脈沖光源以及穩(wěn)定地控制脈沖激光的相位差的方法
【專利摘要】本發(fā)明的脈沖光源(1)具備：主激光器(112)，其輸出重復頻率被控制成預定值的主激光脈沖；輔激光器(212)，其輸出輔激光脈沖；相位比較器(232)，其檢測預定值的頻率的電信號與基于輔激光脈沖的光強度的電信號的相位差；環(huán)路濾波器(234)；加法器(235)，其對環(huán)路濾波器(234)的輸出相加具有恒定的重復周期的重復頻率控制信號；以及相位比較器(306)，其對主激光脈沖與輔激光脈沖的相位差即脈沖間相位差進行測定。輔激光脈沖的重復頻率根據(jù)加法器(235)的輸出而變化。對重復頻率控制信號的大小進行控制，以便使測定出的脈沖間相位差與脈沖間相位差的目標值一致。
【專利說明】脈沖光源以及穩(wěn)定地控制脈沖激光的相位差的方法

【技術領域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種激光脈沖的重復頻率的控制。

【背景技術】
[0002]一直以來，公知有通過使輔激光器的重復頻率上下變動，使主激光器的重復頻率恒定，來使兩臺激光器的重復頻率的差變動的裝置(例如，參照專利文獻1(日本特許第4786767 號公報))。
[0003]在該裝置中，輔激光器具有壓電元件，對提供給用于驅動該壓電元件的壓電驅動器的電壓附加使其上下變動的成分(例如，正弦波的電壓)(參照專利文獻I的圖1、圖3)。


【發(fā)明內容】

[0004]然而，即使向提供給壓電驅動器的電壓附加正弦波的電壓，輔激光器的重復頻率也并不一定是正弦波。例如，輔激光器的重復頻率根據(jù)壓電元件的位移而變動，但即使向壓電元件提供的電壓相同，壓電元件的位移也會根據(jù)壓電元件的周圍溫度而發(fā)生變化。因此，由于壓電元件的周圍溫度的變動，有時輔激光器的重復頻率也不會是正弦波的情況。
[0005]因此，本發(fā)明的課題是準確控制兩臺激光器的重復頻率的差。
[0006]本發(fā)明的脈沖光源根據(jù)兩個脈沖激光的相位差，來對重復頻率控制信號源的重復頻率控制信號進行反饋控制。
[0007]另外，在本發(fā)明的脈沖光源中，輸出所述兩個脈沖激光的激光器是輸出重復頻率被控制成預定值的主激光脈沖的主激光器；以及輸出輔激光脈沖的輔激光器，脈沖光源具備:相位差檢測器，其檢測所述預定值的頻率的電信號與基于所述輔激光脈沖的光強度的電信號的相位差；環(huán)路濾波器，其去除所述相位差檢測器的輸出的高頻成分；加法器，其對所述環(huán)路濾波器的輸出相加從所述重復頻率控制信號源輸出且具有恒定的重復周期的重復頻率控制信號；以及脈沖間相位差檢測器，其對所述主激光脈沖與所述輔激光脈沖的相位差即脈沖間相位差進行測定，所述輔激光脈沖的重復頻率根據(jù)所述加法器的輸出而變化，對所述重復頻率控制信號的大小進行控制，以便使測定出的所述脈沖間相位差與所述脈沖間相位差的目標值一致。
[0008]另外，在本發(fā)明的脈沖光源中，所述輔激光器的諧振腔長度可以根據(jù)所述加法器的輸出而變化。
[0009]另外，在本發(fā)明的脈沖光源中，所述輔激光器具有壓電元件，向所述壓電元件提供所述加法器的輸出，所述輔激光器的諧振腔長度可以根據(jù)所述壓電元件的伸縮而變化。
[0010]另外，在本發(fā)明的脈沖光源中，可以具備:主側相位差檢測器，其檢測所述預定值的頻率的電信號與基于所述主激光脈沖的光強度的電信號的相位差；以及主側環(huán)路濾波器，其去除所述主側相位差檢測器的輸出的高頻成分，所述主激光脈沖的重復頻率根據(jù)所述主側環(huán)路濾波器的輸出而變化。
[0011]本發(fā)明是在光采樣裝置或太赫茲成像裝置中，穩(wěn)定地控制脈沖激光的相位差的方法。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是表示本發(fā)明的實施方式的脈沖光源I的結構的功能框圖。
[0013]圖2是表示重復頻率控制信號源238的輸出(圖2(a))、加法器235的輸出(圖2(b))、周圍溫度恒定時的輔激光器212的重復頻率(圖2(c))、周圍溫度變動時的輔激光器212的重復頻率的假設例(圖2(d))的圖。
[0014]圖3是表示周圍溫度變動時的目標值輸出部240的輸出(圖3(a))、相位比較器306的輸出(圖3(b))、重復頻率控制信號源238的輸出(圖3(c))、加法器235的輸出(圖3(d))的圖。
[0015]圖4是表示重復頻率控制信號的輸出的變形例的圖，是表示重復頻率控制信號源238的輸出(圖4(a))、加法器235的輸出(圖4(b))、周圍溫度恒定時的輔激光器212的重復頻率(圖4(c))、周圍溫度變動時的輔激光器212的重復頻率的假設例(圖4(d))的圖。
[0016]圖5是表示重復頻率控制信號的輸出的變形例的圖，是表示周圍溫度變動時的目標值輸出部240的輸出(圖5(a))、相位比較器306的輸出(圖5 (b))、重復頻率控制信號源238的輸出(圖5(c))、加法器235的輸出(圖5(d))的圖。
[0017]圖6是表示使用THz光的測定裝置的結構的框圖。

【具體實施方式】
[0018]以下，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。
[0019]圖1是表示本發(fā)明的實施方式的脈沖光源I的結構的功能框圖。
[0020]本發(fā)明的實施方式的脈沖光源I具備:主激光器112、光親合器114、光電二極管116、基準電信號源121、相位比較器(主側相位差檢測器)132、環(huán)路濾波器(主側環(huán)路濾波器)134、壓電驅動器136、輔激光器212、光親合器214、光電二極管216、相位比較器(相位差檢測器)232、環(huán)路濾波器234、加法器235、壓電驅動器236、重復頻率控制信號源238、目標值輸出部240、誤差檢測部242、帶通濾波器302、304以及相位比較器(脈沖間相位差檢測器)306。
[0021]脈沖光源I根據(jù)兩個脈沖激光(主激光脈沖以及輔激光脈沖)的相位差，對重復頻率控制信號源238進行反饋控制。
[0022]主激光器112輸出主激光脈沖。另外，將主激光脈沖的重復頻率控制成預定值。該預定值與基準電信號源121輸出的基準電信號的頻率(例如，50MHz)相同。
[0023]主激光器112具有壓電元件112p。將環(huán)路濾波器134的輸出電壓通過壓電驅動器136進行放大后施加，由此壓電元件112p在X方向(圖1中的橫方向)伸縮。主激光器112的激光諧振腔長度發(fā)送根據(jù)壓電元件112p在X方向的伸縮而變化。主激光脈沖的重復頻率根據(jù)激光諧振腔長度的變化而變化。
[0024]光耦合器114接受主激光器112輸出的主激光脈沖后，例如以功率比1:9的比率，輸出給光電二極管116和外部。例如，賦予光電二極管116的主激光脈沖的光功率成為主激光器112輸出的主激光脈沖的10%。
[0025]光電二極管(主側光電轉換部)116從光耦合器114接受主激光脈沖后，將其轉換成電信號。將主激光脈沖的重復頻率控制成50MHz。
[0026]基準電信號源121輸出預定值的頻率(例如50MHz)的基準電信號。
[0027]相位比較器(主側相位差檢測器)132檢測并輸出基準電信號源121的輸出與光電二極管116的輸出的相位差。另外，光電二極管116的輸出是基于主激光脈沖的光強度的電信號。
[0028]環(huán)路濾波器(主側環(huán)路濾波器)134去除相位比較器132的輸出的高頻成分。
[0029]壓電驅動器136例如是功率放大器，對環(huán)路濾波器134的輸出進行放大。將壓電驅動器136的輸出提供給壓電元件112p。由此，壓電元件112p在X方向伸縮。其中，為使相位比較器132檢測出的相位差成為恒定值(例如，O度、90度或-90度)而使壓電元件112p進行伸縮。由此，能夠使主激光脈沖的重復頻率準確地與基準電信號的頻率(例如，50MHz)一致。
[0030]輔激光器212輸出輔激光脈沖。
[0031]輔激光器212具有壓電元件212p。將加法器235的輸出電壓通過壓電驅動器236進行放大后施加，由此壓電元件212p在X方向(圖1中的橫方向)伸縮。通過壓電元件212p在X方向的伸縮，輔激光器212的激光諧振腔長度發(fā)生變化。輔激光脈沖的重復頻率根據(jù)激光諧振腔長度的變化而變化。
[0032]光耦合器214是與光耦合器114相同的部件，接受輔激光器212輸出的輔激光脈沖，例如以功率比1:9的比率，輸出給光電二極管216和外部。
[0033]光電二極管(光電轉換部)216是與光電二極管116相同的部件，從光親合器214接受輔激光脈沖，將其轉換成電信號。將輔激光脈沖的重復頻率控制成對50MHz相加了與重復頻率控制信號對應的值后的值(參照圖2(c))。
[0034]相位比較器(相位差檢測器)232是與相位比較器132相同的部件，檢測并輸出基準電信號源121的輸出與光電二極管216的輸出的相位差。另外，光電二極管216的輸出是基于輔激光脈沖的光強度的電信號。
[0035]環(huán)路濾波器234是與環(huán)路濾波器134相同的部件，去除相位比較器232的輸出的高頻成分。
[0036]壓電驅動器236是與壓電驅動器136相同的部件，對加法器235的輸出進行放大。將壓電驅動器236的輸出提供給壓電元件212p。由此，壓電元件212p在X方向伸縮。其中，為使相位比較器232檢測出的相位差成為恒定值(例如，O度、90度或-90度)而使壓電元件212p伸縮。由此，能夠使輔激光脈沖的重復頻率與對50MHz (基準電信號的頻率)相加了對應于重復頻率控制信號的值而得的值(可以稱為50MHz近旁)一致。
[0037]加法器235對環(huán)路濾波器234的輸出相加重復頻率控制信號后進行輸出。
[0038]重復頻率控制信號源238例如是任意波形發(fā)生器，輸出重復頻率控制信號。重復頻率控制信號具有恒定的重復周期。將時間設成橫軸時，例如可以考慮通過正弦波對重復頻率控制信號進行圖示(參照圖2(a))，或者考慮重復頻率控制信號重復直線性地增加以及減少(參照圖4(a))。另外，重復頻率控制信號例如是250Hz左右的重復頻率的信號。
[0039]帶通濾波器302是取出光電二極管116輸出的50MHz(基準電信號的頻率)或50MHz的高次諧波(10MHz、150MHz、……)近旁的成分的濾波器。
[0040]帶通濾波器304是取出光電二極管216輸出的50MHz(基準電信號的頻率)或50MHz的高次諧波(10MHz、150MHz、……)近旁的成分的濾波器。
[0041]相位比較器(脈沖間相位差檢測器)306檢測并輸出帶通濾波器302的輸出與帶通濾波器304的輸出之間的相位差。帶通濾波器302的輸出與帶通濾波器304的輸出之間的相位差是主激光脈沖與輔激光脈沖的相位差(脈沖間相位差)。
[0042]目標值輸出部240輸出脈沖間相位差的目標值。
[0043]誤差檢測部242檢測目標值輸出部240輸出的脈沖間相位差的目標值與相位比較器306的輸出(測定出的脈沖間相位差)之間的差(誤差)，并將其提供給重復頻率控制信號源238。
[0044]重復頻率控制信號源238根據(jù)由誤差檢測部242檢測出的誤差來控制重復頻率控制信號的大小，以便使相位比較器306的輸出(測定出的脈沖間相位差)(測定值)與脈沖間相位差的目標值一致。例如，當目標值大于測定值時(誤差為負)，使重復頻率控制信號變得更大。當目標值小于測定值時(誤差為正)，使重復頻率控制信號變得更小。
[0045]接著，對本發(fā)明的實施方式的動作進行說明。
[0046](I)輸出重復頻率控制信號前
[0047]此時，脈沖光源I的動作與通常的PLL電路相同。即，主激光脈沖以及輔激光脈沖的重復頻率成為50MHz。
[0048]以下，對主激光脈沖的重復頻率成為50MHz的動作進行說明。對于輔激光脈沖的重復頻率也同樣。
[0049]相位比較器132比較光電二極管116輸出的相位與基準電信號源121輸出的相位，檢測并輸出兩者的相位差。相位比較器132的輸出通過環(huán)路濾波器134來去除高頻成分，通過壓電驅動器136進行放大后提供給壓電元件112p。壓電元件112p進行伸縮，以便使相位比較器132檢測出的相位差成為恒定值，(例如，O度、90度或-90度)。由此，能夠使主激光脈沖的重復頻率準確地與基準電信號的頻率50MHz —致。
[0050]使主激光脈沖以及輔激光脈沖的重復頻率與預定值f0( = 50MHz) —致后，假設沒有干擾時，如果使向壓電元件112p、212p施加的電壓保持恒定，則可以使主激光脈沖以及輔激光脈沖的重復頻率繼續(xù)保持預定值。
[0051]圖2是表示重復頻率控制信號源238的輸出(圖2(a))、加法器235的輸出(圖2(b))、周圍溫度恒定時的輔激光器212的重復頻率(圖2(c))、周圍溫度變動時的輔激光器212的重復頻率的假設例(圖2(d))的圖。
[0052]在圖2中示出了在時間O?t0間，使加法器235的輸出保持V0，使輔激光脈沖的重復頻率保持預定值f0的圖(參照圖2(b)?(d))。此外，同樣地，在時間O?t0間，使主激光脈沖的重復頻率保持預定值f0。
[0053]在此，在時間t0，開始重復頻率控制信號的輸出。
[0054](2)輸出重復頻率控制信號后(周圍溫度恒定時)
[0055]當橫軸表示時間時，例如通過正弦波表示重復頻率控制信號源238輸出的重復頻率控制信號(參照圖2(a))。
[0056]于是，加法器235的輸出也在VO上下變動(參照圖2 (b))。
[0057]如果加法器235的輸出增加(減少)，則向壓電元件212p施加的電壓變高(變低)，壓電元件212p伸長(收縮)。在此，設計成壓電元件212p伸長(收縮)時，輔激光器212的激光諧振腔長度變短(變長)。那么，輔激光器212的重復頻率增大(減少)ο
[0058]因此，與加法器235的輸出同樣地，輔激光器212的重復頻率也上下變動(參照圖2(c))。輔激光器212的重復頻率的上下變動值是與重復頻率控制信號對應的值。
[0059]另一方面，特別是主激光脈沖的重復頻率不變動。
[0060]S卩，輔激光器212的重復頻率上下變動，而主激光器112的重復頻率恒定，因此可以變動兩臺激光器的重復頻率的差。
[0061]另外，帶通濾波器302取出光電二極管116輸出的50MHz (基準電信號的頻率)或50MHz的高次諧波(10MHz、150MHz、……)近旁的成分。帶通濾波器304取出光電二極管
216輸出的50MHz (基準電信號的頻率)或50MHz的高次諧波(100MHz、150MHz、......)近旁的成分。相位比較器306檢測并輸出帶通濾波器302的輸出與帶通濾波器304的輸出之間的相位差(脈沖間相位差)。
[0062]作為干擾考慮周圍溫度的變動時，如果周圍溫度恒定，則脈沖間相位差與目標值一致，沒有誤差。即，目標值輸出部240的輸出與相位比較器306的輸出一致，誤差檢測部242的輸出為O。由于誤差為0，因此重復頻率控制信號源238直接將該輸出設成正弦波。
[0063](3)輸出重復頻率控制信號后(周圍溫度變動時)
[0064]然而，當周圍溫度變動時，脈沖間相位差與目標值不一致，產生誤差。這基于以下的理由。
[0065]一般的壓電元件的位移，即使向壓電元件提供的電壓相同，也會根據(jù)壓電元件的周圍溫度而變動。例如，當壓電元件的周圍溫度較高(較低)時，壓電元件的位移增大(減小)。此外，根據(jù)壓電元件212p的位移的大小來決定輔激光脈沖的重復頻率，進而決定脈沖間相位差。因此，如果壓電元件212p的位移的大小根據(jù)周圍溫度的變動而變動時，則脈沖間相位差變動。因此，當周圍溫度變動時，脈沖間相位差從目標值變動，與目標值不一致，產生誤差。
[0066]圖2(d)是表示周圍溫度變動時的輔激光器212的重復頻率的假設例的圖。記載成“假設例”表示將重復頻率控制信號源238的輸出還是假設成正弦波。另外，在圖2(d)中，通過虛線曲線示出了周圍溫度恒定時的輔激光器212的重復頻率。
[0067]假設，從時間t0至tl為止周圍溫度為低溫，tl以后周圍溫度為高溫。此時，從時間to至tl為止，與周圍溫度恒定的情況相比，頻率的變動減小。時間tl以后，與周圍溫度恒定的情況相比，頻率的變動增大。
[0068]因此，重復頻率控制信號源238根據(jù)由誤差檢測部242檢測出的誤差，來改變重復頻率控制信號的大小，使輔激光器212的重復頻率接近圖2(c)示出的狀態(tài)。
[0069]圖3是表示周圍溫度變動時的目標值輸出部240的輸出(圖3(a))、相位比較器306的輸出(圖3(b))、重復頻率控制信號源238的輸出(圖3(c))、加法器235的輸出(圖3(d))的圖。
[0070]參照圖3(a)，目標值輸出部240的輸出為正弦波。目標值輸出部240的輸出表示輔激光器212的重復頻率是圖2(c)所示的正弦波，而主激光器112的重復頻率為恒定時的雙方的激光器的脈沖光的相位差。然而，相位比較器306的輸出是將相位差置換成電壓的值(例如，將相位差180度表示成1.8V)，因此，與此對應地，目標值輸出部240的輸出也是將相位差置換成電壓的值。
[0071]參照圖3(b)，從時間t0至tl為止，與周圍溫度恒定的情況相比，頻率的變動減小，因此相位比較器306輸出的振幅在從時間t0至tl為止小于目標值輸出部240輸出的振幅。此外，時間tl以后，與周圍溫度恒定的情況相比，頻率的變動增大，因此相位比較器306輸出的振幅在時間tl以后大于目標值輸出部240輸出的振幅。
[0072]誤差檢測部242檢測目標值輸出部240輸出的脈沖間相位差的目標值與相位比較器306的輸出(測定出的脈沖間相位差)之間的差(誤差)，并將其提供給重復頻率控制信號源238。
[0073]參照圖3(c)，重復頻率控制信號源238根據(jù)由誤差檢測部242檢測出的誤差來控制重復頻率控制信號的大小。
[0074]例如，如果目標值大于測定值(誤差為負)，則使重復頻率控制信號變得更大。如果目標值小于測定值(誤差為正)，則使重復頻率控制信號變得更小。由此，重復頻率控制信號源238在從時間t0至tl為止，增加重復頻率控制信號的振幅，tl以后，減小重復頻率控制信號的振幅。
[0075]參照圖3(d)，加法器235的輸出是對圖3(c)所示的電壓增加VO后的值。
[0076]從時間t0至tl為止周圍溫度為低溫，因此輔激光器212的重復頻率的振幅也變小。但是，重復頻率控制信號的振幅變大，因此增大輔激光器212的重復頻率的振幅，從而能夠接近周圍溫度恒定時的輔激光器212的重復頻率。
[0077]時間tl以后周圍溫度為高溫，因此輔激光器212的重復頻率的振幅也變大。但是，重復頻率控制信號的振幅變小，因此減小輔激光器212的重復頻率的振幅變小，從而能夠接近周圍溫度恒定時的輔激光器212的重復頻率。
[0078]根據(jù)本發(fā)明的實施方式，即使有干擾(例如，周圍溫度的變動)，也可以使主激光脈沖光以及輔激光脈沖光的相位差(或者頻率差)保持目標值。
[0079]另外，在以下示出了重復頻率控制信號的輸出的變形例。
[0080]圖4是表示重復頻率控制信號的輸出的變形例的圖，是表示重復頻率控制信號源238的輸出(圖4(a))、加法器235的輸出(圖4(b))、周圍溫度恒定時的輔激光器212的重復頻率(圖4(c))、周圍溫度變動時的輔激光器212的重復頻率的假設例(圖4(d))的圖。
[0081]當橫軸表示時間時，也可以考慮重復頻率控制信號重復直線性的增加以及減少(參照圖4(a))，此時的加法器235的輸出(參照圖4(b))、輔激光器212的重復頻率(參照圖4(c)、(d))也是同樣的。
[0082]圖5是表示重復頻率控制信號的輸出的變形例的圖，是表示周圍溫度變動時的、目標值輸出部240的輸出(圖5(a))、相位比較器306的輸出(圖5 (b))、重復頻率控制信號源238的輸出(圖5(c))、加法器235的輸出(圖5(d))的圖。
[0083]目標值輸出部240的輸出(參照圖5(a))、相位比較器306的輸出(參照圖5 (b))、重復頻率控制信號源238的輸出(參照圖5(c))以及加法器235的輸出(參照圖5(d))在橫軸表示時間時，也可以考慮重復直線性的增加以及減少。
[0084]另外，也可以將脈沖光源I用于使用THz光的測定裝置(光采樣裝置)。圖6是表示使用THz光的測定裝置的結構的框圖。該測定裝置具備:脈沖光源I ;光耦合器12、22 ;THz光發(fā)生器14 ；THz光檢測器24 ;觸發(fā)產生器32 ；I/V放大器34 ;PC (個人電腦)36以及數(shù)據(jù)取得部38。
[0085]例如，將主激光脈沖提供給THz光發(fā)生器14 (例如，光傳導開關)，產生THz光后，向被測定物2照射。將透過了被測定物2，或者由被測定物2反射的THz光提供給THz光檢測器24 (例如，光傳導開關)。在此，通過向THz光檢測器24提供輔激光脈沖，能夠檢測出THz光。主激光脈沖以及輔激光脈沖的重復頻率存在差，因此能夠觀察透過被測定物2，或者由被測定物2反射的THz光的波形的多個點(光采樣)。THz光檢測器24檢測出THz波后輸出電流。
[0086]另外，為了光米樣，從光親合器12、22分支主激光脈沖以及輔激光脈沖的部分后，提供給觸發(fā)產生器32。觸發(fā)產生器32在接受主激光脈沖以及輔激光脈沖雙方的時刻，輸出觸發(fā)信號。此外，I/V放大器34從THz光檢測器24接受電流，將其轉換成電壓后進行放大。PC (個人電腦)36具有數(shù)據(jù)取得部38，數(shù)據(jù)取得部38將從觸發(fā)產生器32接收觸發(fā)信號的時刻設成起點后取得I/V放大器34的輸出。
[0087]此外，也可以將數(shù)據(jù)取得部38的取得結果進行某種圖像顯示(太赫茲成像裝置)。
【權利要求】
1.一種脈沖光源，其特征在于， 根據(jù)兩個脈沖激光的相位差，來對重復頻率控制信號源的重復頻率控制信號進行反饋控制。
2.根據(jù)權利要求1所述的脈沖光源，其特征在于， 輸出所述兩個脈沖激光的激光器是: 主激光器，其輸出重復頻率被控制成預定值的主激光脈沖；以及 輔激光器，其輸出輔激光脈沖， 所述脈沖光源具備: 相位差檢測器，其檢測所述預定值的頻率的電信號與基于所述輔激光脈沖的光強度的電信號的相位差； 環(huán)路濾波器，其去除所述相位差檢測器的輸出的高頻成分； 加法器，其對所述環(huán)路濾波器的輸出相加從所述重復頻率控制信號源輸出且具有恒定的重復周期的重復頻率控制信號；以及 脈沖間相位差檢測器，其對所述主激光脈沖與所述輔激光脈沖的相位差即脈沖間相位差進行測定， 所述輔激光脈沖的重復頻率根據(jù)所述加法器的輸出而變化， 對所述重復頻率控制信號的大小進行控制，以便使測定出的所述脈沖間相位差與所述脈沖間相位差的目標值一致。
3.根據(jù)權利要求2所述的脈沖光源，其特征在于， 所述輔激光器的諧振腔長度根據(jù)所述加法器的輸出而變化。
4.根據(jù)權利要求3所述的脈沖光源，其特征在于， 所述輔激光器具有壓電元件， 向所述壓電元件提供所述加法器的輸出， 所述輔激光器的諧振腔長度根據(jù)所述壓電元件的伸縮而變化。
5.根據(jù)權利要求2所述的脈沖光源，其特征在于，具備: 主側相位差檢測器，其檢測所述預定值的頻率的電信號與基于所述主激光脈沖的光強度的電信號的相位差；以及 主側環(huán)路濾波器，其去除所述主側相位差檢測器的輸出的高頻成分， 所述主激光脈沖的重復頻率根據(jù)所述主側環(huán)路濾波器的輸出而變化。
6.一種穩(wěn)定地控制脈沖激光的相位差的方法，其是光采樣裝置或太赫茲成像裝置中的方法。
【文檔編號】H01S3/139GK104428963SQ201380037008
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2013年7月19日 優(yōu)先權日:2012年8月7日
【發(fā)明者】山下友勇, 入澤昭好 申請人:株式會社愛德萬測試