一種產(chǎn)品形貌質(zhì)量管理電子顯微鏡的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種產(chǎn)品形貌質(zhì)量管理電子顯微鏡，包括聚光鏡頭、散光像差補(bǔ)償器、二次電子探測器和樣品室，電子槍下端設(shè)置有會聚光圈，所述會聚光圈一側(cè)設(shè)置有對準(zhǔn)線圈，所述對準(zhǔn)線圈下端設(shè)置有所述聚光鏡頭，所述散光像差補(bǔ)償器一側(cè)設(shè)置有偏轉(zhuǎn)線圈，產(chǎn)品聚光鏡頭一側(cè)設(shè)置有所述二次電子探測器，所述產(chǎn)品聚光鏡頭下端設(shè)置有樣品臺，樣品室下端設(shè)置有真空系統(tǒng)，終端光片一側(cè)設(shè)置有電子集成器，光電倍增器一側(cè)設(shè)置有二次電子收集器。有益效果在于：購買和維修價(jià)格便宜，成像效果清晰，可以方便企業(yè)對產(chǎn)品的質(zhì)量進(jìn)行觀察，有益于企業(yè)對產(chǎn)品質(zhì)量的管理，通過觀察不合格產(chǎn)品能夠使企業(yè)尋找出生產(chǎn)制造時(shí)出現(xiàn)的問題，及時(shí)更改，較少制造成本。
【專利說明】
一種產(chǎn)品形貌質(zhì)量管理電子顯微鏡
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型屬于產(chǎn)品質(zhì)量管理設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種產(chǎn)品形貌質(zhì)量管理電子顯微鏡。
【背景技術(shù)】
[0002]電子顯微鏡的電子束不穿過樣品，僅以電子束盡量聚焦在樣本的一小塊地方，然后一行一行地掃描樣本。入射的電子導(dǎo)致樣本表面被激發(fā)出次級電子。顯微鏡觀察的是這些每個(gè)點(diǎn)散射出來的電子，放在樣品旁的閃爍晶體接收這些次級電子，通過放大后調(diào)制顯像管的電子束強(qiáng)度，從而改變顯像管熒光屏上的亮度，顯像管的偏轉(zhuǎn)線圈與樣品表面上的電子束保持同步掃描，這樣顯像管的熒光屏就顯示出樣品表面的形貌圖像，由于這樣的顯微鏡中電子不必透射樣本，因此其電子加速的電壓不必非常高，所以在產(chǎn)品形貌質(zhì)量管理方面有著廣泛的應(yīng)用，然而現(xiàn)如今用于質(zhì)量管理的電子顯微鏡在處理樣本時(shí)可能會產(chǎn)生樣本本來沒有的結(jié)構(gòu)，這加劇了此后分析圖像的難度，制樣過程復(fù)雜、困難，制樣有損傷等問題也頻頻出現(xiàn)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供一種產(chǎn)品形貌質(zhì)量管理電子顯微鏡。
[0004]本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)上述目的:
[0005]—種產(chǎn)品形貌質(zhì)量管理電子顯微鏡，包括聚光鏡頭、散光像差補(bǔ)償器、二次電子探測器和樣品室，電子槍下端設(shè)置有會聚光圈，所述會聚光圈一側(cè)設(shè)置有對準(zhǔn)線圈，所述對準(zhǔn)線圈下端設(shè)置有所述聚光鏡頭，所述聚光鏡頭下端設(shè)置有所述散光像差補(bǔ)償器，所述散光像差補(bǔ)償器一側(cè)設(shè)置有偏轉(zhuǎn)線圈，產(chǎn)品聚光鏡頭一側(cè)設(shè)置有所述二次電子探測器，所述產(chǎn)品聚光鏡頭下端設(shè)置有樣品臺，所述樣品臺下端設(shè)置有所述樣品室，所述樣品室下端設(shè)置有真空系統(tǒng)，終端光片一側(cè)設(shè)置有電子集成器，光電倍增器一側(cè)設(shè)置有二次電子收集器。
[0006]為了進(jìn)一步提高產(chǎn)品形貌的質(zhì)量管理效果:電子槍與會聚光圈相連接，散光像差補(bǔ)償器與偏轉(zhuǎn)線圈相連接。
[0007]為了進(jìn)一步提高產(chǎn)品形貌的質(zhì)量管理效果:二次電子探測器與聚光鏡頭相連接，對準(zhǔn)線圈與會聚光圈相連接，二次電子集成器與光電倍增器相連接。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果在于:購買和維修價(jià)格便宜，成像效果清晰，可以方便企業(yè)對產(chǎn)品的質(zhì)量進(jìn)行觀察，有益于企業(yè)對產(chǎn)品質(zhì)量的管理，通過觀察不合格產(chǎn)品能夠使企業(yè)尋找出生產(chǎn)制造時(shí)出現(xiàn)的問題，及時(shí)更改，較少制造成本。
【附圖說明】
[0009]圖1是本實(shí)用新型所述一種產(chǎn)品形貌質(zhì)量管理電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖2是本實(shí)用新型所述一種產(chǎn)品形貌質(zhì)量管理電子顯微鏡的工作原理圖。
[0011]1、電子槍;2、會聚光圈；3、聚光鏡頭;4、散光像差補(bǔ)償器;5、偏轉(zhuǎn)線圈;6、二次電子探測器;7、產(chǎn)品聚光鏡頭;8、樣品臺；9、對準(zhǔn)線圈；10、樣品室；11、真空系統(tǒng)；12、終端光片；13、光電倍增器;14、電子集成器;15、二次電子收集器。
【具體實(shí)施方式】
[0012]為了便于理解本實(shí)用新型，下面將參照相關(guān)附圖對本實(shí)用新型進(jìn)行更全面的描述。附圖中給出了本實(shí)用新型的較佳的實(shí)施例。但是，本實(shí)用新型可以以許多不同的形式來實(shí)現(xiàn)，并不限于本文所描述的實(shí)施例。
[0013]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明:
[0014]如圖1-圖2所不，一種產(chǎn)品形貌質(zhì)量管理電子顯微鏡，包括聚光鏡頭3、散光像差補(bǔ)償器4、二次電子探測器6和樣品室10，電子槍I下端設(shè)置有會聚光圈2，會聚光圈2—側(cè)設(shè)置有對準(zhǔn)線圈9，對準(zhǔn)線圈9下端設(shè)置有聚光鏡頭3，聚光鏡頭3下端設(shè)置有散光像差補(bǔ)償器4，散光像差補(bǔ)償器4 一側(cè)設(shè)置有偏轉(zhuǎn)線圈5，產(chǎn)品聚光鏡頭7—側(cè)設(shè)置有二次電子探測器6，產(chǎn)品聚光鏡頭7下端設(shè)置有樣品臺8，樣品臺8下端設(shè)置有樣品室10，樣品室10下端設(shè)置有真空系統(tǒng)11，終端光片12—側(cè)設(shè)置有電子集成器14，光電倍增器13—側(cè)設(shè)置有二次電子收集器15ο
[0015]上述結(jié)構(gòu)中，從電子槍I中發(fā)出的電子束，受到聚光鏡頭3的會聚作用，縮小為狹窄的電子束射到樣品表面，此時(shí)，偏轉(zhuǎn)線圈5使電子束在樣品上做光柵狀的掃描，然后在屏幕上成像，人們就可以通過觀察產(chǎn)品的形貌對產(chǎn)品的質(zhì)量進(jìn)行初步的管理。
[0016]為了進(jìn)一步提高產(chǎn)品形貌的質(zhì)量管理效果:電子槍I與會聚光圈2相連接，散光像差補(bǔ)償器4與偏轉(zhuǎn)線圈5相連接，二次電子探測器6與聚光鏡頭3相連接，對準(zhǔn)線圈9與會聚光圈2相連接，二次電子集成器15與光電倍增器13相連接。
[0017]以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理、主要特征和優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其效物界定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種產(chǎn)品形貌質(zhì)量管理電子顯微鏡，其特征在于:包括聚光鏡頭、散光像差補(bǔ)償器、二次電子探測器和樣品室，電子槍下端設(shè)置有會聚光圈，所述會聚光圈一側(cè)設(shè)置有對準(zhǔn)線圈，所述對準(zhǔn)線圈下端設(shè)置有所述聚光鏡頭，所述聚光鏡頭下端設(shè)置有所述散光像差補(bǔ)償器，所述散光像差補(bǔ)償器一側(cè)設(shè)置有偏轉(zhuǎn)線圈，產(chǎn)品聚光鏡頭一側(cè)設(shè)置有所述二次電子探測器，所述產(chǎn)品聚光鏡頭下端設(shè)置有樣品臺，所述樣品臺下端設(shè)置有所述樣品室，所述樣品室下端設(shè)置有真空系統(tǒng)，終端光片一側(cè)設(shè)置有電子集成器，光電倍增器一側(cè)設(shè)置有二次電子收集器。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種產(chǎn)品形貌質(zhì)量管理電子顯微鏡，其特征在于:電子槍與會聚光圈相連接，散光像差補(bǔ)償器與偏轉(zhuǎn)線圈相連接。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種產(chǎn)品形貌質(zhì)量管理電子顯微鏡，其特征在于:二次電子探測器與聚光鏡頭相連接，對準(zhǔn)線圈與會聚光圈相連接，二次電子集成器與光電倍增器相連接。
【文檔編號】H01J37/28GK205488032SQ201620029012
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年1月13日
【發(fā)明人】魏曉敏
【申請人】勃利縣質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督檢驗(yàn)檢測中心