專利名稱：磷擴散爐的三氯氧磷排除裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體分立器件和太陽能電池片的制造領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
磷擴散是半導(dǎo)體分立器件、集成電路芯片和太陽能電池片制作PN結(jié)所必須的一道工藝，目前這道工藝所采用的技術(shù)是熱擴散技術(shù)。半導(dǎo)體分立器件主要用于制造二極管、三極管、功率器件、IGBT及晶閘管等，該系列產(chǎn)品在國內(nèi)有上百億的銷售額，產(chǎn)能非常龐大。另一方面作為太陽能電池片的用途，硅片運用也非常廣泛，全球70%以上的太陽能電池片是使用硅片作為電池片的。2011年已經(jīng)實現(xiàn)25GW的產(chǎn)能，多晶用量達到18萬噸是半導(dǎo)體用量的6倍，因此太陽能的產(chǎn)量比半導(dǎo)體產(chǎn)量更大。國內(nèi)能夠生產(chǎn)太陽能電池硅片廠家約120多家，而能夠生產(chǎn)半導(dǎo)體分立器件擴散片的廠家也達到幾十家。用于磷擴散的擴散爐每個廠家基本有幾十臺到上百臺，市場需求量很大。目前市場上技術(shù)成熟的磷擴散技術(shù)主要有三種:1、采用液態(tài)三氯氧磷源擴散；2、采用噴涂磷酸水溶液后鏈式擴散；3、采用磷源紙夾層后鏈式擴散。這三種磷擴散的方法以液態(tài)磷源擴散的方法具有生產(chǎn)效率較高，得到PN結(jié)均勻、平整和擴散層表面良好等優(yōu)點，因此運用范圍最廣，生產(chǎn)廠家普遍采用該方法進行大批量生產(chǎn)。磷擴散方法的結(jié)構(gòu)圖如

圖1所示，磷擴散的化學反應(yīng)方程式如下:
權(quán)利要求1.磷擴散爐的三氯氧磷排除裝置，其特征在于:包括緩沖箱與抽風管，該緩沖箱包括方形的緩沖箱體，所述緩沖箱內(nèi)壁涂覆有特氟龍涂層，所述緩沖箱體后側(cè)壁上設(shè)有爐管開口，所述緩沖箱體前側(cè)敞口并設(shè)有密封門，所述密封門右側(cè)與緩沖箱體鉸接，所述密封門左側(cè)與緩沖箱體之間設(shè)有鎖閉結(jié)構(gòu)，所述密封門上設(shè)有導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，所述緩沖箱體右側(cè)壁上設(shè)有抽風管開口 ；該抽風管為U形管，抽風管一端設(shè)置開口方向與抽風管左側(cè)管道垂直的進風口，抽風管另一端設(shè)有高于進風口的出風口，該出風口開口向上并連接抽風機，抽風管的管道內(nèi)壁設(shè)有特氟龍涂層；磷擴散爐的爐管通過所述爐管開口伸入所述緩沖箱，抽風管進風口通過抽風管開口與緩沖箱連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷擴散爐的三氯氧磷排除裝置，其特征在于:所述密封門上邊沿、下邊沿及右邊沿設(shè)有密封條進行密封。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磷擴散爐的三氯氧磷排除裝置，其特征在于:所述導(dǎo)流結(jié)構(gòu)為密封門左側(cè)邊沿的導(dǎo)流槽。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的磷擴散爐的三氯氧磷排除裝置，其特征在于:所述鎖閉結(jié)構(gòu)包括導(dǎo)流槽中間安裝的掛鉤及緩沖箱體左側(cè)邊對應(yīng)該掛鉤設(shè)置的掛扣。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的磷擴散爐的三氯氧磷排除裝置，其特征在于:所述緩沖箱為312不銹鋼結(jié)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷擴散爐的三氯氧磷排除裝置，其特征在于:所述抽風管的左側(cè)管道頂壁上設(shè)有噴淋氨水的氨水噴嘴。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的磷擴散爐的三氯氧磷排除裝置，其特征在于:所述抽風機為混流風機。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的磷擴散爐的三氯氧磷排除裝置，其特征在于:所述抽風管包括橫截面為方形的管道本體，所述管道本體內(nèi)設(shè)有一豎直的中間隔板將抽風管分隔成U形結(jié)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的磷擴散爐的三氯氧磷排除裝置，其特征在于:所述管道本體底端開口并連接一密封水箱。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷擴散爐的三氯氧磷排除裝置，其特征在于:所述特氟龍涂層噴涂厚度為0.2-10mm。
專利摘要本實用新型公開了一種磷擴散爐的三氯氧磷排除裝置，包括緩沖箱與抽風管，該緩沖箱包括方形的緩沖箱體，緩沖箱內(nèi)壁涂覆有特氟龍涂層，緩沖箱體后側(cè)壁上設(shè)有爐管開口，緩沖箱體前側(cè)敞口并設(shè)有密封門，密封門右側(cè)與緩沖箱體鉸接，密封門左側(cè)與緩沖箱體之間設(shè)有鎖閉結(jié)構(gòu)，密封門上設(shè)有導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，緩沖箱體右側(cè)壁上設(shè)有抽風管開口；該抽風管為U形管，抽風管一端設(shè)置進風口，抽風管另一端設(shè)有高于進風口的出風口并連接抽風機，磷擴散爐的爐管通過爐管開口伸入緩沖箱，抽風管進風口通過抽風管開口與緩沖箱連通。本實用新型可以利用自然空氣和霧狀稀釋氨水迅速冷卻擴散爐管中排除的尾氣，防止熔化抽風管的特氟龍涂層，同時使三氯氧磷在抽風管內(nèi)迅速液化。
文檔編號H01L21/223GK203007487SQ20132002633
公開日2013年6月19日 申請日期2013年1月17日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月17日
發(fā)明者陳功 申請人:陳功