本技術(shù)涉及靜電吸盤，尤其涉及新型靜電吸盤。

背景技術(shù)：

1、經(jīng)檢索申請?zhí)?02320607387.1公開了一種新型半導(dǎo)體靜電吸盤，包括靜電吸盤本體，所述靜電吸盤本體外表面設(shè)置方形框，方形框上端對稱開設(shè)滑槽，滑槽內(nèi)設(shè)置螺紋桿，螺紋桿左端轉(zhuǎn)動連接滑槽內(nèi)壁，螺紋桿右端穿過方形框，螺紋桿右端安裝鏈輪，兩個鏈輪外表面共套設(shè)鏈條，螺紋桿外表面套設(shè)螺紋套，螺紋套上端安裝電動伸縮桿，電動伸縮桿上端安裝匚型板，方形框上方設(shè)置移動板，移動板側(cè)面固定連接兩個匚型板。

2、該專利申請中的一種新型半導(dǎo)體靜電吸盤在使用過程中，通過將濕布和干布安在移動板下端，利用電機帶動移動板上的濕布和干布移動對靜電吸盤本體上端面進行清理，但是在這樣使用的過程中，由于濕布和干布暴露于外部，容易遭受外界灰塵等異物的污染，不僅影響濕布和干布對靜電吸盤本體的清理效果，也導(dǎo)致濕布和干布的維護頻率變高，給該設(shè)備的使用帶來了不便，為此，我們提出新型靜電吸盤。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型主要是解決上述現(xiàn)有技術(shù)所存在的技術(shù)問題，提供新型靜電吸盤。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術(shù)方案，新型靜電吸盤，包括方形框和固定安裝于方形框內(nèi)側(cè)的靜電吸盤本體，方形框上側(cè)設(shè)置有防護外殼，防護外殼底壁面開設(shè)有防護槽，防護槽內(nèi)部設(shè)置有清理機構(gòu)，清理機構(gòu)包括設(shè)置與防護槽內(nèi)部的清理傳動帶以及與清理傳動帶底端固定安裝的清理干布和清理濕布，方形框內(nèi)部開設(shè)有驅(qū)動矩形腔，驅(qū)動矩形腔內(nèi)部設(shè)置有帶動防護外殼左右移動的驅(qū)動機構(gòu)，驅(qū)動機構(gòu)包括與驅(qū)動矩形腔內(nèi)部左右兩側(cè)位置轉(zhuǎn)動連接的兩個驅(qū)動轉(zhuǎn)動桿以及設(shè)置于驅(qū)動矩形腔內(nèi)部前后兩側(cè)的兩個驅(qū)動傳動帶。

3、進一步，所述防護槽內(nèi)腔左右兩側(cè)位置轉(zhuǎn)動連接有兩個清理傳動輥，清理傳動帶連接于兩個清理傳動輥的外側(cè)。

4、進一步，所述防護外殼的前壁面固定安裝有清理電機，清理電機的輸出端延伸至防護槽內(nèi)部且與位于右側(cè)位置的清理傳動輥的前端固定安裝。

5、進一步，所述清理干布位于清理濕布的左側(cè)位置設(shè)置。

6、進一步，所述清理干布和清理濕布兩者頂端與清理傳動帶的底壁面均固定安裝有魔術(shù)貼組件。

7、進一步，兩個所述驅(qū)動轉(zhuǎn)動桿的前后兩端固定安裝有四個驅(qū)動傳動輪，兩個驅(qū)動傳動帶的左右兩端分別連接于對應(yīng)位置的驅(qū)動傳動輪外壁面上。

8、進一步，所述驅(qū)動矩形腔頂壁面前后兩側(cè)位置對稱貫穿開設(shè)有兩個線型通槽，兩個線型通槽內(nèi)部均貫穿設(shè)置有與兩個驅(qū)動傳動帶頂端固定安裝的兩個連接板，兩個連接板的頂端與防護外殼的底壁面對應(yīng)位置固定安裝。

9、進一步，所述方形框的前壁面左側(cè)位置固定安裝有驅(qū)動電機，位于左側(cè)位置的驅(qū)動轉(zhuǎn)動桿前端貫穿驅(qū)動矩形腔前內(nèi)壁面且與驅(qū)動電機的輸出端固定安裝。

10、進一步，兩個所述驅(qū)動傳動帶的頂側(cè)壁面與驅(qū)動矩形腔的頂內(nèi)壁面貼合接觸且與兩個線型通槽位置對應(yīng)。

11、有益效果

12、本實用新型提供了新型靜電吸盤。具備以下有益效果：

13、1、該新型靜電吸盤，通過設(shè)置清理機構(gòu)和驅(qū)動機構(gòu)，當(dāng)需要對靜電吸盤本體的上表面進行清理時，控制驅(qū)動電機的輸出端帶動驅(qū)動轉(zhuǎn)動桿轉(zhuǎn)動，驅(qū)動轉(zhuǎn)動桿通過驅(qū)動傳動輪帶動兩個驅(qū)動傳動帶的頂端同步向右移動，兩個驅(qū)動傳動帶的頂端通過兩個連接板帶動防護外殼帶動向右移動，防護外殼帶動清理干布和清理濕布沿著靜電吸盤本體的上表面向右移動，進而對靜電吸盤本體的上表面進行清理操作；當(dāng)清理干布和清理濕布處于閑置狀態(tài)時，控制清理電機帶動清理傳動輥轉(zhuǎn)動，迫使與清理傳動輥連接的清理傳動帶帶動清理干布和清理濕布移動至防護槽內(nèi)部形成防護，以避免外界灰塵等異物對清理干布和清理濕布造成污染，延長清理干布和清理濕布的使用時間和效果，提高該設(shè)備使用的便捷性，且清理干布和清理濕布通過魔術(shù)貼組件與清理傳動帶固定安裝，便于對清理干布和清理濕布進行拆除和更換，便于工作人員對清理干布和清理濕布進行維護操作。

14、2、該新型靜電吸盤，通過設(shè)置驅(qū)動傳動帶，由于兩個驅(qū)動傳動帶對驅(qū)動矩形腔的頂內(nèi)壁面貼合接觸對兩個線型通槽進行封堵，以避免外界灰塵等異物通過兩個線型通槽進入驅(qū)動矩形腔內(nèi)部對該設(shè)備的使用造成影響，延長該設(shè)備使用的便捷性。

技術(shù)特征：

1.新型靜電吸盤，包括方形框(10)和固定安裝于方形框(10)內(nèi)側(cè)的靜電吸盤本體(11)，其特征在于：所述方形框(10)上側(cè)設(shè)置有防護外殼(12)，防護外殼(12)底壁面開設(shè)有防護槽(13)，防護槽(13)內(nèi)部設(shè)置有清理機構(gòu)，清理機構(gòu)包括設(shè)置與防護槽(13)內(nèi)部的清理傳動帶(14)以及與清理傳動帶(14)底端固定安裝的清理干布(16)和清理濕布(17)，方形框(10)內(nèi)部開設(shè)有驅(qū)動矩形腔(19)，驅(qū)動矩形腔(19)內(nèi)部設(shè)置有帶動防護外殼(12)左右移動的驅(qū)動機構(gòu)，驅(qū)動機構(gòu)包括與驅(qū)動矩形腔(19)內(nèi)部左右兩側(cè)位置轉(zhuǎn)動連接的兩個驅(qū)動轉(zhuǎn)動桿(20)以及設(shè)置于驅(qū)動矩形腔(19)內(nèi)部前后兩側(cè)的兩個驅(qū)動傳動帶(22)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型靜電吸盤，其特征在于：所述防護槽(13)內(nèi)腔左右兩側(cè)位置轉(zhuǎn)動連接有兩個清理傳動輥(15)，清理傳動帶(14)連接于兩個清理傳動輥(15)的外側(cè)，防護外殼(12)的前壁面固定安裝有清理電機(26)，清理電機(26)的輸出端延伸至防護槽(13)內(nèi)部且與位于右側(cè)位置的清理傳動輥(15)的前端固定安裝。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型靜電吸盤，其特征在于：所述清理干布(16)位于清理濕布(17)的左側(cè)位置設(shè)置，清理干布(16)和清理濕布(17)兩者頂端與清理傳動帶(14)的底壁面均固定安裝有魔術(shù)貼組件(18)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型靜電吸盤，其特征在于：兩個所述驅(qū)動轉(zhuǎn)動桿(20)的前后兩端固定安裝有四個驅(qū)動傳動輪(21)，兩個驅(qū)動傳動帶(22)的左右兩端分別連接于對應(yīng)位置的驅(qū)動傳動輪(21)外壁面上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型靜電吸盤，其特征在于：所述驅(qū)動矩形腔(19)頂壁面前后兩側(cè)位置對稱貫穿開設(shè)有兩個線型通槽(23)，兩個線型通槽(23)內(nèi)部均貫穿設(shè)置有與兩個驅(qū)動傳動帶(22)頂端固定安裝的兩個連接板(24)，兩個連接板(24)的頂端與防護外殼(12)的底壁面對應(yīng)位置固定安裝。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型靜電吸盤，其特征在于：所述方形框(10)的前壁面左側(cè)位置固定安裝有驅(qū)動電機(25)，位于左側(cè)位置的驅(qū)動轉(zhuǎn)動桿(20)前端貫穿驅(qū)動矩形腔(19)前內(nèi)壁面且與驅(qū)動電機(25)的輸出端固定安裝。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型靜電吸盤，其特征在于：兩個所述驅(qū)動傳動帶(22)的頂側(cè)壁面與驅(qū)動矩形腔(19)的頂內(nèi)壁面貼合接觸且與兩個線型通槽(23)位置對應(yīng)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及靜電吸盤技術(shù)領(lǐng)域，且公開了新型靜電吸盤，包括方形框和固定安裝于方形框內(nèi)側(cè)的靜電吸盤本體，方形框上側(cè)設(shè)置有防護外殼，防護外殼底壁面開設(shè)有防護槽，防護槽內(nèi)部設(shè)置有清理機構(gòu)，清理機構(gòu)包括設(shè)置于防護槽內(nèi)部的清理傳動帶以及與清理傳動帶底端固定安裝的清理干布和清理濕布，驅(qū)動矩形腔內(nèi)部設(shè)置有帶動防護外殼左右移動的驅(qū)動機構(gòu)，驅(qū)動機構(gòu)包括與驅(qū)動矩形腔內(nèi)部左右兩側(cè)位置轉(zhuǎn)動連接的兩個驅(qū)動轉(zhuǎn)動桿以及設(shè)置于驅(qū)動矩形腔內(nèi)部前后兩側(cè)的兩個驅(qū)動傳動帶。本技術(shù)通過設(shè)置清理機構(gòu)和驅(qū)動機構(gòu)，以避免外界灰塵等異物對清理干布和清理濕布造成污染，延長清理干布和清理濕布的使用時間和效果，提高該設(shè)備使用的便捷性。

技術(shù)研發(fā)人員：張術(shù)生,李暉,靳旺旺
受保護的技術(shù)使用者：東莞方泰新材料技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240424
技術(shù)公布日：2024/12/19