專(zhuān)利名稱(chēng)：電源裝置、其控制方法以及使用它們的測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及向半導(dǎo)體器件供給電カ的電源裝置。
背景技術(shù)：
測(cè)試裝置具有向被測(cè)試器件(DUT)供給電源電壓或電源電流(以下，稱(chēng)為電源電壓Vdd)的電源裝置。圖1是示意性表示以往的電源裝置的框圖。電源裝置1100包括電源輸出部1(^6、控制電源輸出部10 的頻率控制器(以下，稱(chēng)為控制器)1024。例如電源輸出部10 是運(yùn)算放大器(緩存)、DC/DC轉(zhuǎn)換器、線(xiàn)性調(diào)節(jié)器(linear regulator)或恒流源，生成應(yīng)向DUTl供給的電源電壓或電源電流(輸出信號(hào)OUT)。緊靠DUTl的電源端子設(shè)有去耦電容器Cl，經(jīng)由線(xiàn)纜連接在電源裝置1100的輸出端子與DUTl的電源端子之間。電源裝置1100的控制對(duì)象不是電源輸出部10 的輸出信號(hào)OUT，而是實(shí)際施加于DUTl的電源端子的電源電壓Vdd。以往，控制器10 輸出控制值， 以使所反饋的觀測(cè)值(控制對(duì)象)與預(yù)定的參照值(基準(zhǔn)值)的差分值為0。作為觀測(cè)值， 例示了基于向DUTl供給的電源電壓、電源電流等的反饋信號(hào)。例如圖1中用減法器的符號(hào)所示的電路單元1022是誤差放大器(運(yùn)算放大器)，將觀測(cè)值與基準(zhǔn)值的誤差放大。模擬的控制器IOM生成控制值，以使誤差為0。電源輸出部10 的狀態(tài)是根據(jù)控制值被反饋控制，結(jié)果，作為控制對(duì)象的電源電壓Vdd被穩(wěn)定為目標(biāo)值。在控制控制對(duì)象1010時(shí)應(yīng)考慮的參數(shù)被示意性表示為寄生參數(shù)1030。寄生參數(shù)1030包括電源線(xiàn)纜和電源裝置1100內(nèi)部的寄生電阻、寄生電容、寄生感應(yīng)(inductor)等。專(zhuān)利文獻(xiàn)1 日本特表2004-5^400號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)2 日本專(zhuān)利第25沈859號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)3 日本特開(kāi)平5-313760號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)4 日本特開(kāi)平2-123986號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)5 日本特開(kāi)平9-178820號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
以往，使用模擬電路構(gòu)成控制器10M。因此，存在其綜合性能被構(gòu)成其的模擬元件的性能固定的問(wèn)題。而且，負(fù)載電流變動(dòng)、周?chē)娜ヱ铍娙萜鰿l也對(duì)控制對(duì)象1010有影響。除此之外，在考慮到寄生參數(shù)1030的影響來(lái)設(shè)計(jì)控制器IOM吋，結(jié)果變得復(fù)雜、且部件數(shù)目增多。本發(fā)明是鑒于該課題而做出的，其一方案例示的目的之ー在于提供ー種可對(duì)半導(dǎo)體器件穩(wěn)定地供給電源的電源裝置。本發(fā)明的一方案涉及經(jīng)由電源線(xiàn)向在電源端子連接有電容器的半導(dǎo)體器件供給電カ的電源裝置。該電源裝置包括電流檢測(cè)部，對(duì)從電源裝置輸出的輸出電流進(jìn)行檢測(cè)； 非線(xiàn)性控制部，控制其輸出量，以使得在第1期間對(duì)電容器充放電的電荷量與在第2期間對(duì)電容器充放電的電荷量平衡，第1期間是從流入半導(dǎo)體器件的電源端子的負(fù)載電流發(fā)生變動(dòng)的第1定時(shí)到負(fù)載電流與輸出電流一致的第2定時(shí)為止的期間，第2期間是從第2定時(shí)到結(jié)束控制的第3定時(shí)為止的期間。根據(jù)該方案，適當(dāng)計(jì)算電容器的放電電荷量及充電電荷量，控制輸出量，以使第1 期間的放電電荷量(充電電荷量)與第2期間的放電電荷量(充電電荷量)一致，從而能夠抑制電源電壓的變動(dòng)量，或縮短變動(dòng)量的穩(wěn)定化時(shí)間?；蛘吣軌蛴幸獾乜刂齐娫措妷旱淖儎?dòng)量、穩(wěn)定化時(shí)間。一方案的電源裝置可以進(jìn)一歩包括控制其輸出量以使電源端子的電源電壓與預(yù)定的基準(zhǔn)電壓一致的線(xiàn)性控制部；檢測(cè)負(fù)載的變動(dòng)的負(fù)載變動(dòng)檢測(cè)部；接收線(xiàn)性控制部的輸出量和非線(xiàn)性控制部的輸出量，選擇與負(fù)載變動(dòng)檢測(cè)部的檢測(cè)結(jié)果對(duì)應(yīng)的一方，并從控制端子輸出的選擇器。根據(jù)該方案，通過(guò)根據(jù)負(fù)載的狀態(tài)來(lái)切換線(xiàn)性控制和非線(xiàn)性控制，能夠使電源電 JiJEls/E ο本發(fā)明的另一方案是測(cè)試裝置。該測(cè)試裝置包括對(duì)被測(cè)試器件供給電源的上述任一方案的電源裝置。另外，將以上結(jié)構(gòu)要素的任意組合、本發(fā)明的結(jié)構(gòu)要素、表現(xiàn)在方法、裝置、系統(tǒng)等之間相互置換而成的方案，作為本發(fā)明的方案也是有效的。根據(jù)本發(fā)明的方案，能夠提供可對(duì)半導(dǎo)體器件穩(wěn)定地供給電源的電源裝置。


圖1是示意性表示以往的電源裝置的框圖。圖2是表示具有實(shí)施方式的電源裝置的測(cè)試裝置的框圖。圖3是表示圖2的基于非線(xiàn)性控制部的非線(xiàn)性控制模式的工作的波形圖。圖4是表示圖2的電源裝置的具體結(jié)構(gòu)例的框圖。圖5是圖2的電源裝置的狀態(tài)轉(zhuǎn)變圖。圖6是表示圖2的電源裝置的第1控制的時(shí)間圖。圖7是表示第1期間的控制算法的圖。圖8(a)、(b)是表示第2期間的控制算法的圖。圖9是表示圖2的電源裝置的第2控制的時(shí)間圖。圖10是進(jìn)行了第2控制時(shí)的電源電壓及輸出電流的仿真波形圖。附圖標(biāo)記的說(shuō)明1. · · DUT, 2. · ·測(cè)試裝置，4. · ·寄生參數(shù)，DR. · ·驅(qū)動(dòng)器，CP. · ·比較器，100. · ·電源
裝置，Pl...電源端子，Lvdd...電源線(xiàn)，10...線(xiàn)性控制部，12...減法器，20...非線(xiàn)性控制部，22...負(fù)載電流運(yùn)算部，24...電荷量運(yùn)算部，26...輸出量運(yùn)算部，30...電流檢測(cè)部， 32. · ·放大器，40. · ·選擇器，42. · ·負(fù)載變動(dòng)檢測(cè)部，50. · ·乘法器，52. · ·延遲電路，54，56， 60...加法器，62...積分器，Si...差分信號(hào)，S2...輸出電流檢測(cè)信號(hào)，S3...電壓檢測(cè)信號(hào)，S4...負(fù)載電流檢測(cè)信號(hào)，S5...電荷量檢測(cè)信號(hào)，S6...充放電電流檢測(cè)信號(hào)，Cl...電容器，負(fù)載電容
具體實(shí)施方式
以下，參照附圖并基于優(yōu)選實(shí)施方式來(lái)說(shuō)明本發(fā)明。對(duì)于各附圖所示的相同或同等的結(jié)構(gòu)要素、構(gòu)件、處理標(biāo)注同一符號(hào)，適當(dāng)省略重復(fù)說(shuō)明。此外，實(shí)施方式不是用于限定發(fā)明，而只是例示，實(shí)施方式記載的所有特征、其組合不一定是發(fā)明的必要技術(shù)特征。在本說(shuō)明書(shū)中，“構(gòu)件A與構(gòu)件B連接的狀態(tài)”除了構(gòu)件A與構(gòu)件B直接物理連接的情況之外，還包括構(gòu)件A和構(gòu)件B經(jīng)由不影響電連接狀態(tài)的其他構(gòu)件而間接連接的情況。同樣，“構(gòu)件C設(shè)于構(gòu)件A與構(gòu)件B之間的狀態(tài)”除了構(gòu)件A與構(gòu)件C或構(gòu)件B與構(gòu)件C直接連接的情況，還包括經(jīng)由不影響電連接狀態(tài)的其他構(gòu)件而間接連接的情況。圖2是表示具有實(shí)施方式的電源裝置100的測(cè)試裝置2的框圖。測(cè)試裝置2對(duì) DUTl施加信號(hào)，將來(lái)自DUTl的信號(hào)與期待值比較，判斷DUTl的良否、不良部位。測(cè)試裝置2包括驅(qū)動(dòng)器DR、比較器(定時(shí)比較器(timing comparator)) CP、電源裝置100等。驅(qū)動(dòng)器DR對(duì)DUTl輸出測(cè)試信號(hào)。該測(cè)試信號(hào)由未圖示的定時(shí)發(fā)生器TG、模式發(fā)生器PG及波形整形器FC(均未圖示)等生成，被輸入至驅(qū)動(dòng)器DR。DUTl輸出的信號(hào)被輸入至比較器CP。比較器CP將來(lái)自DUTl的信號(hào)與預(yù)定的閾值比較，以適當(dāng)?shù)亩〞r(shí)鎖存比較結(jié)果。將比較器CP的輸出與其期待值進(jìn)行比較。以上是測(cè)試裝置2的概要。以下，詳細(xì)說(shuō)明實(shí)施方式的電源裝置100。電源裝置100經(jīng)由電源線(xiàn)Lvdd與DUTl 的電源端子Pl連接。旁路電容器(電容器Cl)緊靠DUTl的電源端子Pl連接。另外將圖 2的電容器Cl及電源線(xiàn)Lvdd的寄生電容、電源端子Pl與基板之間的電容等的合成電容統(tǒng)稱(chēng)為負(fù)載電容Q。另外，在實(shí)施方式的電源裝置100的控制中，是以已知該負(fù)載電容Q的值為前提，因此預(yù)先通過(guò)實(shí)際測(cè)量或仿真(simulation)等而求出其值。此外，將對(duì)電源端子Pl 施加的電壓稱(chēng)為電源電壓Vdd。寄生參數(shù)4與在圖1中說(shuō)明的相同，示意性表示在控制輸出量\時(shí)應(yīng)考慮的參數(shù)。即，寄生參數(shù)4在實(shí)際電路中不是作為明示的要素存在。電源裝置100包括線(xiàn)性控制部10、加法器12、非線(xiàn)性控制部20、電流檢測(cè)部30、選擇器40、負(fù)載變動(dòng)檢測(cè)部42。電源裝置100可以由模擬電路構(gòu)成，也可由數(shù)字電路構(gòu)成，或者由模擬電路和數(shù)字電路混合構(gòu)成。電源裝置100根據(jù)負(fù)載的狀態(tài)控制其輸出量S。ut。輸出量S。ut表示輸出電壓Vs和輸出電流i。ut的任一者或兩者。該電源裝置100被構(gòu)成為線(xiàn)性控制模式(K和非線(xiàn)性控制模式φ‘可切換。選擇器40在線(xiàn)性控制模式CK下選擇線(xiàn)性控制部10的輸出量s。utl(輸出電壓Vsi)，在非線(xiàn)性控制模式Φ NL下選擇非線(xiàn)性控制部20的輸出量S。ut2 (輸出電壓Vs2)， 將所選擇的一方作為輸出量s。ut (輸出電壓Vs)輸出。負(fù)載變動(dòng)檢測(cè)部42基于以電源電壓 Vdd、從電源裝置100供給到DUTl的輸出電流I。ut、電源電壓Vdd為代表的表示DUTl狀態(tài)的信號(hào)，控制選擇器40，切換線(xiàn)性控制模式(K和非線(xiàn)性控制模式Φ^1.線(xiàn)性控制模式(K在線(xiàn)性控制模式(K下，主要由加法器12及線(xiàn)性控制部10控制輸出電壓Vsi。加法器12生成表示電源電壓Vdd和其目標(biāo)值VMf的差分的差分信號(hào)Si。線(xiàn)性控制部10利用以往的線(xiàn)性控制，控制其輸出電壓Vsi (輸出量)，以使得差分信號(hào)Sl所示的差分為0、即電源電壓Vdd與目標(biāo)值VMf—致。在線(xiàn)性控制部10由數(shù)字電路構(gòu)成時(shí)，進(jìn)行PI控制、PID控制。 在線(xiàn)性控制部10由模擬電路構(gòu)成吋，可以由誤差放大器(運(yùn)算放大器)構(gòu)成加法器12，由線(xiàn)性調(diào)節(jié)器、開(kāi)關(guān)調(diào)節(jié)器(switching regulator) (DC/DC轉(zhuǎn)換器)構(gòu)成線(xiàn)性控制部10。2.非線(xiàn)性控制模式Φ‘
在非線(xiàn)性控制模式Φ‘中，主要由非線(xiàn)性控制部20及電流檢測(cè)部30控制輸出電
壓 VS2。電流檢測(cè)部30檢測(cè)從電源裝置100向DUTl輸出的輸出電流I。ut。例如電流檢測(cè)部30可以包括在輸出電流I。ut的路徑上設(shè)置的檢測(cè)電阻も、將在檢測(cè)電阻も產(chǎn)生的電壓下降\放大并檢測(cè)的放大器32。電流檢測(cè)部30輸出表示輸出電流I。ut的輸出電流檢測(cè)信號(hào) S2。非線(xiàn)性控制部20接收表示電源電壓Vdd的電壓檢測(cè)信號(hào)S3和表示輸出電流I。ut的輸出電流檢測(cè)信號(hào)S2，根據(jù)這些信號(hào)控制其輸出量S。ut2。非線(xiàn)性控制部20的工作分為第1 期間τ 1和第2期間τ 2進(jìn)行說(shuō)明。圖3是表示圖2的基于非線(xiàn)性控制部20的非線(xiàn)性控制模式Φ‘的工作的波形圖。 第1期間τ 1是從流入DUTl的電源端子Pl的負(fù)載電流ら發(fā)生變動(dòng)的第1定時(shí)t0起到負(fù)載電流込與輸出電流I。ut —致的第2定時(shí)tres的期間。第2期間τ 2是從第2定時(shí)tMS起到結(jié)束控制的第3定時(shí)tmd的期間。時(shí)刻t0以前，處于穩(wěn)定狀態(tài)，利用線(xiàn)性控制模式(K使輸出電壓Vs穩(wěn)定。在此，在 セ<セ0，將負(fù)載電流ら及輸出電流し設(shè)為0。在時(shí)刻to，負(fù)載從0急劇增加到某程度。接收到該情況后，轉(zhuǎn)移至非線(xiàn)性控制部20進(jìn)行的非線(xiàn)性控制模式Φρ在第1期間τ 1期間，Il > Iout成立。因此不足的電流Ic = (IL-I。ut)被從負(fù)載電容Q供給到DUTl的電源端子。即，電容Q以充放電電流Ic= 1「し而放電。在第1期間 τ 中陰影面積表示放電電荷量％is。ha㈣。由于第1期間τ 1中負(fù)載電容Q的放電，電源電壓Vdd比穩(wěn)定狀態(tài)降低了 Δ V。在第2定時(shí)tres以后，變成込< I。ut。由此，以電流Ic= I。ut_lL充電負(fù)載電容ら 電源電壓Vdd開(kāi)始增加。在第2期間τ 2中的充電電荷量Q。haw被標(biāo)記陰影。非線(xiàn)性控制部20控制其輸出量S。ut、即輸出電壓Vs2及輸出電流I。ut，以使得在第 1期間τ 1中被負(fù)載電容Q充放電的電荷量Qdiscto㈣與在第2期間τ 2中被負(fù)載電容Q充放電的電荷量Qctoge平衡(一致)。在負(fù)載電流レ輸出電流I。ut、放電電荷量G!dis。haw、充電電荷量Qctoge之間，式⑴、 (2)的關(guān)系式成立。并且，通過(guò)使式C3)成立來(lái)控制輸出量S。ut，從而電源電壓Vdd恢復(fù)至目標(biāo)電壓VMf。
權(quán)利要求
1.一種電源裝置，經(jīng)由電源線(xiàn)向在電源端子連接有電容器的半導(dǎo)體器件供給電力，其特征在干，該電源裝置包括電流檢測(cè)部，檢測(cè)從所述電源裝置輸出的輸出電流；非線(xiàn)性控制部，控制其輸出量，以使在第1期間所述電容器充放電的電荷量與在第2期間所述電容器充放電的電荷量平衡，所述第1期間是從流入所述半導(dǎo)體器件的電源端子的負(fù)載電流發(fā)生變動(dòng)的第1定時(shí)到所述負(fù)載電流與所述輸出電流一致的第2定時(shí)為止的期間，所述第2期間是從所述第2定時(shí)到結(jié)束控制的第3定時(shí)為止的期間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電源裝置，其特征在干，所述非線(xiàn)性控制部包括負(fù)載電流運(yùn)算部，計(jì)算流入所述半導(dǎo)體器件的電源端子的負(fù)載電流；電荷量運(yùn)算部，計(jì)算所述電容器充放電的電荷量；輸出量運(yùn)算部，基于所述負(fù)載電流及所述電荷量，計(jì)算所述輸出量，以使所述第1期間的電荷量與所述第2期間的電荷量平衡。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電源裝置，其特征在干，所述負(fù)載電流運(yùn)算部通過(guò)使所述電源端子的電源電壓的微分值乘以所述電容器的電容值，來(lái)計(jì)算出對(duì)所述電容器的充放電電流，通過(guò)從所述輸出電流減去該充放電電流來(lái)計(jì)算出所述負(fù)載電流。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電源裝置，其特征在干，所述電荷量運(yùn)算部通過(guò)對(duì)所述負(fù)載電流與所述輸出電流的差分進(jìn)行積分，來(lái)計(jì)算出所述電荷量。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電源裝置，其特征在干，所述電荷量運(yùn)算部通過(guò)對(duì)所述充放電電流積分來(lái)計(jì)算出所述電荷量。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電源裝置，其特征在干，所述第1期間的長(zhǎng)度被預(yù)先確定。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電源裝置，其特征在干，所述輸出量運(yùn)算部控制所述輸出量，以使在所述第1期間，所述輸出電流單調(diào)變化。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電源裝置，其特征在干，所述第2期間的長(zhǎng)度被預(yù)先確定。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電源裝置，其特征在干，所述輸出量運(yùn)算部控制所述輸出量，以使在所述第2期間，所述輸出電流成為恒定值。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電源裝置，其特征在干，所述輸出量運(yùn)算部控制所述輸出量，以使所述輸出電流單調(diào)變化，且在所述第2期間的終點(diǎn)即所述第3定時(shí)，所述輸出電流與所述負(fù)載電流相等。
11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電源裝置，其特征在干，所述輸出量運(yùn)算部控制所述輸出量，以使得所述輸出電流以指數(shù)函數(shù)的方式變化，且在所述第2期間的終點(diǎn)即所述第3定時(shí)，所述輸出電流與所述負(fù)載電流相等。
12.根據(jù)權(quán)利要求1 11中任一項(xiàng)所述的電源裝置，其特征在于，還包括線(xiàn)性控制部，控制其輸出量，以使得所述電源端子的電源電壓與預(yù)定的基準(zhǔn)電壓ー負(fù)載變動(dòng)檢測(cè)部，檢測(cè)負(fù)載的變動(dòng)；選擇器，接收所述線(xiàn)性控制部的輸出量和所述非線(xiàn)性控制部的輸出量，選擇并輸出與所述負(fù)載變動(dòng)檢測(cè)部的檢測(cè)結(jié)果相應(yīng)的一方。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的電源裝置，其特征在干，所述負(fù)載變動(dòng)檢測(cè)部在所述電源電壓與所述基準(zhǔn)電壓的差分大于預(yù)定的閾值電壓吋， 判斷為負(fù)載變動(dòng)狀態(tài)。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的電源裝置，其特征在干，所述負(fù)載變動(dòng)檢測(cè)部基于所述電源電壓與所述基準(zhǔn)電壓的差分，檢測(cè)負(fù)載變動(dòng)。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的電源裝置，其特征在干，所述負(fù)載變動(dòng)檢測(cè)部基于所述輸出電流檢測(cè)負(fù)載變動(dòng)。
16.根據(jù)權(quán)利要求12所述的電源裝置，其特征在干，所述負(fù)載變動(dòng)檢測(cè)部基于所述電荷量的微分值，檢測(cè)負(fù)載變動(dòng)狀態(tài)。
17.根據(jù)權(quán)利要求12所述的電源裝置，其特征在干，所述負(fù)載變動(dòng)檢測(cè)部基于所述負(fù)載電流的微分值，檢測(cè)負(fù)載變動(dòng)狀態(tài)。
18.—種測(cè)試裝置，其特征在干，包括對(duì)被測(cè)試器件供給電源的權(quán)利要求1 11中任一項(xiàng)所述的電源裝置。
19.ー種電源裝置的控制方法，該電源裝置經(jīng)由電源線(xiàn)向在電源端子連接有電容器的半導(dǎo)體器件供給電力，其特征在于，該方法包括如下步驟對(duì)從所述電源裝置的控制端子輸出的輸出電流進(jìn)行檢測(cè)；控制輸出量，以使得在第1期間所述電容器充放電的電荷量與在第2期間所述電容器充放電的電荷量平衡，所述第1期間是從流入所述半導(dǎo)體器件的電源端子的負(fù)載電流發(fā)生變動(dòng)的第1定時(shí)到所述負(fù)載電流與所述輸出電流一致的第2定時(shí)為止的期間，所述第2期間是從所述第2定時(shí)到結(jié)束控制的第3定時(shí)為止的期間。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其特征在干，控制所述輸出量的步驟包括如下步驟計(jì)算流入所述半導(dǎo)體器件的電源端子的負(fù)載電流；計(jì)算所述電容器充放電的電荷量；基于所述負(fù)載電流及所述電荷量，計(jì)算從所述控制端子輸出的所述輸出量，以使所述第1期間的電荷量與所述第2期間的電荷量平衡。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其特征在干，計(jì)算所述輸出量的步驟通過(guò)使所述電源端子的電源電壓的微分值乘以所述電容器的電容值，來(lái)計(jì)算出對(duì)所述電容器的充放電電流，通過(guò)從所述輸出電流減去所述充放電電流來(lái)計(jì)算出所述負(fù)載電流。
22.根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其特征在干，計(jì)算所述電荷量的步驟，通過(guò)對(duì)所述負(fù)載電流與所述輸出電流的差分積分，來(lái)計(jì)算出所述電荷量。
23.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其特征在干，計(jì)算所述電荷量的步驟，通過(guò)對(duì)所述充放電電流積分來(lái)計(jì)算出所述電荷量。
24.ー種電源裝置的控制方法，該電源裝置經(jīng)由電源線(xiàn)向在電源端子連接有電容器的半導(dǎo)體器件供給電力，其特征在于，該方法包括如下步驟 對(duì)從所述電源裝置的控制端子輸出的輸出電流進(jìn)行檢測(cè)； 檢測(cè)負(fù)載的變動(dòng)，判斷恒定狀態(tài)和過(guò)渡狀態(tài)；在所述負(fù)載的恒定狀態(tài)下，控制輸出量，以使所述電源端子的電源電壓與預(yù)定的基準(zhǔn)電壓一致；在所述負(fù)載的過(guò)渡狀態(tài)下，控制輸出量，以使得在第1期間所述電容器充放電的電荷量與在第2期間所述電容器充放電的電荷量平衡，所述第1期間是從流入所述半導(dǎo)體器件的電源端子的負(fù)載電流發(fā)生變動(dòng)的第1定時(shí)到所述負(fù)載電流與所述輸出電流一致的第2定時(shí)為止的期間，所述第2期間是從所述第2定時(shí)到結(jié)束控制的第3定時(shí)為止的期間。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠?qū)Π雽?dǎo)體器件穩(wěn)定供給電源的電源裝置、其控制方法以及使用它們的測(cè)試裝置。負(fù)載電容(CL)與被測(cè)試器件(DUT1)的電源端子連接。電流檢測(cè)部(30)檢測(cè)從電源裝置(100)輸出的輸出電流(Iout)。非線(xiàn)性控制部(20)控制其輸出量(Sout2)，以使得在從流入被測(cè)試器件(DUT1)的電源端子的負(fù)載電流(IL)發(fā)生變動(dòng)的第1定時(shí)到負(fù)載電流(IL)與輸出電流(Iout)一致的第2定時(shí)為止的第1期間負(fù)載電容(CL)充放電的電荷量，與在從第2定時(shí)到結(jié)束控制的第3定時(shí)為止的第2期間負(fù)載電容(CL)充放電的電荷量平衡。
文檔編號(hào)H02M3/07GK102570799SQ20111041546
公開(kāi)日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2011年12月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月9日
發(fā)明者出川勝?gòu)? 清水貴彥 申請(qǐng)人:株式會(huì)社愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試