激光器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型適用于激光器結(jié)構(gòu)【技術(shù)領(lǐng)域】，提供了一種激光器，所述激光器，包括諧振腔，所述諧振腔設(shè)置陽(yáng)極放電座、放電管和氣路連接裝置，所述陽(yáng)極放電座固定連接在所述放電管上，所述放電管和/或氣路連接裝置上設(shè)置集塵器。采用本實(shí)用新型的技術(shù)方案，可以增加激光器的穩(wěn)定性，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維護(hù)方便，成本低廉。
【專利說(shuō)明】激光器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于光器結(jié)構(gòu)【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種帶有集塵器功能的激光器。
【背景技術(shù)】
[0002]高功率C02激光器的工作氣體，包括C02，N2和He。激光躍遷發(fā)生在C02分子的電子基態(tài)的兩個(gè)振動(dòng)-轉(zhuǎn)動(dòng)能級(jí)之間。的作用是提N2高激光上能級(jí)的激勵(lì)效率，He則有助于激光下能級(jí)的抽空。N2過(guò)多會(huì)引起激光器內(nèi)部放電不穩(wěn)定，過(guò)多會(huì)降低放電激勵(lì)時(shí)的溫度，He并且功率也隨之降低。因此工作氣體的比例，需要依據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行調(diào)整，達(dá)到既能滿足功率需求，又能穩(wěn)定工作的情況。
[0003]高功率C02激光器在工作時(shí)，工作氣體中的C02有一部分在高壓電離下會(huì)分解成一氧化碳(CO)和氧原子(O)。在高溫狀態(tài)下，氧原子會(huì)對(duì)工作電極(陰極和陽(yáng)極)進(jìn)行緩慢氧化，從而在諧振腔內(nèi)釋放出固體氧化物。這些氧化物最終會(huì)有一部分在諧振腔內(nèi)的光學(xué)鏡片上沉積起來(lái)，導(dǎo)致輸出功率下降，輸出模式設(shè)計(jì)模式存在偏差等，嚴(yán)重時(shí)會(huì)燒壞鏡片，導(dǎo)致激光器無(wú)法工作。
[0004]另外，在諧振腔裝配過(guò)程中帶入的雜質(zhì)及用于對(duì)諧振腔密封的硅膠及密封圈等，在接近真空(工作氣壓IOOmBar左右)狀態(tài)下會(huì)緩慢釋放。這些雜質(zhì)與前面的固體氧化物一樣，會(huì)緩慢地沉積光學(xué)鏡片表面，影響激光器輸出的功率和模式，對(duì)激光器的穩(wěn)定工作產(chǎn)生不利影響。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種激光器，旨在解決激光器的諧振腔由于雜質(zhì)沉淀工作不穩(wěn)定的問(wèn)題。
[0006]本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種激光器，包括諧振腔，所述諧振腔設(shè)置陽(yáng)極放電座、放電管和氣路連接裝置，所述陽(yáng)極放電座固定連接在所述放電管上，所述放電管和/或氣路連接裝置上設(shè)置集塵器。
[0007]較優(yōu)的，所述集塵器通過(guò)硅膠管固定連接所述放電管和/或氣路連接裝置。
[0008]較優(yōu)的，所述諧振腔氣路連接裝置包括配氣管、導(dǎo)氣座、導(dǎo)氣管，所述導(dǎo)氣管一端連接所述陽(yáng)極放電座，另外一端連接所述導(dǎo)氣座，配氣管通過(guò)導(dǎo)氣座連通所述導(dǎo)氣管，所述集塵器固定設(shè)置在所述配氣管和/或?qū)夤苌稀?br> [0009]較優(yōu)的，所述集塵器呈囊袋狀，其橫截面呈圓形，包括起始部、彎曲部和尾部，其中，所述尾部低于彎曲部的弧頂。
[0010]較優(yōu)的，所述集塵器由石英玻璃制成。
[0011]較優(yōu)的，所述激光器為C02激光器。
[0012]由于本實(shí)用新型所公開(kāi)的激光器，在諧振腔增加了一集塵器，可以防止雜事沉積在光學(xué)鏡片表面，增加了激光器的穩(wěn)定性，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維護(hù)方便，成本低廉。【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的激光器的諧振腔氣路結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的激光器的集塵器外觀結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例提供激光器中集塵器工作原理示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0017]本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的激光器包括諧振腔，諧振腔設(shè)置陽(yáng)極放電座、放電管和氣路連接裝置，陽(yáng)極放電座固定連接在放電管上，放電管和/或氣路連接裝置上設(shè)置集塵器。
[0018]請(qǐng)參見(jiàn)圖1，為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的激光器的諧振腔氣路結(jié)構(gòu)示意圖。諧振腔氣路連接裝置包括配氣管1、導(dǎo)氣座3、導(dǎo)氣管4，導(dǎo)氣管4 一端連接陽(yáng)極放電座6，另外一端連接導(dǎo)氣座3，配氣管I通過(guò)導(dǎo)氣座3連通導(dǎo)氣管4，集塵器2固定設(shè)置在配氣管I或?qū)夤?上。通常集塵器2通過(guò)一軟膠管連接配氣管I或?qū)夤?，具體為，軟膠管的一端套接在集塵器2的起始部21，另外一端通過(guò)設(shè)置卡槽連接在配氣管I或?qū)夤?上。由于諧振腔內(nèi)部氣壓為負(fù)壓，因此軟膠管不會(huì)從配氣管或?qū)夤苌厦撀?，且這種連接方式也容易拆卸，當(dāng)集塵器使用一段時(shí)間后，很輕易就拆卸下來(lái)進(jìn)行維護(hù)。又由于諧振腔內(nèi)溫度較高，因此在本實(shí)施例中，建議采用石英玻璃制成的集塵器，防止集塵器2受到高溫影響容易損壞。
[0019]此外，集塵器2也可以設(shè)置在放電管6上，集塵器2通過(guò)一軟膠管連接放電管6，其連接的具體方式和原理，此處不再贅述。
[0020]下面結(jié)合圖2和圖3，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的激光器的集塵器的工作原理，加以闡述。圖2和圖3中的A和B，均表示工作氣體的流動(dòng)方向。本實(shí)用新型實(shí)施例中的集塵器，其外部形狀呈囊袋狀(即類似盲腸的形狀)，其橫截面呈圓形，包括起始部21、彎曲部22和尾部23，其中，尾部23低于彎曲部22的弧頂，該結(jié)構(gòu)使得進(jìn)入集塵器的顆粒粉塵狀雜質(zhì)9不會(huì)從集塵機(jī)返回諧振腔10中，保證集塵效果。集塵器2起始部21通過(guò)軟膠管與放電管或者配氣管等連接。諧振腔工作時(shí)產(chǎn)生的雜質(zhì)，隨高速氣流經(jīng)過(guò)集塵器2時(shí)會(huì)有部分雜質(zhì)沉積在集塵器2的尾部23，如圖2所示。由于結(jié)構(gòu)的原因，沉積到尾部23的雜質(zhì)，不會(huì)再被吹出來(lái)進(jìn)入氣體循環(huán)。集塵器會(huì)減少污染物在鏡片表面沉積的總量，從而減緩光學(xué)鏡片被污染的程度，延長(zhǎng)鏡片的使用壽命。
[0021]本實(shí)用新型實(shí)施例中的激光器，優(yōu)選采用C02激光器。采用本實(shí)用新型的技術(shù)方案，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，激光器防塵效果好，維護(hù)容易，具有很強(qiáng)的實(shí)用性。
[0022]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種激光器，包括諧振腔，所述諧振腔設(shè)置陽(yáng)極放電座、放電管和氣路連接裝置，所述陽(yáng)極放電座固定連接在所述放電管上，其特征在于，所述放電管和/或氣路連接裝置上設(shè)置集塵器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器，其特征在于，所述集塵器通過(guò)硅膠管固定連接所述放電管和/或氣路連接裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器，其特征在于，所述諧振腔氣路連接裝置包括配氣管、導(dǎo)氣座、導(dǎo)氣管，所述導(dǎo)氣管一端連接所述陽(yáng)極放電座，另外一端連接所述導(dǎo)氣座，配氣管通過(guò)導(dǎo)氣座連通所述導(dǎo)氣管，所述集塵器固定設(shè)置在所述配氣管和/或?qū)夤苌稀?br> 4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的激光器，其特征在于，所述集塵器呈囊袋狀，其橫截面呈圓形，包括起始部、彎曲部和尾部，其中，所述尾部低于彎曲部的弧頂。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光器，其特征在于，所述集塵器由石英玻璃制成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或5所述的激光器，其特征在于，所述激光器為C02激光器。
【文檔編號(hào)】H01S3/22GK203660269SQ201320712503
【公開(kāi)日】2014年6月18日 申請(qǐng)日期:2013年11月12日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月12日
【發(fā)明者】魏寧, 高云峰 申請(qǐng)人:深圳市大族激光科技股份有限公司