柔性顯示裝置和耐折疊金屬導(dǎo)線的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種柔性顯示裝置和耐折疊金屬導(dǎo)線，該耐折疊金屬導(dǎo)線包括：堆疊的至少兩個金屬疊層，所述至少兩個金屬疊層各自包括第一金屬層以及與所述第一金屬層材料不同的第二金屬層，其中，所述第一金屬層和所述第二金屬層的材料選自Al、Cu、Mo、Ti和Ag。本發(fā)明的柔性顯示裝置和耐折疊金屬導(dǎo)線通過調(diào)整各金屬層的厚度及組成，降低金屬導(dǎo)線的電阻率，增強(qiáng)金屬導(dǎo)線的強(qiáng)度及韌性，以抵消薄膜應(yīng)力產(chǎn)生的影響使之更易耐受折彎，進(jìn)而提高顯示器件的穩(wěn)定性，同時不會增加生產(chǎn)線設(shè)備投入數(shù)量。
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及顯示裝置，特別涉及一種柔性顯示裝置以及耐折疊金屬導(dǎo)線。 柔性顯示裝置和耐折疊金屬導(dǎo)線

【背景技術(shù)】
[0002] 有機(jī)發(fā)光二極管（0LED)是一種利用有機(jī)半導(dǎo)體材料在電流的驅(qū)動下產(chǎn)生的可逆 變色來實(shí)現(xiàn)顯示的技術(shù)。0LED具有超輕、超薄、高亮度、大視角、低電壓、低功耗、快響應(yīng)、高 清晰度、抗震、可彎曲、低成本、工藝簡單、使用原材料少、發(fā)光效率高和溫度范圍寬等優(yōu)點(diǎn)， 被認(rèn)為是最有發(fā)展前途的新一代顯示技術(shù)。
[0003] 目前有源矩陣有機(jī)發(fā)光二極管（AM0LED)柔性器件在具備平板顯示器件的功能 夕卜，由于其所具有的自由卷曲和彎折性能，使其在任何條件下被自由處理；即為采用柔性材 料在卷起或者彎曲時，柔性顯示器將具有相同的顯示性能，成為顯示行業(yè)新的發(fā)展方向。
[0004] 然而傳統(tǒng)的AM0LED器件制備方法在移植到柔性基板上時，在進(jìn)行卷起或者彎曲 時，各金屬導(dǎo)線層因?yàn)閮?nèi)應(yīng)力的累積和疊加會出現(xiàn)斷裂現(xiàn)象，如圖1和圖2所示，分別為傳 統(tǒng)金屬導(dǎo)線技術(shù)在彎折過程中發(fā)生斷裂的透射光學(xué)照片和反射光學(xué)照片。這樣的斷裂會導(dǎo) 致液晶面板出現(xiàn)黑線、亮線或斑點(diǎn)，失去柔性顯示的效果，甚至直接導(dǎo)致顯示屏的毀壞，影 響產(chǎn)品良率。
[0005] 因此，需要對現(xiàn)有技術(shù)的金屬導(dǎo)線在結(jié)構(gòu)和關(guān)鍵工藝上進(jìn)行改進(jìn)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 針對現(xiàn)有金屬導(dǎo)線存在的缺陷，發(fā)明人經(jīng)過長期的深入研究，采用多層金屬層構(gòu) 成金屬導(dǎo)線，能夠改善金屬導(dǎo)線的強(qiáng)度及韌性，有效增強(qiáng)耐折疊性能。
[0007] 一方面，本發(fā)明提供一種耐折疊金屬導(dǎo)線，該耐折疊金屬導(dǎo)線包括：
[0008] 堆疊的至少兩個金屬疊層，所述至少兩個金屬疊層各自包括第一金屬層以及與所 述第一金屬層材料不同的第二金屬層，其中，所述第一金屬層和所述第二金屬層的材料選 自 Al、Cu、Mo、Ti 和 Ag。
[0009] 在本發(fā)明的耐折疊金屬導(dǎo)線的一個實(shí)施方式中，所述耐折疊金屬導(dǎo)線的總厚度為 3000?6000 A。
[0010] 在本發(fā)明的耐折疊金屬導(dǎo)線的另一個實(shí)施方式中，所述第一金屬層和所述第二金 屬層的厚度各自為300?750 A。
[0011] 在本發(fā)明的耐折疊金屬導(dǎo)線的另一個實(shí)施方式中，所述第一金屬層和所述第二金 屬層的厚度相同。
[0012] 在本發(fā)明的耐折疊金屬導(dǎo)線的另一個實(shí)施方式中，所述第一金屬層為Cu，所述第 二金屬層為Mo。
[0013] 在本發(fā)明的耐折疊金屬導(dǎo)線的另一個實(shí)施方式中，所述第一金屬層為A1，所述第 二金屬層為Ti。
[0014] 在本發(fā)明的耐折疊金屬導(dǎo)線的另一個實(shí)施方式中，各所述金屬疊層具有相同構(gòu) 造。
[0015] 另一方面，本發(fā)明提供一種耐折疊金屬導(dǎo)線，該耐折疊金屬導(dǎo)線包括堆疊的至少 兩個金屬疊層，所述至少兩個金屬疊層各自包括至少兩層金屬層且相鄰兩層所述金屬層的 材料不同。
[0016] 在本發(fā)明的耐折疊金屬導(dǎo)線的一個實(shí)施方式中，所述金屬層的材料選自Al、Cu、 Mo、Ti 和 Ag。
[0017] 再一方面，本發(fā)明提供一種柔性顯示裝置，包括數(shù)據(jù)導(dǎo)線和柵極導(dǎo)線，所述數(shù)據(jù)導(dǎo) 線和/或所述柵極導(dǎo)線為上述耐折疊金屬導(dǎo)線。
[0018] 本發(fā)明的柔性顯示裝置和耐折疊金屬導(dǎo)線通過調(diào)整各金屬層的厚度及組成，降低 金屬導(dǎo)線的電阻率，增強(qiáng)金屬導(dǎo)線的強(qiáng)度及韌性，以抵消薄膜應(yīng)力產(chǎn)生的影響使之更易耐 受折彎，進(jìn)而提高顯示器件的穩(wěn)定性，同時不會增加生產(chǎn)線設(shè)備投入數(shù)量。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0019] 圖1為傳統(tǒng)金屬導(dǎo)線在彎折過程中發(fā)生斷裂的透射光學(xué)照片；
[0020] 圖2為傳統(tǒng)金屬導(dǎo)線在彎折過程中發(fā)生斷裂的反射光學(xué)照片；
[0021] 圖3為根據(jù)本發(fā)明的一個示例性實(shí)施方式的耐折疊金屬導(dǎo)線的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022] 圖4示出了本發(fā)明另一個示例性實(shí)施方式的耐折疊金屬導(dǎo)線的電阻率與金屬層 厚度的對應(yīng)關(guān)系；
[0023] 圖5示出了本發(fā)明另一個示例性實(shí)施方式的耐折疊金屬導(dǎo)線的楊氏彈性模量及 斷裂韌性與金屬層厚度的對應(yīng)關(guān)系。
[0024] 其中，附圖標(biāo)記說明如下：
[0025] 1、2、3:金屬疊層
[0026] A :第一金屬層
[0027] B :第二金屬層

【具體實(shí)施方式】
[0028] 下面根據(jù)具體實(shí)施例對本發(fā)明的技術(shù)方案做進(jìn)一步說明。本發(fā)明的保護(hù)范圍不限 于以下實(shí)施例，列舉這些實(shí)例僅出于示例性目的而不以任何方式限制本發(fā)明。
[0029] 現(xiàn)參照圖3,以說明依據(jù)本發(fā)明一個實(shí)施方式的耐折疊金屬導(dǎo)線。
[0030] 如圖3所示，該耐折疊金屬導(dǎo)線沉積在基板上，包括堆疊的至少兩個金屬疊層，即 金屬疊層1、金屬疊層2和金屬疊層3等。金屬疊層1、金屬疊層2和金屬疊層3各自包括 第一金屬層A和以及與第一金屬層A材料不同的第二金屬層B。金屬疊層1、金屬疊層2和 金屬疊層3等各金屬疊層具有相同構(gòu)造，即各自包含的金屬層的組成及堆疊順序相同、厚 度相問。
[0031] 第一金屬層A和第二金屬層B的材料選自Al、Cu、Mo、Ti和Ag，例如第一金屬層A 為Cu，第二金屬層B為Mo,或者第一金屬層A為A1，第二金屬層B為Ti。
[0032] 本發(fā)明的金屬疊層的結(jié)構(gòu)不限于由兩層金屬層組成而成的結(jié)構(gòu)，例如可由三層或 更多層的金屬層組成且相鄰兩層金屬層的材料不同，例如耐折疊金屬導(dǎo)線形成ABC-ABC的 結(jié)構(gòu)。
[0033] 本發(fā)明對金屬層A和金屬層B的順序沒有限定，例如各金屬疊層均為AB結(jié)構(gòu)或者 均為BA結(jié)構(gòu)，也可均為ABC結(jié)構(gòu)。當(dāng)選用超過三種的金屬材料時，各金屬疊層構(gòu)造也可不 同，例如形成AB-AC-AB-AC的結(jié)構(gòu)。
[0034] 耐折疊金屬導(dǎo)線的總厚度（即至少兩個金屬疊層的總厚度）可為

【權(quán)利要求】
1. 一種耐折疊金屬導(dǎo)線，其特征在于，該耐折疊金屬導(dǎo)線包括： 堆疊的至少兩個金屬疊層，所述至少兩個金屬疊層各自包括第一金屬層以及與所述第 一金屬層材料不同的第二金屬層，其中，所述第一金屬層和所述第二金屬層的材料選自A1、 Cu、Mo、Ti 和 Ag。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1的耐折疊金屬導(dǎo)線，其中所述耐折疊金屬導(dǎo)線的總厚度為 2500?7000 A。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2的耐折疊金屬導(dǎo)線，其中所述第一金屬層和所述第二金屬層的厚度 各自為300?750 A。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3的耐折疊金屬導(dǎo)線，其中所述第一金屬層和所述第二金屬層的厚度 相同。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1的耐折疊金屬導(dǎo)線，其中所述第一金屬層為Cu，所述第二金屬層為 Mo〇
6. 根據(jù)權(quán)利要求1的耐折疊金屬導(dǎo)線，其中所述第一金屬層為A1，所述第二金屬層為 Ti。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項的耐折疊金屬導(dǎo)線，其中各所述金屬疊層具有相同構(gòu) 造。
8. -種耐折疊金屬導(dǎo)線，該耐折疊金屬導(dǎo)線包括堆疊的至少兩個金屬疊層，所述至少 兩個金屬疊層各自包括至少兩層金屬層且相鄰兩層所述金屬層的材料不同。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8的耐折疊金屬導(dǎo)線，其中所述金屬層的材料選自Al、Cu、Mo、Ti和 Ag。
10. -種柔性顯示裝置，包括數(shù)據(jù)導(dǎo)線和柵極導(dǎo)線，其特征在于，所述數(shù)據(jù)導(dǎo)線和/或 所述柵極導(dǎo)線為根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項的耐折疊金屬導(dǎo)線。
【文檔編號】H01L27/32GK104091821SQ201410339771
【公開日】2014年10月8日 申請日期:2014年7月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月16日
【發(fā)明者】寇浩, 魯佳浩, 夏先海, 陳一鳴 申請人:上海和輝光電有限公司