一種光耦合器電路精確快速固晶裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種光耦合器電路精確快速固晶裝置，包括在底座上設(shè)置相互對應(yīng)配合的校準(zhǔn)器和承片臺，承片臺上設(shè)置光耦合器電路，在光耦合器電路上側(cè)設(shè)置透明標(biāo)尺，所述透明標(biāo)尺包括透明板，在透明板上設(shè)有環(huán)形的第一刻度線和環(huán)形的第二刻度線，在透明板的一側(cè)還設(shè)有間隔設(shè)置的第一凹槽和第二凹槽，第一凹槽和第二凹槽均設(shè)置在第二刻度線的內(nèi)部，在透明板上還設(shè)有第三刻度線。本發(fā)明的優(yōu)點：本裝置利用透明定位卡尺，能夠快速、高精度的實現(xiàn)晶粒的定位，手動即可將光發(fā)射與光敏二極管管芯的距離偏差控制在±10μm，滿足光耦合器電路高精度的要求，操作簡單、效率較高、工裝制造成本低廉。
【專利說明】
一種光耦合器電路精確快速固晶裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及微電子封裝技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種光耦合器電路精確快速固晶裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]光耦合器電路是一種具有高靈敏度的器件，它的兩大主要參數(shù)是CTR和VISO，都與紅外LED及光敏二極管之間距離相關(guān)，因此在封裝時還必須嚴(yán)格控制光發(fā)射與光敏二極管管芯的距離，即對粘片位置精度，尤其是芯片之間間距要求極高，一般兩者間距誤差超過10μπι，成品率即會大幅下降。目前采用普通的粘片方法，多芯粒間距偏差在0.5mm以上，即使采用行業(yè)內(nèi)先進(jìn)的粘片設(shè)備，其設(shè)備定位精度位± 1ym，即單芯片粘接精度可控制在± 1ym，而多芯片粘片間距很難達(dá)到這個要求。
[0003]為解決上述問題，目前有固晶裝置以供使用的，如專利號為:201210377113.4，名稱為一種光耦合器電路精確固晶裝置的中國專利，該裝置需首先將芯片預(yù)粘接，再放在標(biāo)尺下，通過顯微鏡觀察調(diào)整芯片位置，改裝置雖然能夠解決上述技術(shù)問題，但存在以下三個缺點:a、雖然有標(biāo)尺，發(fā)光二極管和光發(fā)射芯片是否在標(biāo)尺線上對稱主要靠人為判斷，影響粘片效果;b、由于是預(yù)先點膠，然后在標(biāo)尺下調(diào)整位置，因此若預(yù)點膠(由于芯片較小，因此預(yù)點膠尺寸很小)位置相差較大，微調(diào)時芯片底部無粘片膠，或粘片膠較小，影響粘接強(qiáng)度；
C、由于粘片位置微調(diào)時依據(jù)芯片上方的對位標(biāo)尺，且使用針狀物進(jìn)行調(diào)整，粘片效率極低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是為了解決【背景技術(shù)】中所存在的等缺點，而提出的一種光耦合器電路精確快速固晶裝置。
[0005]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案:
一種光耦合器電路精確快速固晶裝置，包括底座，在底座上設(shè)置相互對應(yīng)配合的校準(zhǔn)器和承片臺，在承片臺上設(shè)置光耦合器電路，在光耦合器電路上側(cè)設(shè)置透明標(biāo)尺，校準(zhǔn)器的調(diào)節(jié)桿通過鐵絲連接透明標(biāo)尺，透明標(biāo)尺的上側(cè)對應(yīng)設(shè)置顯微鏡的鏡頭，其特征在于:所述透明標(biāo)尺包括透明板，在透明板上設(shè)有環(huán)形的第一刻度線和環(huán)形的第二刻度線，在透明板的一側(cè)還設(shè)有間隔設(shè)置的第一凹槽和第二凹槽，第一凹槽和第二凹槽均設(shè)置在第二刻度線的內(nèi)部，在透明板上還設(shè)有第三刻度線。
[0006]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，可以有以下進(jìn)一步的技術(shù)方案:
所述第一刻度線和所述第二刻度線均為圓形刻度線，所述第三刻度線為兩條平行線，且第三刻度線與第一刻度線和第二刻度線均相交。
[0007]所述第一凹槽和所述第二凹槽為兩個相應(yīng)邊對應(yīng)平行設(shè)置的方形槽，且它們對應(yīng)同一方向的兩個拐角均為L型拐角。
[0008]所述第一刻度線、所述第二刻度線和所述第三刻度線的線寬均為0.015mm。
[0009]本發(fā)明的優(yōu)點在于:本裝置利用透明定位卡尺，能夠快速、高精度的實現(xiàn)晶粒的定位，手動即可將光發(fā)射與光敏二極管管芯的距離偏差控制在±10μπι，滿足光耦合器電路高精度的要求，操作簡單、效率較高、工裝制造成本低廉，滿足光耦合器電路固晶位置、方向、間距的高精確性要求，固晶一致性高，效率高，只需簡單培訓(xùn)即可進(jìn)行操作，標(biāo)尺可以使用普通的玻璃或其他透明材質(zhì)即可制作，可以多次反復(fù)使用。
【附圖說明】
[0010]圖1是本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2是光耦合器電路結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3是透明標(biāo)尺結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0011]為了使本發(fā)明更加清楚明白，以下結(jié)合附圖對本裝置詳細(xì)說明，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0012]如圖1所示，本發(fā)明提供的一種光耦合器電路精確快速固晶裝置，包括金屬材質(zhì)的底座I，在底座I上設(shè)置相互對應(yīng)配合的校準(zhǔn)器2和承片臺5，校準(zhǔn)器2為現(xiàn)有技術(shù)，在承片臺5上設(shè)置光耦合器電路6，在光耦合器電路6上側(cè)設(shè)置透明標(biāo)尺4，校準(zhǔn)器2的調(diào)節(jié)桿2a通過鐵絲3連接透明標(biāo)尺4，透明標(biāo)尺4的上側(cè)對應(yīng)設(shè)置顯微鏡的鏡頭7。
[0013]結(jié)合圖2所示，所述光耦合器電路6包括管殼固晶板14，在管殼固晶板14的外側(cè)設(shè)有與卡槽卡接配合的密封板15，管殼固晶板14和密封板15均為圓形結(jié)構(gòu)。在密封板15的一側(cè)設(shè)有與定位槽對應(yīng)定位配合的定位板16。
[0014]結(jié)合圖3所示，所述透明標(biāo)尺4包括厚度為1.5mm的透明板8，在透明板8上設(shè)有與密封板15外框?qū)?yīng)的第一刻度線9和與管殼固晶板14外框?qū)?yīng)重合的第二刻度線10，第一刻度線9和第二刻度線10均為圓形刻度線，在透明板8的一側(cè)還設(shè)有間隔設(shè)置的第一凹槽11和第二凹槽12，第一凹槽11和第二凹槽12均設(shè)置在第二刻度線10的內(nèi)部，在透明板8上還設(shè)有第三刻度線13，第三刻度線13為兩條平行線，且第三刻度線13與第一刻度線9和第二刻度線10均相交。所述第一刻度線9、所述第二刻度線10和所述第三刻度線13均通過光刻工藝方式刻出，且線寬度均為0.015mm。第一凹槽11和第二凹槽12為兩個并排設(shè)置且相應(yīng)邊對應(yīng)平行設(shè)置的方形槽，且它們右下方的拐角均為L型拐角，兩個L型角之間的X、Y方向間距根據(jù)兩個芯片之間實際間距要求確定。
[0015]本裝置的工藝流程為:制作標(biāo)尺—對準(zhǔn)—施膠—粘接芯粒—固化。
[0016]固晶過程:首先在顯微鏡下通過調(diào)節(jié)校準(zhǔn)器2使得各刻度線與光耦合器電路6相應(yīng)的位置重合，然后在第一凹槽11和第二凹槽12處根據(jù)芯片大小進(jìn)行施膠，使用不銹鋼鑷子或真空吸筆將芯粒吸取分別放置在第一凹槽11和第二凹槽12的L型拐角處，使得芯片Χ，Υ方向緊靠L型邊上。固晶對準(zhǔn)結(jié)束后，將管殼取出待固化，固化條件根據(jù)不同粘片膠說明書要求。
【主權(quán)項】
1.一種光耦合器電路精確快速固晶裝置，包括底座(I)，在底座(I)上設(shè)置相互對應(yīng)配合的校準(zhǔn)器(2)和承片臺(5)，在承片臺(5)上設(shè)置光耦合器電路(6)，在光耦合器電路(6)上側(cè)設(shè)置透明標(biāo)尺(4)，校準(zhǔn)器(2)的調(diào)節(jié)桿(2a)通過鐵絲(3)連接透明標(biāo)尺(4)，透明標(biāo)尺(4)的上側(cè)對應(yīng)設(shè)置顯微鏡的鏡頭(7)，其特征在于:所述透明標(biāo)尺(4)包括透明板(8)，在透明板(8)上設(shè)有環(huán)形的第一刻度線(9)和環(huán)形的第二刻度線(10)，在透明板(8)的一側(cè)還設(shè)有間隔設(shè)置的第一凹槽(11)和第二凹槽(12)，第一凹槽(11)和第二凹槽(12)均設(shè)置在第二刻度線(10)的內(nèi)部，在透明板(8)上還設(shè)有第三刻度線(13)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光耦合器電路精確快速固晶裝置，其特征在于:所述第一刻度線(9)和所述第二刻度線(10)均為圓形刻度線，所述第三刻度線(13)為兩條平行線，且第三刻度線(13)與第一刻度線(9)和第二刻度線(10)均相交。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光耦合器電路精確快速固晶裝置，其特征在于:所述第一凹槽(11)和所述第二凹槽(12)為兩個相應(yīng)邊對應(yīng)平行設(shè)置的方形槽，且它們對應(yīng)同一方向的兩個拐角均為L型拐角。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光耦合器電路精確快速固晶裝置，其特征在于:所述第一刻度線(9)、所述第二刻度線(10)和所述第三刻度線(13)的線寬均為0.015mm。
【文檔編號】H01L21/68GK106057712SQ201610644076
【公開日】2016年10月26日
【申請日】2016年8月9日 公開號201610644076.7, CN 106057712 A, CN 106057712A, CN 201610644076, CN-A-106057712, CN106057712 A, CN106057712A, CN201610644076, CN201610644076.7
【發(fā)明人】張樂銀, 向圓, 李彪, 秦盼, 李炳旺, 李蘇蘇, 明源
【申請人】華東光電集成器件研究所