專利名稱:一種二氧化碳激光器的制作方法
技術領域:
本實用新型屬于電激發(fā)氣體激光器,是一種用二氧化碳做增益介質的激光器。
目前的二氧化碳為工作介質的分子激光器多為內腔式平直套管狀結構。其石英管長度約為1米長,管內充入CO2氣體和He、N2等輔助氣體,靠諧振腔內電極的放電和管端的反射鏡產生并輸出連續(xù)功率為40-50瓦的激光光源,該類激光器的輸出功率取決于諧振腔的長度和光束截面的尺寸,而諧振腔較粗長,輸出功率大,衍射損耗小的激光器,又存在著選頻性能較差,影響光的單色性和體積較大,結構復雜等不足。
本實用新型的目的在于提供一種以U型管做諧振腔,具有多塊反射鏡和支撐管架的CO2激光器,該激光器既可用于單臂放電產生激光,又能雙臂雙腔同時工作,靠合理的布置選配各反射鏡提高CO2激光器的各項性能指標,以克服現有技術所存在的不足。
本實用新型的整體結構是放電管5、水冷管4和貯氣管3同軸套裝,兩個放電管的一端相互聯接為U型,該U型管與裝置在其彎折處的轉折鏡6和兩個端口部位的反射鏡9、8構成光學諧振腔,兩組筒狀電極1、11分別安裝在諧振腔內放電管的端口處,回氣管2連通貯氣管3和諧振腔,在水冷管上還開設水嘴7。
各反射鏡的具體選配、布置是反射鏡9為全反射平面鏡,反射鏡8為部份反射鍺平面鏡,二者相互平行,兩個轉折鏡6的法線相互垂直,均為敷設半透膜的部份反射鏡。
該激光器的結構特征還有貯氣管內的回氣管2呈螺旋狀與其同軸盤繞在水冷管外壁,并在電極處與諧振腔連通,支撐管10裝接在U型管開口端與水冷管連通。
本實用新型的附圖
是U型CO2激光器結構簡圖。
附圖給出了本實用新型的實施例,結合附圖進一步說明如下該激光器主要用于產生連續(xù)功率為30-40W,譜線在106μm附近的紅外激光,石英材料制成的諧振腔的管徑約為φ35-40,U型管總長約1000mm,放電管管徑為φ10,回氣管管徑為φ5,支撐管長約120mm,即U型管寬度。筒狀電極采用銀銅合金材料制成,由一臺共陰極高壓直流電源供電,各反射鏡中除9為全反射鏡外,其余為部份反射鏡,反射率均小于1,由于該激光器以兩塊嚴格平行的反射鏡9、8為主構成兩個平行平面腔。諧振腔內充入CO2氣并添加適量He、N2氣后,當兩組電極同時放電時,在兩塊轉折反射鏡6的作用下其諧振腔有效長度相當于兩臂長度之和,輸出功率可達30瓦。只有一組電極工作時相當于兩臂長度之和,輸出功率可達30瓦。只有一組電極工作時為單臂放電,即可成為一臺輸出功率大于10瓦的激光發(fā)生器。
本實用新型所取得的技術進步是
1、由于在該激光器的諧振腔內合理布置了四個反射鏡面,雖然其管腔呈U型,但仍然可等效為一個平面平行腔CO2激光器。既可在三個較短臂腔內使激光器工作在單一縱模下,以提高光束的單色性和相干長度,又能從整體上保證其有較高的雙程增益,進而獲得較高的功率輸出。
2、本實用新型的U型開口處設置支撐管10可有效地防止因溫度的波動,機械振動,聲波以及重力等因素造的振動干擾,避免 長度形變,從而保證激光器有較好的穩(wěn)頻性。
光器可廣泛應用于精密測量,準直和全息照像、醫(yī)療 結構緊湊,各元器件布置合理和使用方便,成本低等
權利要求1.一種二氧化碳激光器,由光學諧振腔,電極和CO2工作物質組成,其特征是放電管5、水冷管4和貯氣管3同軸套裝,兩個放電管的一端相互聯接為U型,該U型管與裝置在其彎折處的轉折鏡6和兩個端口部位的反射鏡9、8構成光學諧振腔,兩組筒狀電極1、11分別安裝在諧振腔內放電管的端口處,回氣管2連通貯氣管3和諧振腔,在水冷管上還開設水嘴7。
2.根據權利要求1所述的激光器,其特征在于反射鏡9為全反射平面鏡,反射鏡8為部份反射鍺平面鏡,二者相互平行,兩個轉折鏡6的法線相互垂直,均為敷設半透膜的部份反射鏡。
3.根據權利要求1所述的激光器,其特征在于貯氣管內的回氣管2呈螺旋狀與其同軸盤繞在水冷管外壁,并在電極處與諧振腔連通,支撐管10裝接在U型管開口端與水冷管連通。
專利摘要本實用新型屬于電激發(fā)氣體激光器,是一種用CO
文檔編號H01S3/14GK2141942SQ9224077
公開日1993年9月8日 申請日期1992年11月17日 優(yōu)先權日1992年11月17日
發(fā)明者強春生 申請人:強春生