本技術(shù)涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備，尤其涉及改進(jìn)型靜電吸盤(pán)。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體工藝中，如何保障機(jī)臺(tái)運(yùn)行過(guò)程中，各部件正常穩(wěn)定的工作，是生產(chǎn)過(guò)程中不可忽略的重點(diǎn)。靜電吸盤(pán)是一種適用于大氣或真空環(huán)境的超潔凈薄片承載體、抓取搬運(yùn)設(shè)備的總稱。靜電吸盤(pán)所使用的靜電吸附技術(shù)是一種替代傳統(tǒng)機(jī)械夾持、真空吸附方式的優(yōu)勢(shì)技術(shù)，在半導(dǎo)體、面板顯示、光學(xué)等領(lǐng)域中有著廣泛應(yīng)用。

2、由于晶圓(wafer)的尺寸要大于靜電吸盤(pán)(esc)的尺寸，在晶圓經(jīng)等離子體的轟擊后，產(chǎn)生的顆粒濺落在esc的邊緣以及側(cè)壁，由于esc是由鋁基座通過(guò)粘合劑將陶瓷表面鍵合在其表面構(gòu)成的，所以esc側(cè)壁的粘合劑物質(zhì)會(huì)受到化學(xué)氣體和離子體侵蝕而產(chǎn)生裂紋，導(dǎo)致esc側(cè)邊出現(xiàn)內(nèi)漏，對(duì)靜電吸盤(pán)的內(nèi)部造成污染，影響靜電吸盤(pán)的使用壽命。

3、為此，我們提出改進(jìn)型靜電吸盤(pán)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型主要是解決上述現(xiàn)有技術(shù)所存在的技術(shù)問(wèn)題，提供改進(jìn)型靜電吸盤(pán)。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案，改進(jìn)型靜電吸盤(pán)，包括基座組件，所述基座組件的頂部設(shè)置有靜電吸附組件，靜電吸附組件的外壁螺紋連接有密封組件，且密封組件的外壁下端與基座組件的內(nèi)壁螺紋連接，基座組件包括有底座，底座的外壁固定安裝有陶瓷面板，陶瓷面板的外壁固定安裝有第一防護(hù)層，靜電吸附組件包括有靜電吸盤(pán)本體，靜電吸盤(pán)本體的內(nèi)部設(shè)置有高壓電源，高壓電源通過(guò)電信號(hào)連接有電極板，靜電吸盤(pán)本體的外壁固定安裝有第二防護(hù)層，密封組件包括有連接密封蓋，且連接密封蓋的內(nèi)壁上端與靜電吸附組件的外壁螺紋連接，連接密封蓋的外壁下端與基座組件的內(nèi)壁上端螺紋連接。

3、作為優(yōu)選，所述連接密封蓋的內(nèi)壁上端活動(dòng)安裝有密封圈，且密封圈的內(nèi)壁與靜電吸附組件的外壁活動(dòng)連接。

4、作為優(yōu)選，所述連接密封蓋的底部活動(dòng)安裝有密封墊，且密封墊的底部與基座組件的頂部活動(dòng)連接。

5、作為優(yōu)選，所述第一防護(hù)層的材料為金屬氧化物。

6、作為優(yōu)選，所述高壓電源采用交流電源。

7、作為優(yōu)選，所述電極板的材料為銅。

8、作為優(yōu)選，所述第二防護(hù)層的材料為碳化物。

9、作為優(yōu)選，所述密封圈的材料為硅橡膠。

10、作為優(yōu)選，所述密封墊的材料為氟橡膠。

11、有益效果

12、本實(shí)用新型提供了改進(jìn)型靜電吸盤(pán)。具備以下有益效果：

13、(1)、該改進(jìn)型靜電吸盤(pán)，通過(guò)設(shè)置了基座組件、靜電吸附組件和密封組件，在基座組件的頂部設(shè)置有靜電吸附組件，靜電吸附組件的外壁螺紋連接有密封組件，密封組件的外壁下端與基座組件的內(nèi)壁螺紋連接，有效地避免了顆粒濺落導(dǎo)致的側(cè)壁裂紋導(dǎo)致靜電吸盤(pán)側(cè)邊出現(xiàn)內(nèi)漏對(duì)靜電吸盤(pán)的內(nèi)部造成污染的問(wèn)題，從而提高了靜電吸盤(pán)的使用壽命。

14、(2)、該改進(jìn)型靜電吸盤(pán)，通過(guò)設(shè)置了第二防護(hù)層，第二防護(hù)層的材料為碳化物，具有優(yōu)異的耐磨性和抗腐蝕性，可以有效保護(hù)靜電吸盤(pán)本體免受化學(xué)氣體和離子體的侵蝕。

15、(3)、該改進(jìn)型靜電吸盤(pán)，通過(guò)設(shè)置了密封圈，保證了靜電吸附組件與密封組件之間的密封性能，且密封圈的材料為硅橡膠，具有良好的耐高溫性能和耐腐蝕性能。

16、(4)、該改進(jìn)型靜電吸盤(pán)，通過(guò)設(shè)置了密封墊，增強(qiáng)了靜電吸盤(pán)的密封性能，且密封墊的材料為氟橡膠，具有優(yōu)異的耐磨性和抗腐蝕性。

17、(5)、該改進(jìn)型靜電吸盤(pán)，通過(guò)設(shè)置了第一防護(hù)層，第一防護(hù)層的材料為金屬氧化物，具有較高的硬度和耐磨性，可以有效保護(hù)陶瓷面板免受顆粒濺落的侵蝕。

技術(shù)特征：

1.改進(jìn)型靜電吸盤(pán)，包括基座組件(10)，其特征在于：所述基座組件(10)的頂部設(shè)置有靜電吸附組件(11)，靜電吸附組件(11)的外壁螺紋連接有密封組件(12)，且密封組件(12)的外壁下端與基座組件(10)的內(nèi)壁螺紋連接，基座組件(10)包括有底座(13)，底座(13)的外壁固定安裝有陶瓷面板(14)，陶瓷面板(14)的外壁固定安裝有第一防護(hù)層(15)，靜電吸附組件(11)包括有靜電吸盤(pán)本體(16)，靜電吸盤(pán)本體(16)的內(nèi)部設(shè)置有高壓電源(17)，高壓電源(17)通過(guò)電信號(hào)連接有電極板(18)，靜電吸盤(pán)本體(16)的外壁固定安裝有第二防護(hù)層(19)，密封組件(12)包括有連接密封蓋(20)，且連接密封蓋(20)的內(nèi)壁上端與靜電吸附組件(11)的外壁螺紋連接，連接密封蓋(20)的外壁下端與基座組件(10)的內(nèi)壁上端螺紋連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改進(jìn)型靜電吸盤(pán)，其特征在于：所述連接密封蓋(20)的內(nèi)壁上端活動(dòng)安裝有密封圈(21)，且密封圈(21)的內(nèi)壁與靜電吸附組件(11)的外壁活動(dòng)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改進(jìn)型靜電吸盤(pán)，其特征在于：所述連接密封蓋(20)的底部活動(dòng)安裝有密封墊(22)，且密封墊(22)的底部與基座組件(10)的頂部活動(dòng)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改進(jìn)型靜電吸盤(pán)，其特征在于：所述第一防護(hù)層(15)的材料為金屬氧化物。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改進(jìn)型靜電吸盤(pán)，其特征在于：所述高壓電源(17)采用交流電源。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改進(jìn)型靜電吸盤(pán)，其特征在于：所述電極板(18)的材料為銅。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改進(jìn)型靜電吸盤(pán)，其特征在于：所述第二防護(hù)層(19)的材料為碳化物。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的改進(jìn)型靜電吸盤(pán)，其特征在于：所述密封圈(21)的材料為硅橡膠。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的改進(jìn)型靜電吸盤(pán)，其特征在于：所述密封墊(22)的材料為氟橡膠。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，且公開(kāi)了改進(jìn)型靜電吸盤(pán)，包括基座組件，基座組件的頂部設(shè)置有靜電吸附組件，靜電吸附組件的外壁螺紋連接有密封組件，且密封組件的外壁下端與基座組件的內(nèi)壁螺紋連接，基座組件包括有底座，底座的外壁固定安裝有陶瓷面板，陶瓷面板的外壁固定安裝有第一防護(hù)層，靜電吸附組件包括有靜電吸盤(pán)本體，通過(guò)設(shè)置了基座組件、靜電吸附組件和密封組件，在基座組件的頂部設(shè)置有靜電吸附組件，靜電吸附組件的外壁螺紋連接有密封組件，密封組件的外壁下端與基座組件的內(nèi)壁螺紋連接，有效地避免了顆粒濺落導(dǎo)致的側(cè)壁裂紋導(dǎo)致靜電吸盤(pán)側(cè)邊出現(xiàn)內(nèi)漏對(duì)靜電吸盤(pán)的內(nèi)部造成污染的問(wèn)題，從而提高了靜電吸盤(pán)的使用壽命。

技術(shù)研發(fā)人員：張術(shù)生,李暉,靳旺旺
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東莞方泰新材料技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240424
技術(shù)公布日：2024/12/19