容置單元和容置架的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提供一種容置單元，通過(guò)設(shè)置頂面、底面和兩側(cè)的止擋部，實(shí)現(xiàn)了晶圓盒底座的豎直放置。根據(jù)晶圓盒底座的具體形狀設(shè)置出止擋部之間的合適距離，使得晶圓盒底座的放置更為穩(wěn)固、便捷。所述容置單元互相組合可形成容置架，針對(duì)生產(chǎn)線上大量的晶圓盒底座，通過(guò)容置架可以實(shí)現(xiàn)其有序地?cái)[放，避免刮傷甚至摔破的情況出現(xiàn)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】容置單元和容置架

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種容置單元和容置架。

【背景技術(shù)】
[0002] 在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中，通常需要將晶圓成批地放到晶圓盒中再對(duì)晶圓依次處理。 所述晶圓盒包括晶圓盒底座、晶圓容置部和外罩。圖1為所述晶圓盒底座的不意圖，如圖1 所示，晶圓盒底座包括凸出部200，用以與晶圓容置部固定。
[0003] 在晶圓處理之前，需要對(duì)大量的晶圓盒進(jìn)行清洗以便后續(xù)使用。晶圓容置部和外 罩通常放在機(jī)臺(tái)里清洗即可，而晶圓盒底座需要人工用無(wú)塵布蘸異丙醇（IPA)擦拭，然后 晾干。為了提高清洗的效率，所述晶圓盒底座的擦拭和晶圓容置部、外罩的清洗會(huì)同時(shí)進(jìn) 行，并于完成之后再進(jìn)行組裝。
[0004] 在晶圓盒底座的擦拭之前，需首先將晶圓盒進(jìn)行拆解。然而由于產(chǎn)線上的清洗和 擦拭往往批量進(jìn)行，拆下來(lái)的晶圓盒底座很多且無(wú)處放置?，F(xiàn)有的方法是將晶圓盒底座疊 放在貨架上，然而，疊放在一起使得晶圓盒底座之間容易產(chǎn)生刮傷，若晶圓盒底座大量堆 砌，上層的還容易滑落而導(dǎo)致其摔破。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0005] 本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種晶圓盒底座容置架，方便大量存放以及 運(yùn)輸晶圓盒底座，避免刮傷甚至摔破的情況出現(xiàn)。
[0006] 基于此，本實(shí)用新型提供一種適于容置片狀物的容置單元和容置架，所述容置單 元包括：底面、止擋壁以及第一止擋部，所述第一止擋部分別設(shè)置于所述底面的兩側(cè)，所述 止擋壁凸出于所述底面并設(shè)置于所述第一止擋部的一端。
[0007] 進(jìn)一步的，所述止擋壁所在的平面與所述底面所在的平面形成銳角。
[0008] 進(jìn)一步的，所述止擋壁上設(shè)置有多個(gè)開(kāi)孔。
[0009] 進(jìn)一步的，所述第一止擋部的形狀為圓角L形。
[0010] 進(jìn)一步的，所述的容置單元還包括頂面以及分別設(shè)置于所述頂面兩側(cè)并與所述止 擋壁連接的第二止擋部，所述第二止擋部分別正對(duì)所述第一止擋部設(shè)置。
[0011] 進(jìn)一步的，所述第二止擋部的形狀為圓角L形。
[0012] 進(jìn)一步的，所述片狀物上包含至少一凸出部，所述第一止擋部和所述第二止擋部 之間能夠容納所述凸出部。
[0013] 進(jìn)一步的，所述片狀物為晶圓盒底座。
[0014] 本實(shí)用新型提供的容置架包括所述的容置單元，其中相鄰的所述容置單元共用第 一止擋部和第二止擋部。
[0015] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的容置單元通過(guò)設(shè)置頂面、底面和兩側(cè)的止擋 部，實(shí)現(xiàn)了晶圓盒底座的堅(jiān)直放置。進(jìn)一步的，根據(jù)晶圓盒底座的具體形狀設(shè)置止擋部之間 的合適距離，使得晶圓盒底座的放置更為穩(wěn)固、便捷。所述容置單元互相組合可形成和容置 架，針對(duì)生產(chǎn)線上大量的晶圓盒底座，通過(guò)容置架可以實(shí)現(xiàn)其有序地?cái)[放，避免刮傷甚至摔 破的情況出現(xiàn)。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016] 圖1為晶圓盒底座的不意圖。
[0017] 圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例所述容置單元的示意圖。
[0018] 圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例所述容置架的示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0019] 以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán) 利要求書(shū)，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且 均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0020] 鑒于【背景技術(shù)】提出的晶圓盒底座堆砌易磨碎的問(wèn)題，可采用堅(jiān)直放置的方法，且 將晶圓盒底座互相隔開(kāi)。因此，本實(shí)用新型提出了容置單元，可實(shí)現(xiàn)晶圓盒底座的堅(jiān)直放 置。
[0021] 如圖2所示，本實(shí)施例提供的容置單元適于容置片狀物，如晶圓盒底座。容置單元 包括底面10以及分別設(shè)置于底面10兩側(cè)的第一止擋部41。兩個(gè)第一止擋部41分別設(shè)置 在底面10的兩側(cè)，當(dāng)片狀物如晶圓盒底底座置入后，通過(guò)第一止擋部41的止擋而不易摔 落。
[0022] 為了更好地固定住堅(jiān)直放入的片狀物，本實(shí)施例還設(shè)置了頂面20以及分別設(shè)置 于所述頂面20兩側(cè)的第二止擋部42,兩側(cè)的第二止擋部42分別對(duì)應(yīng)第一止擋部41而設(shè) 置。如此一來(lái)，當(dāng)片狀物置入后，通過(guò)第一止擋部41和第二止擋部42共同形成了一個(gè)容置 空間，能更好地堅(jiān)直固定住所述片狀物。
[0023] 如圖1所示，本實(shí)施例的容置單元還包括止擋壁30,設(shè)置于所述第一止擋部41和 第二止擋部42的一端。止擋壁30連接底面10和頂面20,與第一止擋部41和第二止擋部 42共同構(gòu)成了具有一開(kāi)口的容置空間。將片狀物如晶圓盒底底座從所述開(kāi)口置入直至其 接觸止擋壁30即可。優(yōu)選地，所述止擋壁30所在的平面與所述底面10所在的平面形成銳 角α，如此一來(lái)，當(dāng)片狀物置入以后即可沉入容置單元中而緊貼止擋壁20和底面10,即使 所述容置單元移動(dòng)也不易使片狀物滑落。在本實(shí)施例中，銳角α為85度。
[0024] 其中第一止擋部41為圓角L形，L形的兩端分別連接底面10和止擋壁30,具體 地，第二止擋部42同第一止擋部41 一樣。
[0025] 其中止擋壁30上設(shè)置有多個(gè)開(kāi)孔31，用以通風(fēng)透氣，也便于操作人員從另一側(cè)看 到容置空間內(nèi)部的情況。
[0026] 本實(shí)用新型還提供一種容置架，由多個(gè)所述容置單元連接構(gòu)成，本實(shí)施例中共包 括四層，每一層相鄰的容置單元共用第一止擋部41和第二止擋部42,可同時(shí)容置多個(gè)片狀 物。如圖3所示，所述并列的多個(gè)容置單元在兩端通過(guò)支架100上下連接。支架100共有4 條，分別連接每個(gè)容置單元的4個(gè)角。在容置架的底部可安裝滑輪，便于移動(dòng)運(yùn)送片狀物。
[0027] 具體地，本實(shí)施例所述的片狀物為晶圓盒底座，由于晶圓盒底座上包含凸出部 200,因此所示第一止擋部41和第二止擋部42之間的距離L根據(jù)此凸出部200的長(zhǎng)度而設(shè) 置，使得第一止擋部41和第二止擋部42之間正好能夠容納所述突出部200。此時(shí)，當(dāng)晶圓 盒底座放入容置單元后，突出部200正好位于第一止擋部41和第二止擋部42之間的空隙 當(dāng)中而被第一止擋部41和第二止擋部42夾持固定。
[0028] 在實(shí)際運(yùn)用時(shí)，考慮到晶圓盒底座的凸出部200僅存在于其中的一面，因此通常 在一個(gè)容置單元中放入兩個(gè)晶圓盒底座，晶圓盒底座不帶突出部200的一面互相緊貼放 入，帶突出部200的一面分別進(jìn)入第一止擋部41和第二止擋部42之間的空隙當(dāng)中。
[0029] 為了更好地保護(hù)晶圓盒底座，在第一止擋部41和第二止擋部42上包有防碰撞和 防摩擦的材料。
[0030] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的容置單元通過(guò)設(shè)置頂面、底面和兩側(cè)的止擋 部，實(shí)現(xiàn)了晶圓盒底座的堅(jiān)直放置。根據(jù)晶圓盒底座的具體形狀設(shè)置出止擋部之間的合適 距離，使得晶圓盒底座的放置更為穩(wěn)固、便捷。所述容置單元互相組合可形成容置架，針對(duì) 生產(chǎn)線上大量的晶圓盒底座，通過(guò)容置架可以實(shí)現(xiàn)其有序地?cái)[放，避免刮傷甚至摔破的情 況出現(xiàn)。
[0031] 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新 型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其 等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包括這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種容置單元，適于容置片狀物，其特征在于：所述容置單元包含底面、止擋壁以及 第一止擋部，所述第一止擋部分別設(shè)置于所述底面的兩側(cè)，所述止擋壁凸出于所述底面并 設(shè)置于所述第一止擋部的一端。
2. 如權(quán)利要求1所述的容置單元，其特征在于：所述止擋壁所在的平面與所述底面所 在的平面形成銳角。
3. 如權(quán)利要求1所述的容置單元，其特征在于：所述止擋壁上設(shè)置有多個(gè)開(kāi)孔。
4. 如權(quán)利要求1所述的容置單元，其特征在于：所述第一止擋部的形狀為圓角L形。
5. 如權(quán)利要求1所述的容置單元，其特征在于：還包括頂面以及分別設(shè)置于所述頂面 兩側(cè)并與所述止擋壁連接的第二止擋部，所述第二止擋部分別正對(duì)所述第一止擋部設(shè)置。
6. 如權(quán)利要求5所述的容置單元，其特征在于：所述第二止擋部的形狀為圓角L形。
7. 如權(quán)利要求5所述的容置單元，其特征在于：所述片狀物上包含至少一凸出部，所述 第一止擋部和所述第二止擋部之間能夠容納所述凸出部。
8. 如權(quán)利要求1所述的容置單元，其特征在于：所述片狀物為晶圓盒底座。
9. 一種容置架，其特征在于，包括多個(gè)如權(quán)利要求1-8任意一項(xiàng)所述的容置單元，其中 相鄰的所述容置單元共用第一止擋部和第二止擋部。
【文檔編號(hào)】H01L21/687GK203895420SQ201420263080
【公開(kāi)日】2014年10月22日 申請(qǐng)日期:2014年5月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月21日
【發(fā)明者】黃錦全, 陳國(guó)新 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司