一種用于管式pecvd的新型卡點(diǎn)的制作方法
【專利摘要】一種用于管式PECVD的新型卡點(diǎn)，包括一基座，基座的兩端均設(shè)置有卡片，該卡片為多邊形結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型大大減小了遮光面積，并且多邊形結(jié)構(gòu)卡片的每個(gè)角能夠依次使用，每個(gè)卡點(diǎn)能夠多次使用，節(jié)約了成本。
【專利說明】
一種用于管式PECVD的新型卡點(diǎn)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及光電設(shè)備制造領(lǐng)域，尤其涉及一種用于管式PECVD的新型卡點(diǎn)。
【背景技術(shù)】
[0002]常規(guī)的化石燃料日益消耗殆盡，在所有的可持續(xù)能源中，太陽能無疑是一種最清潔、最普遍和最有潛力的替代能源。目前，在所有的太陽電池中，晶體硅太陽電池是得到大范圍商業(yè)推廣的太陽能電池之一，這是由于硅材料在地殼中有著極為豐富的儲(chǔ)量，同時(shí)晶體硅太陽電池相比其他類型的太陽能電池有著優(yōu)異的電學(xué)性能和機(jī)械性能，因此，晶體硅太陽電池在光伏領(lǐng)域占據(jù)著重要的地位。
[0003]在硅片上鍍膜是生產(chǎn)晶體硅太陽電池的必要工序，現(xiàn)有的管式PECVD晶體硅太陽電池生產(chǎn)當(dāng)中使用的是石墨舟圓形卡點(diǎn)，參見圖1和圖2所示，圓形卡點(diǎn)包括一圓柱形基座I和設(shè)于圓柱形基座I兩端的圓形卡片2，用于卡住石墨舟片當(dāng)中的硅片，以便在進(jìn)行放電反應(yīng)時(shí)有較良好的通電，使氮化娃沉積在娃片的表面，形成氮化娃膜。
[0004]但是，使用這種圓形卡點(diǎn)存在如下不足:(I)遮擋面積大，造成光吸收面積減小，電流相對(duì)偏低；(2)卡點(diǎn)無法確定磨損位置，不利于多次使用。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于管式PECVD的新型卡點(diǎn)。
[0006]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種用于管式PECVD的新型卡點(diǎn)，包括一基座，基座的兩端均設(shè)置有卡片，該卡片為多邊形結(jié)構(gòu)。
[0007]上述方案中，所述卡片為正六邊形結(jié)構(gòu)。
[0008]優(yōu)選地，所述基座的主體為正六棱柱，所述卡片設(shè)于正六棱柱軸向的兩端。
[0009]上述方案中，所述卡片上對(duì)應(yīng)于任意一條邊或一個(gè)角設(shè)有標(biāo)記，在使用過程中，確定一使用方向(如順時(shí)針或逆時(shí)針)，從有標(biāo)記的一角開始使用，下一周期使用下一個(gè)角，當(dāng)再次回到有標(biāo)記的一角時(shí)，說明卡片的每一個(gè)角都被使用過，即可更換新的卡點(diǎn)。
[0010]上述方案中，所述標(biāo)記為箭頭標(biāo)記。
[0011]上述方案中，所述卡片的邊緣與基座的端面之間具有用于夾持硅片的夾持卡槽。
[0012]上述方案中，在使用狀態(tài)下，所述多邊形結(jié)構(gòu)卡片的角用于夾持硅片。
[0013]上述方案中，所述卡片的主體為錐臺(tái)結(jié)構(gòu)，錐臺(tái)結(jié)構(gòu)的小頭端與基座連接。
[0014]上述方案中，所述基座的外緣尺寸大于卡片的外緣尺寸。
[0015]上述方案中，所述卡片也可采用四邊形、三角形、七邊形等，基座形狀可以與卡片的形狀相同，也可以不同。
[0016]由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):
[0017]1.本實(shí)用新型的卡片為多邊形結(jié)構(gòu)，在使用時(shí)，通過多邊形的角對(duì)硅片進(jìn)行夾持，相較于圓形卡片，大大減小了遮光面積；
[0018]2.本實(shí)用新型多邊形有多個(gè)角，每個(gè)角可以依次使用；
[0019]3.本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)新穎，使用可靠，便于維護(hù)，適于推廣。
【附圖說明】
[0020]圖1為現(xiàn)有的圓形卡點(diǎn)俯視圖。
[0021]圖2為現(xiàn)有的圓形卡點(diǎn)側(cè)視圖。
[0022]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例一俯視圖。
[0023]圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例一側(cè)視圖。
[0024]圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例一對(duì)應(yīng)的石墨片結(jié)構(gòu)圖。
[0025]圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例一與現(xiàn)有技術(shù)使用效果對(duì)比圖。
[0026]其中:1、圓柱形基座；2、圓形卡片；3、基座;4、卡片；5、夾持卡槽;6、標(biāo)記；7、石墨片;8、裝配孔;9、硅片。
【具體實(shí)施方式】
[0027]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述:
[0028]實(shí)施例一:
[0029]參見圖3~6所示，一種用于管式PECVD的新型卡點(diǎn)，包括一基座3，基座3的兩端均設(shè)置有卡片4，該卡片4為正六邊形結(jié)構(gòu)。
[0030]所述基座3的主體為正六棱柱，所述卡片4設(shè)于正六棱柱軸向的兩端。
[0031]所述卡片4上對(duì)應(yīng)于任意一條邊或一個(gè)角設(shè)有標(biāo)記6，在使用過程中，確定一使用方向(如順時(shí)針或逆時(shí)針)，從有標(biāo)記6的一角開始使用，下一周期使用下一個(gè)角，當(dāng)再次回到有標(biāo)記6的一角時(shí)，說明卡片4的每一個(gè)角都被使用過，即需要更換新的卡點(diǎn)。
[0032]所述卡片4的邊緣與基座3的端面之間具有用于夾持硅片9的夾持卡槽5。
[0033]參見圖6所示，在使用狀態(tài)下，所述多邊形結(jié)構(gòu)卡片4的角用于夾持硅片9。
[0034]所述卡片4的主體為錐臺(tái)結(jié)構(gòu)，錐臺(tái)結(jié)構(gòu)的小頭端與基座3連接。
[0035]所述基座3的外緣尺寸大于卡片4的外緣尺寸。
[0036]參見圖5所示，當(dāng)基座3為正六棱柱結(jié)構(gòu)時(shí)，石墨片7上對(duì)應(yīng)于基座3開設(shè)有正六邊形的裝配孔8。
[0037]在實(shí)際應(yīng)用中，所述卡片4也可采用四邊形、正四邊形、三角形、正三角形、七邊形、正七邊形等，基座3形狀可以與卡片4的形狀相同，也可以不同。
[0038]所述標(biāo)記6為箭頭標(biāo)記。
[0039]圖6的右下角給出了在半徑相同的情況下，圓形卡片2與正六邊形的卡片4對(duì)于硅片的遮擋面積的比較，由圖可見，在半徑相同的情況下，正六邊形的卡片4對(duì)硅片9的遮擋面積比圓形卡片2對(duì)硅片9的遮擋面積小得多。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于管式PECVD的新型卡點(diǎn)，其特征在于:包括一基座，基座的兩端均設(shè)置有卡片，該卡片為多邊形結(jié)構(gòu)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于管式PECVD的新型卡點(diǎn)，其特征在于:所述卡片為正六邊形結(jié)構(gòu)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于管式PECVD的新型卡點(diǎn)，其特征在于:所述基座的主體為正六棱柱，所述卡片設(shè)于正六棱柱軸向的兩端。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于管式PECVD的新型卡點(diǎn)，其特征在于:所述卡片上對(duì)應(yīng)于任意一條邊或一個(gè)角設(shè)有標(biāo)記。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于管式PECVD的新型卡點(diǎn)，其特征在于:所述標(biāo)記為箭頭標(biāo)記。6.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的用于管式PECVD的新型卡點(diǎn)，其特征在于:所述卡片的邊緣與基座的端面之間具有用于夾持硅片的夾持卡槽。7.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的用于管式PECVD的新型卡點(diǎn)，其特征在于:在使用狀態(tài)下，所述多邊形結(jié)構(gòu)卡片的角用于夾持硅片。8.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的用于管式PECVD的新型卡點(diǎn)，其特征在于:所述卡片的主體為錐臺(tái)結(jié)構(gòu)，錐臺(tái)結(jié)構(gòu)的小頭端與基座連接。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于管式PECVD的新型卡點(diǎn)，其特征在于:所述基座的外緣尺寸大于卡片的外緣尺寸。
【文檔編號(hào)】H01L31/18GK205452326SQ201620245097
【公開日】2016年8月10日
【申請(qǐng)日】2016年3月28日
【發(fā)明人】鄭銀先, 黨繼東, 張標(biāo)
【申請(qǐng)人】鹽城阭特斯協(xié)鑫陽光電力科技有限公司