硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，包括水平頂板，垂直設(shè)置在頂板一端的轉(zhuǎn)軸，卡裝在轉(zhuǎn)軸頂端的吸盤，轉(zhuǎn)動(dòng)連接于轉(zhuǎn)軸另一端的轉(zhuǎn)軸電機(jī)，卡裝在轉(zhuǎn)軸上且位于吸盤下方的下托架，設(shè)置在下托架邊緣的伸出爪，轉(zhuǎn)動(dòng)連接在伸出爪末端的定位輪以及通過(guò)連接件固定在頂板一端的一對(duì)射式傳感器。轉(zhuǎn)軸電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)連接轉(zhuǎn)軸，定位輪是由位于定位輪頂部的圓錐體、位于圓錐體下表面的倒圓錐體、位于倒圓錐體下表面的圓柱體以及位于圓柱體下表面的凸臺(tái)組成，倒圓錐體、圓柱體和凸臺(tái)形成一環(huán)形凹槽，圓錐體下表面與倒圓錐體上表面的直徑相等，倒圓錐體下表面直徑等于圓柱體的直徑，凸臺(tái)直徑大于圓柱體直徑。本實(shí)用新型具有對(duì)硅片損害、污染小，預(yù)對(duì)準(zhǔn)精度高等優(yōu)點(diǎn)。
【專利說(shuō)明】 硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，特別是關(guān)于一種硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前在半導(dǎo)體硅片制造行業(yè)中，通常在圓形硅片的邊緣設(shè)置一用以標(biāo)明硅片方向的定位槽，以方便在硅片上集成所需信息，同時(shí)，為了方便硅片上的集成電路在多次加工過(guò)程中的重復(fù)定位和信息讀取，相對(duì)于定位槽的固定位置還刻有硅片的相應(yīng)信息，信息可以是數(shù)字符號(hào)、一維條碼或者是二維碼中的其中一種。硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置是根據(jù)硅片的定位槽對(duì)其進(jìn)行定位，硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置的定位精度直接影響硅片上相應(yīng)信息的讀取及后續(xù)的加工精度。
[0003]專利名為“一種硅片傳送裝置”公開(kāi)了這樣一種硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，如圖1?4所示，它包括一頂板53，頂板53的前部通過(guò)軸承連接垂直于頂板53的一中空的轉(zhuǎn)軸54 ;頂板53上方的轉(zhuǎn)軸54上端密封連接有一吸盤55，吸盤55上的氣吸孔和轉(zhuǎn)軸54內(nèi)部連通，頂板53上方的轉(zhuǎn)軸54下部連接一帶輪56。頂板53底面固定設(shè)置有一氣槽57，轉(zhuǎn)軸54的下端穿出帶輪56與氣槽57連通，且其連接處通過(guò)O型密封圈密封，氣槽57的另一端通過(guò)氣管和真空電磁閥與一真空泵連通。氣槽57后端的頂板53底面固定連接有一轉(zhuǎn)軸電機(jī)58,轉(zhuǎn)軸電機(jī)58的輸出端通過(guò)帶傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連接轉(zhuǎn)軸54下部的帶輪56。頂板53頂面固定連接套設(shè)在轉(zhuǎn)軸54外的一下托架59，下托架59邊緣間隔設(shè)置有四個(gè)向外的伸出爪60，每一伸出爪60的末端均高于下托架59頂面，且每一伸出爪60末端的頂面轉(zhuǎn)動(dòng)連接一定位輪61，四個(gè)定位輪61的中心共同位于吸盤55的一同心圓的圓周上。每一定位輪61的上部呈圓錐形61-0,中部呈圓柱形61-1,且圓柱形61-1的頂端略高于吸盤55的頂面。頂板53前端設(shè)置有電連接控制系統(tǒng)的一對(duì)豎直光電傳感器63。兩豎直光電傳感器63通過(guò)設(shè)置在頂板53底面的一連接件64固定連接在頂板53前方。
[0004]上述硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置中，定位輪61存在在取硅片時(shí)，容易損傷硅片而造成對(duì)硅片的污染。此外，轉(zhuǎn)軸電機(jī)58的輸出端帶輪56帶動(dòng)硅片旋轉(zhuǎn)，由于帶傳動(dòng)誤差較大，造成光電傳感器63獲得的硅片的位置信息精度低，即硅片的預(yù)對(duì)準(zhǔn)精度低。
[0005]綜上所述，現(xiàn)有的硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置不僅會(huì)對(duì)硅片產(chǎn)生損害及污染，而且硅片的預(yù)對(duì)準(zhǔn)精度低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]針對(duì)上述問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的是提供一種對(duì)硅片污染、損害低且對(duì)準(zhǔn)精度高的硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采取以下技術(shù)方案:一種硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，它包括一水平頂板，一垂直設(shè)置在所述水平頂板一端的轉(zhuǎn)軸，一卡裝在所述轉(zhuǎn)軸頂端的吸盤，一轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述轉(zhuǎn)軸另一端的轉(zhuǎn)軸電機(jī)，一卡裝在所述轉(zhuǎn)軸上且位于所述吸盤下方的下托架，若干設(shè)置在所述下托架邊緣的伸出爪，若干轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述伸出爪末端的定位輪，以及一通過(guò)一連接件固定在所述水平頂板一端的一對(duì)射式傳感器；其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸電機(jī)的輸出軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述轉(zhuǎn)軸；每一所述定位輪均是由一位于所述定位輪頂部的圓錐體、一位于所述圓錐體下表面的倒圓錐體、一位于所述倒圓錐體下表面的圓柱體以及一位于所述圓柱體下表面的凸臺(tái)組合而成，所述倒圓錐體、圓柱體和凸臺(tái)形成一環(huán)形凹槽；所述圓錐體下表面的直徑等于所述倒圓錐體上表面的直徑，所述倒圓錐體下表面直徑等于所述圓柱體的直徑，所述凸臺(tái)直徑大于所述圓柱體直徑；所述倒圓錐體的下表面高出所述吸盤的上表面I?3mm,所述凸臺(tái)的上表面低于所述吸盤的上表面I?3mm。
[0008]所述水平頂板一端上表面的中心線處開(kāi)設(shè)一通孔，所述轉(zhuǎn)軸穿設(shè)在通孔內(nèi)并通過(guò)軸承固定在所述水平頂板的上表面，所述轉(zhuǎn)軸的上端面沿中心軸線開(kāi)設(shè)一盲孔，所述轉(zhuǎn)軸靠近上端面處還設(shè)置一凸緣，所述吸盤密封卡設(shè)在所述轉(zhuǎn)軸凸緣的上表面，所述吸盤中心軸線開(kāi)設(shè)一用于吸氣的通孔，所述通孔連通所述轉(zhuǎn)軸的盲孔的頂端，所述轉(zhuǎn)軸的下端通過(guò)一聯(lián)軸器連接轉(zhuǎn)軸電機(jī)的輸出軸。
[0009]所述水平頂板的底部設(shè)置一通氣槽，所述通氣槽的一端連通所述盲孔的底端，且通過(guò)一 O型密封圈密封，所述通氣槽的另一端通過(guò)一氣管和真空電磁閥與一真空泵連通。
[0010]所述下托架卡設(shè)在所述轉(zhuǎn)軸的凸緣下表面，所述下托架的邊緣間隔設(shè)置四個(gè)伸出爪，每一所述伸出爪末端的上表面均轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述定位輪，四個(gè)所述定位輪的中心位于一與所述吸盤同心的圓周上。
[0011]所述連接件包括一水平桿和一 U型桿，所述水平桿的一端緊固在所述水平頂板一端下表面的中心線處，另一端緊固連接所述U型桿，所述一對(duì)射式傳感器設(shè)置在所述U型桿敞口端。
[0012]所述定位輪底部的中心軸線處開(kāi)設(shè)一階梯盲孔，每一所述伸出爪的末端均安裝一垂直軸承，每一所述定位輪通過(guò)所述階梯盲孔與伸出爪上的垂直軸承相連接。
[0013]本實(shí)用新型由于采取以上技術(shù)方案，其具有以下優(yōu)點(diǎn):1、本實(shí)用新型的定位輪由圓錐體、倒圓錐體、圓柱體以及凸臺(tái)組成，圓錐體保證在放置硅片時(shí)硅片與吸盤同心，倒圓錐體保證在取走硅片時(shí)硅片不被卡住，倒圓錐體、圓柱體和凸臺(tái)形成的環(huán)形凹槽保證硅片旋轉(zhuǎn)過(guò)程中不與定位輪發(fā)生摩擦，因此，在提高硅片轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中穩(wěn)定性的同時(shí)，還能夠降低預(yù)對(duì)準(zhǔn)操作對(duì)硅片的損害及污染。2、由于本實(shí)用新型采用轉(zhuǎn)軸電機(jī)的輸出端直接連接轉(zhuǎn)軸，從而避免了中間傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)誤差，因此能夠提高硅片轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程的穩(wěn)定性和預(yù)對(duì)準(zhǔn)精度。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1是現(xiàn)有硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置的上部結(jié)構(gòu)示意圖
[0015]圖2是現(xiàn)有硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置的下部結(jié)構(gòu)示意圖
[0016]圖3是現(xiàn)有硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置中定位輪的結(jié)構(gòu)示意圖
[0017]圖4是圖3的主視示意圖
[0018]圖5是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖
[0019]圖6是圖5的縱向剖視示意圖
[0020]圖7是本實(shí)用新型中定位輪的結(jié)構(gòu)示意圖
[0021]圖8是圖7的主視示意圖【具體實(shí)施方式】
[0022]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)行詳細(xì)的描述。
[0023]如圖5、圖6所示，本實(shí)用新型包括一水平頂板201、一轉(zhuǎn)軸202、一吸盤203、一轉(zhuǎn)軸電機(jī)204、一通氣槽205、一下托架206、四個(gè)伸出爪207、四個(gè)定位輪208、一連接件209以及一對(duì)射式傳感器210。其中，水平頂板201—端上表面的中心線處開(kāi)設(shè)一通孔(圖中未示出)，轉(zhuǎn)軸202插設(shè)在通孔內(nèi)并通過(guò)軸承設(shè)置在水平頂板201的上表面，轉(zhuǎn)軸202的上端面沿中心軸線開(kāi)設(shè)一盲孔202-1，轉(zhuǎn)軸202靠近上端面處還設(shè)置一凸緣202-2，吸盤203密封卡設(shè)在轉(zhuǎn)軸202的凸緣202-2的上表面，吸盤203中心軸線開(kāi)設(shè)一用于吸氣的通孔203-1，通孔203-1連通轉(zhuǎn)軸202的盲孔202-1的頂端，轉(zhuǎn)軸202的下端通過(guò)一聯(lián)軸器連接轉(zhuǎn)軸電機(jī)204的輸出軸。通氣槽205設(shè)置在水平頂板201的底部，通氣槽205的一端連通盲孔202-1的底端，且通過(guò)一 O型密封圈(圖中未示出)密封，通氣槽205的另一端通過(guò)一氣管(圖中未示出)和真空電磁閥(圖中未示出)與一真空泵連通(圖中未示出)。下托架206卡設(shè)在轉(zhuǎn)軸202的凸緣202-2下表面，下托架206的邊緣間隔設(shè)置四個(gè)伸出爪207，每一伸出爪207的末端均高于下托架206頂面，每一伸出爪207末端的上表面均轉(zhuǎn)動(dòng)連接定位輪208，所有定位輪208的中心位于與一吸盤203同心的圓周上。連接件209包括一水平桿209-1和一U型桿209-2，水平桿209-1的一端緊固在水平頂板201 —端下表面的中心線處，另一端緊固連接U型桿209-2，一對(duì)射式傳感器210對(duì)稱設(shè)置在U型桿209-2的敞口端。
[0024]如圖7、圖8所示，本實(shí)用新型的定位輪208可視為由一圓錐體208-1、一倒圓錐體208-2、一圓柱體208-3以及一凸臺(tái)208-4組成，其中圓錐體208-1位于定位輪208的頂部，用于保證在放置娃片時(shí)，娃片與吸盤203同心。圓錐體208-1的下表面為與之一體的倒圓錐體208-2，且倒圓錐體208-2的上表面與圓錐體208-1的下表面直徑相當(dāng)，用于保證在取出娃片時(shí)，娃片不被卡住。倒圓錐體208-2的下表面為與之一體的圓柱體208-3,圓柱體208-3的下表面為與之一體的凸臺(tái)208-4，且圓柱體208-3的直徑與倒圓錐體208-2的下表面直徑相當(dāng)，而凸臺(tái)208-4的直徑則略大于倒圓錐體208-2的上表面直徑，這樣在倒圓錐體208-2、圓柱體208-3和凸臺(tái)208-4形成一環(huán)形凹槽，該環(huán)形凹槽用于保證在硅片旋轉(zhuǎn)時(shí)，硅片不與定位輪208發(fā)生摩擦。
[0025]如圖5、圖6所示，倒圓錐體208-2的下表面高出吸盤203的上表面I?3mm。凸臺(tái)208-4的上表面低于吸盤203的上表面I?3mm。
[0026]在一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例中，定位輪208底部的中心軸線處開(kāi)設(shè)一階梯盲孔208-5，每一伸出爪207的末端均安裝一垂直軸承(圖中未示出)，定位輪208通過(guò)階梯盲孔208-5與伸出爪207上的垂直軸承相連接。
[0027]上述各實(shí)施例僅用于說(shuō)明本實(shí)用新型，其中各部件的結(jié)構(gòu)、連接方式和制作工藝等都是可以有所變化的，凡是在本實(shí)用新型技術(shù)方案的基礎(chǔ)上進(jìn)行的等同變換和改進(jìn)，均不應(yīng)排除在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之外。
【權(quán)利要求】
1.一種硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，它包括一水平頂板， 一垂直設(shè)置在所述水平頂板一端的轉(zhuǎn)軸， —裝在所述轉(zhuǎn)軸頂端的吸盤， 一轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述轉(zhuǎn)軸另一端的轉(zhuǎn)軸電機(jī)， 一卡裝在所述轉(zhuǎn)軸上且位于所述吸盤下方的下托架， 若干設(shè)置在所述下托架邊緣的伸出爪， 若干轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述伸出爪末端的定位輪， 以及一通過(guò)一連接件固定在所述水平頂板一端的一對(duì)射式傳感器；其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸電機(jī)的輸出軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述轉(zhuǎn)軸；每一所述定位輪均是由一位于所述定位輪頂部的圓錐體、一位于所述圓錐體下表面的倒圓錐體、一位于所述倒圓錐體下表面的圓柱體以及一位于所述圓柱體下表面的凸臺(tái)組合而成，所述倒圓錐體、圓柱體和凸臺(tái)形成一環(huán)形凹槽；所述圓錐體下表面的直徑等于所述倒圓錐體上表面的直徑，所述倒圓錐體下表面直徑等于所述圓柱體的直徑，所述凸臺(tái)直徑大于所述圓柱體直徑；所述倒圓錐體的下表面高出所述吸盤的上表面I~3mm,所述凸臺(tái)的上表面低于所述吸盤的上表面I~3mm。
2.如權(quán)利要求1所述的硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述水平頂板一端上表面的中心線處開(kāi)設(shè)一通孔，所述轉(zhuǎn)軸穿設(shè)在通孔內(nèi)并通過(guò)軸承固定在所述水平頂板的上表面，所述轉(zhuǎn)軸的上端面沿中心軸線開(kāi)設(shè)一盲孔，所述轉(zhuǎn)軸靠近上端面處還設(shè)置一凸緣，所述吸盤密封卡設(shè)在所述轉(zhuǎn)軸凸緣的上表面，所述吸盤中心軸線開(kāi)設(shè)一用于吸氣的通孔，所述通孔連通所述轉(zhuǎn)軸的盲孔的頂端，所述轉(zhuǎn)軸的下端通過(guò)一聯(lián)軸器連接轉(zhuǎn)軸電機(jī)的輸出軸。
3.如權(quán)利要求2所述的硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述水平頂板的底部設(shè)置一通氣槽，所述通氣槽的一端連通所述盲孔的底端，且通過(guò)一 O型密封圈密封，所述通氣槽的另一端通過(guò)一氣管和真空電磁·閥與一真空泵連通。
4.如權(quán)利要求1或2或3所述硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述下托架卡設(shè)在所述轉(zhuǎn)軸的凸緣下表面，所述下托架的邊緣間隔設(shè)置四個(gè)伸出爪，每一所述伸出爪末端的上表面均轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述定位輪，四個(gè)所述定位輪的中心位于一與所述吸盤同心的圓周上。
5.如權(quán)利要求1或2或3所述的硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述連接件包括一水平桿和一 U型桿，所述水平桿的一端緊固在所述水平頂板一端下表面的中心線處，另一端緊固連接所述U型桿，所述一對(duì)射式傳感器設(shè)置在所述U型桿敞口端。
6.如權(quán)利要求4所述的硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述連接件包括一水平桿和一U型桿，所述水平桿的一端緊固在所述水平頂板一端下表面的中心線處，另一端緊固連接所述U型桿，所述一對(duì)射式傳感器設(shè)置在所述U型桿敞口端。
7.如權(quán)利要求1或2或3或6所述的硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述定位輪底部的中心軸線處開(kāi)設(shè)一階梯盲孔，每一所述伸出爪的末端均安裝一垂直軸承，每一所述定位輪通過(guò)所述階梯盲孔與伸出爪上的垂直軸承相連接。
8.如權(quán)利要求4所述的硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述定位輪底部的中心軸線處開(kāi)設(shè)一階梯盲孔，每一所述伸出爪的末端均安裝一垂直軸承，每一所述定位輪通過(guò)所述階梯盲孔與伸出爪上的垂直軸承相連接。
9.如權(quán)利要求5所述的硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述定位輪底部的中心軸線處開(kāi)設(shè)一階梯盲孔，每一所述伸出爪的末端均安裝一垂直軸承，每一所述定位輪通過(guò)所述階梯盲孔與伸出爪上的垂直·軸承相連接。
【文檔編號(hào)】H01L21/68GK203644747SQ201320633269
【公開(kāi)日】2014年6月11日 申請(qǐng)日期:2013年10月14日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月14日
【發(fā)明者】陳百捷, 姚廣軍, 馬麗梅, 劉學(xué)輝 申請(qǐng)人:北京自動(dòng)化技術(shù)研究院