壓電驅(qū)動的八絞同軸微位移放大機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種壓電驅(qū)動的八絞同軸微位移放大機(jī)構(gòu)，機(jī)構(gòu)包括：支撐桿、支撐底座、雙鉸鏈固定蓋、壓電桿、壓電桿連接架、支撐側(cè)座連接架、支撐側(cè)座、柔性鉸鏈、單邊鉸鏈安裝蓋九部分結(jié)構(gòu)，它使用壓電陶瓷為作動器，運(yùn)動精度可為亞微米量級，運(yùn)動范圍可達(dá)到幾十個微米。本實(shí)用新型的主要優(yōu)點(diǎn)為：1.使用柔性鉸鏈，整個裝置沒有摩擦，無需潤滑；2.它使用壓電陶瓷為作動器，運(yùn)動精度可為亞微米量級，運(yùn)動范圍可達(dá)到幾十個微米，并可以提供較大的推力；3.八絞同軸機(jī)構(gòu)可以消除壓電陶瓷所不能承受的剪切力；4.微位移放大比例可以調(diào)節(jié)，通過改變鉸鏈軸線之間的位置關(guān)系調(diào)節(jié)微位移放大比例。
【專利說明】壓電驅(qū)動的八絞同軸微位移放大機(jī)構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】：
[0001] -種壓電驅(qū)動的八絞同軸微位移放大機(jī)構(gòu)，機(jī)構(gòu)應(yīng)用于空間精密光機(jī)系統(tǒng)中的微 促動領(lǐng)域，可以提供高精度、大推力的微位移。

【背景技術(shù)】：
[0002] 近年來，隨著微電子技術(shù)，宇航，生物工程等學(xué)科的迅速發(fā)展，正式進(jìn)入了 "亞微 米-納米"時代。在電子、光學(xué)、機(jī)械制造等眾多【技術(shù)領(lǐng)域】中，迫切需要高精度，高分辨率， 高可靠性的微位移機(jī)構(gòu)，用以直接工作或配合其他儀器設(shè)備完成高精度的研宄和使用。天 文觀測中望遠(yuǎn)鏡主鏡口徑對目標(biāo)成像質(zhì)量起著至關(guān)重要作用。從伽利略、開普勒望遠(yuǎn)鏡至 今，主鏡孔徑從幾十毫米到幾十米并仍不斷發(fā)展?？趶降脑龃?，隨之帶來了總體體積和質(zhì) 量的幾何倍增大，國外近幾年制造的口徑在8m以上的主鏡，大多采用了拼裝鏡技術(shù)，為了 補(bǔ)償拼接鏡面形的誤差，每個小鏡體背部均采用了微位移機(jī)構(gòu)進(jìn)行即時修正，為滿足實(shí)際 需要，工作鏡面面形修正量級為納米量級，如VLT、SOAR、SUBARU都采用了這種拼接鏡微位 移技術(shù)。
[0003] 實(shí)際工程中常用的幾種微位移機(jī)構(gòu)主要有：
[0004] (1)、機(jī)械傳動式微位移機(jī)構(gòu)；
[0005] 機(jī)械傳動式微位移機(jī)構(gòu)是最初微位移機(jī)構(gòu)的一種形式，其技術(shù)比較成熟，結(jié)構(gòu)形 式較多，主要有螺旋機(jī)構(gòu)、杠桿機(jī)構(gòu)、楔塊凸輪機(jī)構(gòu)、彈性機(jī)構(gòu)以及它們的組合機(jī)構(gòu)。機(jī)械 傳動式微位移機(jī)構(gòu)的特點(diǎn)：具有較好的分辨率；行程較大；存在機(jī)械間隙、摩擦磨損以及爬 行等缺點(diǎn)，所以運(yùn)動靈敏度和運(yùn)動精度都難以達(dá)到高精度，故僅適應(yīng)于中等精度。
[0006] (2)、直線電機(jī)式微位移機(jī)構(gòu)；
[0007] 直線電機(jī)通過調(diào)節(jié)流過線圈的電流的大小、頻率以及流通方向來產(chǎn)生確定的推拉 作用力，這種電機(jī)具有形成大，無滯后、無傳動間隙以及良好的頻率響應(yīng)等優(yōu)點(diǎn)。
[0008] (3)、壓電驅(qū)動式微位移機(jī)構(gòu)
[0009] 壓電陶瓷微位移驅(qū)動器利用電介質(zhì)在電場中的逆壓電效應(yīng)進(jìn)行工作。電介質(zhì)晶體 置于外電場中，由于電場作用，晶體會發(fā)生伸長（或縮短）的形變，形變大小和外電場強(qiáng) 度大小成正比，形變的方向與電場方向有關(guān)，此現(xiàn)象即為逆壓電效應(yīng)。壓電元件常用的層 疊式結(jié)構(gòu)。它由許多相同的壓電陶瓷片疊加，采用電路并聯(lián)方式將每片陶瓷連接在一起， 相鄰的陶瓷片極化方向相反，每片的極化方向與電場方向一致，能夠在較低的電壓下產(chǎn) 生較大的位移量，改變輸入電壓的大小即可得到不同的微位移，避免了機(jī)械結(jié)構(gòu)造成的誤 差。壓電陶瓷具有體積小，位移分辨率高、作用力大、響應(yīng)快、無噪聲、發(fā)熱小等優(yōu)點(diǎn)，但是其 量程比較小。
[0010] 早在上世紀(jì)六十年代，在航空航天領(lǐng)域的探索發(fā)展過程中，對實(shí)現(xiàn)小范圍內(nèi)偏轉(zhuǎn) 的支撐結(jié)構(gòu)，不僅提出了高分辨率的要求，還要求結(jié)構(gòu)上具有微小型化的要求。人們在經(jīng)過 對各類型的彈性支撐實(shí)驗(yàn)探索后，逐步開發(fā)出體積小、無機(jī)械摩擦、無間隙、運(yùn)動靈活的柔 性鉸鏈。柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)利用了彈性材料微小變形及其自回復(fù)的特性，消除了傳動過程中的 空程和機(jī)械摩擦，能獲得超高的位移分辨率。隨后，柔性鉸鏈被廣泛的應(yīng)用于陀螺儀、加速 度計(jì)、精密天平、導(dǎo)彈控制等儀器儀表中，并獲得了前所未有的高精度和穩(wěn)定性。柔性鉸鏈 用于繞軸作復(fù)雜運(yùn)動的有限角位移，它的特點(diǎn)是：無機(jī)械摩擦、無間隙、運(yùn)動靈敏度高。
[0011] 專利號為CN03132498. 3中，公開的一種微位移放大機(jī)構(gòu)，采用了壓電陶瓷驅(qū)動， 其支撐板可視為柔性元件，此專利在載荷重心偏心的情況下，容易對壓電桿造成剪切破壞。 并且支撐板的柔性與剛性不可兼得，勢必會降低系統(tǒng)的頻率響應(yīng)。
[0012] 目前我國在微定位【技術(shù)領(lǐng)域】的研宄還相對落后，因此，開展微位移技術(shù)的相關(guān)研 宄，對于縮小同國內(nèi)外同行的差距，促進(jìn)我國的國防軍工以及國民經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展有著重 大而深遠(yuǎn)的意義。


【發(fā)明內(nèi)容】
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[0013] 針對空間精密光機(jī)系統(tǒng)需要微位移技術(shù)以提高設(shè)備分辨率的應(yīng)用背景，本專利公 開了一種壓電驅(qū)動的八絞同軸微位移放大機(jī)構(gòu)。
[0014] 八絞同軸微位移放大機(jī)構(gòu)主要包括：支撐桿、支撐底座、雙鉸鏈固定蓋、壓電桿、壓 電桿連接架、支撐側(cè)座連接架、支撐側(cè)座、柔性鉸鏈、單邊鉸鏈安裝蓋九個部分。
[0015] 所述的支撐桿1為鈦合金材料，主體形狀為一塊矩形合金塊，矩形塊的寬度為柔 性鉸鏈8的整體長度，在矩形塊的前表面開有一個梯形通槽，兩個劣弧通槽，梯形槽下底與 前表面下底邊重合，且關(guān)于前表面豎直軸線對稱，劣弧槽位于前表面左右兩邊線上，圓心位 于前平面的水平對稱軸上，圓弧半徑大小等于柔性鉸鏈8的半徑，圓弧半徑尺寸精度為H7， 圓心相距左右邊線各0. 25mm ;在矩形塊上表面，左右兩端各開有一個對稱的U型槽，寬度方 向開槽后剩余兩邊線的長度均等于柔性鉸鏈8兩端的寬度，U型用于裝配鉸鏈時防止干涉， 中心處開有一個矩形通槽進(jìn)行輕量化；矩形塊左右表面各開有四個螺紋孔；
[0016] 所述的支撐底座2為鈦合金材料，結(jié)構(gòu)下端為開有四個螺紋孔的安裝底臺，為提 高底臺下底面的面形精度，下底面中心處開一個開口向下的2_厚的U型槽，上端為兩個凸 起的矩形塊，兩個矩形塊中心距離比整個柔性鉸鏈8的寬度大2mm，每個矩形塊上端開一個 劣弧槽，兩個槽同軸布置，圓弧半徑大小等于柔性鉸鏈8的半徑，圓弧半徑尺寸精度為H7， 圓心高出上邊線0. 25mm，每個矩形塊上表面兩端各開有兩個螺紋孔；
[0017] 所述的機(jī)構(gòu)雙鉸鏈固定蓋3為鈦合金材料，結(jié)構(gòu)的上端為一塊中空的矩形板，下 端兩側(cè)為兩個凸出的梯形塊，兩個梯形塊中心距離比整個柔性鉸鏈8的寬度大2_，每個梯 形塊下底邊開有一個劣弧槽，兩個槽同軸布置，圓弧半徑大小等于柔性鉸鏈8的半徑，圓弧 半徑尺寸精度為H7,圓心低于下底邊線0. 25mm，梯形塊兩個下底角進(jìn)行倒角處理，每個圓 弧槽的兩端各開有兩個反向的沉頭孔；
[0018] 所述的壓電桿連接架5與支撐側(cè)座連接架6鈦合金材料，結(jié)構(gòu)上均為帶有底盤的 螺紋桿，底盤上分別開有四個腰孔；
[0019] 所述的支撐側(cè)座7為鈦合金材料，結(jié)構(gòu)的下端為中心開有一個螺紋孔的矩形板， 上端為兩個凸出的梯形塊，上底邊為長邊，兩個梯形塊中心距離比整個柔性鉸鏈8的寬度 大2mm，每個梯形塊上底邊開有一個劣弧槽，兩個槽同軸布置，圓弧半徑大小等于柔性鉸鏈 8的半徑，圓弧半徑尺寸精度為H7,圓心高于上底邊線0. 25mm，梯形塊兩個上底角進(jìn)行倒角 處理，每個梯形塊上表面圓弧槽兩端各開有兩個螺紋孔；
[0020] 所述的單邊鉸鏈安裝蓋9為鈦合金材料，整體結(jié)構(gòu)為一個梯形塊，梯形塊兩個下 底角進(jìn)行倒角處理，且在下底邊開有劣弧槽，圓弧半徑大小等于柔性鉸鏈8的半徑，圓弧半 徑尺寸精度為H7,圓心低于下底面0. 25mm，劣弧槽寬度等于柔性鉸鏈8兩端的寬度，劣弧槽 的兩端各開有一個沉頭孔；
[0021] 支撐底座2通過螺釘固定在底板上，雙鉸鏈固定蓋3通過螺釘與支撐底座2或支 撐側(cè)座7連接，用于固定兩個柔性鉸鏈8的中段，支撐桿1兩端分別與兩個單邊鉸鏈安裝蓋 9螺紋連接，用于固定柔性鉸鏈8的兩端，壓電桿4 一端通過自身的螺紋桿與支撐側(cè)座7連 接，另一端的通過內(nèi)螺紋與壓電桿連接架5相連接，支撐側(cè)座連接架6與另一端的支撐側(cè)座 7螺紋連接，兩個連接架的底盤通過螺栓連接，從而將整個壓電桿4與兩端的支撐側(cè)座7連 接起來；在機(jī)構(gòu)中，四根支撐桿1，支撐桿兩端劣弧槽圓心位置分別置于柔性鉸鏈8軸線投 影點(diǎn)位置；八個柔性鉸鏈8,兩兩同軸線布置并保持2_的安全距離，四個軸線的投影點(diǎn)組 成菱形的四個頂點(diǎn)。
[0022] 本機(jī)構(gòu)的工作原理為：整個機(jī)構(gòu)為菱形構(gòu)型，且在運(yùn)動過程中始終保持構(gòu)型不變， 當(dāng)壓電桿按照控制要求進(jìn)行拉伸或者壓縮時，壓電桿所在的整個對角線發(fā)生相應(yīng)的拉伸或 者壓縮，則另一條對角線方向則相應(yīng)的壓縮或拉伸，產(chǎn)生目的方向的運(yùn)動。壓電桿在整個運(yùn) 動過程中，每一個軸線投影點(diǎn)處的兩個撐桿相對交點(diǎn)處的對角線對稱運(yùn)動，方向相反，故柔 性鉸鏈產(chǎn)生的扭矩方向相反，產(chǎn)生的合力矩為零。兩個支撐側(cè)座的合力矩為零可以保證在 壓電桿運(yùn)動過程中不會產(chǎn)生危害壓電桿的扭矩；兩個支撐底座的合力矩為零可以保證運(yùn)動 過程中目的方向始終保持不變。
[0023] 本專利的主要優(yōu)點(diǎn)為：1、使用柔性鉸鏈，整個裝置沒有摩擦，無需潤滑；2、它使用 壓電陶瓷為作動器，運(yùn)動精度可為亞微米量級，運(yùn)動范圍可達(dá)到幾十個微米，并可以提供較 大的推力；3、八絞同軸機(jī)構(gòu)可以消除壓電陶瓷所不能承受的剪切力；4、微位移放大比例可 以調(diào)節(jié)，通過改變鉸鏈軸線之間的位置關(guān)系調(diào)節(jié)微位移放大比例。

【專利附圖】

【附圖說明】：
[0024] 圖1是八鉸同軸微位移放大機(jī)構(gòu)正視圖，圖示標(biāo)號分別表示為：1、支撐桿2、支撐 底座3、雙鉸鏈固定蓋4、壓電桿5、壓電桿連接架6、支撐側(cè)座連接架7、支撐側(cè)座8、柔 性鉸鏈9、單邊鉸鏈安裝蓋；
[0025] 圖2是八鉸同軸微位移放大機(jī)構(gòu)軸測圖；
[0026] 圖3是機(jī)構(gòu)幾何關(guān)系不意圖；
[0027] 圖4是支撐桿結(jié)構(gòu)圖；
[0028] 圖5是支撐底座結(jié)構(gòu)圖；
[0029] 圖6是雙鉸鏈固定蓋結(jié)構(gòu)圖；
[0030] 圖7是支撐側(cè)座結(jié)構(gòu)圖；
[0031 ] 圖8是三段式柱形柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)圖；
[0032] 圖9是單邊鉸鏈安裝蓋結(jié)構(gòu)圖。

【具體實(shí)施方式】：
[0033] -種壓電驅(qū)動的八絞同軸微位移放大機(jī)構(gòu)，機(jī)構(gòu)包括：支撐桿、支撐底座、雙鉸鏈 固定蓋、壓電桿、壓電桿連接架、支撐側(cè)座連接架、支撐側(cè)座、柔性鉸鏈、單邊鉸鏈安裝蓋。
[0034] 八絞同軸微位移放大機(jī)構(gòu)主要包括：支撐桿、支撐底座、雙鉸鏈固定蓋、壓電桿、壓 電桿連接架、支撐側(cè)座連接架、支撐側(cè)座、柔性鉸鏈、單邊鉸鏈安裝蓋九個部分。
[0035] 本機(jī)構(gòu)所采用的支撐桿材料為鈦合金，主體形狀為一塊矩形塊，矩形塊寬度為柔 性鉸鏈的整體長度，在矩形塊的前表面開有一個梯形通槽，兩個劣弧通槽，梯形槽下底與前 表面下底邊重合，且關(guān)于前表面豎直軸線對稱，劣弧槽位于前表面左右兩邊線上，圓心位于 前平面的水平對稱軸上，圓弧半徑大小等于柔性鉸鏈的半徑，精度為H7,圓心相距左右邊線 各0. 25mm ;在矩形塊上表面，左右兩端各開有一個對稱的U型槽，寬度方向開槽后剩余兩邊 線的長度均等于柔性鉸鏈兩端的寬度，U型用于裝配鉸鏈時防止干涉，中心處開有一個矩形 通槽進(jìn)行輕量化；矩形塊左右表面各開有四個螺紋孔；
[0036] 本機(jī)構(gòu)采用的支撐底座結(jié)構(gòu)材料為鈦合金，結(jié)構(gòu)下端為開有四個螺紋孔的安裝底 臺，為提高底臺下底面的面形精度，下底面中心處開一個開口向下的2_厚的U型槽，上端 為兩個凸起的矩形塊，兩個矩形塊中心距離比整個柔性鉸鏈的寬度大2mm，每個矩形塊上端 開一個劣弧槽，兩個槽同軸布置，圓弧半徑大小等于柔性鉸鏈的半徑，精度為H7,圓心高出 上邊線0. 25mm，每個矩形塊上表面兩端各開有兩個螺紋孔，
[0037] 本機(jī)構(gòu)采用的雙鉸鏈固定蓋為鈦合金材料，結(jié)構(gòu)的上端為一塊中空的矩形板，下 端兩側(cè)為兩個凸出的梯形塊，兩個梯形塊中心距離比整個柔性鉸鏈的寬度大2mm，每個梯 形塊下底邊開有一個劣弧槽，兩個槽同軸布置，圓弧半徑大小等于柔性鉸鏈的半徑，精度為 H7,圓心低于下底邊線0. 25mm，梯形塊兩個下底角進(jìn)行倒角處理，每個圓弧槽的兩端各開有 兩個反向的沉頭孔。
[0038] 本機(jī)構(gòu)采用的壓電桿是根據(jù)工作負(fù)載的大小以及尺寸規(guī)模來確定選型的，選擇PI 公司P - 845產(chǎn)品，其結(jié)構(gòu)一端為凸出的螺紋桿，另一端為螺紋孔。
[0039] 本機(jī)構(gòu)采用的壓電桿連接架與支撐側(cè)座連接架均為鈦合金材料，結(jié)構(gòu)上均為帶有 底盤的螺紋桿，底盤上分別開有四個腰孔；
[0040] 本機(jī)構(gòu)采用的支撐側(cè)座為鈦合金材料，結(jié)構(gòu)的下端為中心開有一個螺紋孔的矩形 板，上端為兩個凸出的梯形塊，上底邊為長邊，兩個梯形塊中心距離比整個柔性鉸鏈的寬度 大2mm，每個梯形塊上底邊開有一個劣弧槽，兩個槽同軸布置，圓弧半徑大小等于柔性鉸鏈 的半徑，精度為H7,圓心高于上底邊線0. 25mm，梯形塊兩個上底角進(jìn)行倒角處理，每個梯形 塊上表面圓弧槽兩端各開有兩個螺紋孔；
[0041] 根據(jù)整體結(jié)構(gòu)的剛度需求，我們選擇riverhawk公司的6000系列鉸鏈，該柔性鉸 鏈為圓柱形鉸鏈，柔性鉸鏈外圓柱面分為三段，兩端部分內(nèi)部相連為一個運(yùn)動整體，與中間 部分通過簧片彎曲發(fā)生相互運(yùn)動，且每個側(cè)端的寬度約為中間段的一半。
[0042] 本機(jī)構(gòu)采用的單邊鉸鏈安裝蓋為鈦合金材料，整體結(jié)構(gòu)為一個梯形塊，梯形塊兩 個下底角進(jìn)行倒角處理，且在下底邊開有劣弧槽，圓弧半徑大小等于柔性鉸鏈的半徑，精度 為H7,圓心低于下底面0. 25mm，劣弧槽寬度等于柔性鉸鏈兩端的寬度，劣弧槽的兩端各開 有一個沉頭孔。
[0043] 整個機(jī)構(gòu)需要4根支撐桿，2個支撐底座，4個雙邊鉸鏈固定蓋，1根壓電桿，1個壓 電桿連接架，1個支撐側(cè)座連接架，2個支撐側(cè)座，8個柔性鉸鏈，16個單邊鉸鏈安裝蓋。 [0044] 機(jī)構(gòu)中的每個支撐桿兩端分別裝配一個柔性鉸鏈，將裝配好的兩個撐桿的任意一 端柔性鉸鏈固定在支撐底座上，兩根撐桿的柔性鉸鏈采用同軸布置，底座位置水平放置，撐 桿位置與豎直夾角為f'兩撐桿左右對稱，夾角為Θ，組裝成底座裝配。
[0045] 將兩個組裝好的支撐底座裝配對稱布置，分別為上支撐底座裝配和下支撐底座裝 配，將相鄰兩支撐桿的柔性鉸鏈兩兩固結(jié)在支撐側(cè)座上，形成菱形的結(jié)構(gòu)框架，此時注意保 證兩支撐側(cè)座自然狀態(tài)下保持水平。
[0046] 壓電桿一端通過螺紋連接在支撐側(cè)座，另一端通過壓電桿連接架連接在另一側(cè)支 撐側(cè)座連接架上，壓電桿連接架與支撐側(cè)座連接架兩部分螺紋分別為左旋和右旋，裝配時， 通過同向旋轉(zhuǎn)壓電桿連接架與支撐側(cè)座連接架便可以小范圍調(diào)節(jié)兩中心側(cè)座之間的中心 距。
[0047] 裝配過程中，保證上下支撐底座的平行度優(yōu)于2絲。
[0048] 整個支撐桿幾何關(guān)系如附圖3所示，根據(jù)設(shè)計(jì)要求確定合理的目的高度y，以及整 個微位移量程Δγ，對于已經(jīng)選用的壓電桿的微位移量程為Λ Χ，根據(jù)公式：
[0049] x2+y2= (21) 2

【權(quán)利要求】
1. 一種壓電驅(qū)動的八絞同軸微位移放大機(jī)構(gòu)，機(jī)構(gòu)包括；支撐桿（1)、支撐底座（2)、雙 較鏈固定蓋（3)、壓電桿（4)、壓電桿連接架巧）、支撐側(cè)座連接架化）、支撐側(cè)座（7)、柔性較 鏈巧）、單邊較鏈安裝蓋巧）；其特征在于： 所述的支撐桿（1)主體形狀為一塊矩形合金塊，矩形塊的寬度為柔性較鏈巧）的整體 長度，在矩形塊的前表面開有一個梯形通槽，兩個劣弧通槽，梯形槽下底與前表面下底邊重 合，且關(guān)于前表面豎直軸線對稱，劣弧槽位于前表面左右兩邊線上，圓屯、位于前平面的水平 對稱軸上，圓弧半徑大小等于柔性較鏈巧）的半徑，圓弧半徑尺寸精度為H7,圓屯、相距左右 邊線各0. 25mm ;在矩形塊上表面，左右兩端各開有一個對稱的U型槽，寬度方向開槽后剩余 兩邊線的長度均等于柔性較鏈（8)兩端的寬度，U型用于裝配較鏈時防止干設(shè)，中屯、處開有 一個矩形通槽進(jìn)行輕量化；矩形塊左右表面各開有四個螺紋孔； 所述的支撐底座（2)結(jié)構(gòu)下端為開有四個螺紋孔的安裝底臺，為提高底臺下底面的面 形精度，下底面中屯、處開一個開口向下的2mm厚的U型槽，上端為兩個凸起的矩形塊，兩個 矩形塊中屯、距離比整個柔性較鏈巧）的寬度大2mm，每個矩形塊上端開一個劣弧槽，兩個槽 同軸布置，圓弧半徑大小等于柔性較鏈巧）的半徑，圓弧半徑尺寸精度為H7,圓屯、高出上邊 線0. 25mm，每個矩形塊上表面兩端各開有兩個螺紋孔； 所述的機(jī)構(gòu)雙較鏈固定蓋（3)結(jié)構(gòu)的上端為一塊中空的矩形板，下端兩側(cè)為兩個凸出 的梯形塊，兩個梯形塊中屯、距離比整個柔性較鏈巧）的寬度大2mm，每個梯形塊下底邊開有 一個劣弧槽，兩個槽同軸布置，圓弧半徑大小等于柔性較鏈巧）的半徑，圓弧半徑尺寸精度 為H7,圓屯、低于下底邊線0. 25mm，梯形塊兩個下底角進(jìn)行倒角處理，每個圓弧槽的兩端各 開有兩個反向的沉頭孔； 所述的壓電桿連接架（5)與支撐側(cè)座連接架（6)結(jié)構(gòu)上均為帶有底盤的螺紋桿，底盤 上分別開有四個腰孔； 所述的支撐側(cè)座（7)結(jié)構(gòu)的下端為中屯、開有一個螺紋孔的矩形板，上端為兩個凸出的 梯形塊，上底邊為長邊，兩個梯形塊中屯、距離比整個柔性較鏈巧）的寬度大2mm，每個梯形 塊上底邊開有一個劣弧槽，兩個槽同軸布置，圓弧半徑大小等于柔性較鏈巧）的半徑，圓弧 半徑尺寸精度為H7,圓屯、高于上底邊線0. 25mm，梯形塊兩個上底角進(jìn)行倒角處理，每個梯 形塊上表面圓弧槽兩端各開有兩個螺紋孔； 所述的單邊較鏈安裝蓋（9)整體結(jié)構(gòu)為一個梯形塊，梯形塊兩個下底角進(jìn)行倒角處 理，且在下底邊開有劣弧槽，圓弧半徑大小等于柔性較鏈巧）的半徑，圓弧半徑尺寸精度為 H7,圓屯、低于下底面0.25mm，劣弧槽寬度等于柔性較鏈（8)兩端的寬度，劣弧槽的兩端各開 有一個沉頭孔； 支撐底座（2)通過螺釘固定在底板上，雙較鏈固定蓋（3)通過螺釘與支撐底座（2)或 支撐側(cè)座（7)連接，用于固定兩個柔性較鏈（8)的中段，支撐桿（1)兩端分別與兩個單邊較 鏈安裝蓋（9)螺紋連接，用于固定柔性較鏈（8)的兩端，壓電桿（4) 一端通過自身的螺紋桿 與支撐側(cè)座（7)連接，另一端的通過內(nèi)螺紋與壓電桿連接架（5)相連接，支撐側(cè)座連接架 (6)與另一端的支撐側(cè)座（7)螺紋連接，兩個連接架的底盤通過螺栓連接，從而將整個壓電 桿（4)與兩端的支撐側(cè)座（7)連接起來；在機(jī)構(gòu)中，四根支撐桿（1)，支撐桿兩端劣弧槽圓 屯、位置分別置于柔性較鏈（8)軸線投影點(diǎn)位置；八個柔性較鏈巧），兩兩同軸線布置并保持 2mm的安全距離，四個軸線的投影點(diǎn)組成菱形的四個頂點(diǎn)。
【文檔編號】H02N2/02GK204231225SQ201420597510
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年10月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月16日
【發(fā)明者】魏傳新, 陳洪達(dá), 鄭庚, 尹達(dá)一 申請人:中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所