專利名稱：激光器諧振腔裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種激光技術，特別適用于二氧化碳激光器自適應光學模式補償激光諧振腔場合。
由于CO2激光器加工機中對激光器輸出的光束質量要求很高，希望獲得低價模運轉，而目前CO2激光器的諧振腔均采用固定面形反射鏡，很難獲得高的光束質量。激光器在高功率運行狀態(tài)時，由于激光器激活介質的折射率隨機變化以及腔反射鏡熱變形，使激光輸出功率嚴重下降和模式畸變。
針對上述現(xiàn)有技術存在的缺點，本實用新型的任務是提供一種激光器自適應光學模式補償激光諧振腔裝置。
本實用新型通過以下技術措施實施。它由變形反射鏡8和輸出鏡2構成一個諧振腔，變形反射鏡8與波前校正裝置7聯(lián)接，波前校正裝置7的輸入端與伺服控制器6的輸出端聯(lián)接，伺服控制器6的輸入端與微機5的輸出端聯(lián)接，微機5的輸入端與光電探測器4聯(lián)接，3為采樣鏡。
本實用新型的優(yōu)點(一)本裝置采用三自由度波前模式可變形反射鏡，既有利于信號處理和伺服控制，又能消除腔內絕大部相位畸變，顯著改善激光光束質量和功率。(二)熱釋電探測器以LiTaO3為材料，在高溫下工作能承受高的輻射能量，且不退極化，其物理化學性能穩(wěn)定且具有充分的余度，對激光加工機、光通信發(fā)射機的輸出光束質量和功率有明顯的改善和提高。


如下附圖1.二氧化碳激光器自適應光學模式補償激光諧振腔裝置結構原理圖。
結合附圖對本實用新型作進一步說明如下圖1為CO2激光器自適應光學模式補償激光諧振腔，激光介質1在輸出鏡2和變形反射鏡8組成的諧振腔內產(chǎn)生光振蕩，輸出激光束由采樣鏡3分出一部分光束送給光電探測器4，經(jīng)光電變換后將包含諧振腔各種隨機象差的光電信號送至微機5，伺服控制系統(tǒng)6根據(jù)微機處理結果驅動波前校正裝置7，由變形反射鏡8產(chǎn)生相應的形變，從而校正腔內隨機象差。
權利要求1.一種激光器諧振腔裝置，它由輸出鏡和反射鏡構成，其特征為所述反射鏡為變形反射鏡(8)，它與輸出鏡(2)組成一諧振腔，變形反射鏡(8)與波前校正裝置(7)聯(lián)接，波前校正裝置(7)的輸入端與伺服控制器(6)的輸出端聯(lián)接，伺服控制器(6)的輸入端與微機(5)的輸出端聯(lián)接，微機(5)的輸入端與光電探測器(4)聯(lián)接，(3)為采樣鏡。
專利摘要本實用新型涉及一種激光技術,特別適用于二氧化碳激光器自適應光學模式補償激光諧振腔場合。它由變形反射鏡與輸出鏡組成一諧振腔,變形反射鏡與波前校正裝置、伺服控制器、微機及光電探測器聯(lián)接,諧振腔一側設采樣鏡。由于采用三自由度波前模式可變形反射鏡,既有利于信號處理和伺服控制,又能消除腔內絕大部分相位畸變,顯著改善激光光束質量和功率。
文檔編號H01S3/08GK2276674SQ9620396
公開日1998年3月18日 申請日期1996年2月12日 優(yōu)先權日1996年2月12日
發(fā)明者葉嘉雄, 張國平, 張學明, 李思濤, 汪偉峰, 沈永平 申請人:華中理工大學