技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
提供了一種穩(wěn)定的用于制造半導(dǎo)體器件的方法。在半導(dǎo)體器件的制造方法中，首先在半導(dǎo)體襯底的存儲器單元部分和邏輯部分中的每個部分中形成具有相等寬度的鰭。然后，在利用掩膜覆蓋存儲器單元部分中的鰭的情況下刻蝕邏輯部分中的鰭，由此制造邏輯部分中的鰭，邏輯部分中的每個鰭都比存儲器單元部分中形成的鰭窄。

技術(shù)研發(fā)人員：筱原正昭
受保護的技術(shù)使用者：瑞薩電子株式會社
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.17
技術(shù)公布日：2017.09.01