本發(fā)明屬于固晶，尤其涉及一種頂針裝置及固晶設備。

背景技術：

1、固晶機是用于半導體器件制造的設備之一，其作用是將半導體晶片與其他組件連接在一起。在固晶機工作中通常是通過供晶平臺對晶環(huán)進行支撐，然后再通過頂針裝置使晶環(huán)上的芯片與藍膜脫離，最后通過固晶吸嘴吸取晶環(huán)上的芯片，將芯片與封裝基板之間的焊點牢固連接以實現(xiàn)固晶。但是目前現(xiàn)有的頂針裝置在使用時大多存在著位置調(diào)節(jié)結構復雜以及運動可靠性低的技術問題。

技術實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種頂針裝置及固晶設備，旨在解決現(xiàn)有技術中的頂針裝置在使用時存在的位置調(diào)節(jié)結構復雜及運動可靠性低的問題。

2、本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的，第一方面，提供一種頂針裝置，上述頂針裝置包括頂針組件、底座、第一滑動座以及第二滑動座，所述第一滑動座滑動設置于所述底座，所述第二滑動座滑動設置于所述第一滑動座，所述頂針組件設置于所述第二滑動座，所述第一滑動座與所述底座之間設置有第一音圈電機，所述第一音圈電機用于驅(qū)動所述第一滑動座相對于所述底座沿第一方向滑動，所述第一滑動座與所述第二滑動座之間設置有第二音圈電機，所述第二音圈電機用于驅(qū)動所述第二滑動座相對于所述第一滑動座沿第二方向滑動，且所述第一方向與所述第二方向呈夾角設置。

3、在一個可選實施例中，所述第一滑動座與所述底座之間設置有兩個第一直線滑軌，兩所述第一直線滑軌均沿所述第一方向設置，兩所述第一直線滑軌分別位于所述第一滑動座的兩端處，所述第二滑動座于所述第一滑動座之間設置有兩個第二直線滑軌，兩所述第二直線滑軌均沿所述第二方向設置，兩所述第二直線滑軌分別位于所述第二滑動座的兩端處。

4、在一個可選實施例中，所述第一音圈電機位于兩所述第一直線滑軌之間的區(qū)域內(nèi)，且所述第一音圈電機與兩個所述第一直線滑軌之間的距離相等，所述第二音圈電機也位于兩所述第二直線滑軌之間的區(qū)域內(nèi)，且所述第二音圈電機與兩個所述第二直線滑軌之間的距離相等。

5、在一個可選實施例中，所述底座與所述第一滑動座之間設置有第一測量部，所述第一測量部用于檢測所述第一滑動座相對所述底座的位移，所述第一滑動座與所述第二滑動座之間設置還有第二測量部，所述第二測量部用于檢測所述第二滑動座相對所述第一滑動座的位移。

6、在一個可選實施例中，所述第一音圈電機與所述第二音圈電機包括定子組件與動子組件，所述動子組件活動設置于所述定子組件，所述定子組件上具有磁性部，所述動子組件上具有線圈部，所述線圈部用于在通電后與所述磁性部作用、以驅(qū)動所述動子組件沿直線方向運動。

7、在一個可選實施例中，所述定子組件上還具有安裝空間，所述磁性部設置于所述安裝空間的內(nèi)壁上，所述動子組件的至少部分活動設置于所述安裝空間內(nèi)，且相對于所述定子組件具有沿直線方向運動的自由度，所述線圈部設置于所述動子組件上位于所述安裝空間內(nèi)的部分。

8、在一個可選實施例中，所述頂針組件包括頂針支架、頂針本體與驅(qū)動結構，所述頂針本體包括固定筒與升降件，所述頂針支架設置于所述第二滑動座，所述固定筒設置于所述頂針支架上，且所述升降件活動設置于所述固定筒內(nèi)，所述驅(qū)動結構設置于所述頂針支架和/或所述第二滑動座，用于驅(qū)動所述頂針本體的活動桿沿第三方向運動。

9、在一個可選實施例中，所述驅(qū)動結構包括動力單元與驅(qū)動件，所述驅(qū)動件具有第一狀態(tài)與第二狀態(tài)，所述驅(qū)動件連接于所述動力單元的驅(qū)動端，所述動力單元用于驅(qū)動所述驅(qū)動件運動，在自所述第二狀態(tài)向第一狀態(tài)運動的過程中，所述驅(qū)動件推動所述活動桿沿第三方向運動，在自所述第一狀態(tài)向第二狀態(tài)運動的過程中，所述活動桿恢復到初始位置。

10、在一個可選實施例中，所述頂針組件還包括導向組件，所述導向組件用于避免所述活動桿發(fā)生轉動，所述導向組件包括導向件與連接件，所述導向件與所述頂針支架滑動連接，相對于所述頂針支架具有沿第三方向的自由度，所述連接件連接于所述導向件與所述活動桿之間。

11、第二方面，提供一種固晶設備，包括上述任一項所述的頂針裝置。

12、本發(fā)明相對于現(xiàn)有技術的技術效果是：底座上滑動設置有第一滑動座，在第一滑動座上滑動設置有第二滑動座，第一滑動座與底座之間設置有第一音圈電機，第一滑動座與第二滑動座之間設置有第二音圈電機，通過第一音圈電機驅(qū)動第一滑動座相對于底座沿第一方向滑動，通過第二音圈電機驅(qū)動第二滑動座相對于第一滑動座沿第二方向滑動，并且將頂針組件設置在第二滑動座上，以實現(xiàn)頂針組件位置的調(diào)整。與現(xiàn)有技術中的頂針裝置采用電機與偏心輪結構相互配合相比，第一音圈電機與第二音圈電機具有結構簡單、體積小的特點，使頂針裝置的整體結構更加簡單。且使用第一音圈電機與第二音圈電機來實現(xiàn)頂針組件位置的調(diào)整，可以減小第一滑動座與第二滑動座在運動時產(chǎn)生的震動，使第一滑動座與第二滑動座運動的更加平穩(wěn)，使第一滑動座與第二滑動座反應更加迅速，控制也更加方便精確，有效提升固晶精度和效率。

13、可以理解的是，上述第二方面的有益效果可以參見上述第一方面中的相關描述，在此不再贅述。

技術特征：

1.一種頂針裝置，其特征在于，包括頂針組件、底座、第一滑動座以及第二滑動座，所述第一滑動座滑動設置于所述底座，所述第二滑動座滑動設置于所述第一滑動座，所述頂針組件設置于所述第二滑動座，所述第一滑動座與所述底座之間設置有第一音圈電機，所述第一音圈電機用于驅(qū)動所述第一滑動座相對于所述底座沿第一方向滑動，所述第一滑動座與所述第二滑動座之間設置有第二音圈電機，所述第二音圈電機用于驅(qū)動所述第二滑動座相對于所述第一滑動座沿第二方向滑動，且所述第一方向與所述第二方向呈夾角設置。

2.如權利要求1所述的頂針裝置，其特征在于，所述第一滑動座與所述底座之間設置有兩個第一直線滑軌，兩所述第一直線滑軌均沿所述第一方向設置，兩所述第一直線滑軌分別位于所述第一滑動座的兩端處，所述第二滑動座與所述第一滑動座之間設置有兩個第二直線滑軌，兩所述第二直線滑軌均沿所述第二方向設置，兩所述第二直線滑軌分別位于所述第二滑動座的兩端處。

3.如權利要求2所述的頂針裝置，其特征在于，所述第一音圈電機位于兩個所述第一直線滑軌之間的區(qū)域內(nèi)，且所述第一音圈電機與兩個所述第一直線滑軌之間的距離相等，所述第二音圈電機也位于兩個所述第二直線滑軌之間的區(qū)域內(nèi)，且所述第二音圈電機與兩個所述第二直線滑軌之間的距離相等。

4.如權利要求3所述的頂針裝置，其特征在于，所述底座與所述第一滑動座之間設置有第一測量部，所述第一測量部用于檢測所述第一滑動座相對所述底座的位移，且所述第一滑動座與所述第二滑動座之間設置還有第二測量部，所述第二測量部用于檢測所述第二滑動座相對所述第一滑動座的位移。

5.如權利要求1所述的頂針裝置，其特征在于，所述第一音圈電機與所述第二音圈電機包括定子組件與動子組件，所述動子組件活動設置于所述定子組件，所述定子組件上具有磁性部，所述動子組件上具有線圈部，所述線圈部用于在通電后與所述磁性部作用、以驅(qū)動所述動子組件沿直線方向運動。

6.如權利要求5所述的頂針裝置，其特征在于，所述定子組件上還具有安裝空間，所述磁性部設置于所述安裝空間的內(nèi)壁上，所述動子組件的至少部分活動設置于所述安裝空間內(nèi)，且相對于所述定子組件具有沿直線方向運動的自由度，所述線圈部設置于所述動子組件上位于所述安裝空間內(nèi)的部分。

7.如權利要求1至6任一項所述的頂針裝置，其特征在于，所述頂針組件包括頂針支架、頂針本體與驅(qū)動結構，所述頂針本體包括固定筒與升降件，所述頂針支架設置于所述第二滑動座，所述固定筒設置于所述頂針支架上，且所述升降件活動設置于所述固定筒內(nèi)，所述驅(qū)動結構設置于所述頂針支架和/或所述第二滑動座，用于驅(qū)動所述頂針本體的活動桿沿第三方向運動。

8.如權利要求7所述的頂針裝置，其特征在于，所述驅(qū)動結構包括動力單元與驅(qū)動件，所述驅(qū)動件具有第一狀態(tài)與第二狀態(tài)，所述驅(qū)動件連接于所述動力單元的驅(qū)動端，所述動力單元用于驅(qū)動所述驅(qū)動件運動，在自所述第二狀態(tài)向第一狀態(tài)運動的過程中，所述驅(qū)動件推動所述活動桿沿第三方向運動，在自所述第一狀態(tài)向第二狀態(tài)運動的過程中，所述活動桿恢復到初始位置。

9.如權利要求8所述的頂針裝置，其特征在于，所述頂針組件還包括導向組件，所述導向組件用于避免所述活動桿發(fā)生轉動，所述導向組件包括導向件與連接件，所述導向件與所述頂針支架滑動連接，且相對于所述頂針支架具有沿第三方向的自由度，所述連接件連接于所述導向件與所述活動桿之間。

10.一種固晶設備，其特征在于，包括如權利要求1至9任一項所述的頂針裝置。

技術總結
本發(fā)明適用于固晶技術領域，提供了一種頂針裝置及固晶設備，上述頂針裝置包括頂針組件、底座、第一滑動座以及第二滑動座，第一滑動座滑動設置于底座，第二滑動座滑動設置于第一滑動座，頂針組件設置于第二滑動座。固晶設備包括上述任一項所述的頂針裝置。第一音圈電機與第二音圈電機具有結構簡單、體積小的特點，使頂針裝置的整體結構更加簡單。同時使用第一音圈電機與第二音圈電機來實現(xiàn)頂針組件位置的調(diào)整，可以減小第一滑動座與第二滑動座在運動時產(chǎn)生的震動，使第一滑動座與第二滑動座的運動更加平穩(wěn)，同時也可以使第一滑動座與第二滑動座的反應更加迅速，并且運動狀態(tài)的控制也更加方便精確，有效提升了固晶精度和固晶的效率。

技術研發(fā)人員：胡新平
受保護的技術使用者：中山市新益昌自動化設備有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2024/12/19