專利名稱:放置非蒸散常溫吸氣劑的方法
本發(fā)明屬于提高真空器件運(yùn)行期間的真空度的一種方法。
非蒸散常溫吸氣劑是提高真空器件運(yùn)行期間真空度的有效途徑。向真空器件內(nèi)放置非蒸散常溫吸氣劑的公知技術(shù)是在真空器件組裝過程中將非蒸散常溫吸氣劑裝入真空器件內(nèi)部，在排氣過程中用電阻加熱或高頻加熱激活。這種方法要求在真空器件內(nèi)設(shè)置專用的加熱裝置及必要的電流引入線，或者要求將非蒸散常溫吸氣劑做成易于高頻加熱的形式，并在排氣臺(tái)上裝設(shè)高頻加熱裝置。由于非蒸散常溫吸氣劑的激活溫度很高，因而它必須遠(yuǎn)離玻璃等不耐高溫或不允許強(qiáng)烈受熱的內(nèi)部購(gòu)件。用高頻加熱激活非蒸散常溫吸氣劑時(shí)，它還必須遠(yuǎn)離真空器件內(nèi)不允許強(qiáng)烈加熱的金屬構(gòu)件和盡量接近絕緣外殼。在許多場(chǎng)合下，特別是在小型真空器件中，這些要求是很難得到滿足的。美國(guó)4382646專利所述將真空器件和非蒸散常溫吸氣劑一起放入一個(gè)真空室內(nèi)。非蒸散常溫吸氣劑放在同一真空室中的一個(gè)平臺(tái)上，平臺(tái)位于真空器件外部，在排氣孔附近。平臺(tái)上還有一個(gè)從真空室外部操縱的推動(dòng)裝置。真空室達(dá)到要求的真空度時(shí)，加熱非蒸散常溫吸氣劑，使之激活。待非蒸散常溫吸氣劑冷卻后，用推動(dòng)裝置將非蒸散常溫吸氣劑推入真空器件中。最后用通常的密封材料或用冷封法封閉排氣孔。這種方法雖可防止真空器件內(nèi)部零件的過熱，但它需要復(fù)雜的裝置，不能用于大型真空器件和真空度要求高，排氣工藝復(fù)雜的真空器件。
本發(fā)明針對(duì)上述方法的缺點(diǎn)進(jìn)行改進(jìn)。本發(fā)明的要點(diǎn)是如附圖所示。用來激活和放置非蒸散常溫吸氣劑〔4〕的激活裝置〔2〕通過連接管〔22〕與被抽真空器件〔1〕相連。激活后的非蒸散常溫吸氣劑〔4〕借助于自身的重力倒入真空器件〔1〕中，最后封離真空器件〔1〕。
在真空器件〔1〕的排氣管〔11〕與排氣系統(tǒng)〔3〕的抽氣管〔31〕之間接著激活裝置〔2〕。激活裝置〔2〕的外殼是一個(gè)用玻璃等無機(jī)絕緣材料制造的真空容器〔21〕。其內(nèi)部裝有一個(gè)上端開口的金屬杯〔23〕。金屬杯〔23〕由支桿〔26〕垂直地固定著。金屬杯〔23〕周圍裝著與金屬杯〔23〕電絕緣的加熱體〔24〕，加熱體〔24〕的兩端分別與兩根電流引線〔25〕相連，電流引線〔25〕通過真空容器〔21〕的器壁伸到真空容器〔21〕的外面。激活裝置〔2〕的頂部有一連接管〔22〕與排氣管〔11〕的側(cè)壁相接。
向真空器件〔1〕中放置非蒸散常溫吸氣劑〔4〕的方法如下1、通過激活裝置〔2〕上的連接管〔22〕用適當(dāng)?shù)墓ぞ?如鑷子)將非蒸散常溫吸氣劑〔4〕放入金屬杯〔23〕中;2、將真空器件〔1〕的排氣管〔11〕封接到真空系統(tǒng)〔3〕的抽氣管〔31〕上，將激活裝置〔2〕的連接管〔22〕封接到排氣管〔11〕的側(cè)壁上。封接后的激活裝置〔2〕應(yīng)位于真空器件〔1〕的下方，非蒸散常溫吸氣劑〔4〕應(yīng)可靠地保持在上端開口的金屬杯〔23〕中;3、在排氣過程中應(yīng)對(duì)激活裝置〔2〕進(jìn)行烘烤除氣并向加熱體〔24〕通電，加熱金屬杯〔23〕，以達(dá)到激活非蒸散常溫吸氣劑〔4〕的目的;4、在〔32〕將抽氣管〔31〕封閉并切斷;5、倒轉(zhuǎn)真空器件〔1〕，使激活裝置〔2〕位于真空器件〔1〕的上方。非蒸散常溫吸氣劑〔4〕在重力作用下通過連接管〔22〕和排氣管〔11〕落到真空器件〔1〕內(nèi)，在〔12〕處將排氣管〔11〕封閉并切斷;6、取下激活裝置〔2〕。激活裝置〔2〕可反復(fù)使用。
激活裝置〔2〕中的金屬杯〔23〕也可以用高頻加熱。
本發(fā)明的方法的優(yōu)點(diǎn)是1、在非蒸散常溫吸氣劑〔4〕激活過程中，真空器件〔1〕不受熱，這使一些利用已知技術(shù)不能使用非蒸散常溫吸氣劑〔4〕的真空器件〔1〕能夠使用非蒸散常溫吸氣劑〔4〕，從而可大大提高這類真空器件〔1〕在運(yùn)行中的真空度;2、真空器件〔1〕中不需設(shè)置激活非蒸散常溫吸氣劑〔4〕用的裝置(加熱裝置等)，激活裝置〔2〕結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，并可反復(fù)使用。采用本發(fā)明的方法替代已知技術(shù)后，可大大簡(jiǎn)化真空器件〔1〕的結(jié)構(gòu)。由此降低真空器件〔1〕的造價(jià);3、本發(fā)明的方法適用于各類真空器件〔1〕和各種激活溫度的非蒸散常溫吸氣劑〔4〕。非蒸散常溫吸氣劑〔4〕可得到最佳的激活。
利用已知技術(shù)很難在玻璃外殼真空滅弧室中使用非蒸散常溫吸氣劑〔4〕，利用本發(fā)明的方法，發(fā)明者在玻璃外殼真空滅弧室內(nèi)放置了非蒸散常溫吸氣劑〔4〕，使真空滅弧室的儲(chǔ)存壽命從10年提高到30年以上
權(quán)利要求
1.一種向真空器件[1]內(nèi)放置非蒸散常溫吸氣劑[4]的方法，其特征在于用作激活和放置非蒸散常溫吸氣劑[4]的激活裝置[2]通過連接管[22]與被抽真空器件[1]相連，激活后的非蒸散常溫吸氣劑[4]借助自身的重力通過連接管[22]和排氣管[11]倒入真空器件[1]中，最后封離真空器件[1]。
2.根據(jù)權(quán)利要求
1所述，其特征在于非蒸散常溫吸氣劑〔4〕放在一個(gè)固定在激活裝置〔2〕中的，端面開口的金屬杯〔23〕內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求
2所述，其特征在于金屬杯〔23〕周圍設(shè)置可以通電的加熱體〔24〕。
4.根據(jù)權(quán)利要求
2所述，其特征在于金屬杯〔23〕可用高頻加熱。
專利摘要
本發(fā)明屬于提高真空器件運(yùn)行期間的真空度的一種方法，本發(fā)明的方法是非蒸散常溫吸氣劑〔4〕在真空器件〔1〕排氣過程中，在激活裝置〔2〕中被激活。激活裝置〔2〕通過連接管〔22〕與被抽真空器件〔1〕相連，激活后的非蒸散常溫吸氣劑〔4〕借助重力倒入真空器件〔1〕中，最后封離真空器件〔1〕。
文檔編號(hào)H01J7/18GK85104338SQ85104338
公開日1986年12月3日 申請(qǐng)日期1985年6月5日
發(fā)明者吳維忠, 羅忠全 申請(qǐng)人:西安高壓電器研究所導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan