脈沖式單色x射線管的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種脈沖式單色X射線管，該脈沖式單色X射線管包括射線管主體Ⅰ、陰極光源Ⅱ、電子束過濾機構(gòu)III，所述陰極光源Ⅱ設(shè)置在射線管主體Ⅰ的上面，電子束過濾機構(gòu)III設(shè)置在射線管主體Ⅰ的一端。該脈沖式單色X射線管能對不同能量的電子篩選，激發(fā)射線單色性好，射線轉(zhuǎn)換效率提高，使用壽命長，整體性能穩(wěn)定，功率小。
【專利說明】
脈沖式單色X射線管
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本實用新型涉及一種新型單色X射線源，具體的說是一種脈沖式單色X射線管，主 要是應(yīng)用于X射線特征譜成像和X射線熒光光譜檢測。
【背景技術(shù)】
[0002] X射線具有波長短，穿透能力強的特點，至今為止廣泛應(yīng)用于無損檢測領(lǐng)域，包括 成像探傷、光譜檢測等。
[0003] X射線成像技術(shù)，就是利用X射線穿透能力強的特點，它能夠穿透物質(zhì)并根據(jù)穿透 物質(zhì)的質(zhì)量吸收系數(shù)大小不同，通過探測X射線的衰減程度來實現(xiàn)對物體內(nèi)部結(jié)構(gòu)的無損 成像。X射線無損檢測技術(shù)已在工業(yè)上有著非常廣泛的應(yīng)用，它既可用于金屬檢測，也用于 非金屬檢測。對產(chǎn)品內(nèi)部在制造中產(chǎn)生的缺陷，如氣泡、異物雜質(zhì)、裂紋、偏析、焊點等都可 利用射線進行檢測。應(yīng)用的行業(yè)有電子器件工業(yè)、航空航天、汽車制造、兵工、精密設(shè)備等 等。
[0004] X射線光譜技術(shù)，利用射線照射樣品，根據(jù)元素的原子序數(shù)不同，被照射后激發(fā)出 的熒光X射線能量也不同，通過探測器的接收分別測量不同射線能量強度，以用于對物質(zhì)元 素的定性、定量分析。
[0005] 在現(xiàn)今X射線無損檢測中，采用熱陰極X射線管作為源，屬于熱陰極激發(fā)電子。采用 此陰極的最大缺點是熱激發(fā)的隨機性，溫度越高，電子逸出金屬的數(shù)量越多，但由于陰極形 狀、受熱不均勻、初始電子能量不確定度等，使得在燈絲附近逸出自由電子處于一種隨機狀 態(tài)，這也是在次級X射線探測中，探測器件隨機噪聲的主要因素，脈沖式X射線管，從陰極處 改變初始電子束能量，即約束了電子撞擊靶材的能量范圍，提高出射射線源的單一性，當(dāng)激 發(fā)X射線通過檢測物后，無論成像或熒光光譜檢測，使得射線能量分布均勻，從發(fā)根本上降 低背景噪聲。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 為解決現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題，本實用新型提供了一種脈沖式單色X射線管，該 脈沖式單色X射線管能對不同能量的電子篩選，激發(fā)射線單色性好，射線轉(zhuǎn)換效率提高，使 用壽命長，整體性能穩(wěn)定，功率小。
[0007] 本實用新型技術(shù)方案如下：該脈沖式單色X射線管包括射線管主體、陰極光源、電 子束過濾機構(gòu)，所述陰極光源設(shè)置在射線管主體的上面，電子束過濾機構(gòu)設(shè)置在射線管主 體的一端。
[0008] 其中，所述的射線管主體包括外殼、設(shè)置在外殼內(nèi)的主管、設(shè)置在主管細端上的螺 線管、設(shè)置在主管細端上螺線管一側(cè)的電磁鐵、設(shè)置在主管內(nèi)的陶瓷殼、設(shè)置在陶瓷殼一端 的豎排均布排列的三個帶有電極引線的銅棒，中間銅棒穿過外殼、主管和陶瓷殼與Au陰極 結(jié)構(gòu)連接，所述Au陰極結(jié)構(gòu)由陰極環(huán)形外殼和Au陰極構(gòu)成，所述陶瓷殼上還設(shè)置有MCP電子 倍增器件，所述MCP電子倍增器件由MCP ( Φ 50 )、設(shè)置在MCP外面的MCP固定件、設(shè)置在MCP兩 側(cè)的MCP壓環(huán)A和MCP壓環(huán)B構(gòu)成。
[0009]所述的Au陰極結(jié)構(gòu)中，Au陰極通過金屬環(huán)形壓圈安裝于陰極環(huán)形外殼內(nèi)部，電極 引線從陰極環(huán)形外殼內(nèi)部引出固定在中間銅棒上并與Au陰極連接;所述的陶瓷殼的形狀為 半封閉式的六面正方體結(jié)構(gòu)，相鄰的兩面開孔，其中孔作為光源的入射端，孔作為電子束出 射端，與陰極環(huán)形外殼連接的中間銅棒穿過陶瓷殼并與其連接為一個整體。
[0010] 所述的MCP電子倍增器件上的MCP壓環(huán)A通過電極引線A與上銅棒連接、MCP壓環(huán)B通 過電極引線B與下銅棒連接。
[0011] 所述螺線管的纏繞長度為L、內(nèi)徑為D、被套在射線管主體的細端接近于MCP電子倍 增器件，螺線管引腳兩段接供電系統(tǒng)使螺線管內(nèi)部產(chǎn)生磁場，方向與電子束運動方向平行， 起到對出射電子束的方向約束；
[0012] 所述的兩塊特制電磁鐵通過U型固定件設(shè)置在射線管主體細端的上下兩側(cè)，相互 垂直，對面極性相反，兩塊特制電磁鐵間的間距為D，D為射線管主體細端直徑，磁場范圍長 度為L，強度為T，所述電磁鐵引出的供電線外接供電系統(tǒng)。
[0013] 所述的陰極光源包括方形鋁殼、通過紫外LED固定件設(shè)置在方形鋁殼內(nèi)的紫外 LED、設(shè)置在方形鋁殼下面的透鏡固定外殼、通過頂絲和彈性墊角設(shè)置在透鏡固定外殼內(nèi)的 擴束透鏡;其中所述方形鋁殼為紫外LED的安裝固定外殼，起到防止紫外線輻射與紫外LED 的散熱作用，擴束透鏡安裝在紫外LED出射口的下方，前后位置用安裝頂絲作為微調(diào)機構(gòu)， 可控制紫外光焦點在陰極的位置，調(diào)整出射電子束角度；陰極光源作為一個整體固定在射 線管主體的陰極上方。
[0014]為了保證單一能量電子束出射，在射線管主體內(nèi)部的一端設(shè)置一個電子束過濾機 構(gòu)，所述電子束過濾機構(gòu)m包括高壓接頭、連接高壓接頭的彈簧銅片、設(shè)置在主管細端中軸 線位置的固定軸、設(shè)置在主管固定軸上的電子過濾柵和環(huán)形陶瓷底座、均布設(shè)置在環(huán)形陶 瓷底座上的銅制陽極襯底、設(shè)置在銅制陽極襯底頂端的陽極靶材、連接在銅制陽極襯底另 一端的圓頭固定螺絲、連接在固定軸外端的電機。所述電子過濾柵與環(huán)形陶瓷底座為同心 同軸結(jié)構(gòu)，并將三個銅制陽極襯底固定于環(huán)形陶瓷底座上、相互間夾角為120度，電子過濾 柵上的開孔位置與三個銅制陽極襯底位置一一對應(yīng)，通過電機控制旋轉(zhuǎn)整體結(jié)構(gòu)選擇靶 材。
[0015] 所述電子過濾柵為圓形盤，在盤上相應(yīng)位置(過濾電子束出射位置)開孔，作為電 子束出射光攔，孔徑大小決定電子束的焦斑尺寸和能量范圍；本實用新型技術(shù)方案中設(shè)置 三個相同銅制陽極襯底，所述銅制陽極襯底為圓柱形結(jié)構(gòu)、上端帶有楔形斜面作為陽極材 料蒸鍍面，分別將Mg、Cr、W元素蒸鍍在楔形斜面的表面上，銅制陽極襯底下端為帶螺孔基座 的圓柱形、通過螺絲固定于環(huán)形陶瓷底座上;所述環(huán)形陶瓷底座為銅制陽極襯底的固定底 座，中心用陶瓷固定軸與電子過濾柵中心固定;所述彈簧銅片封裝固定于主管的一端側(cè)壁 邊上，一邊深入到環(huán)形陶瓷底座的下方與螺絲頭接觸，所述彈簧銅片上有凹槽作為連接觸 點、另一邊在主管外方連接高壓接頭;所述電機用于旋轉(zhuǎn)陶瓷固定軸，利用外接電路控制其 旋轉(zhuǎn)角度。
[0016] 本實用新型具有以下優(yōu)點和積極效果：
[0017] 1、傳統(tǒng)X光管采用熱激發(fā)方案，燈絲熱激發(fā)的發(fā)射電子初始能量分布也比較廣，經(jīng) 過加速后的電子束能量發(fā)布比較廣泛，因此激發(fā)出X射線能量分布隨機。本實用新型的光電 陰極代替燈絲，加上電子過濾系統(tǒng)，能將不同能量的電子篩選，激發(fā)射線單色性好。
[0018] 2、本實用新型中所屬的MCP屬于電子倍增器件，可形成大束流電子流，提高了射線 轉(zhuǎn)換效率。
[0019] 3、本實用新型中所屬的陰極從本質(zhì)上減小了熱帶來的噪聲影響而且可控因素細 致，從不同方面調(diào)節(jié)激發(fā)電子的能量、數(shù)量，改變熱激發(fā)中因溫度帶來的不確定度因素。光 電陰極調(diào)制如下:①在入射光頻率一定的情況下，飽和光電流I max的大小與入射光的強度成 正比，也就是單位時間內(nèi)被擊出的光電子數(shù)與入射光的強度成正比。②光電子的最大初動 能與入射光的強度無關(guān)，而只與入射光的頻率有關(guān)。頻率越高，光電子的能量就越大。③入 射光的頻率低于VO的光，無論光的強度如何，照射時間多長，都沒有光電子發(fā)射。（通過頻率 起到開關(guān)作用)④光的照射和光電子的釋放幾乎是同時的，一般不超過1〇_ 9秒。（改變熱激發(fā) 中預(yù)熱環(huán)節(jié)，提高效率）
[0020] 4、磁場過濾系統(tǒng)。磁場讓電子束進行偏轉(zhuǎn)的系統(tǒng)。通過Lorentz力改變電子運動方 向使得電子束變偏轉(zhuǎn)，稱為電子能量過濾系統(tǒng)。根據(jù)電子在磁場中受Lorentz力的理論得 知，能量不同的電子受力大小并不一致，如果在電子束出射位置加入一個過濾系統(tǒng)，根據(jù)計 算，把想要通過的電子束偏轉(zhuǎn)角度與出射位置計算出來并在出射位置過濾通過，即達到單 一能量電子的出射。
[0021] 5、利用光電陰極替代了傳統(tǒng)射線管中的熱陰極。傳統(tǒng)熱陰極射線管采用的是W材 料作為電子發(fā)射陰極，通過提高溫度使元素內(nèi)部電子受到熱激發(fā)而變?yōu)樽杂呻娮右莩鼋饘?內(nèi)部，因此鎢燈絲的壽命比較短，一般在50~200小時之間。本實用新型中所述的陰極為光 電陰極，無需提前進行燈絲預(yù)熱，而且使用壽命長。
[0022] 6、本實用新型整體性能穩(wěn)定，功率小。
【附圖說明】
[0023] 圖1為本實用新型整體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024] 圖2為圖1中MCP電子倍增器件8的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]圖3為圖1中陶瓷殼6的放大圖。
[0026]圖4為圖1中II處放大圖。
[0027]圖5為圖1中III處放大圖。
[0028] 圖6為圖5中IV處放大圖。
[0029] 圖7為圖5中電子過濾柵上陽極靶材分布位置圖。
[0030] 圖8為本實用新型工作原理及工作電路示意圖。
[0031 ]圖中的附圖標記：1、整體結(jié)構(gòu)外殼;2、主管;3、螺線管;4、特制電磁鐵;5、銅棒與電 極引線;6、陶瓷殼;7、Au陰極結(jié)構(gòu);8、MCP電子倍增器件;9、方形鋁殼；10、紫外LED固定件； 11、紫外LED; 12、透鏡固定外殼；13、彈性墊角；14、擴束透鏡；15、頂絲；16、高壓接頭；17、電 機；18、固定軸；19、電子過濾柵;20、環(huán)形陶瓷底座;21、銅制陽極襯底;22、彈簧銅片；23、陽 極靶材;24、圓頭固定螺絲；25、MCP( Φ 50); 26、MCP固定件;27、MCP壓環(huán)A; 28、MCP壓環(huán)B; 29、X 射線。
【具體實施方式】
[0032] 由附圖1所示:該脈沖式單色X射線管包括射線管主體I、陰極光源Π 、電子束過濾 機構(gòu)III，所述陰極光源π設(shè)置在射線管主體I的上面，電子束過濾機構(gòu)m設(shè)置在射線管主 體I的一端。
[0033] 射線管主體I:
[0034] 其中，所述的射線管主體I包括外殼1、設(shè)置在外殼1內(nèi)的主管2、設(shè)置在主管2細端 上的螺線管3、設(shè)置在主管2細端上螺線管3-側(cè)的電磁鐵4、設(shè)置在主管2內(nèi)的陶瓷殼6、設(shè)置 在陶瓷殼6-端的豎排均布排列的三個帶有電極引線的銅棒5,中間銅棒5-1穿過外殼1、主 管2和陶瓷殼6與Au陰極結(jié)構(gòu)7連接，所述陰極環(huán)形外殼7-1內(nèi)設(shè)置有Au陰極7-2,所述陶瓷殼 6上還設(shè)置有MCP電子倍增器件8。
[0035] MCP結(jié)構(gòu)：
[0036] 由附圖2所示:所述MCP電子倍增器件8由MCP(〇50)25、設(shè)置在MCP25外面的MCP固 定件26、設(shè)置在MCP25兩側(cè)的MCP壓環(huán)A 27和MCP壓環(huán)B 28構(gòu)成。若在MCP壓環(huán)A27上施加一定 的電壓值，Au陰極7-2逸出的電子會經(jīng)過電場加速飛向MCP( Φ 50) 25的表面。MCP ( Φ 50) 25分 為前板電壓與后板電壓，根據(jù)前后板施加電壓不同，存在壓差，使得電子束被增益和加速， 在后面出射的增益電子數(shù)量可達到增益前的IO 5倍。實現(xiàn)了高密度電子束，提高了管流大 小。
[0037] 所述的MCP電子倍增器件8上的MCP壓環(huán)A27通過電極引線A與上銅棒5-2連接、MCP 壓環(huán)B28通過電極引線B與下銅棒5-3連接。
[0038] Au陰極結(jié)構(gòu)：
[0039]由附圖3所示:所述的Au陰極結(jié)構(gòu)7中，Au陰極7-2通過金屬環(huán)形壓圈安裝于陰極環(huán) 形外殼7-1內(nèi)部，電極引線從陰極環(huán)形外殼7-1內(nèi)部引出固定在中間銅棒5-1上并與Au陰極 7-2連接;所述的陶瓷殼6的形狀為半封閉式的六面正方體結(jié)構(gòu)、相鄰的兩面開孔，其中6-1 孔作為光源的入射端，6-2孔作為電子束出射端，與陰極環(huán)形外殼7-1連接的中間銅棒5-1穿 過陶瓷殼6并與其連接為一個整體。
[0040] 螺線管：
[0041] 所述螺線管3電子束匯聚結(jié)構(gòu)，纏繞長度為L、內(nèi)徑為D、被套在射線管主體I的細端 接近于MCP電子倍增器件8,螺線管3引腳兩段接供電系統(tǒng)使螺線管內(nèi)部產(chǎn)生磁場，方向與電 子束運動方向平行，通過模擬電子平行磁場運動時發(fā)現(xiàn)，電子是運動軌跡為螺旋形，根據(jù)施 加的磁場強度不同，電子偏轉(zhuǎn)的軌跡也不同，所以根據(jù)此類特點施加的磁場達到一定值時， 可以將剛從MCP后板出射電子束進行偏轉(zhuǎn)匯聚，起到對出射電子束的方向約束作用(此處聚 焦方式為磁聚焦，亦可改變?yōu)殡娋劢梗?br>[0042]電磁鐵：
[0043] 所述的兩塊特制電磁鐵4通過U型固定件設(shè)置在射線管主體I細端的上下兩側(cè)，相 互垂直，對面極性相反，兩塊特制電磁鐵4間的間距為D，D為射線管主體I細端直徑，磁場范 圍長度為L，強度為T，所述電磁鐵4引出的供電線外接供電系統(tǒng)。特制電磁特4平行分布在主 管的上下兩端，在管內(nèi)產(chǎn)生一個由N到S的垂直磁場區(qū)域，此區(qū)域可以將不同能量電子束進 行分離，由于磁場為單向不變的恒定磁場，則電子束只受到Lorentz力，假設(shè)忽略電子間的 相互作用，暫不考慮電場加速。電子束所受的Lorentz力：
[0044] F = -ev(k) XB
[0045] 式子中e為電子，v為速度，磁場對電子的作用和電場不同，它不作功不改變電子的 能量。本實用新型中的特制磁鐵利用Lorentz力在電子束垂直方向施加一個力，通過改變它 的大小來改變電子束運動半徑R的大小。根據(jù)經(jīng)典力學(xué)中可知?；匦霃絉:帶電粒子在勻強 磁場中僅受Lorentz力而做勾速圓周運動時，Lorentz力充當(dāng)向心力，由此可以推導(dǎo)出該圓 周運動的半徑公式：
[0046]
[0047]式子中，m為電子質(zhì)量，q為電子電量。由于Lorentz力的方向垂直于運動方向，則并 不改變電子束的能量(動能）。偏轉(zhuǎn)角度：當(dāng)電子束入射進入磁場后，設(shè)偏轉(zhuǎn)角度為α，根據(jù)公 式得知：
[0048]
[0049]式子中，L為磁場長度，這里改變電子束入射速度來改變半徑，即改變偏轉(zhuǎn)角度大 小。磁場的長度可以通過公式計算得出。由于入射電子初始能量不一致，即V不同，導(dǎo)致一些 電子運動半徑R不同。在磁場中運動過程中，會出現(xiàn)振幅的不一致。上述技術(shù)稱為電磁電子 束篩選結(jié)構(gòu)，它將電子束中不同能量的電子進行收斂分布，讓能量較為相同或近似的電子 束分布在某一焦斑(與C中電子過濾柵19過濾孔大小有關(guān))區(qū)間，這樣，在陽極電壓一定的情 況下，同一能量的電子束其運動半徑R相同，所以，經(jīng)過篩選后得到的電子束能量單一。 [0050]陰極光源π:
[0051]由附圖4所示:所述的陰極光源Π 包括方形鋁殼9、通過紫外LED固定件10設(shè)置在方 形鋁殼9內(nèi)的紫外LED11、設(shè)置在方形鋁殼9下面的透鏡固定外殼12、通過頂絲15和彈性墊角 13設(shè)置在透鏡固定外殼12內(nèi)的擴束透鏡14;其中所述方形鋁殼9為紫外LEDll的安裝固定外 殼，起到防止紫外線輻射與管的散熱作用，聚焦透鏡14安裝在紫外LEDll出射口的下方，前 后位置用安裝頂絲15作為微調(diào)機構(gòu)，可控制紫外光焦點在陰極的位置，調(diào)整出射電子束角 度；陰極光源Π 作為一個整體固定在射線管主體I的陰極7上方。選用紫外LEDll作為激發(fā)光 源，它能夠做成一種頻率、脈寬可調(diào)的脈沖式光源照射Au陰極結(jié)構(gòu)7,通過帶有一定頻率的 光照射Au陰極7-2時，會產(chǎn)生光電效應(yīng)。由Au陰極7-2內(nèi)部的電子克服勢皇逸出金屬表面，從 而在金屬表面形成自由電子，使用壽命要遠遠高于燈絲。
[0052]電子束過濾機構(gòu)III:
[0053]由附圖5、6、7所示:為了保證單一能量電子束出射，在射線管主體I的一端設(shè)置一 個電子束過濾機構(gòu)m，所述電子束過濾機構(gòu)m包括高壓接頭16、連接高壓接頭16的彈簧銅 片22、設(shè)置在主管2細端中軸線位置的固定軸18、設(shè)置在主管2固定軸18上的電子過濾柵19 和環(huán)形陶瓷底座20、均布設(shè)置在環(huán)形陶瓷底座20上的銅制陽極襯底21、設(shè)置在銅制陽極襯 底21頂端的陽極靶材23、連接在銅制陽極襯底21另一端的圓頭固定螺絲24、連接在固定軸 18外端的電機17。所述電子過濾柵19與環(huán)形陶瓷底座20為同心同軸結(jié)構(gòu)，并將三個銅制陽 極襯底21固定于環(huán)形陶瓷底座20上、相互間夾角為120度，電子過濾柵19上的開孔位置與三 個銅制陽極襯底21位置一一對應(yīng)，通過電機17控制旋轉(zhuǎn)整體結(jié)構(gòu)選擇靶材。電子束過濾結(jié) 構(gòu)與上述電磁電子束篩選結(jié)構(gòu)稱為電子束過濾系統(tǒng)。
[0054]所述電子過濾柵19為圓形盤，在盤上相應(yīng)位置(過濾電子束出射位置)開孔，作為 電子束出射光攔，孔徑大小決定焦斑尺寸;本實用新型技術(shù)方案中設(shè)置三個相同銅制陽極 襯底21，所述銅制陽極襯底21為圓柱形結(jié)構(gòu)、上端帶有楔形斜面21-1作為陽極材料蒸鍍面， 分別將Mg、Cr、W元素蒸鍍在楔形斜面21-1的表面上，銅制陽極襯底21下端為帶螺孔基座的 圓柱形用、通過螺絲固定于環(huán)形陶瓷底座20上;所述環(huán)形陶瓷底座20為銅制陽極襯底21的 固定底座，中心用陶瓷固定軸與電子過濾柵中心固定，靶材與開孔一一對應(yīng);所述彈簧銅片 22封裝固定于主管2的側(cè)壁邊上，一邊深入到環(huán)形陶瓷底座20的下方與螺絲頭接觸，所述彈 簧銅片22上有凹槽作為連接觸點、另一邊在主管2外方連接高壓;所述電機17用于旋轉(zhuǎn)陶瓷 固定軸18,利用外接電路控制其旋轉(zhuǎn)角度，封裝于主管2內(nèi)部。
[0055] 本實用新型通過調(diào)節(jié)高壓和磁場對電子束進行過濾，過濾后的電子束向靶材撞 擊。靶材在高能量電子的激發(fā)下，可以被激發(fā)出不同波長范圍的X射線，且波長范圍小，出射 的單色X射線強度強。
[0056] 電路：
[0057] 所述的X射線控制電路如圖8所示：陰極光源II由外接專用脈沖調(diào)制電源Ul對其供 電；U2為Au陰極供電電壓，電壓加在銅棒5-1上，通過電極引線與Au陰極7-2連接;U3為螺線 管3、U4為特制電磁鐵4供電電壓;Ug表示接在高壓接頭16的高壓電源電壓，高壓接頭16的外 接正高壓恥=10~501^ ;1]胃1為103前面電壓，電壓加在銅棒5-2上，通過電極引線與103壓 環(huán)A27連接;U mcp2為MCP后面電壓，電壓加在銅棒5-1上，通過電極引線與MCP壓環(huán)A28連接。 [0058]以上所述，僅為本實用新型較佳的【具體實施方式】，這些實施例僅是出于解釋說明 的目的，而不限制本實用新型的范圍和實質(zhì)。
【主權(quán)項】
1. 一種脈沖式單色X射線管，其特征在于:該脈沖式單色X射線管包括射線管主體I、陰 極光源Π 、電子束過濾機構(gòu)III，所述陰極光源Π 設(shè)置在射線管主體I的上面，電子束過濾機 構(gòu)III設(shè)置在射線管主體I的一端； 其中，所述的射線管主體I包括外殼（1)、設(shè)置在外殼（1)內(nèi)的主管(2)、設(shè)置在主管（2) 細端上的螺線管(3)、設(shè)置在主管(2)細端上螺線管(3)-側(cè)的電磁鐵(4)、設(shè)置在主管(2)內(nèi) 的陶瓷殼(6)、設(shè)置在陶瓷殼(6)-端的豎排均布排列的三個帶有電極引線的銅棒(5)，中間 銅棒(5-1)穿過外殼（1)、主管(2)和陶瓷殼(6)與Au陰極結(jié)構(gòu)(7)連接，所述Au陰極結(jié)構(gòu)(7) 由陰極環(huán)形外殼（7-1)和Au陰極（7-2)構(gòu)成，所述陶瓷殼（6)上還設(shè)置有MCP電子倍增器件 (8)，所述MCP電子倍增器件（8)由MCP(25)、設(shè)置在MCP(25)外面的MCP固定件（26)、設(shè)置在 MCP (25)兩側(cè)的MCP壓環(huán)A( 27)和MCP壓環(huán)B (28)構(gòu)成； 所述的陰極光源Π 包括方形鋁殼(9)、通過紫外LED固定件（10)設(shè)置在方形鋁殼(9)內(nèi) 的紫外LED(ll)、設(shè)置在方形鋁殼(9)下面的透鏡固定外殼（12)、通過頂絲（15)和彈性墊角 (13)設(shè)置在透鏡固定外殼（12)內(nèi)的擴束透鏡（14);其中所述方形鋁殼(9)為紫外LED(ll)的 安裝固定外殼，起到防止紫外線輻射與紫外LED(ll)的散熱作用，擴束透鏡（14)安裝在紫外 LED(ll)出射口的下方，前后位置用安裝頂絲（15)作為微調(diào)機構(gòu)，可控制紫外光焦點在陰極 的位置，調(diào)整出射電子束角度；陰極光源Π 作為一個整體固定在射線管主體I的Au陰極結(jié)構(gòu) (7)上方； 所述電子束過濾機構(gòu)III包括高壓接頭（16)、連接高壓接頭（16)的彈簧銅片(22)、設(shè)置 在主管(2)細端中軸線位置的固定軸（18)、設(shè)置在主管(2)固定軸（18)上的電子過濾柵(19) 和環(huán)形陶瓷底座(20)、均布設(shè)置在環(huán)形陶瓷底座(20)上的銅制陽極襯底(21)、設(shè)置在銅制 陽極襯底（21)頂端的陽極靶材（23)、連接在銅制陽極襯底（21)另一端的圓頭固定螺絲 (24)、連接在固定軸（18)外端的電機（17);所述電子過濾柵（19)與環(huán)形陶瓷底座(20)為同 心同軸結(jié)構(gòu)，并將三個銅制陽極襯底(21)固定于環(huán)形陶瓷底座（20)上、相互間夾角為120 度，電子過濾柵(19)上的開孔位置與三個銅制陽極襯底(21)位置一一對應(yīng)，通過電機(17) 控制旋轉(zhuǎn)整體結(jié)構(gòu)選擇靶材。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種脈沖式單色X射線管，其特征在于:所述的Au陰極結(jié)構(gòu)(7) 中，Au陰極(7-2)通過金屬環(huán)形壓圈安裝于陰極環(huán)形外殼(7-1)內(nèi)部，電極引線從陰極環(huán)形 外殼(7-1)內(nèi)部引出固定在中間銅棒(5-1)上并與Au陰極(7-2)連接;所述的陶瓷殼(6)的形 狀為半封閉式的六面正方體結(jié)構(gòu)，相鄰的兩面開孔，其中孔(6-1)作為光源的入射端，孔(6-2)作為電子束出射端，與陰極環(huán)形外殼(7-1)連接的中間銅棒(5-1)穿過陶瓷殼(6)并與其 連接為一個整體。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種脈沖式單色X射線管，其特征在于:所述的MCP電子倍增器 件(8)上的MCP壓環(huán)A(27)通過電極引線A與上銅棒(5-2)連接、MCP壓環(huán)B(28)通過電極引線B 與下銅棒(5-3)連接。4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種脈沖式單色X射線管，其特征在于:所述螺線管(3)的纏繞 長度為L、內(nèi)徑為D、被套在射線管主體I的細端接近于MCP電子倍增器件(8)，螺線管(3)引腳 兩段接供電系統(tǒng)使螺線管內(nèi)部產(chǎn)生磁場，方向與電子束運動方向平行，起到對出射電子束 的方向約束。5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種脈沖式單色X射線管，其特征在于:所述的電磁鐵(4)通過 U型固定件設(shè)置在射線管主體I細端的上下兩側(cè)，相互垂直，對面極性相反，兩塊特制電磁鐵 (4)間的間距為D，D為射線管主體I細端直徑，磁場范圍長度為L，強度為T，所述電磁鐵(4)弓丨 出的供電線外接供電系統(tǒng)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種脈沖式單色X射線管，其特征在于:所述電子過濾柵（19) 為圓形盤，在盤上過濾電子束出射位置開孔，作為電子束出射光攔;所述環(huán)形陶瓷底座(20) 上設(shè)置三個相同銅制陽極襯底(21)，所述銅制陽極襯底(21)為圓柱形結(jié)構(gòu)、上端帶有楔形 斜面(21-1)作為陽極材料蒸鍍面，分別將Mg、Cr、W元素蒸鍍在楔形斜面(21-1)的表面上，銅 制陽極襯底(21)端為帶螺孔基座的圓柱形、通過螺絲固定于環(huán)形陶瓷底座（20)上;所述環(huán) 形陶瓷底座(20)為銅制陽極襯底(21)的固定底座，中心用陶瓷固定軸與電子過濾柵中心固 定;所述彈簧銅片(22)封裝固定于主管(2)的一端側(cè)壁邊上，一邊深入到環(huán)形陶瓷底座(20) 的下方與螺絲頭接觸，所述彈簧銅片(22)上有凹槽作為連接觸點、另一邊在主管(2)外方連 接高壓接頭（16);所述電機（17)用于旋轉(zhuǎn)陶瓷固定軸（18)，利用外接電路控制其旋轉(zhuǎn)角 度。
【文檔編號】H01J35/22GK205657040SQ201620065452
【公開日】2016年10月19日
【申請日】2016年1月22日 公開號201620065452.2, CN 201620065452, CN 205657040 U, CN 205657040U, CN-U-205657040, CN201620065452, CN201620065452.2, CN205657040 U, CN205657040U
【發(fā)明人】李鑫偉, 王新, 李野, 母一寧, 秦旭磊
【申請人】長春理工大學(xué), 長春云野光電科技有限責(zé)任公司