傳送機構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種傳送機構(gòu)。本實用新型的傳送機構(gòu)，包括：轉(zhuǎn)軸、輪圈以及支撐結(jié)構(gòu)；所述輪圈套設(shè)在所述轉(zhuǎn)軸的外圍，所述輪圈與所述轉(zhuǎn)軸之間形成一圈間隙，所述支撐結(jié)構(gòu)跨過所述間隙，所述輪圈通過所述支撐結(jié)構(gòu)與所述轉(zhuǎn)軸相連，且與所述轉(zhuǎn)軸共軸轉(zhuǎn)動。本實用新型實現(xiàn)了有效避免輪圈對刻蝕液的阻擋，增加刻蝕液流動均一性，提高成品率的效果。
【專利說明】
傳送機構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種傳送機構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在平板顯示及半導(dǎo)體行業(yè)中，生產(chǎn)一塊顯示屏幕需要經(jīng)過多道工序，其中，濕法處理作為一種常用的制作工序，通常采用不用的藥液對基板進(jìn)行刻蝕、顯影、剝離、清洗等處理。
[0003]在刻蝕處理的過程中，常用的處理方式有兩種:一種是浸泡式處理，即將待處理的基板浸泡于刻蝕液中；另一種是噴淋式處理，即采用噴頭等機構(gòu)向待處理的基板表面噴淋刻蝕液。在噴淋式處理過程中，當(dāng)待處理的基板面積較大時，需要使用傳送機構(gòu)來傳送待處理的基板。
[0004]相關(guān)技術(shù)中，傳送機構(gòu)分為滾軸和輪圈，由于輪圈具有一定的面積，噴淋刻蝕液的過程中，會阻擋一部分刻蝕液，使得待處理的基板表面噴淋的刻蝕液不均勻，進(jìn)而影響刻蝕效果。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]本實用新型提供一種傳送機構(gòu)，以克服噴淋刻蝕液的過程中，輪圈會阻擋一部分刻蝕液，使得待處理的基板表面噴淋的刻蝕液不均勻，進(jìn)而影響刻蝕效果的問題。
[0006]本實用新型提供一種傳送機構(gòu)，包括:轉(zhuǎn)軸、輪圈以及支撐結(jié)構(gòu)；
[0007]所述輪圈套設(shè)在所述轉(zhuǎn)軸的外圍，所述輪圈與所述轉(zhuǎn)軸之間形成一圈間隙，所述支撐結(jié)構(gòu)跨過所述間隙，所述輪圈通過所述支撐結(jié)構(gòu)與所述轉(zhuǎn)軸相連，且與所述轉(zhuǎn)軸共軸轉(zhuǎn)動。
[0008]進(jìn)一步地，上述傳送機構(gòu)中，所述支撐結(jié)構(gòu)包括連接環(huán)以及支撐件，所述連接環(huán)套接在所述轉(zhuǎn)軸上，所述連接環(huán)與所述輪圈通過所述支撐件固定連接。
[0009]進(jìn)一步地，上述傳送機構(gòu)中，所述支撐結(jié)構(gòu)還包括:螺釘；
[0010]所述連接環(huán)上設(shè)置有至少一個沿其軸向延伸的開口，且所述連接環(huán)在所述開口處斷開，每個所述開口的兩側(cè)對稱設(shè)置有螺紋孔，位于同一所述開口的兩側(cè)對稱設(shè)置的兩個所述螺紋孔均與同一所述螺釘螺紋連接。
[0011 ]進(jìn)一步地，上述傳送機構(gòu)中，所述連接環(huán)上設(shè)置有兩個所述開口，將所述連接環(huán)分割為相互獨立的兩部分。
[0012]進(jìn)一步地，上述傳送機構(gòu)中，所述連接環(huán)相互獨立的兩部分對稱設(shè)置。
[0013]進(jìn)一步地，上述傳送機構(gòu)中，所述連接環(huán)與所述轉(zhuǎn)軸中的一個上設(shè)置有沿軸向延伸的凹槽，另一個上設(shè)置有與所述凹槽相配合的凸起，所述連接環(huán)與所述轉(zhuǎn)軸通過所述凹槽與所述凸起的相互配合進(jìn)行連接且共軸轉(zhuǎn)動。
[0014]進(jìn)一步地，上述傳送機構(gòu)中，所述支撐件為片狀，且平行于所述轉(zhuǎn)軸的軸心線。
[0015]進(jìn)一步地，上述傳送機構(gòu)中，所述支撐件為桿狀。
[0016]進(jìn)一步地，上述傳送機構(gòu)中，所述支撐件至少有三個，每個所述支撐件的兩端分別連接所述輪圈以及所述連接環(huán)，且相鄰兩個所述支撐件之間的夾角均相同。
[0017]進(jìn)一步地，上述傳送機構(gòu)中，所述支撐件至少有三個，每個所述支撐件的兩端均與所述輪圈連接，每個所述支撐件的中部均與所述連接環(huán)相連，且相鄰兩個所述支撐件首尾相接。
[0018]本實用新型傳送機構(gòu)，包括轉(zhuǎn)軸、輪圈以及支撐結(jié)構(gòu)，其中輪圈套設(shè)在轉(zhuǎn)軸的外圍，輪圈與轉(zhuǎn)軸之間形成一圈間隙，支撐結(jié)構(gòu)跨過間隙，輪圈通過支撐結(jié)構(gòu)與轉(zhuǎn)軸相連，且與轉(zhuǎn)軸共軸轉(zhuǎn)動，解決了噴淋刻蝕液的過程中，輪圈會阻擋一部分刻蝕液，使得待處理的基板表面噴淋的刻蝕液不均勻，進(jìn)而影響刻蝕效果的問題，實現(xiàn)了有效避免輪圈對刻蝕液的阻擋，增加刻蝕液流動均一性，提高成品率的效果。
【附圖說明】
[0019]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0020]圖1為本實用新型傳送機構(gòu)實施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖2為本實用新型傳送機構(gòu)實施例的另一整體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]附圖標(biāo)記:
[0023]11一轉(zhuǎn)軸
[0024]111—凹槽
[0025]12—輪圈
[0026]13—支撐結(jié)構(gòu)
[0027]131—連接環(huán)
[0028]1311—凸起
[0029]132—支撐件
[0030]14 一螺釘
【具體實施方式】
[0031]為使本實用新型實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。
[0032]圖1為本實用新型傳送機構(gòu)實施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為本實用新型傳送機構(gòu)實施例的另一整體結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1和圖2所示，本實施例的傳送機構(gòu)，可以包括:轉(zhuǎn)軸11、輪圈12以及支撐結(jié)構(gòu)13。
[0033]其中，輪圈12套設(shè)在轉(zhuǎn)軸11的外圍，且輪圈12與轉(zhuǎn)軸11之間形成一圈間隙，支撐結(jié)構(gòu)13跨過間隙，設(shè)置間隙的目的在于刻蝕液可以從間隙穿過，從而避免了因為輪圈12具有一定的面積使得液體堆積的情況發(fā)生，為使得輪圈12可以實現(xiàn)與轉(zhuǎn)軸11共軸運動，輪圈12需通過支撐結(jié)構(gòu)13與轉(zhuǎn)軸11相連，實現(xiàn)了當(dāng)動力裝置驅(qū)動轉(zhuǎn)軸11沿一定的方向運動時，輪圈12可以隨著轉(zhuǎn)軸11共軸轉(zhuǎn)動，從而帶動需要傳送的物體沿轉(zhuǎn)軸11轉(zhuǎn)動的方向運動，例如，當(dāng)需要對基板進(jìn)行刻蝕，將基板放置在輪圈12上方并與輪圈12接觸，啟動動力裝置后，轉(zhuǎn)軸11轉(zhuǎn)動，從而基板在輪圈12的帶動下沿輪圈12轉(zhuǎn)動方向向前運動。
[0034]為了便于支撐結(jié)構(gòu)13可以從轉(zhuǎn)軸11上安裝及拆卸，可以將支撐結(jié)構(gòu)13設(shè)置成連接環(huán)131以及支撐件132的形式，其中，連接環(huán)131套接在轉(zhuǎn)軸11上，且連接環(huán)131與輪圈12可以通過支撐件132固定連接，形成了連接環(huán)131、支撐件132和輪圈12為一體結(jié)構(gòu)的滾輪，轉(zhuǎn)軸11在動力裝置的驅(qū)動下轉(zhuǎn)動的同時，帶動連接環(huán)131、支撐件132和輪圈12轉(zhuǎn)動，實現(xiàn)了將連接環(huán)131、支撐件132和輪圈12為一體結(jié)構(gòu)的滾輪可以很方便的安裝在轉(zhuǎn)軸11上，以及當(dāng)滾輪損壞了也可以很方便的從轉(zhuǎn)軸11上拆卸下來的效果。
[0035]其中，支撐件132可以采用片狀結(jié)構(gòu)的材料，并且支撐件132需平行于轉(zhuǎn)軸11的軸心線，這樣可以最大程度上減小支撐件132在垂直于轉(zhuǎn)軸11方向的面積，實現(xiàn)了進(jìn)一步的減少液體堆積的效果。
[0036]另外，支撐件132還可以采用桿狀結(jié)構(gòu)的材料，采用桿狀的形狀相比較采用片狀的結(jié)構(gòu)，增大了支撐強度的同時，還可以使得在傳送過程中輪圈12受力均勻，使得輪圈12不易變形的效果。
[0037]為了使得支撐件132可以更好的對輪圈12起到支撐作用，可以使用至少三個支撐件132，每個支撐件132的兩端分別連接輪圈12和連接環(huán)131，并且使得相鄰的兩個支撐件132之間的夾角均相同。例如圖1所示，使用三個支撐件132，其中，每個支撐件132的兩端分別連接輪圈12和連接環(huán)131，且相鄰的兩個支撐件132之間的夾角均為120度。又例如，使用四個支撐件132，其中，每個支撐件132的兩端分別連接輪圈12和連接環(huán)131，且相鄰的兩個支撐件132之間的夾角均為90度。支撐件132采用這樣的結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)了輪圈12在轉(zhuǎn)動的過程中受力均勻，且支撐更加穩(wěn)定的效果。
[0038]還可以采用至少三個支撐件132，每個支撐件132的兩端均與輪圈12連接，每個支撐件132的中部均與連接環(huán)131相連，且相鄰兩個支撐件132首尾相接。例如圖2所示，采用三個支撐件132，每個支撐件132的兩端均與輪圈12連接，每個支撐件132的中部均與連接環(huán)131相鄰，且相鄰兩個支撐件132收尾相接，使得三個支撐件132形成等邊三角形的結(jié)構(gòu)。實現(xiàn)了輪圈12在轉(zhuǎn)動的過程中受力均勻，且支撐更加穩(wěn)定的效果。
[0039]為了實現(xiàn)可以控制連接環(huán)131與轉(zhuǎn)軸11之間套接的緊密程度，可以在連接環(huán)131上設(shè)置有至少一個沿其軸向延伸的開口，且連接環(huán)131在開口處斷開，并在每個開口的兩側(cè)對稱設(shè)置有螺紋孔，通過使用螺釘14將位于同一開口的兩側(cè)對稱設(shè)置的兩個螺紋孔螺紋連接，實現(xiàn)了在安裝過程，可以根據(jù)使用需求，通過螺釘14對連接環(huán)131與轉(zhuǎn)軸11之間套接的緊密程度進(jìn)行調(diào)節(jié)的效果。
[0040]例如，在連接環(huán)131上設(shè)置兩個開口，將連接環(huán)131分割為相互獨立的兩部分，設(shè)置成兩部分的目的在于減少安裝的步驟，實現(xiàn)了提高安裝效率的效果。并且，當(dāng)連接環(huán)131被分割成相互獨立的兩部分時，優(yōu)選采用對稱設(shè)置，如每部分分別是一個半圓弧形的環(huán)，這樣設(shè)計的目的在使用拆裝工具進(jìn)行拆裝時，操作起來更加的方便。
[0041]采用上述結(jié)構(gòu)的傳送機構(gòu)，在轉(zhuǎn)動的過程中，經(jīng)過在其上放置的物體，如基板，在重力作用下，連接環(huán)131和轉(zhuǎn)軸11發(fā)生相對轉(zhuǎn)動，而影響傳送效率，因此，可以在連接環(huán)131與轉(zhuǎn)軸11中的一個上設(shè)置有沿轉(zhuǎn)軸11軸向延伸的凹槽111，在另一個上設(shè)置有與凹槽111相配合的凸起1311。例如圖1所示，在連接環(huán)131上設(shè)置有凹槽111，在轉(zhuǎn)軸11上設(shè)置有凸起1311，在將有連接環(huán)131、支撐件132和輪圈12為一體結(jié)構(gòu)的滾輪安裝在轉(zhuǎn)軸11上時，將凸起1311與凹槽111連接，使得連接環(huán)131與轉(zhuǎn)軸11通過凹槽111與凸起1311的相互配合而進(jìn)行共軸運動。也可以在連接環(huán)131上既設(shè)置有凸起也設(shè)置有凹槽，或在轉(zhuǎn)軸上11既設(shè)置有凸起也設(shè)置有凹槽。實現(xiàn)了進(jìn)一步的提高連接環(huán)131與轉(zhuǎn)軸11之間的共軸轉(zhuǎn)動，使得轉(zhuǎn)軸11的轉(zhuǎn)動可以完全傳遞到輪圈12上，從而提高傳送效率的效果。
[0042]本實施例的傳送機構(gòu)，包括轉(zhuǎn)軸11、輪圈12以及支撐結(jié)構(gòu)13，其中輪圈12套設(shè)在轉(zhuǎn)軸11的外圍，輪圈12與轉(zhuǎn)軸11之間形成一圈間隙，支撐結(jié)構(gòu)13跨過間隙，輪圈12通過支撐結(jié)構(gòu)13與轉(zhuǎn)軸11相連，且與轉(zhuǎn)軸11共軸轉(zhuǎn)動，解決了噴淋刻蝕液的過程中，輪圈12會阻擋一部分刻蝕液，使得待處理的基板表面噴淋的刻蝕液不均勻，進(jìn)而影響刻蝕效果的問題，實現(xiàn)了有效避免輪圈12對刻蝕液的阻擋，增加刻蝕液流動均一性，提高成品率的效果。
[0043]最后應(yīng)說明的是:以上各實施例僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案，而非對其限制;盡管參照前述各實施例對本實用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對其中部分或者全部技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實用新型各實施例技術(shù)方案的范圍。
【主權(quán)項】
1.一種傳送機構(gòu)，其特征在于，包括:轉(zhuǎn)軸、輪圈以及支撐結(jié)構(gòu)； 所述輪圈套設(shè)在所述轉(zhuǎn)軸的外圍，所述輪圈與所述轉(zhuǎn)軸之間形成一圈間隙，所述支撐結(jié)構(gòu)跨過所述間隙，所述輪圈通過所述支撐結(jié)構(gòu)與所述轉(zhuǎn)軸相連，且與所述轉(zhuǎn)軸共軸轉(zhuǎn)動。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳送機構(gòu)，其特征在于，所述支撐結(jié)構(gòu)包括連接環(huán)以及支撐件， 所述連接環(huán)套接在所述轉(zhuǎn)軸上，所述連接環(huán)與所述輪圈通過所述支撐件固定連接。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳送機構(gòu)，其特征在于，所述支撐結(jié)構(gòu)還包括:螺釘； 所述連接環(huán)上設(shè)置有至少一個沿其軸向延伸的開口，且所述連接環(huán)在所述開口處斷開，每個所述開口的兩側(cè)對稱設(shè)置有螺紋孔，位于同一所述開口的兩側(cè)對稱設(shè)置的兩個所述螺紋孔均與同一所述螺釘螺紋連接。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的傳送機構(gòu)，其特征在于，所述連接環(huán)上設(shè)置有兩個所述開口，將所述連接環(huán)分割為相互獨立的兩部分。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳送機構(gòu)，其特征在于，所述連接環(huán)相互獨立的兩部分對稱設(shè)置。6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳送機構(gòu)，其特征在于，所述連接環(huán)與所述轉(zhuǎn)軸中的一個上設(shè)置有沿軸向延伸的凹槽，另一個上設(shè)置有與所述凹槽相配合的凸起，所述連接環(huán)與所述轉(zhuǎn)軸通過所述凹槽與所述凸起的相互配合進(jìn)行連接且共軸轉(zhuǎn)動。7.根據(jù)權(quán)利要求2-6中任一項所述的傳送機構(gòu)，其特征在于，所述支撐件為片狀，且平行于所述轉(zhuǎn)軸的軸心線。8.根據(jù)權(quán)利要求2-6中任一項所述的傳送機構(gòu)，其特征在于，所述支撐件為桿狀。9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的傳送機構(gòu)，其特征在于，所述支撐件至少有三個，每個所述支撐件的兩端分別連接所述輪圈以及所述連接環(huán)，且相鄰兩個所述支撐件之間的夾角均相同。10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳送機構(gòu)，其特征在于，所述支撐件至少有三個，每個所述支撐件的兩端均與所述輪圈連接，每個所述支撐件的中部均與所述連接環(huán)相連，且相鄰兩個所述支撐件首尾相接。
【文檔編號】H01L21/677GK205542733SQ201620064634
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年1月22日
【發(fā)明人】陳建都
【申請人】昆山國顯光電有限公司