晶體硅太陽能電池鈍化裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種晶體硅太陽能電池鈍化裝置，包括外殼，該外殼上設有進氣裝置，該外殼內(nèi)設有石英氧化腔，該石英氧化腔內(nèi)設有石英管和用于傳輸硅片的傳送裝置，該石英管與上述進氣裝置連接，并設有若干用于輸出氣體的微孔；上述石英氧化腔外還設有光照裝置。本實用新型提供的晶體硅太陽能電池鈍化裝置，能避免硅片受到外殼帶來的沾污，不易產(chǎn)生碎片，進一步減少空氣中的粉塵、水蒸汽造成的污染；使氣體與硅片的氧化反應更均勻更致密，提高太陽能電池鈍化效果，解決PID問題，進而提高太陽能電池質(zhì)量。
【專利說明】晶體硅太陽能電池鈍化裝置
【技術領域】
[0001 ] 本實用新型涉及晶體硅太陽能電池鈍化裝置。
【背景技術】
[0002]目前，晶體硅太陽能電池的電勢誘導衰減(PID)問題成為太陽能電站功率輸出的瓶頸。為了減少PID的影響，國內(nèi)外已經(jīng)做了多種努力。在電池層面，嘗試過各種改變，t匕如改變基極電阻率、發(fā)射極方阻、減反膜Si/N比例、厚度及致密性，均無法在電池效率、成本及抗PID性能之間取得一個平衡點。最后發(fā)現(xiàn)在PECVD(等離子體增強化學氣相沉積法)前通過氧化在發(fā)射極與SiNx減反膜之間生長一層氧化層(一般為氧化硅)，可以得到良好的抗PID電池。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型的目的在于提供一種晶體硅太陽能電池鈍化裝置，其能避免硅片受到外殼帶來的沾污，且能使氧化腔內(nèi)的氣體更均勻，使氣體與硅片的氧化反應更均勻更致密，提高太陽能電池鈍化效果，解決PID問題，進而提高太陽能電池質(zhì)量。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術方案是設計一種晶體硅太陽能電池鈍化裝置，一種晶體硅太陽能電池鈍化裝置，其特征在于，包括外殼，該外殼上設有進氣裝置，該外殼內(nèi)設有石英氧化腔，該石英氧化腔內(nèi)設有石英管和用于傳輸硅片的傳送裝置，該石英管與上述進氣裝置連接，并設有若干用于輸出氣體的微孔；上述石英氧化腔外還設有光照裝置。
[0005]優(yōu)選的，所述石英氧化腔內(nèi)設有至少一個溫區(qū)。
[0006]優(yōu)選的，所述石英氧化腔是經(jīng)過磨砂處理的，石英氧化腔外層設有隔熱材料，該隔熱材料外層有鋁合金材料包覆。
[0007]優(yōu)選的，所述外殼上設有抽氣裝置。
[0008]優(yōu)選的，所述石英管上的微孔布于石英管的管壁上，該微孔的直徑為0.1mm -2mm ο
[0009]優(yōu)選的，所述傳送裝置在輸出硅片的一端設有冷卻裝置，該冷卻裝置用于冷卻完成鈍化處理的硅片。
[0010]優(yōu)選的，所述硅片冷卻裝置為風刀。
[0011]優(yōu)選的，所述傳送裝置為傳送皮帶或滾輪。
[0012]優(yōu)選的，所述進氣裝置配有流量控制裝置，用于將氧氣流量控制在1- 40 L/min0
[0013]本實用新型的優(yōu)點和有益效果在于:提供一種晶體硅太陽能電池鈍化裝置，外殼內(nèi)的石英氧化腔能避免硅片受到外殼帶來的沾污，石英腔內(nèi)的石英管上設有的若干用于輸出氣體的微孔能使氧化腔內(nèi)的氣體更均勻，使氣體與硅片的氧化反應更均勻更致密，提高太陽能電池鈍化效果，解決PID問題，進而提高太陽能電池質(zhì)量；石英氧化腔是經(jīng)過磨砂處理的，可以使得石英氧化腔內(nèi)的光照更均勻；石英氧化腔外層設有隔熱材料，該隔熱材料外層有鋁合金材料包覆，起到了很好的隔熱作用；外殼上還設有抽氣裝置，可以進一步減少空氣中的粉塵、水蒸汽造成的污染；用來傳輸硅片的傳送皮帶或滾輪，不易產(chǎn)生碎片，抗紫外輻射耐高溫，傳輸穩(wěn)定，不易跑偏；輸出硅片的一端設有冷卻裝置，該冷卻裝置用于冷卻完成鈍化處理的硅片，從而避免再設置冷卻倉，簡化了設備。
[0014]本設備成本低廉，結(jié)構(gòu)簡單，穩(wěn)定性好，且與現(xiàn)行的太陽能電池工藝兼容。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0015]圖1是本實用新型的示意圖。
【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖和實施例，對本實用新型的【具體實施方式】作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術方案，而不能以此來限制本實用新型的保護范圍。
[0017]本實用新型具體實施的技術方案是:
[0018]如圖1所示，一種晶體硅太陽能電池鈍化裝置6，包括外殼8，該外殼上設有進氣裝置9，外殼內(nèi)設有經(jīng)過磨砂處理的石英氧化腔I，石英氧化腔I內(nèi)設有石英管2和用于傳輸硅片的傳送皮帶5，該石英管2與上述進氣裝置9連接，并設有若干用于輸出氣體的微孔3 ；上述石英氧化腔外還設有光照裝置10。
[0019]所述微孔3在石英管2外壁分布，所述微孔3直徑為5?15μπι;所述光照裝置10設于外殼8內(nèi)。
[0020]所述傳送皮帶5在輸出硅片的一端設有冷卻裝置4，該冷卻裝置用于冷卻完成鈍化處理的硅片，所述硅片冷卻裝置4為風刀。
[0021]所述石英氧化腔I內(nèi)設有溫區(qū)；所述石英氧化腔I外層設有隔熱材料，該隔熱材料外層有鋁合金材料包覆(圖上未示出)。
[0022]所述外殼8上還設有抽氣裝置11，可以進一步減少空氣中的粉塵、水蒸汽造成的污染。
[0023]所述進氣裝置9配有流量控制裝置(圖上未示出)，用于將氧氣流量控制在1- 40L/min。
[0024]本晶體硅太陽能電池鈍化裝置，能避免硅片受到外殼8帶來的沾污，且能使石英氧化腔I內(nèi)的氣體更均勻，使氣體與硅片的氧化反應更均勻更致密，提高太陽能電池鈍化效果，解決PID問題進而提高太陽能電池質(zhì)量；輸出硅片的一端設有冷卻裝置4，該冷卻裝置用于冷卻完成鈍化處理的硅片從而避免再設置冷卻倉，簡化了設備；用來傳輸硅片7的傳送皮帶5，抗紫外輻射耐高溫，傳輸穩(wěn)定，不易跑偏。本設備成本低廉，結(jié)構(gòu)簡單，穩(wěn)定性好，且與現(xiàn)行的太陽能電池工藝兼容。
[0025]以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型技術原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.一種晶體硅太陽能電池鈍化裝置，其特征在于，包括外殼，該外殼上設有進氣裝置，該外殼內(nèi)設有石英氧化腔，該石英氧化腔內(nèi)設有石英管和用于傳輸硅片的傳送裝置，該石英管與上述進氣裝置連接，并設有若干用于輸出氣體的微孔；上述石英氧化腔外還設有光照裝置。
2.根據(jù)權利要求1所述的晶體硅太陽能電池鈍化裝置，其特征在于，上述石英氧化腔內(nèi)設有至少一個溫區(qū)。
3.根據(jù)權利要求2所述的晶體硅太陽能電池鈍化裝置，其特征在于，上述石英氧化腔是經(jīng)過磨砂處理的，石英氧化腔外層設有隔熱材料，該隔熱材料外層有鋁合金材料包覆。
4.根據(jù)權利要求3所述的晶體硅太陽能電池鈍化裝置，其特征在于:上述外殼上還設有抽氣裝置。
5.根據(jù)權利要求4所述的晶體硅太陽能電池鈍化裝置，其特征在于，上述石英管上的微孔布于石英管的管壁上，該微孔的直徑為0.1mm - 2mm。
6.根據(jù)權利要求5所述的晶體硅太陽能電池鈍化裝置，其特征在于，上述傳送裝置在輸出硅片的一端設有冷卻裝置，該冷卻裝置用于冷卻完成鈍化處理的硅片。
7.根據(jù)權利要求6所述的晶體硅太陽能電池鈍化裝置，其特征在于，上述冷卻裝置為風刀。
8.根據(jù)權利要求7所述的晶體硅太陽能電池鈍化裝置，其特征在于，所述傳送裝置為傳送皮帶或滾輪。
9.根據(jù)權利要求8所述的晶體硅太陽能電池鈍化裝置，其特征在于，上述進氣裝置上設有流量控制裝置，用于將氧氣流量控制在1- 40 L/min。
【文檔編號】H01L31/18GK203932089SQ201420354099
【公開日】2014年11月5日 申請日期:2014年6月30日 優(yōu)先權日:2014年6月30日
【發(fā)明者】陳培良, 任常瑞, 符黎明 申請人:常州時創(chuàng)能源科技有限公司