微波天線的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種微波天線，包括呈弧形設(shè)置的第一管徑段，所述第一管徑段的兩端分別連接有第二管徑段和第三管徑段；所述第一管徑段橫截面的內(nèi)徑為4mm，長度為52cm；所述第二管徑段橫截面的內(nèi)徑為8mm，長度為25cm；所述第三管徑段橫截面的內(nèi)徑為9mm，長度為28cm；所述第一管徑段的外表面設(shè)有防腐材料層。所述第二管徑段與所述第三管徑段均通過過度管徑與所述第一管徑段連接，所述過度管徑呈喇叭狀。所述第二管徑段與所述第三管徑段的外表面均設(shè)有防腐材料層。本實用新型增加了石墨舟中間部分硅片的PECVD膜厚度，改善了硅片膜厚的均勻性；設(shè)置的防腐材料層，能夠有效使微波天線的防腐性能得到很好的增加。
【專利說明】微波天線
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及微波電子【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種微波天線。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)的PECVD設(shè)備，利用一根管徑均勻的銅管作為微波天線。由于微波天線管徑均勻分布的形狀，在電磁波傳輸過程中發(fā)生衰減時，空間中靠近天線中間部分的能量強(qiáng)度要低于兩端，這會導(dǎo)致硅片上鍍膜不均勻。目前，如何改善硅片鍍膜不均勻的問題，尚未得到解決。另外，傳統(tǒng)的微波天線的防腐效果均不明顯，也需要得到改進(jìn)。
實用新型內(nèi)容
[0003]基于此，針對上述問題，有必要提出一種硅片鍍膜均勻、防腐效果好的微波天線。
[0004]本實用新型的技術(shù)方案是:一種微波天線，包括呈弧形設(shè)置的第一管徑段，所述第一管徑段的兩端分別連接有第二管徑段和第三管徑段；所述第一管徑段橫截面的內(nèi)徑為4mm,長度為52cm ;所述第二管徑段橫截面的內(nèi)徑為8mm，長度為25cm ;所述第三管徑段橫截面的內(nèi)徑為9mm，長度為28cm ;所述第一管徑段的外表面設(shè)有防腐材料層。
[0005]在優(yōu)選的實施例中，所述第二管徑段與所述第三管徑段均通過過度管徑與所述第一管徑段連接，所述過度管徑呈喇叭狀。
[0006]在優(yōu)選的實施例中，所述第二管徑段與所述第三管徑段的外表面均設(shè)有防腐材料層。
[0007]本實用新型的有益效果是:
[0008](I)位于中間的第一管徑段的內(nèi)徑小于位于兩端的第二管徑段和第三管徑段的內(nèi)徑，并且第一管徑段為弧形的設(shè)計，很好增加了微波天線中間部分的電磁波能量強(qiáng)度，從而增加了石墨舟中間部分硅片的PECVD膜厚度，改善了硅片膜厚的均勻性；
[0009](2)設(shè)置的防腐材料層，能夠有效使微波天線的防腐性能得到很好的增加。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型實施例所述微波天線的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2是本實用新型實施例中第一管徑段橫截面的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]附圖標(biāo)記說明:
[0013]10-第一管徑段，20-第二管徑段，30-第三管徑段，40-過度管徑，50-防腐材料層?！揪唧w實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對本實用新型的實施例進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0015]實施例:
[0016]如圖1和圖2所示，一種微波天線，包括呈弧形設(shè)置的第一管徑段10，所述第一管徑段10的兩端分別連接有第二管徑段20和第三管徑段30。所述第一管徑段10橫截面的內(nèi)徑為4mm,長度為52cm。所述第二管徑段20橫截面的內(nèi)徑為8mm,長度為25cm。所述第三管徑段30橫截面的內(nèi)徑為9mm，長度為28cm ;所述第一管徑段10的外表面設(shè)有防腐材料層50。
[0017]本實施例中，所述第二管徑段20與所述第三管徑段30均通過過度管徑40與所述第一管徑段10連接，所述過度管徑40呈喇叭狀。所述第二管徑段20與所述第三管徑段30的外表面均設(shè)有防腐材料層50。
[0018]本實施例所述的微波天線，位于中間的第一管徑段10的內(nèi)徑小于位于兩端的第二管徑段20和第三管徑段30的內(nèi)徑，并且第一管徑段10為弧形的設(shè)計，很好增加了微波天線中間部分的電磁波能量強(qiáng)度，從而增加了石墨舟中間部分硅片的PECVD膜厚度，改善了硅片膜厚的均勻性。設(shè)置的防腐材料層50，能夠有效使微波天線的防腐性能得到很好的增加。
[0019]以上所述實施例僅表達(dá)了本實用新型的【具體實施方式】，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對本實用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種微波天線，其特征在于，包括呈弧形設(shè)置的第一管徑段，所述第一管徑段的兩端分別連接有第二管徑段和第三管徑段；所述第一管徑段橫截面的內(nèi)徑為4mm，長度為52cm ；所述第二管徑段橫截面的內(nèi)徑為8mm，長度為25cm ;所述第三管徑段橫截面的內(nèi)徑為9mm，長度為28cm ;所述第一管徑段的外表面設(shè)有防腐材料層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波天線，其特征在于，所述第二管徑段與所述第三管徑段均通過過度管徑與所述第一管徑段連接，所述過度管徑呈喇叭狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微波天線，其特征在于，所述第二管徑段與所述第三管徑段的外表面均設(shè)有防腐材料層。
【文檔編號】H01Q1/40GK203774462SQ201320876951
【公開日】2014年8月13日 申請日期:2013年12月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月27日
【發(fā)明者】周英平, 吳為, 劉玉明 申請人:成都鼎格科技有限公司