一種組合冷凝板及刻蝕設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種組合冷凝板及刻蝕設(shè)備，涉及濕法刻蝕設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】。為解決由于酸性液滴滴落至基板而使基板刻蝕不均勻以及刻蝕良率不高的問題而發(fā)明。本實用新型提供的一種組合冷凝板，包括多個疊置的板體，每個所述板體的表面均開設(shè)有多個百葉孔。本實用新型組合冷凝板用于揮發(fā)性刻蝕液的濕法刻蝕設(shè)備。
【專利說明】一種組合冷凝板及刻蝕設(shè)備

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及濕法刻蝕設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種組合冷凝板及刻蝕設(shè)備。

【背景技術(shù)】
[0002]濕法刻蝕是選用具有腐蝕性的刻蝕液，對需要刻蝕的刻蝕物進行化學(xué)反應(yīng)，使無光刻膠保護的部分刻蝕物去除，把有光刻膠覆蓋的區(qū)域保存下來，從而在刻蝕物表面形成需要的圖形。濕法刻蝕是一種純化學(xué)刻蝕，具有優(yōu)良的選擇性，刻蝕完當(dāng)前區(qū)域后就會停止，而不會損壞刻蝕物其他部分，因此，濕法刻蝕廣泛應(yīng)用于玻璃基板刻蝕等領(lǐng)域。
[0003]對基板進行濕法刻蝕是在濕法刻蝕設(shè)備內(nèi)進行的，其中，可采用將基板浸潤到刻蝕液中或者將刻蝕液噴淋到基板上的方法，當(dāng)采用將刻蝕液噴淋到基板上的方法對基板進行刻蝕時，參照圖1，濕法刻蝕設(shè)備主要包括刻蝕槽01、傳輸臺02、刻蝕液噴淋裝置03以及蓋板04，刻蝕槽01底部設(shè)有刻蝕液回流管011，刻蝕槽01頂部通過蓋板04密封且蓋板04上設(shè)置了排氣口 05，其中，通過刻蝕液噴淋裝置03將刻蝕槽01內(nèi)的刻蝕液噴淋到位于傳輸臺02上的基板上并進行刻蝕反應(yīng)，當(dāng)刻蝕液為揮發(fā)性酸性刻蝕液時，由于刻蝕槽中的刻蝕液溫度較高，導(dǎo)致?lián)]發(fā)性酸性刻蝕液在噴淋的過程中揮發(fā)出溫度較高的酸氣，隨著揮發(fā)量的增多，酸氣會逐漸在刻蝕槽01上方的蓋板04上冷凝形成酸性液滴，并且酸性液滴體積逐漸變大，體積較大的酸性液滴受重力作用會滴落到基板上，導(dǎo)致基板的刻蝕不均勻，影響刻蝕工藝的良率。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型的實施例提供一種組合冷凝板及刻蝕設(shè)備，避免了酸性液滴滴落到基板而影響基板刻蝕均勻度，提高了揮發(fā)性刻蝕液的刻蝕良率。
[0005]為達到上述目的，本實用新型實施例提供了一種組合冷凝板:包括多個疊置的板體，每個所述板體的表面均開設(shè)有多個百葉孔。
[0006]進一步地，所述板體由合金材質(zhì)制成且表面涂覆超親水涂層，或所述板體由超親水材質(zhì)制成。
[0007]進一步地，各層板體上的百葉孔數(shù)量由下層板體到上層板體逐層減少。
[0008]進一步地，各層板體上的百葉孔孔徑由下層板體到上層板體逐層減小。
[0009]更進一步地，所述百葉孔的拐角處均為圓角。
[0010]進一步地，各所述百葉孔均勻分布于所述板體表面，各所述百葉孔的開口方向相同且均與板體平行。
[0011]本實用新型的實施例還提供了一種刻蝕設(shè)備，包括刻蝕槽，刻蝕槽底部設(shè)有刻蝕液回流管，刻蝕槽內(nèi)部設(shè)有傳輸臺，傳輸臺上方設(shè)有刻蝕液噴淋裝置，刻蝕槽頂部通過蓋板密封且蓋板上設(shè)有排氣口，所述排氣口連接有排氣裝置，還包括如上述技術(shù)方案中任一項所述的組合冷凝板，所述組合冷凝板密封貼合于所述蓋板的內(nèi)表面。
[0012]進一步地，所述蓋板的內(nèi)表面為斜面，所述組合冷凝板貼合于蓋板的內(nèi)表面后，組合冷凝板的百葉孔開口向斜下方傾斜。
[0013]進一步地，所述蓋板的內(nèi)表面包括兩對稱設(shè)置的斜面，兩對稱設(shè)置的斜面組成倒V型結(jié)構(gòu)，所述組合冷凝板為兩組且對稱貼合于蓋板的倒V型內(nèi)表面。
[0014]進一步地，還包括冷凝板回流管，所述冷凝板回流管一端與所述組合冷凝板的下傾斜端連接，另一端與所述刻蝕液回流管連通。
[0015]本實用新型的實施例提供的組合冷凝板和刻蝕設(shè)備，組合冷凝板包括多個疊置的板體，每個所述板體的表面均設(shè)置了多個百葉孔，將組合冷凝板應(yīng)用到刻蝕設(shè)備中，則揮發(fā)的酸氣可通過所述板體上的多個所述百葉孔，從靠近刻蝕槽的所述板體逐層到達遠(yuǎn)離刻蝕槽的各所述板體上，并在各所述板體上逐層冷凝形成酸性液滴，由此，酸氣可在多個所述板體上冷凝，增加了冷凝面積，使得各所述板體上冷凝形成的酸性液滴體積較小而不會滴落到基板，防止了酸氣在單層板體上集中冷凝而使板體上的酸性液滴體積過大而滴落至基板，另外，所述百葉孔相當(dāng)于在通孔的下方設(shè)置了擋板，從而既可讓酸氣到達各所述板體表面，又能夠增加冷凝面積，使得各所述板體的酸性液滴體積減小，同時，即使個別的酸性液滴滴落可滴落至所述百葉孔下方的擋板內(nèi)，避免了酸性液滴滴落到基板上，保證了基板刻蝕的均勻度，從而提高了揮發(fā)性刻蝕液的刻蝕良率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0017]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中刻蝕設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為本實用新型實施例組合冷凝板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖3為本實用新型實施例組合冷凝板中遠(yuǎn)離刻蝕槽的上層板體的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖4為本實用新型實施例組合冷凝板中靠近刻蝕槽的下層板體的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖5為本實用新型實施例組合冷凝板中百葉孔的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖6為本實用新型實施例刻蝕設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0023]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0024]在本實用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。
[0025]在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實用新型中的具體含義。
[0026]圖2為本實用新型實施例組合冷凝板I的一個具體實施例；參照圖2，本實施例組合冷凝板I包括多個疊置的板體11，每個板體11的表面均開設(shè)有多個百葉孔111。
[0027]參照圖2，本實用新型的實施例提供的組合冷凝板1，包括多個疊置的板體11，每個板體的表面均設(shè)置了多個百葉孔111，將組合冷凝板I應(yīng)用到刻蝕設(shè)備中，則揮發(fā)的酸氣可通過板體11上的多個百葉孔111，從靠近刻蝕槽的板體11逐層到達遠(yuǎn)離刻蝕槽的各板體11上，并在各板體11上逐層冷凝形成酸性液滴，由此，酸氣可在多個板體11上冷凝，增加了冷凝面積，使得各板體11上冷凝形成的酸性液滴體積較小而不會滴落到基板，防止了酸氣在單層板體上集中冷凝而使板體上的酸性液滴體積過大而滴落至基板，另外，百葉孔111相當(dāng)于在通孔的下方設(shè)置了擋板，從而既可讓酸氣通過百葉孔111到達各板體11表面，又能夠增加冷凝面積，使得各板體11的酸性液滴體積減小，同時，即使個別的酸性液滴滴落可滴落至百葉孔111下方的擋板內(nèi)，保證了基板刻蝕的均勻度，從而提高了揮發(fā)性刻蝕液的刻蝕良率。
[0028]由于刻蝕槽中的揮發(fā)性刻蝕液是酸性組分的水溶液，因此，高溫的刻蝕液揮發(fā)的酸氣中含有水蒸氣，同時，刻蝕液中的酸性揮發(fā)組分溶于水，因此，揮發(fā)的酸氣在各板體11上冷凝后形成了含有水的酸性液滴，為了防止酸性液滴滴落至基板上對其造成不均勻刻蝕，板體11可由超親水材質(zhì)制成，或者，板體11也可由合金材質(zhì)制成且表面涂覆超親水涂層，由此，板體11的親水性能較好，各板體11上冷凝形成的含有水的酸性液滴可聚集于各板體11上，防止了酸性液滴滴落至基板上，從而保證了基板的刻蝕均勻度。此外，板體11需具有抗酸性，保證了板體11不會被酸性液滴腐蝕。
[0029]參照圖3和圖4，進一步的，為了防止各層板體11上冷凝形成的酸性液滴滴落至基板上，各層板體11上的百葉孔111數(shù)量可由靠近刻蝕槽的下層板體11到遠(yuǎn)離刻蝕槽的上層板體11逐層減少，即離刻蝕槽最近的板體11上的百葉孔111數(shù)量最多，離刻蝕槽最遠(yuǎn)的板體11上的未開孔的面積最大，則揮發(fā)的酸氣到達靠近刻蝕槽的下層板體11后，只有較少的酸氣在下層板體11上冷凝形成酸性液滴，大部分的酸氣經(jīng)過該層板體上的百葉孔111到達上一層的板體11，到達上一層板體11的酸氣中也是較少酸氣在該層板體11上冷凝形成酸性液滴，其余酸氣則通過該層板體11的百葉孔111向上揮發(fā)到達再上一層的板體11，每一層板體11上均進行相同的過程，直到酸氣到達離刻蝕槽最遠(yuǎn)的上層板體11，由此，實現(xiàn)了酸氣從靠近刻蝕槽的下層板體11到遠(yuǎn)離刻蝕槽的上層板體11的分步逐級冷凝；且離刻蝕槽較近的板體11上冷凝形成了較少的酸性液滴，離刻蝕槽較遠(yuǎn)的板體11上冷凝形成了較多的酸性液滴，離刻蝕槽較遠(yuǎn)的板體11上的個別酸性液滴受重力作用向下滴落，由于離刻蝕槽較遠(yuǎn)的板體11和刻蝕槽之間隔著多層板體11，則酸性液滴會滴落到其下一層板體11上，或者沿著板體11逐層向下層板體11滴落，由于酸性液滴滴落的過程中和多個板體11逐層接觸，酸性液滴的一部分殘留在多個板體11上，使得酸性液滴體積會逐漸減小從而聚集在板體11上，而不會滴落至基板上，避免了過多的酸氣在靠近刻蝕槽的板體11上冷凝而使得靠近刻蝕槽的板體11上的酸性液滴過多而滴落至基板，也避免了遠(yuǎn)離刻蝕槽的板體11上的酸性液滴直接滴落至基板，從而保證了基板刻蝕的均勻度。
[0030]更進一步的，為了避免聚集在板體11上的酸性液滴滴落至基板，各層板體11上的百葉孔111孔徑可由下層板體11到上層板體11逐層減小，即離刻蝕槽越近的板體11上的百葉孔111孔徑越大，由此，使得離刻蝕槽較近的板體11上冷凝形成的酸性液滴進一步減少，大部分酸氣在離刻蝕槽較遠(yuǎn)的板體11上冷凝形成酸性液滴，個別體積較大的酸性液滴會滴落到下一層板體11上，或者沿著板體11逐層向下層板體11滴落，滴落的過程中，酸性液滴體積減小而聚集在板體11上，進一步避免了各層板體11上冷凝形成的酸性液滴滴落到基板上，從而保證了基板刻蝕的均勻度。
[0031]參照圖5，百葉孔111的拐角處可采用圓角、方角等各種形式，為了防止酸性液滴在百葉孔111的拐角處聚集而受重力作用滴落到基板上，優(yōu)選百葉孔111的拐角處采用圓角，由此，避免了酸性液滴在百葉孔111的拐角處聚集而滴落至基板，使得基板刻蝕更均勻。
[0032]為了避免酸氣在板體11表面的一個區(qū)域內(nèi)集中冷凝，百葉孔111可均勻分布于板體11表面上，各百葉孔111的開口方向相同且均與板體11平行，由此，酸氣通過方向相同且均勻分布的百葉孔111后在各板體11表面的各個區(qū)域內(nèi)冷凝形成了的酸性液滴，避免了酸性液滴集中聚集于板體11的一個區(qū)域內(nèi)而滴落至基板，同時，百葉孔111的開口方向均與板體11平行，避免了酸性液滴滴落或者逆流。
[0033]參照圖6，本實用新型提供了一種刻蝕設(shè)備，包括刻蝕槽01，刻蝕槽01底部設(shè)有刻蝕液回流管011，用戶可通過刻蝕液回流管011更換刻蝕槽01內(nèi)的刻蝕液，刻蝕槽01內(nèi)部設(shè)有傳輸臺02，可將需要刻蝕的基板放置于傳輸臺02上，傳輸臺02上方設(shè)有刻蝕液噴淋裝置03，通過刻蝕液噴淋裝置03將刻蝕液噴灑到需要刻蝕的基板上，刻蝕槽01頂部通過蓋板04密封且蓋板04上設(shè)有排氣口 05，且排氣口 05連接有排氣裝置(圖中未示出)，使得刻蝕槽01內(nèi)可為負(fù)壓環(huán)境，排氣裝置可連接酸廢氣排放，組合冷凝板I密封貼合于蓋板04的內(nèi)表面，由此，在負(fù)壓環(huán)境下，酸氣揮發(fā)后會在組合冷凝板I上逐級冷凝形成酸性液滴，聚集在親水性能較高的組合冷凝板I上；排氣裝置一方面增加了酸氣向上揮發(fā)的動力，使得揮發(fā)的酸氣可盡快在組合冷凝板I上冷凝，另一方面，排氣裝置可使組合冷凝板I降溫，保證了酸氣接觸到組合冷凝板I時可冷凝成酸性液滴，另外，負(fù)壓大小根據(jù)刻蝕液揮發(fā)程度而定，當(dāng)刻蝕液是強揮發(fā)性刻蝕液時，則負(fù)壓較低，減少刻蝕液的揮發(fā)浪費，節(jié)約了成本。此外，組合冷凝板I的板體11的數(shù)量根據(jù)刻蝕液揮發(fā)程度而定，當(dāng)刻蝕液是強揮發(fā)性刻蝕液時，則可增多組合冷凝板I的板體11數(shù)量，保證揮發(fā)的酸氣可在多層板體11上逐級冷凝且冷凝形成的酸性液滴不會滴落到基板上。
[0034]由于在本實施例刻蝕設(shè)備的組合冷凝板I與上述組合冷凝板I的各實施例中提供的組合冷凝板I相同，因此二者能夠解決相同的技術(shù)問題，并達到相同的預(yù)期效果。
[0035]為了實現(xiàn)酸性液滴回流至刻蝕槽01，蓋板04的內(nèi)表面可為斜面，組合冷凝板I貼合于蓋板04的內(nèi)表面后，組合冷凝板I的百葉孔111開口向斜下方傾斜，則酸性液滴聚集在親水性能較高的組合冷凝板I上后，酸性液滴受重力作用可沿著百葉孔111開口的方向向斜下方滑落，由此，百葉孔111的開口方向和板體11的方向均引導(dǎo)著酸性液滴向斜下方滑落，利用了酸性液滴的重力作用，使刻蝕液中揮發(fā)的組分冷凝形成酸性液滴沿著百葉孔111和板體11向斜下方滑落至刻蝕槽01，保證了刻蝕槽01內(nèi)刻蝕液的濃度不變，從而使得基板的刻蝕效果達到預(yù)期的效果，保證了基板的刻蝕均勻度，同時，減少了刻蝕液的揮發(fā)浪費。
[0036]本實施例刻蝕設(shè)備中可采用單組、兩組或者多組的組合冷凝板I為了防止離刻蝕槽01較遠(yuǎn)的酸性液滴在組合冷凝板I滑落的過程中體積增大而滴落至基板，同時，為了利用酸性液滴受重力作用向下滑落，優(yōu)選蓋板04的內(nèi)表面包括兩對稱設(shè)置的斜面，兩對稱設(shè)置的斜面組成倒V型結(jié)構(gòu)，組合冷凝板I為兩組且對稱貼合于蓋板04的倒V型內(nèi)表面，則兩組組合冷凝板I成倒V型結(jié)構(gòu)，揮發(fā)的酸氣可在兩組成倒V型的組合冷凝板I上分別冷凝形成酸性液滴，由此，酸性液滴可分別沿著兩組組合冷凝板I滑落至刻蝕槽01，縮短了離刻蝕槽01較遠(yuǎn)的酸性液滴滑落的路程，避免了酸性液滴在單組組合冷凝板I滑落的過程中體積增大而滴落至基板，同時，酸性液滴從兩側(cè)回流至刻蝕槽01，保證了刻蝕槽01內(nèi)兩側(cè)的刻蝕液的濃度相等，從而保證了基板的刻蝕效果相同。另外，蓋板04內(nèi)表面傾斜的角度可根據(jù)刻蝕液實際情況和空間條件綜合考慮而定，若刻蝕槽01的空間較小，則蓋板04內(nèi)表面傾斜的角度較小，保證有足夠的空間對基板進行刻蝕反應(yīng)。
[0037]參照圖6，組合冷凝板I上冷凝成酸性液滴可沿著刻蝕槽01的側(cè)壁012回流至刻蝕槽01，由于刻蝕槽01的側(cè)壁012靠近傳輸臺02，則酸性液滴有可能濺落到傳輸臺02上的基板上，造成基板刻蝕不均勻，因此，本實施例刻蝕設(shè)備優(yōu)選還包括冷凝板回流管6，冷凝板回流管6 —端與組合冷凝板I的下傾斜端連接，另一端與刻蝕液回流管011連通，則揮發(fā)的酸氣在組合冷凝板I上冷凝形成酸性液滴后，受重力作用滑落至組合冷凝板I的下傾斜端，然后進入冷凝板回流管6，通過冷凝板回流管6流至刻蝕槽01，再通過刻蝕液回流管011進一步回流至刻蝕液罐(圖中未示出)再度利用，由此，防止了酸性液滴濺落到基板上，保證了基板刻蝕的均勻度，同時，避免了酸性液滴在回流的過程中揮發(fā)浪費，盡最大可能的減少了刻蝕液的揮發(fā)浪費，刻蝕液回流至刻蝕液罐，使得刻蝕液可循環(huán)利用，節(jié)約了成本。此夕卜，冷凝板回流管6可采用疏水材料制作，避免含水的酸性液滴積攢在冷凝板回流管6內(nèi)，保證了酸性液滴均可沿著冷凝板回流管6回流至刻蝕槽01。
[0038]在本說明書的描述中，具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點可以在任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結(jié)合。
[0039]以上所述，僅為本實用新型的【具體實施方式】，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。因此，本實用新型的保護范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種組合冷凝板，其特征在于，包括多個疊置的板體，每個所述板體的表面均開設(shè)有多個百葉孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合冷凝板，其特征在于，所述板體由合金材質(zhì)制成且表面涂覆超親水涂層，或所述板體由超親水材質(zhì)制成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的組合冷凝板，其特征在于，各層板體上的百葉孔數(shù)量由下層板體到上層板體逐層減少。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的組合冷凝板，其特征在于，各層板體上的百葉孔孔徑由下層板體到上層板體逐層減小。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合冷凝板，其特征在于，所述百葉孔的拐角處均為圓角。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合冷凝板，其特征在于，各所述百葉孔均勻分布于所述板體表面，各所述百葉孔的開口方向相同且均與板體平行。
7.一種刻蝕設(shè)備，包括刻蝕槽，刻蝕槽底部設(shè)有刻蝕液回流管，刻蝕槽內(nèi)部設(shè)有傳輸臺，傳輸臺上方設(shè)有刻蝕液噴淋裝置，刻蝕槽頂部通過蓋板密封且蓋板上設(shè)有排氣口，所述排氣口連接有排氣裝置，其特征在于，還包括如權(quán)利要求1?6中任一項所述的組合冷凝板，所述組合冷凝板密封貼合于所述蓋板的內(nèi)表面。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的刻蝕設(shè)備，其特征在于，所述蓋板的內(nèi)表面為斜面，所述組合冷凝板貼合于蓋板的內(nèi)表面后，組合冷凝板的百葉孔開口向斜下方傾斜。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的刻蝕設(shè)備，其特征在于，所述蓋板的內(nèi)表面包括兩對稱設(shè)置的斜面，兩對稱設(shè)置的斜面組成倒V型結(jié)構(gòu)，所述組合冷凝板為兩組且對稱貼合于蓋板的倒V型內(nèi)表面。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的刻蝕設(shè)備，其特征在于，還包括冷凝板回流管，所述冷凝板回流管一端與所述組合冷凝板的下傾斜端連接，另一端與所述刻蝕液回流管連通。
【文檔編號】H01L21/67GK204011381SQ201420468566
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年8月19日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月19日
【發(fā)明者】王騰利, 江建明, 彭彥翔, 顧偉, 林嘉宏 申請人:合肥鑫晟光電科技有限公司, 京東方科技集團股份有限公司