一種用于場(chǎng)掃描電鏡檢測(cè)裝置中的載物臺(tái)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于場(chǎng)掃描電鏡檢測(cè)裝置中的載物臺(tái)。它包括基座和夾持體，所述的基座上設(shè)有若干通孔，所述基座的一端上設(shè)有切角，所述夾持體的兩端均設(shè)有用于鑲嵌在通孔內(nèi)的夾持片。本實(shí)用新型的有益效果是：能夠夾持形狀規(guī)則或不規(guī)則的待測(cè)物，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝與拆卸方便，牢固可靠，定位精準(zhǔn)，實(shí)用方便，靈活可調(diào)，同時(shí)還減小了對(duì)待測(cè)物的影響，提高檢測(cè)效率，具有很高的實(shí)用價(jià)值。
【專利說(shuō)明】
一種用于場(chǎng)掃描電鏡檢測(cè)裝置中的載物臺(tái)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及材料檢測(cè)相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是指一種用于場(chǎng)掃描電鏡檢測(cè)裝置中的載物臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]在材料性能、材料失效等研究領(lǐng)域，掃描電鏡是一種重要的分析儀器，金屬材料斷口、腐蝕，纖維復(fù)合材料熱損傷、機(jī)械損傷等都是掃描電鏡分析研究的重要部分。掃描電鏡二次成像技術(shù)可用于觀察金屬材料斷口的形貌，并通過(guò)形貌判斷類型，從而對(duì)材料改性、設(shè)備安全、服役環(huán)境等提供更多的改良參考信息。用于電鏡掃描觀察的樣品應(yīng)具備導(dǎo)電性能，對(duì)于不導(dǎo)電的樣品需通過(guò)導(dǎo)電膠或鍍膜等方式使其導(dǎo)電；樣品的導(dǎo)電性能越好，成像越清晰。在進(jìn)行掃描電鏡觀察前，掃描電鏡的樣品室需要進(jìn)行抽真空處理，根據(jù)樣品狀況，抽真空需要時(shí)間也存在差異。在進(jìn)行多組樣品的觀察時(shí)，若將樣品逐一放入樣品室進(jìn)行觀察，則每次更換樣品時(shí)都需要進(jìn)行抽真空處理，如此操作，不僅觀察效率低下，且每次抽真空操作也對(duì)儀器穩(wěn)定性提出更多的要求。實(shí)際觀察時(shí)，還需要依據(jù)每次換入樣品的狀況不斷修正數(shù)據(jù)以獲取優(yōu)質(zhì)圖像?，F(xiàn)有的專利中不乏涉及可同時(shí)放置多種小型的樣品的載物臺(tái)，但因樣品多也導(dǎo)致易產(chǎn)生混淆，放大倍數(shù)達(dá)到一定狀態(tài)后，樣品混淆時(shí)有發(fā)生。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在上述的不足，提供了一種定位精準(zhǔn)且牢固可靠的用于場(chǎng)掃描電鏡檢測(cè)裝置中的載物臺(tái)。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:
[0005]—種用于場(chǎng)掃描電鏡檢測(cè)裝置中的載物臺(tái)，包括基座和夾持體，所述的基座上設(shè)有若干通孔，所述基座的一端上設(shè)有切角，所述夾持體的兩端均設(shè)有用于鑲嵌在通孔內(nèi)的夾持片。
[0006]使用時(shí)，將所需檢測(cè)的樣品置于基座上，然后通過(guò)夾持體與基座上的通孔配合進(jìn)行夾持，而通過(guò)切角的設(shè)計(jì)，能夠通過(guò)該切角來(lái)判斷基座在觀察室中的方向，便于區(qū)分樣品；而夾持體與基座的配合方式方便了夾持體的拆卸與安裝，這樣設(shè)計(jì)達(dá)到了定位精準(zhǔn)和牢固可靠的目的。
[0007]作為優(yōu)選，所述基座的形狀為長(zhǎng)方體，所述基座的其中一個(gè)角被切除形成切角，所述的通孔均勻分布在基座上。通過(guò)切角的設(shè)計(jì)，起到防錯(cuò)作用，使得基座在使用時(shí)能夠通過(guò)切角來(lái)辨別方向，從而確定樣品，不會(huì)因?yàn)槎鄻悠返姆胖枚鴮?dǎo)致樣品的混淆，提高了定位的精準(zhǔn)度。
[0008]作為優(yōu)選，所述夾持體的形狀為線性，所述的夾持體由導(dǎo)電金屬絲制作而成，所述的夾持片由導(dǎo)電片制作而成。通過(guò)導(dǎo)電金屬絲的設(shè)計(jì)，使得夾持體具有導(dǎo)電性，同時(shí)相較于導(dǎo)電膠在待測(cè)樣品表面的所占面積更小，減小了對(duì)待測(cè)樣品的影響，提高檢測(cè)效率。
[0009]作為優(yōu)選，所述通孔的內(nèi)壁由橡膠材料制作而成，所述的夾持片與通孔過(guò)盈配合。通過(guò)橡膠材料的設(shè)計(jì)，使得夾持片與通孔能夠?qū)崿F(xiàn)過(guò)盈配合，以確保待測(cè)樣品固定牢固可靠，同時(shí)還便于拆卸與安裝。
[0010]本實(shí)用新型的有益效果是:能夠夾持形狀規(guī)則或不規(guī)則的待測(cè)物，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝與拆卸方便，牢固可靠，定位精準(zhǔn)，實(shí)用方便，靈活可調(diào)，同時(shí)還減小了對(duì)待測(cè)物的影響，提尚檢測(cè)效率，具有很尚的實(shí)用價(jià)值。
【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1是本實(shí)用新型基座的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0012]圖2是本實(shí)用新型夾持體的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖中:1.基座，2.通孔，3.切角，4.夾持片，5.夾持體。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的描述。
[0015]如圖1、圖2所述的實(shí)施例中，一種用于場(chǎng)掃描電鏡檢測(cè)裝置中的載物臺(tái)，包括基座I和夾持體5，基座I上設(shè)有若干通孔2，基座I的一端上設(shè)有切角3，夾持體5的兩端均設(shè)有用于鑲嵌在通孔2內(nèi)的夾持片4?；鵌的形狀為長(zhǎng)方體，基座I的其中一個(gè)角被切除形成切角3，通孔2均勻分布在基座I上。夾持體5的形狀為線性，夾持體5由導(dǎo)電金屬絲制作而成，夾持片4由導(dǎo)電片制作而成。通孔2的內(nèi)壁由橡膠材料制作而成，夾持片4與通孔2過(guò)盈配合。
[0016]基座I的其中一個(gè)角被不規(guī)則的切除形成一個(gè)切角3，以起到防錯(cuò)作用。當(dāng)掃描電鏡開(kāi)始觀察時(shí)，可通過(guò)小倍數(shù)放大，觀察角度，尋找該切角3，以判斷基座I在觀察室中的方向，便于區(qū)分樣品。對(duì)于一些體積不大，但是密度較大，質(zhì)量較大的樣品，當(dāng)放置到基座I上時(shí)，為確保樣品能在保持狀態(tài)，不致滑落基座I，通過(guò)夾持體5將其縛于基座I上，且?jiàn)A持體5的兩端設(shè)有夾持片4可嵌入基座I上的通孔2中，從而起到穩(wěn)固樣品的效果。夾持體5為導(dǎo)電金屬絲組成，尤其適用于不導(dǎo)電或?qū)щ娦阅茌^弱的樣品，省略了鍍膜這一耗時(shí)耗力的工序，且避免了因?qū)щ娔z粘性不佳產(chǎn)生的問(wèn)題;夾持體5可根據(jù)待測(cè)物厚度不同，調(diào)整夾持片4在基座I上的通孔2位置，滿足不同厚度樣品的固定需求。對(duì)于不導(dǎo)電的待測(cè)物，使用夾持體5來(lái)夾持，較導(dǎo)電膠在待測(cè)樣品表面的所占面積更小，減小對(duì)待測(cè)樣品的影響，提高檢測(cè)效率。
[0017]工作時(shí)，將樣品放置于基座I上，根據(jù)樣品的尺寸，選擇適當(dāng)長(zhǎng)度的夾持體5，調(diào)整夾持體5上夾持片4在基座I上的嵌入通孔2位置。實(shí)驗(yàn)開(kāi)始時(shí)，通過(guò)調(diào)整觀察鏡頭確定切角3位置，便于區(qū)分樣品及觀察方向判斷。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于場(chǎng)掃描電鏡檢測(cè)裝置中的載物臺(tái)，其特征是，包括基座(I)和夾持體(5)，所述的基座(I)上設(shè)有若干通孔(2)，所述基座(I)的一端上設(shè)有切角(3)，所述夾持體(5)的兩端均設(shè)有用于鑲嵌在通孔(2)內(nèi)的夾持片(4)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于場(chǎng)掃描電鏡檢測(cè)裝置中的載物臺(tái)，其特征是，所述基座(I)的形狀為長(zhǎng)方體，所述基座(I)的其中一個(gè)角被切除形成切角(3)，所述的通孔(2)均勻分布在基座(I)上。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種用于場(chǎng)掃描電鏡檢測(cè)裝置中的載物臺(tái)，其特征是，所述夾持體(5)的形狀為線性，所述的夾持體(5)由導(dǎo)電金屬絲制作而成，所述的夾持片(4)由導(dǎo)電片制作而成。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于場(chǎng)掃描電鏡檢測(cè)裝置中的載物臺(tái)，其特征是，所述通孔(2)的內(nèi)壁由橡膠材料制作而成，所述的夾持片(4)與通孔(2)過(guò)盈配合。
【文檔編號(hào)】H01J37/28GK205564704SQ201620295222
【公開(kāi)日】2016年9月7日
【申請(qǐng)日】2016年4月8日
【發(fā)明人】廖曉玲, 劉延雷, 汪宏, 王兵, 陳濤
【申請(qǐng)人】杭州市特種設(shè)備檢測(cè)研究院