。
當(dāng)把平衡線(xiàn)路(例如一個(gè)兩條平行線(xiàn)的饋線(xiàn))直接連接于不平衡的線(xiàn)路(例如一條同軸電纜)時(shí)，人們所不希望的是，不平衡的電流的流動(dòng)以及把饋線(xiàn)本身作為天線(xiàn)使用。于是，平衡-不平衡轉(zhuǎn)換器包括一個(gè)用于防止不平衡的電流和使平衡線(xiàn)路和不平衡線(xiàn)路互相加以匹配的電路。
某些擁有以上所描述的平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能的表面聲波器件已成為最近許多專(zhuān)利申請(qǐng)的題目。如同一個(gè)擁有一個(gè)平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能，以及其輸入輸出阻抗大體相當(dāng)?shù)谋砻媛暡ㄆ骷粋€(gè)擁有圖20中所示的配置的設(shè)備是人們普遍所熟悉的。
在圖20中所示的表面聲波器件中，在一個(gè)壓電襯底100上提交了一個(gè)類(lèi)似梳子的電極(也叫做交叉指型電極，定義了一個(gè)交叉指型變換器，以下將其稱(chēng)為“IDT”)101，并在IDT 101的右側(cè)和左側(cè)(沿表面聲波的傳播方向)配置了ITD 102和103。
另外，在以上所提到的表面聲波器件中，還配置了用于反射一個(gè)表面聲波以增強(qiáng)轉(zhuǎn)換效率的反射器104和105，以便從它們的右側(cè)和左側(cè)把IDT 101、102、以及103夾起來(lái)。此外，還提供了平衡信號(hào)端106和107，以及一個(gè)不平衡信號(hào)端108。
以上所描述的表面聲波器件叫做3-IDT式的縱向耦合諧振器型表面聲波器件。
這一器件擁有一個(gè)平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能，通過(guò)這一功能，可把表面聲波在IDT 101、102、以及103之間加以轉(zhuǎn)換。
要求擁有一個(gè)平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能的表面聲波器件在不平衡信號(hào)端和相應(yīng)的平衡信號(hào)端之間的通頻帶中具有下列傳輸特性振幅特性是相同的，相位互相相對(duì)反轉(zhuǎn)180°。這些特性分別由平衡信號(hào)端之間的振幅平衡度和相位平衡度加以表示。
假設(shè)以上所描述的擁有一個(gè)平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能的表面聲波器件是一種三個(gè)端口的設(shè)備。不平衡輸入端是第一端口，平衡輸出端是第二端口和第三端口。振幅平衡度和相位平衡度定義如下振幅平衡度＝[A]。A＝[20 log(S21)]-[20 log(S31)]，相位平衡度＝[B-180]，B＝[∠S21-∠S31]。S21表示從第一端口到第二端口的傳輸系數(shù)，S31表示從第一端口到第三端口的傳輸系數(shù)。在前面所提到的公式中，符號(hào)[]表示一個(gè)絕對(duì)值。
對(duì)于前面所提到的平衡信號(hào)端處的信號(hào)之間的平衡度來(lái)說(shuō)，理想的情況下，表面聲波器件中的傳輸頻帶中的振幅平衡度為0dB，相位平衡度為0度。
然而，在圖20中所示的相關(guān)技術(shù)的配置中，引發(fā)了這樣的一個(gè)問(wèn)題平衡信號(hào)端之間的平衡度遭到破壞?？疾爝@一破壞的多方面的原因后，本發(fā)明的發(fā)明者發(fā)現(xiàn)，在平衡信號(hào)端106和信號(hào)線(xiàn)109之間所生成的一個(gè)電容(這一電容是一個(gè)電橋電容，并出現(xiàn)在平衡信號(hào)端106的附近)是導(dǎo)致這一破壞發(fā)生的最主要的原因之一。
以下，將參照?qǐng)D21和22描述因電橋電容的生成所導(dǎo)致的平衡信號(hào)端之間平衡度遭破壞的情況。把從不平衡信號(hào)端108到相應(yīng)的平衡信號(hào)端106和107的相應(yīng)的傳輸特性從匹配阻抗中排除，通過(guò)模擬分析加以標(biāo)識(shí)，并對(duì)諧振模式位置加以考察。圖21和22描述了這些結(jié)果。
假設(shè)把非電橋電容添加在圖20中的平衡信號(hào)端106和信號(hào)線(xiàn)109之間。于是，圖21描述了一個(gè)從不平衡信號(hào)端108到平衡信號(hào)端106所傳輸?shù)囊粋€(gè)信號(hào)的諧振模式與從不平衡信號(hào)端108到平衡信號(hào)端107所傳輸?shù)囊粋€(gè)信號(hào)的諧振模式之間的差別。圖22描述了當(dāng)假設(shè)把一個(gè)0.30pF的電橋電容添加在平衡信號(hào)端106和信號(hào)線(xiàn)109之間時(shí)所出現(xiàn)的諧振模式之間的差別。在圖21和22中，實(shí)線(xiàn)表示從不平衡信號(hào)端108到平衡信號(hào)端106的傳輸?shù)奶匦?，虛線(xiàn)表示從不平衡信號(hào)端108到平衡信號(hào)端107的傳輸?shù)奶匦浴?br> 對(duì)圖21和22進(jìn)行比較可以發(fā)現(xiàn)，當(dāng)把電橋電容添加到平衡信號(hào)端106和信號(hào)線(xiàn)109之間時(shí)，在平衡信號(hào)端106和107(它們是兩個(gè)平衡輸出端)處的諧振模式之間的差別是較大的。
眾所周知，在一個(gè)縱向耦合諧振器型表面聲波器件中，聲學(xué)地耦合了擁有一個(gè)180°相位差的諧振模式，以產(chǎn)生設(shè)備的特性。在這一情況中，從平衡信號(hào)端106側(cè)所看到的諧振模式的相位與從平衡信號(hào)端107側(cè)所看到的諧振模式的相位，在任何情況下都相差180°。這可由如下的符號(hào)簡(jiǎn)單地加以表示。例如，當(dāng)從平衡信號(hào)端106側(cè)觀(guān)察所看到的三個(gè)諧振模式由符號(hào)-、+、-加以表示時(shí)，從平衡信號(hào)端107一側(cè)觀(guān)察所看到的三個(gè)諧振模式由符號(hào)+、-、+加以表示。
當(dāng)添加了一個(gè)擁有一個(gè)確定相位角的電橋電容時(shí)，經(jīng)由平衡信號(hào)端106所傳輸?shù)囊粋€(gè)信號(hào)的傳輸特性的諧振模式與經(jīng)由平衡信號(hào)端107所傳輸?shù)男盘?hào)的傳輸特性的諧振模式沿完全相反的方向受電橋電容的影響，且平衡信號(hào)端106和107之間的平衡度遭到破壞。
本發(fā)明的發(fā)明者進(jìn)行了各種考察，包括模擬分析。因此，本發(fā)明者可以找出平衡信號(hào)端106和107信號(hào)之間的平衡度遭破壞的原因。
根據(jù)本發(fā)明的第一個(gè)最佳的實(shí)施例，一個(gè)表面聲波器件包括一系列交叉指型電極，用于把一個(gè)輸入信號(hào)轉(zhuǎn)換成一個(gè)準(zhǔn)備加以輸出的表面聲波，這些交叉指型電極沿表面聲波傳播的方向配置在一個(gè)壓電襯底上；一系列信號(hào)端(包括針對(duì)平衡信號(hào)的端點(diǎn))，提供在壓電襯底上；一系列信號(hào)線(xiàn)，用于把信號(hào)端和交叉指型電極互相連接在一起，提供在壓電襯底上；以及一個(gè)地線(xiàn)，提供在壓電襯底上的一個(gè)信號(hào)端和一個(gè)相鄰的信號(hào)線(xiàn)之間。
較佳的做法是，在表面聲波器件中，圍繞一條呈墊形的信號(hào)線(xiàn)配置地線(xiàn)。
在以上所描述的配置中，經(jīng)由信號(hào)線(xiàn)向一個(gè)IDT(或多個(gè)IDT)輸入的一個(gè)信號(hào)在壓電襯底的表面生成一個(gè)表面聲波，這一表面聲波由其它的IDT加以傳播和檢測(cè)，以加以輸出。于是，執(zhí)行了針對(duì)這一信號(hào)的轉(zhuǎn)換功能。此外，在以上所描述的配置中，一個(gè)人們所希望的針對(duì)一個(gè)信號(hào)的傳輸頻帶可通過(guò)調(diào)整相應(yīng)的IDT的電極指桿之間的間隔以及電極指桿的個(gè)數(shù)獲得。因而，也可以執(zhí)行濾波功能。
在以上所提到的配置中，在壓電襯底上的一個(gè)信號(hào)端和相鄰信號(hào)線(xiàn)之間提供了一個(gè)地線(xiàn)。這一地線(xiàn)最小化了生成于信號(hào)端和信號(hào)線(xiàn)之間的電橋電容，因此最小化了信號(hào)端(特別是平衡信號(hào)端)上的電橋電容的影響，即設(shè)備的信號(hào)傳播特性明顯得以改進(jìn)。
此外，根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)最佳的實(shí)施例，一個(gè)表面聲波器件包括一系列交叉指型電極，用于把一個(gè)輸入信號(hào)轉(zhuǎn)換成一個(gè)準(zhǔn)備加以輸出的表面聲波，交叉指型電極沿表面聲波傳播方向配置在一個(gè)壓電襯底上；一系列信號(hào)端(包括針對(duì)平衡信號(hào)的端點(diǎn))提供在壓電襯底上；一系列信號(hào)線(xiàn)，用于把信號(hào)端和交叉指型電極互相連接在一起，提供在壓電襯底上；以及一個(gè)地電極指桿，提供在兩個(gè)相鄰的交叉指型電極中的至少一個(gè)的最外部分，這一地電極指桿以這樣的方式與另一個(gè)交叉指型電極的地電極指桿相對(duì)與交叉指型電極的另一個(gè)電極指桿相比，該地電極指桿的末端沿交指跨度的方向更多地加以延伸。
在以上所描述的配置中，由于地電極指桿以這樣的方式提供于壓電襯底上地電極的末端沿交叉指型的跨度方向擴(kuò)展，所以可以把地電極指桿插在信號(hào)端和相鄰信號(hào)線(xiàn)之間。
因此，在以上所描述的配置中，地線(xiàn)最小化了生成于信號(hào)端和相鄰信號(hào)線(xiàn)之間的電橋電容的影響。因此最小化了信號(hào)端(特別是平衡信號(hào)端)上的電橋電容的影響，即設(shè)備的信號(hào)傳播特性明顯得以改進(jìn)。
另外，根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)最佳的實(shí)施例，一個(gè)表面聲波器件包括一系列交叉指型電極，用于把一個(gè)輸入信號(hào)轉(zhuǎn)換成一個(gè)準(zhǔn)備加以輸出的表面聲波，交叉指型電極沿表面聲波傳播方向配置在一個(gè)壓電襯底上；一系列信號(hào)端(包括針對(duì)平衡信號(hào)的端點(diǎn))，提供在壓電襯底上；一系列信號(hào)線(xiàn)，用于把信號(hào)端和交叉指型電極互相連接在一起，提供在壓電襯底上；連接于一條信號(hào)線(xiàn)的交叉指型電極和一個(gè)相鄰交叉指型電極，它們是這樣構(gòu)造的一些交叉指型電極的母線(xiàn)的寬度減小，因而與另外一些交叉指型電極相比，這些交叉指型電極的相對(duì)部分的尺寸減小。
在以上所描述的配置中，連接于一條信號(hào)線(xiàn)的交叉指型電極和相鄰交叉指型電極是這樣構(gòu)造的一些交叉指型電極的母線(xiàn)的寬度減小，因而與另外一些交叉指型電極相比，這些交叉指型電極的相對(duì)部分的尺寸減小。因此，IDT之間的橋電容可最小化，并最小化了信號(hào)端(特別是平衡信號(hào)端)上的電橋電容的影響。因此設(shè)備的信號(hào)傳播特性明顯得以改進(jìn)。
在符合本發(fā)明的各最佳的實(shí)施例的表面聲波器件中，較佳的做法是令一個(gè)連接于一個(gè)交叉指型電極的表面聲波諧振器可提供在壓電襯底上。在這一配置中，表面聲波諧振器串行地與IDT相連，以便覆蓋它們的抗諧振點(diǎn)，因而設(shè)備的衰減特性明顯得以改進(jìn)。此外，表面聲波諧振器也可并行地連接于IDT，以便使諧振點(diǎn)與衰減點(diǎn)相重合，從而可以獲得一個(gè)陡峭的衰減傾向。
以上所描述的表面聲波器件可擁有一個(gè)平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能。在這一配置中，平衡信號(hào)端的信號(hào)的諧振模式之間的差別得以最小化，因此設(shè)備的平衡-不平衡轉(zhuǎn)換特性明顯得以改進(jìn)，即平衡信號(hào)端之間的平衡度是相當(dāng)令人滿(mǎn)足的，而且出現(xiàn)在傳輸頻帶之外的衰減變得非常大。
在表面聲波器件中，較佳的做法是令連接于一個(gè)平衡信號(hào)端的IDT的電極指桿的個(gè)數(shù)為偶數(shù)。在這一配置中，由于連接于一個(gè)平衡信號(hào)端的IDT的電極指桿的個(gè)數(shù)是偶數(shù)，因此平衡信號(hào)端之間的平衡度明顯得以改進(jìn)。
通過(guò)以下參照附圖對(duì)本發(fā)明所最佳的實(shí)施例的詳細(xì)描述，本發(fā)明的特點(diǎn)、性能、原理、以及優(yōu)點(diǎn)將變得更加明顯。


圖11是符合第三個(gè)最佳的實(shí)施例的一個(gè)修改的表面聲波器件的概要圖，這一修改在減少電橋電容方面是有效的；圖12是符合第三個(gè)最佳的實(shí)施例的又一修改的表面聲波器件的概要圖，這一修改在減少電橋電容方面是有效的；圖13是符合第三個(gè)最佳的實(shí)施例的再一修改的表面聲波器件的概要圖，這一修改在減少電橋電容方面是有效的；圖14是符合本發(fā)明的第四個(gè)實(shí)施例的一個(gè)表面聲波器件的概要圖；圖15是符合本發(fā)明的第五個(gè)實(shí)施例的一個(gè)表面聲波器件的概要圖；圖16是符合本發(fā)明的第六個(gè)實(shí)施例的一個(gè)表面聲波器件的概要圖；圖17是符合本發(fā)明的實(shí)施例的一個(gè)修改的表面聲波器件的概要圖；圖18是圖17的表面聲波器件的一個(gè)實(shí)質(zhì)部分的一個(gè)放大的了視圖；圖19是一個(gè)結(jié)構(gòu)圖，描述了一個(gè)包括符合本發(fā)明的各實(shí)施例的表面聲波器件的通信設(shè)備的主要部件；圖20是相關(guān)技術(shù)的一個(gè)表面聲波器件的配置的概要圖；圖21描述了當(dāng)電橋電容很小時(shí)相關(guān)技術(shù)的表面聲波器件的諧振模式中的變化(模擬)；以及圖22描述了當(dāng)電橋電容很大時(shí)相關(guān)技術(shù)的表面聲波器件的諧振模式中的變化(模擬)。
圖1描述了符合本發(fā)明的第一個(gè)最佳的實(shí)施例的一個(gè)表面聲波器件的配置。在以下將加以描述的各最佳的實(shí)施例中，將通過(guò)一個(gè)例子描述一個(gè)用于一個(gè)PCS(個(gè)人通信系統(tǒng))的接收濾波器，盡管各種其它類(lèi)型的濾波器也適用于本發(fā)明。如圖1中所示，符號(hào)本發(fā)明的第一個(gè)最佳的實(shí)施例的表面聲波器件包括一個(gè)縱向耦合的諧振器型表面聲波單元1、IDT2和3。IDT 2和3作為一個(gè)表面聲波諧振器串行地與表面聲波單元1相連，它們提供在一個(gè)壓電襯底20(例如由X與Y按40±5°相交并延伸的LiTaO3制造的壓電襯底20)上。壓電襯底20也可以由其它合適的材料加以制造。較佳的做法是令縱向耦合諧振器型表面聲波單元1、IDT 2和3由鋁(AL)電極(薄片)制造，它們通過(guò)光刻法或其它合適的工藝形成。
較佳的做法是令I(lǐng)DT 2和3中的每一個(gè)包括帶狀的基端點(diǎn)部分和兩個(gè)電極指桿部分，每一個(gè)電極指桿部分擁有一系列從基端點(diǎn)部分的一側(cè)沿大體垂直于基端點(diǎn)部分一側(cè)并大體上互相平行的方向延伸的電極指桿。在各電極指桿部分中，電極指桿以這樣的方式互相交指在一個(gè)電極指桿部分中的電極指桿的各側(cè)分別面對(duì)另一些電極指桿部分的電極指桿的各側(cè)。
IDT 2和3的信號(hào)轉(zhuǎn)換特性和傳輸頻帶可以通過(guò)調(diào)整電極指桿的長(zhǎng)度與寬度、相鄰電極指桿之間的間隔、以及電極指桿的交指跨度(這意味者交指電極指桿分別互相面對(duì)的長(zhǎng)度)加以設(shè)置。此外，其它IDT(以后將加以描述)分別擁有類(lèi)似于IDT 2和3的配置與功能。
在縱向耦合諧振器型表面聲波單元1中，提供了一個(gè)針對(duì)平衡信號(hào)的IDT 5。另外，還配置了針對(duì)不平衡信號(hào)的IDT 4和6，以便從右側(cè)和左側(cè)(沿表面聲波傳播的方向)夾住IDT 5。把反射器7和8配置在IDT4和6的外側(cè)(沿表面聲波傳播的方向)。反射器7和8擁有反射一個(gè)所傳播的表面聲波的功能。
較佳的做法是令I(lǐng)DT 4和5之間的若干電極指桿的間距(窄間距電極指桿)和IDT 5和6之間的若干電極指桿的間距(窄間距電極指桿)小于這些IDT的其它電極指桿(圖1中顯示的部分13和14)的間距，因而減少了插入損耗。針對(duì)平衡信號(hào)的兩個(gè)端點(diǎn)(連接部分)10和11分別通過(guò)信號(hào)線(xiàn)IDT 10a和11a連接于IDT 5。一個(gè)針對(duì)不平衡信號(hào)的端點(diǎn)(連接部分)9通過(guò)IDT 2、3以及信號(hào)線(xiàn)9a連接于IDT 4和6的每一個(gè)的一個(gè)電極指桿部分。IDT 4和6的其它電極指桿部分分別連接于地21。
配置了一個(gè)信號(hào)線(xiàn)(連接部分)12，以把IDT 2連接于IDT 4和6。因而，信號(hào)線(xiàn)12面對(duì)平衡信號(hào)端10，即兩個(gè)平衡信號(hào)端10和11之一，并包圍端10。IDT 2和3在不平衡信號(hào)端9和IDT 4和6之間互相串行地連接。應(yīng)該加以注意的是，為了便于說(shuō)明，減少了圖1中所示的電極指桿的個(gè)數(shù)。
以下，將通過(guò)一個(gè)例子詳細(xì)地描述縱向耦合諧振器型表面聲波單元1。在這一描述中，λI2是由窄間距電極指桿(在圖1中所示的部分13和14中)的間距所確定的一個(gè)波長(zhǎng)，λI1是由其它電極指桿的間距所確定的一個(gè)波長(zhǎng)。這一單元1的特性如下交指跨度W大約為60.6λI1。
IDT中的電極指桿的個(gè)數(shù)(按IDT4、5以及6的順序)33(4)/(4)52(4)/(4)33(括號(hào)中的數(shù)值意味著擁有一個(gè)縮小了的間距的電極指桿的個(gè)數(shù)，表達(dá)式(4)52(4)中的(4)意味著在52個(gè)電極指桿的表面聲波傳播方向中每一側(cè)上的4個(gè)電極指桿的間距分別被縮小)。
IDT中的波長(zhǎng)λI12.06μm，λI21.88μm反射器中的波長(zhǎng)λR2.07μm反射器中的電極指桿的個(gè)數(shù)100IDT～I(xiàn)DT之間的間隔0.50λI2由提交波長(zhǎng)λI1和λI2的電極指桿所夾的部分(由圖1中的參照數(shù)字15、16、17、以及18加以表示)之間的間隔0.25λI1+0.25λI2IDT～反射器之間的間隔0.47λR作用范圍0.60(IDT以及反射器)電極的薄片厚度0.080λI1以下是被指定為一個(gè)表面聲波諧振器的IDT 2的細(xì)節(jié)。
交指跨度49.1λIDT中的電極指桿的個(gè)數(shù)401波長(zhǎng)λ(針對(duì)IDT以及反射器)2.04μm反射器中的電極指桿的個(gè)數(shù)30IDT和反射器之間的間隔0.50λ作用范圍0.60(針對(duì)IDT以及反射器)電極的薄片厚度0.080λ以下是被指定為一個(gè)表面聲波諧振器的IDT 3的細(xì)節(jié)。
交指跨度40.6λIDT中的電極指桿的個(gè)數(shù)241波長(zhǎng)(針對(duì)IDT以及反射器)1.97μm
反射器中的電極指桿的個(gè)數(shù)30IDT和反射器之間的間隔0.50λ作用范圍0.60(針對(duì)IDT以及反射器)電極的薄片厚度0.084λ以上所提到的每一個(gè)間隔意味著相鄰電極指桿的中心之間的距離。
在第一個(gè)最佳的實(shí)施例式中，較佳的做法是令由一個(gè)鋁(AL)電極(薄片)制造的地線(xiàn)插入在一個(gè)壓電襯底20上的信號(hào)線(xiàn)12和平衡信號(hào)端10之間。較佳的做法是配置地線(xiàn)19，以包圍擁有一個(gè)類(lèi)似墊形的平衡信號(hào)端10，即一個(gè)大體呈U型的配置。
此外，為了便于制造，較佳的做法是這樣地配置地線(xiàn)19以使其定位在信號(hào)線(xiàn)12和平衡信號(hào)端10的之間的中心位置(相等的間隔)。
在圖1中，把地線(xiàn)19連接于地21。地線(xiàn)19可以連接于與IDT 4和6至少之一的地21相連的地電極指桿部分，而省略以上所提到的與地21的連接。而且，可通過(guò)導(dǎo)線(xiàn)連接或穿過(guò)壓電襯底20的一個(gè)貫通孔把地線(xiàn)19連接于壓電襯底20的后側(cè)上的地21。
以下，將描述按以上所描述的方式加以配置的地線(xiàn)19的操作和效果。圖2以圖的形式描述了第一個(gè)所最佳的實(shí)施例中相對(duì)于平衡信號(hào)端10和11處的頻率的振幅平衡度的測(cè)量結(jié)果，而圖3以圖的形式描述了相對(duì)于這一頻率的相位平衡度的測(cè)量結(jié)果。
為了進(jìn)行比較，圖2和3還描述了擁有圖4中所顯示的配置的相關(guān)技術(shù)的一個(gè)例子的振幅平衡度和相位平衡度的測(cè)量結(jié)果。在圖4所示的這一例子中，地線(xiàn)19未提供在信號(hào)線(xiàn)12和平衡信號(hào)端10之間。除了沒(méi)有插入地線(xiàn)19外，圖4中所顯示的相關(guān)技術(shù)的例子的配置與第一個(gè)所最佳的實(shí)施例的配置相同。例如，用作一個(gè)表面聲波器件的PCS接收濾波器的傳輸頻帶中的頻率范圍大約為1930MHz到1990MHz。
對(duì)于以上所提到的頻率范圍中的振幅平衡度中的最大位移來(lái)說(shuō)，第一個(gè)所最佳的實(shí)施例的平衡度大約為1.3dB，相關(guān)技術(shù)的例子的平衡度大約為1.9dB，如從圖2的結(jié)果中所看到的。因此，與相關(guān)技術(shù)的例子的振幅平衡度相比，符合第一個(gè)所最佳的實(shí)施例的表面聲波器件的振幅平衡度可改進(jìn)大約0.6dB。
對(duì)于相位平衡度來(lái)說(shuō)，第一個(gè)所最佳的實(shí)施例的最大位移大約為7.5度，相關(guān)技術(shù)的例子的最大位移大約為11.5度，如從圖3中的結(jié)果所看出的。因此符合第一個(gè)所最佳的實(shí)施例的表面聲波器件的相位平衡度改進(jìn)了大約4度。
進(jìn)行這些改進(jìn)是為了達(dá)到屏蔽插入在信號(hào)線(xiàn)12和平衡信號(hào)端10之間的地線(xiàn)19之效果，這將可最小化信號(hào)線(xiàn)12和平衡信號(hào)端10之間的電橋電容。
另外，圖5和7描述了擁有第一個(gè)所最佳的實(shí)施例的配置的設(shè)備的振幅頻率特性。圖6和8描述了擁有相關(guān)技術(shù)的配置的例子的振幅頻率特性。把圖5～8互相加以比較，可以看出，與出現(xiàn)在相關(guān)技術(shù)例子的傳輸頻帶之外的衰減相比，出現(xiàn)在第一個(gè)所最佳的實(shí)施例的傳輸頻帶之外的衰減明顯地得以改進(jìn)。例如，當(dāng)把圖5到6相互加以比較時(shí)會(huì)發(fā)現(xiàn)，出現(xiàn)在符合本發(fā)明的第一個(gè)所最佳的實(shí)施例的設(shè)備的較高頻率側(cè)的傳輸頻帶附近(大約2020MHz～大約2060MHz及其附近)的衰減比出現(xiàn)在相關(guān)技術(shù)例子的設(shè)備的較高頻率側(cè)的傳輸頻帶附近的衰減改進(jìn)了大約2dB～3dB。
在擁有平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能或平衡輸入-不平衡輸出功能的濾波器設(shè)備中，如果一個(gè)濾波器設(shè)備的平衡度是理想的，那么出現(xiàn)在濾波器設(shè)備的傳輸頻帶之外的衰減是無(wú)窮大的。
與相關(guān)技術(shù)的例子的情況相比，在第一個(gè)所最佳的實(shí)施例中，平衡信號(hào)端10和11之間的平衡度得以改進(jìn)。因此，出現(xiàn)在傳輸頻帶之外的衰減得以增加。特別是，在相對(duì)于傳輸頻帶的較低頻率范圍(大約0MHz到大約1500MHz及其附近)中，以及恰好在較高頻率側(cè)上的傳輸頻帶附近(大約2020MHz到大約2060MHz及其附近)中的衰減得以改進(jìn)。
在最近幾年里所使用的許多移動(dòng)通信系統(tǒng)中，出于種種原因，要求一個(gè)傳輸頻帶的附近中的衰減。因此，根據(jù)本發(fā)明的這一最佳的實(shí)施例所獲得的表面聲波器件非常適合于在這些移動(dòng)通信系統(tǒng)中使用，特別是適合于那些操作在高于GHz頻帶的一個(gè)頻率帶中的系統(tǒng)加以使用。
現(xiàn)在將描述本發(fā)明的另一個(gè)所最佳的實(shí)施例。在第一個(gè)所最佳的實(shí)施例中，把地線(xiàn)19插入信號(hào)線(xiàn)12和相鄰平衡信號(hào)端10之間，因此最小化了它們之間的電橋電容。除了以上所描述的線(xiàn)12和端10之間的部位外，那些其中信號(hào)線(xiàn)(信號(hào)傳播線(xiàn))互相相鄰的部位還包括相應(yīng)的IDT4、5、以及6的母線(xiàn)4a、5a、以及6a等。IDT4、5、以及6的母線(xiàn)4a、5a、以及6a在它們所連接的信號(hào)線(xiàn)的IDT的一側(cè)互相相鄰，因此在那里產(chǎn)生了大的電橋電容。
在第二個(gè)所最佳的實(shí)施例中，為了減少先前所提到的電橋電容，通過(guò)一個(gè)例子提供了圖9中所示的配置，其中，省略了地線(xiàn)19。圖9中的配置基于圖4中的配置，并具有一個(gè)IDT 24。去除了如圖4中所示的出現(xiàn)在母線(xiàn)4a和5a相互相鄰的部位中的IDT 24的最靠外的電極指桿，如圖4中所示。
另外，把所去除的電極指桿24a連接于IDT 24中的地21側(cè)。因此，IDT 5和24的信號(hào)電極指桿在IDT 5和24之間不互相相鄰。換句話(huà)說(shuō)，把連接于地21的一個(gè)電極指桿24a插入IDT 5和24之間。
此外，在第二個(gè)所最佳的實(shí)施例中，IDT 24和26的電極指桿24a、24b、以及26a的末端部分(把它們連接于地21，并提交于那些其中IDT 24、5、以及26互相相鄰的部位)沿交叉指寬度方向加以擴(kuò)展。因此，可把電極指桿24a、24b、以及26a的末端部分插入(放置)在母線(xiàn)24c、5a、以及26b之間。
類(lèi)似于第一個(gè)所最佳的實(shí)施例，由于電極指桿24a、24b、以及26a，在相鄰的信號(hào)線(xiàn)12之間、信號(hào)線(xiàn)12和平衡信號(hào)端10之間可以獲得屏蔽效果。因而，生成于其間的電橋電容可最小化，而且設(shè)備的信號(hào)傳播特性也得以改進(jìn)，如以上所描述的。除了電極指桿24a、24b、以及26a之外，IDT 24和26的配置和功能與IDT 4與6的配置和功能是相同的。
如以上所描述的，在擁有符合第一和第二個(gè)所最佳的實(shí)施例的平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能的表面聲波器件中，由于地線(xiàn)19和電極指桿24a、24b、以及26a的插入或配置，相鄰的信號(hào)線(xiàn)12，以及信號(hào)線(xiàn)12和平衡信號(hào)端10被互相屏蔽。因此，與相關(guān)技術(shù)的表面聲波器件相比，可以提供一個(gè)其平衡信號(hào)端10與11之間的平衡度得以改進(jìn)的表面聲波器件。
在第一和第二個(gè)所最佳的實(shí)施例中，在IDT 4、5、以及6或IDT 24、5、以及26中，較佳的做法是令I(lǐng)DT 5(它在各IDT的中心)中的所有電極指桿的個(gè)數(shù)為偶數(shù)。原因在于，分別連接于平衡信號(hào)端10和11的電極指桿的個(gè)數(shù)可以互相相等，因此，根據(jù)本發(fā)明的所最佳的實(shí)施例，這將更有利于平衡信號(hào)端10和11之間的平衡度的進(jìn)一步改進(jìn)。
與第一個(gè)所最佳的實(shí)施相類(lèi)似，較佳的做法是令I(lǐng)DT 5(它在各IDT的中心)中的所有電極指桿的個(gè)數(shù)為偶數(shù)，以進(jìn)一步改進(jìn)平衡信號(hào)端10和11之間的平衡度。然而，即使個(gè)數(shù)為奇數(shù)，也可以獲得本發(fā)明的好處。
現(xiàn)在，描述本發(fā)明的另一個(gè)所最佳的實(shí)施例。在第一和第二個(gè)所最佳的實(shí)施例中，作為表面聲波耦合諧振器，把IDT 2和3串行地與縱向耦合諧振器型表面聲波單元1連接在一起，目的是增大傳輸頻帶的高頻側(cè)上的衰減。較佳的做法是，除省略了IDT 2和3外，令符合第三個(gè)所最佳的實(shí)施例的表面聲波器件的配置與圖1中所示的配置相同，如圖10中所示。在這一情況中，也能夠獲得本發(fā)明的好處。
如以上所描述的，在第一和第二個(gè)所最佳的實(shí)施例的配置中，作為兩個(gè)表面聲波諧振器，把IDT 2和3串行地與包括三個(gè)IDT的縱向耦合諧振器型表面聲波單元1相連接。平衡信號(hào)產(chǎn)生于IDT 5中，IDT 5大約位于縱向耦合諧振器型表面聲波單元1的中心。本發(fā)明不局限于這一配置，在擁有任何配置的表面聲波器件中均可獲得與以上所描述的相同的好處，只要其包括信號(hào)端和信號(hào)線(xiàn)即可。
例如，以上所描述的好處也能夠在下列的情況中獲得縱向耦合諧振器型表面聲波器件包括兩個(gè)或兩個(gè)以上的IDT；把表面聲波諧振器互相平行地加以耦合；分別從其相對(duì)的各側(cè)，如圖11中所示，把不平衡信號(hào)輸入(輸出)到縱向耦合型表面聲波器件的各IDT；分兩個(gè)階段，把兩個(gè)縱向耦合諧振器型表面聲波單元1加以連接，如圖信號(hào)線(xiàn)12中所示；以及通過(guò)針對(duì)平衡信號(hào)的端10、11、22、以及23施加輸入信號(hào)和輸出信號(hào)，如圖13中所示。
在第四個(gè)所最佳的實(shí)施例中，提供了圖14中所示的IDT 5b，而不是圖10中的所示的IDT 5。如圖10中所示，通過(guò)沿交叉指跨度方向把提供于縱向耦合諧振器型表面聲波單元1的中心處的IDT 5分割成兩個(gè)部分，形成IDT 5。在第四個(gè)所最佳的實(shí)施例中，也可以得到本發(fā)明的好處。
應(yīng)該加以注意的是，在圖10～14的配置中，那些其功能與圖1的配置中部件的功能相同的部件由相同的參照數(shù)字加以指示，并省去了重復(fù)性的描述。以下將以同樣的方式描述其它的配置。
另外，除了配置不包括在平衡信號(hào)端10和11之間的一個(gè)電中性點(diǎn)的情況外，如在第一～第四個(gè)所最佳的實(shí)施例中所描述的，擁有平衡信號(hào)端之間改進(jìn)了的平衡度的表面聲波器件也可通過(guò)減少電橋電容加以提供，即使這一設(shè)備擁有一個(gè)在平衡信號(hào)端之間包括一個(gè)電中性點(diǎn)的配置。
為了讓第一和第二個(gè)最佳的實(shí)施例中所提供的地線(xiàn)19接地，人們希望使用一種把地線(xiàn)19連接于一個(gè)配置在壓電襯底20上的針對(duì)導(dǎo)線(xiàn)連接或沖壓連接的電極墊的方法，使IDT 4和6接地。
然而，在圖4中所示的配置中，以上所描述的方法不僅能夠通過(guò)在壓電襯底20上形成地線(xiàn)19獲得。為了讓地線(xiàn)19接地，在壓電襯底20上提供了一個(gè)新的電極墊。
在第五個(gè)所最佳的實(shí)施例中，把地線(xiàn)19連接于IDT 6的電極指桿6b，IDT 6相鄰于IDT 5，并接地。因此，地線(xiàn)19可以與地連接(即接地)，而未使用一個(gè)新的電極墊。在這一配置和這一方法中，不需要在壓電襯底20上提供一個(gè)新的電極墊。因此，在減少表面聲波器件的尺寸方面，這是有效的。
以下，將參照?qǐng)D16描述符合本發(fā)明的第六個(gè)最佳的實(shí)施例的一個(gè)表面聲波器件。較佳的做法是令符合第六個(gè)所最佳的實(shí)施例的表面聲波器件的配置與以上所描述的第一個(gè)所最佳的實(shí)施例的配置相同，除了省略掉第一個(gè)所最佳的實(shí)施例中的地線(xiàn)19，并添加了以下所描述的一個(gè)新的配置。因此，在第六個(gè)所最佳的實(shí)施例中，其配置(不包括新部件)部件，將由第一個(gè)所最佳的實(shí)施例中所使用的相同的參照數(shù)字加以指示，并省略了重復(fù)性的描述。
在第六個(gè)所最佳的實(shí)施例中，作為新的配置，連接于信號(hào)線(xiàn)12的IDT34和36的母線(xiàn)34a和36a，以及一個(gè)IDT 35的母線(xiàn)35a分別具有母線(xiàn)窄部分34b、35b、35c、以及36b。較佳的做法是這樣地配置母線(xiàn)窄部分34b、35b、35c、以及36b令寬度小于(薄于)母線(xiàn)34a、35a、36a的一般的寬度，并分別增大相對(duì)部分母線(xiàn)34a、35a、36a之間的間隔和減小它們的相對(duì)的部分。
因此，較佳的做法是，在母線(xiàn)窄部分34b、35b、36c、以及36b互相相對(duì)的部位以及在它們附近，令母線(xiàn)窄部分34b、35b、36c、以及36b的寬度小于(薄于)母線(xiàn)34a、35a、36a的寬度。
因而，把母線(xiàn)的窄部分34b配置在相鄰于母線(xiàn)35a的母線(xiàn)34a的角部位。母線(xiàn)的窄部分35b、35c分別相鄰于母線(xiàn)34a和36a。把母線(xiàn)的窄部分36b配置在相鄰于母線(xiàn)35a的母線(xiàn)36a的角部位。
較佳的做法是令I(lǐng)DT 34、35、以及36的配置和功能與圖1中所示的IDT 4、5、以及6的配置和功能大體相同，除母線(xiàn)窄部分34b、35b、35c、以及36b外。
在第六個(gè)所最佳的實(shí)施例中，提供了母線(xiàn)的窄部分34b、35b、35c、以及36b，它們是通過(guò)減薄連接于信號(hào)線(xiàn)12的IDT的IDT側(cè)上的母線(xiàn)34a、35a、以及36a的相鄰的部分形成的。因此，與第一個(gè)所最佳的實(shí)施例相類(lèi)似，在減少電橋電容方面，這一做法是有效的。因此，在第六個(gè)所最佳的實(shí)施例中，平衡信號(hào)端10和11之間的平衡度明顯地得以改進(jìn)，而且，與第一個(gè)所最佳的實(shí)施例相類(lèi)似，出現(xiàn)于傳輸頻帶之外的衰減也明顯地得以改進(jìn)。
然而，在提供了擁有減少了寬度的母線(xiàn)的窄部分34b、35b、35c、以及36b的情況中，熱電地?cái)嗦房赡馨l(fā)生，這將會(huì)導(dǎo)致母線(xiàn)34a、35a、以及36a的斷路。
為了防止以上所描述的斷路問(wèn)題，可把薄電橋線(xiàn)34c、35d、35e、以及36c按每一母線(xiàn)窄部分一個(gè)的數(shù)碼提供于母線(xiàn)的窄部分34b、35b、35c、以及36b中，如圖17和圖18中所示。因此，即使一條線(xiàn)被熱電地?cái)嗦?，電連接也能夠得以維持，而且減少電橋電容的效果也能夠得以維持。
對(duì)于符合第一～第六個(gè)所最佳的實(shí)施例的縱向耦合諧振器型表面聲波器件來(lái)說(shuō)，將能夠獲得本發(fā)明的好處。對(duì)于橫向耦合諧振器型表面聲波器件和橫向型表面聲波器件(每一個(gè)都包括平衡信號(hào)端)來(lái)說(shuō)，通過(guò)適當(dāng)?shù)卦O(shè)置地線(xiàn)19和電極指桿24a、24b、以及26a，也可以獲得類(lèi)似的好處。
在第一～第六個(gè)所最佳的實(shí)施例中，較佳的做法是使用由X與Y按40±5°相交并延伸的LiTaO3制造的壓電襯底20。從能夠從中獲得好處的本發(fā)明的原理可以看出，本發(fā)明不局限于這種壓電襯底20。當(dāng)使用由X與Y按64～72°相交并延伸的LiNbO3制造的和X與Y按41°相交并延伸的LiNbO3制造的其它壓電襯底時(shí)，也可以獲得同樣的好處。對(duì)于壓電襯底來(lái)說(shuō)，也可以使用其它合適的材料。
第一～第六個(gè)所最佳的實(shí)施例中每一個(gè)都擁有獨(dú)特的特性，將通過(guò)例子對(duì)它們加以描述。這些所最佳的實(shí)施例的任何的組合都是可行的，通過(guò)對(duì)它們進(jìn)行組合，還將可進(jìn)一步改進(jìn)以上所描述的好處。
為了減少第一～第六個(gè)所最佳的實(shí)施例中所描述的電橋電容而進(jìn)行的配置是不受限制的。例如，可把相關(guān)技術(shù)的一個(gè)包裝結(jié)構(gòu)改變成其電橋電容可以減少的包裝結(jié)構(gòu)或可把連接于信號(hào)線(xiàn)的母線(xiàn)的相互間的間距加大，即通過(guò)在它們之間的間隔中插入若干地電極，也就是，通過(guò)把反射器縮入到其中兩個(gè)IDT互相相鄰的部位，加大母線(xiàn)相互間的間距，在這些情況下，均可獲得本發(fā)明的好處。
以下將參照?qǐng)D19描述一個(gè)包括本發(fā)明的各所最佳的實(shí)施例中的任何一個(gè)實(shí)施例的表面聲波器件的通信設(shè)備。如圖19中所示，較佳的做法是令一個(gè)通信設(shè)備200在執(zhí)行接收的接收器側(cè)(Rx側(cè))包括一個(gè)天線(xiàn)共享部分/RF頂端濾波器202、一個(gè)放大器203、一個(gè)Rx級(jí)間濾波器204、一個(gè)混頻器205、一個(gè)第一IF濾波器206、一個(gè)混頻器207、一個(gè)第二IF濾波器208、一個(gè)第一和第二局部合成器211、一個(gè)TCXO(溫度補(bǔ)償晶體振蕩器)212、一個(gè)分壓器213，以及一個(gè)局部濾波器214。為了確保平衡特性，較佳的做法是令從Rx級(jí)間濾波器204到混頻器205的傳輸通過(guò)使用平衡信號(hào)加以執(zhí)行，如圖19中由兩條線(xiàn)加以說(shuō)明的。
此外，較佳的做法是令通信設(shè)備200在其執(zhí)行傳輸?shù)氖瞻l(fā)器側(cè)(Tx側(cè))包括一個(gè)天線(xiàn)201、一個(gè)天線(xiàn)共享部分/RF頂端濾波器202(它們是共享的)、一個(gè)Tx IF濾波器221、一個(gè)混頻器222、一個(gè)Tx級(jí)間濾波器223、一個(gè)放大器224、一個(gè)耦合器225、一個(gè)隔離器226、以及一個(gè)APC(自動(dòng)電源控制)227。
以上所描述的第一～第六個(gè)所最佳的實(shí)施例的表面聲波器件中的任何一個(gè)都適合于用作以上所提到的Rx級(jí)間濾波器204。
如以上所描述的，符合本發(fā)明的各所最佳的實(shí)施例的表面聲波器件包括用于信號(hào)的端點(diǎn)，這些端點(diǎn)包含用于平衡信號(hào)的端點(diǎn)；一系列信號(hào)線(xiàn)，通過(guò)這些信號(hào)線(xiàn)把信號(hào)端和IDT互相連接在一起，這些信號(hào)線(xiàn)提供在壓電襯底上；以及一條地線(xiàn)，該地線(xiàn)提供在壓電襯底上的一個(gè)信號(hào)端和一個(gè)相鄰信號(hào)線(xiàn)之間。
因而，在以上所描述的配置中，由于提供了地線(xiàn)，所以有利于最小化在一個(gè)信號(hào)端和相鄰信號(hào)線(xiàn)之間的所生成的電橋電容。于是，在信號(hào)端處設(shè)備的信號(hào)傳播特性能夠得以改進(jìn)。
另外，在以上所描述的配置中，由于在信號(hào)端處設(shè)備的信號(hào)傳播特性得以改進(jìn)，所以有利于增大傳輸頻帶之外所出現(xiàn)的衰減。
如以上所描述的，在符合本發(fā)明各最佳的實(shí)施例的表面聲波器件中，在兩個(gè)相鄰的IDT中的至少一個(gè)的最外部分提供了一個(gè)地電極指桿，這一地電極指桿與另一個(gè)交叉指型電極的地電極指桿以這樣的方式相對(duì)與交叉指型電極的其它電極指桿相比，這一地電極指桿的末端沿交指跨度的方向更多地加以延伸。
因而，在以上所描述的配置中，由于提供了地電極指桿，所以?xún)蓚€(gè)相鄰的IDT之間所生成的電橋電容可以減少。于是，在信號(hào)端處設(shè)備的信號(hào)傳播特性能夠明顯得以改進(jìn)。
如以上所描述的，在符合本發(fā)明的其它各最佳的實(shí)施例的表面聲波器件中，連接于一個(gè)信號(hào)線(xiàn)和一個(gè)相鄰的IDT的IDT以這樣的方式配置通過(guò)減小母線(xiàn)的相對(duì)部分的尺寸，IDT的母線(xiàn)的寬度減少。因此，由于其相對(duì)的部分中的IDT的母線(xiàn)的寬度得以減少，生成于IDT之間的電橋電容最小化。因此，有利于信號(hào)端處設(shè)備的信號(hào)傳播特性明顯得以改進(jìn)。
盡管以上已對(duì)本發(fā)明所最佳的各實(shí)施例進(jìn)行了描述，但那些熟悉這一技術(shù)的人將會(huì)明顯領(lǐng)悟到在不背離本發(fā)明的精神與范圍的情況下，可對(duì)本發(fā)明進(jìn)行修改和變更。因此，本發(fā)明的范圍僅由下列權(quán)利要求加以確定。
權(quán)利要求
1.一個(gè)表面聲波器件，其特征在于包括一個(gè)壓電襯底；一系列交叉指型電極，用于把一個(gè)輸入信號(hào)轉(zhuǎn)換成一個(gè)準(zhǔn)備加以輸出的表面聲波，這些交叉指型電極沿表面聲波傳播的方向配置在壓電襯底上；一系列端點(diǎn)，提供在壓電襯底上，并加以配置以傳輸信號(hào)，包括用于傳輸平衡信號(hào)的信號(hào)端；一系列信號(hào)線(xiàn)，提供在壓電襯底上，并加以配置以把信號(hào)端和交叉指型電極互相連接；以及一個(gè)地線(xiàn)，提供在壓電襯底上，在一系列信號(hào)端中的一個(gè)信號(hào)端和一系列信號(hào)線(xiàn)中的一個(gè)相鄰的信號(hào)線(xiàn)之間；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一個(gè)表面聲波器件，其特征在于配置了地線(xiàn)，以包圍一系列信號(hào)線(xiàn)中的一個(gè)呈墊狀的信號(hào)線(xiàn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一個(gè)表面聲波器件，其特征在于把一個(gè)表面聲波諧振器連接于交叉指型電極之一，并配置在壓電襯底上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一個(gè)表面聲波器件，其特征在于該器件擁有一個(gè)平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一個(gè)表面聲波器件，其特征在于連接于信號(hào)端用于傳輸平衡信號(hào)的交叉指型電極的個(gè)數(shù)為偶數(shù)。
6.一個(gè)通信設(shè)備至少包括一個(gè)根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面聲波器件。
7.一個(gè)表面聲波器件包括一個(gè)壓電襯底；一系列交叉指型電極，用于把一個(gè)輸入信號(hào)轉(zhuǎn)換成一個(gè)準(zhǔn)備加以輸出的表面聲波，這些交叉指型電極沿表面聲波傳播的方向配置在壓電襯底上；一系列端點(diǎn)，提供在壓電襯底上，并加以配置以傳輸信號(hào)，包括用于傳輸平衡信號(hào)的信號(hào)端；一系列信號(hào)線(xiàn)，提供在壓電襯底上，并加以配置以把信號(hào)端和交叉指型電極互相連接；以及一個(gè)地電極指桿，提供在兩個(gè)相鄰的交叉指型電極中至少之一的一個(gè)最外部分中，以這樣的方式與兩個(gè)相鄰交叉指型電極中的另一個(gè)交叉指型電極的地電極指桿相對(duì)與兩個(gè)相鄰交叉指型電極之一的另一些電極指桿相比，一個(gè)地電極指桿的末端沿交指跨度的方向更多地加以延伸。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一個(gè)表面聲波器件，其特征在于把一個(gè)表面聲波諧振器連接于交叉指型電極之一，并配置在壓電襯底上。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一個(gè)表面聲波器件，其特征在于該設(shè)備擁有一個(gè)平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一個(gè)表面聲波器件， 其特征在于連接于信號(hào)端用于傳輸平衡信號(hào)的交叉指型電極的個(gè)數(shù)為偶數(shù)。
11.一個(gè)通信設(shè)備至少包括一個(gè)根據(jù)權(quán)利要求7所述的表面聲波器件。
12.一個(gè)表面聲波器件包括一個(gè)壓電襯底；一系列交叉指型電極，用于把一個(gè)輸入信號(hào)轉(zhuǎn)換成一個(gè)準(zhǔn)備加以輸出的表面聲波，這些交叉指型電極沿表面聲波傳播的方向配置在壓電襯底上；一系列端點(diǎn)，提供在壓電襯底上，并加以配置以傳輸信號(hào)，包括用于傳輸平衡信號(hào)的信號(hào)端；一系列信號(hào)線(xiàn)，提供在壓電襯底上，并加以配置以把信號(hào)端和交叉指型電極互相連接；以及一個(gè)第一交叉指型電極，連接于一系列信號(hào)線(xiàn)的至少之一，以及一個(gè)第二交叉指型電極，與第一交叉指型電極相鄰，以這樣的方式形成減少了第一和第二交叉指型電極的寬度，以致于與其余的交叉指型電極相比，第一和第二交叉指型電極的相對(duì)的部分尺寸減小。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的一個(gè)表面聲波器件，其特征在于把一個(gè)表面聲波諧振器連接于交叉指型電極之一，并配置在壓電襯底上。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的一個(gè)表面聲波器件，其特征在于該設(shè)備擁有一個(gè)平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的一個(gè)表面聲波器件，其特征在于連接于信號(hào)端用于傳輸平衡信號(hào)的交叉指型電極的電極指桿的個(gè)數(shù)為偶數(shù)。
16.一個(gè)通信設(shè)備至少包括一個(gè)根據(jù)權(quán)利要求12所述的一個(gè)表面聲波器件。
17.一個(gè)表面聲波器件包括一個(gè)壓電襯底；一系列交叉指型電極，用于把一個(gè)輸入信號(hào)轉(zhuǎn)換成一個(gè)準(zhǔn)備加以輸出的表面聲波，這些交叉指型電極沿表面聲波傳播的方向配置在壓電襯底上；一系列端點(diǎn)，配置在壓電襯底上，以傳輸信號(hào)，包括兩個(gè)用于傳輸平衡信號(hào)的信號(hào)端和一個(gè)用于傳輸一個(gè)不平衡信號(hào)的信號(hào)端；一個(gè)信號(hào)線(xiàn)，配置在壓電襯底上，以便把上述的一個(gè)用于傳輸一個(gè)不平衡信號(hào)的端點(diǎn)與交叉指型電極互相連接；以及一個(gè)地線(xiàn)，提供在壓電襯底上，在至少兩個(gè)用于傳輸不平衡信號(hào)的端點(diǎn)之一和相鄰于那里的信號(hào)線(xiàn)之間。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的一個(gè)表面聲波器件，其特征在于把一個(gè)表面聲波諧振器連接于交叉指型電極之一，并配置在壓電襯底上。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的一個(gè)表面聲波器件，其特征在于該設(shè)備擁有一個(gè)平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能。
20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的一個(gè)表面聲波器件，其特征在于連接于兩個(gè)用于傳輸平衡信號(hào)的信號(hào)端的交叉指型電極的電極指桿的個(gè)數(shù)為偶數(shù)。
21.一個(gè)通信設(shè)備至少包括一個(gè)根據(jù)權(quán)利要求17所述的一個(gè)表面聲波器件。
全文摘要
一個(gè)表面聲波器件包括用于生成一個(gè)表面聲波和檢測(cè)這一表面聲波的交叉指型電極,它們提供在擁有壓電特性的壓電襯底上。配置了一個(gè)信號(hào)線(xiàn),以連接于為不平衡側(cè)電極的交叉指型電極。配置了平衡信號(hào)端,以連接于為平衡側(cè)電極的交叉指型電極。一個(gè)地線(xiàn)提供在一個(gè)平衡信號(hào)端和相鄰的信號(hào)線(xiàn)之間。地線(xiàn)使信號(hào)線(xiàn)和平衡的信號(hào)端之間所生產(chǎn)的電容最小化。因而,平衡信號(hào)端之間的平衡度明顯得以改進(jìn)。
文檔編號(hào)H03H9/64GK1374756SQ0210649
公開(kāi)日2002年10月16日 申請(qǐng)日期2002年3月1日 優(yōu)先權(quán)日2001年3月1日
發(fā)明者高峰裕一 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所