用于薄膜氣相沉積的掩模組件及其制造方法
【專利摘要】用于薄膜氣相沉積的掩模組件及其制造方法被提供。掩模組件包括用于形成開口的框架和在張力被施加到其上時被固定到框架并形成多個圖案開口的掩模?？蚣馨ㄓ糜谛纬砷_口的框架主體和被安裝在框架主體上沿至少一個方向可移動的多個移動構(gòu)件。掩模在張力被施加到其上時被固定到移動構(gòu)件。
【專利說明】用于薄膜氣相沉積的掩模組件及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明的實施例總地來說涉及掩模組件，并且更特別地，涉及用于有機發(fā)射層或金屬層的薄膜沉積過程的掩模組件及其制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]平板顯示器、液晶顯示器(IXD)和有機發(fā)光二極管(OLED)顯示器是公知的顯示器。平板顯示器包括預(yù)定圖案的金屬層，在有機發(fā)光二極管(OLED)顯示器的情況下，為每個像素形成預(yù)定圖案的有機發(fā)射層?？梢詰?yīng)用使用掩模組件的沉積方法作為形成金屬層和有機發(fā)射層的方法。
[0003]掩模組件包括具有和要被沉積的金屬層或有機發(fā)射層相似的形狀的圖案開口的掩模以及用于支撐掩模的框架。由于掩模被擴大，用于形成圖案開口的蝕刻的誤差可能被增加，掩模的中心可能由自有引力而下垂，所以在張力被施加到掩模時掩模通過焊接被固定到框架。
[0004]然而，之后不能控制被固定到框架的掩模的張力。不利地，需要很多時間和精力來擴展掩模和焊接掩模到框架，而且，在擴展和焊接期間有問題的掩模被丟棄。另外，用于沉積過程的掩?？赡墚a(chǎn)生降低圖案開口的均勻性和像素位置的精度的問題。如果掩模具有這樣的問題，它被從框架分離，然后被丟棄。
[0005]在【背景技術(shù)】部分公開的上述信息僅用于增強對所描述的技術(shù)的背景的理解，因此它可能包含不形成對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在該國家已經(jīng)知曉的現(xiàn)有技術(shù)的信息。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]所描述的技術(shù)致力于提供當(dāng)掩模被固定到框架時用于控制掩模的張力并減少被丟棄的掩模的數(shù)量的掩?？蚣芗捌渲圃旆椒?。
[0007]本發(fā)明的一個實施例提供一種掩模組件，包括:包括用于形成開口的框架主體和被安裝在框架主體中的沿至少一個方向能移動的多個移動構(gòu)件的框架；以及用于形成多個圖案開口并在張力被施加到其上時被固定到移動構(gòu)件的掩模。
[0008]掩模沿第一方向和與第一方向相交的第二方向擴展，并被固定到移動構(gòu)件。
[0009]框架主體包括平行于第一方向的一對第一直邊部和平行于第二方向的一對第二直邊部。
[0010]移動構(gòu)件對于一對第一直邊部和一對第二直邊部被提供，并且它們的移動方向和位移被獨立控制。
[0011]移動構(gòu)件包括被安裝在一對第一直邊部中并沿第二方向滑動的多個第一移動構(gòu)件以及被安裝在一對第二直邊部中并沿第一方向滑動的多個第二移動構(gòu)件。
[0012]移動構(gòu)件包括被安裝在框架主體的角部處并沿第三方向滑動的多個第三移動構(gòu)件。
[0013]移動構(gòu)件分別包括:包括掩模固定側(cè)的掩模固定單元；以及被固定到框架主體，和掩模固定單元結(jié)合并控制掩模固定單元的移動的移動控制器。
[0014]移動控制器包括:包括移動引導(dǎo)件的控制器主體；被固定到掩模固定單元的朝框架主體的背面的內(nèi)螺紋部；以及被安裝在控制器主體中并和內(nèi)螺紋部結(jié)合的控制螺桿。
[0015]掩模固定單元形成用于接納控制器主體的接納部分和對應(yīng)于移動引導(dǎo)件的引導(dǎo)槽。
[0016]第一移動構(gòu)件的控制螺桿平行于第二方向，并且第二移動構(gòu)件的控制螺桿平行于
第一方向。
[0017]第一方向和第二方向分別是掩模的長度方向和寬度方向。
[0018]第三移動構(gòu)件的控制螺桿平行于第三方向。
[0019]第三方向是掩模的對角方向。
[0020]多個移動構(gòu)件分別包括:包括掩模固定側(cè)的掩模固定單元以及被安裝在框架主體和掩模固定單元之間并分別在第一方向和第二方向移動掩模固定單元的第一移動控制器和第二移動控制器。
[0021]第一移動控制 器被固定到框架主體，第二移動控制器被提供在第一移動控制器和掩模固定單元之間，支撐件被提供在第一移動控制器和第二移動控制器之間。
[0022]第一移動控制器包括第一控制器主體、第一內(nèi)螺紋部和第一控制螺桿，第一控制器主體包括第一移動引導(dǎo)件，第一內(nèi)螺紋部被固定到支撐件的背面，第一控制螺桿被安裝在第一控制器主體中并與第一內(nèi)螺紋部結(jié)合。
[0023]第二移動控制器包括第二控制器主體、第二內(nèi)螺紋部和第二控制螺桿，第二控制器主體包括第二移動引導(dǎo)件，第二內(nèi)螺紋部被固定到掩模固定單元的背面，第二控制螺桿被安裝在第二控制器主體中并與第二內(nèi)螺紋部結(jié)合。
[0024]第一控制螺桿平行于第一方向，并且第二控制螺桿平行于第二方向。
[0025]第一方向和第二方向分別是掩模的長度方向和寬度方向。
[0026]支撐件形成用于接納第一控制器主體的第一接納部分以及對應(yīng)于第一移動引導(dǎo)件的第一引導(dǎo)槽。
[0027]掩模固定單元形成用于接納第二控制器主體的第二接納部分以及對應(yīng)于第二移動引導(dǎo)件的第二引導(dǎo)槽。
[0028]另一實施例提供一種用于制造掩模組件的方法，包括:提供包括框架主體和被安裝在框架主體上的沿至少一個方向能移動的多個移動構(gòu)件的框架；在張力被施加到掩模時固定掩模到移動構(gòu)件；以及通過滑動移動構(gòu)件中的至少一個控制掩模的張力。
[0029]框架主體包括四個直邊部，移動構(gòu)件對于四個直邊部被提供，并且它們的移動方向和位移被獨立控制。
[0030]由掩模的張力引起的壓縮力被施加到移動構(gòu)件，并且移動構(gòu)件沿壓縮力被施加的一個方向滑動，以控制掩模的張力。
[0031]移動構(gòu)件沿和壓縮力被施加的方向交叉的方向滑動，以改變被形成在掩模中的圖案開口的位置。
[0032]掩模組件控制在焊接過程期間產(chǎn)生問題的掩模以及圖案開口的均勻性和像素位置的精度降低的掩模的張力，從而進行修復(fù)并得到高質(zhì)量的產(chǎn)品。因此，被丟棄的掩模的數(shù)量減少，以降低生產(chǎn)成本，并且用于更換掩模的時間減少，以增加連續(xù)操作沉積器的時間，從而提聞生廣率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0033]當(dāng)結(jié)合附圖來考慮時，通過參照下面的詳細(xì)說明，本發(fā)明的更完整的評價及其許多相關(guān)優(yōu)點由于它們變得更容易理解而將是顯而易見的，在附圖中相同的附圖標(biāo)記表示相同或相似的組件，其中:
[0034]圖1示出構(gòu)造為根據(jù)本發(fā)明的原理的第一實施例的掩模組件的分解斜視圖；
[0035]圖2示出構(gòu)造為根據(jù)本發(fā)明的原理的第一實施例的掩模組件的俯視圖；
[0036]圖3示出圖1的部分A的放大圖；
[0037]圖4示出沿圖3中所示的線IV-1V截取的掩模固定單元和移動構(gòu)件的剖視圖；
[0038]圖5示出構(gòu)造為根據(jù)本發(fā)明的原理的第二實施例的掩模組件的俯視圖；
[0039]圖6示出圖5中所示的移動構(gòu)件的斜視圖；
[0040]圖7示出圖6中所示的第一移動構(gòu)件和支撐件的剖視圖；
[0041]圖8示出圖6中所示的第二移動構(gòu)件和掩模固定單元的剖視圖；
[0042]圖9示出構(gòu)造為根據(jù)本發(fā)明的原理的一個實施例的用于制造掩模組件的方法的過程流程圖；
[0043]圖10示出圖9中所示的第二階段的掩模組件的剖視圖；和
[0044]圖11和圖12示出圖9中所示的第三階段的掩模組件的剖視圖。
具體實施例
[0045]在下文中將參照附圖更充分地描述本發(fā)明，附圖中示出本發(fā)明的示例性實施例。如本領(lǐng)域技術(shù)人員將意識到的那樣，所描述的實施例可以以各種不同的方式體現(xiàn)，而全部不背離本發(fā)明的精神或范圍。
[0046]在申請文件中，除非明確描述為相反，詞“包括”及其變形將被理解為意味著包括所提出的元件，但并不排除任何其他元件。此外，在申請文件中，目標(biāo)部分的上部代表目標(biāo)部分的上部或下部，并不意味著目標(biāo)部分總是位于基于重力方向的上側(cè)。
[0047]圖1和圖2分別示出構(gòu)造為根據(jù)本發(fā)明的原理的第一實施例的掩模組件的組合狀態(tài)的分解斜視圖和俯視圖。
[0048]參照圖1和圖2，掩模組件100包括用于形成多個圖案開口 15的掩模10以及用于形成用于暴露多個圖案開口 15的開口 21并支撐掩模10的框架20?？蚣?0包括框架主體22和被安裝在框架主體22中的多個移動構(gòu)件30，掩模10通過焊接被固定到移動構(gòu)件30。
[0049]掩模10被形成為四邊形的薄金屬板，并形成多個圖案開口 15。圖案開口 15被配置為多個細(xì)小開口，使得穿過其薄膜可被沉積。因此，在沉積過程期間，沉積材料穿過圖案開口 15并被沉積在基底(未示出)上，從而以所需形狀形成薄膜(例如，金屬層或有機發(fā)射層)。
[0050]一個圖案開口 15對應(yīng)于一個平面顯示設(shè)備(例如有機發(fā)光二極管(OLED)顯示器)。在這種情況下，可以通過使用一個掩模組件100的單一過程同時沉積對應(yīng)于多個平板顯示器的圖案。也就是，掩模組件100對應(yīng)于一個母基板，對應(yīng)于平面顯示設(shè)備的圖案可以被同時形成在母基板上。[0051]掩模10沿長度方向和寬度方向被擴展。在圖1和圖2中，掩模的長度方向被示為第一方向，和長度方向垂直的寬度方向被不為第二方向。第一方向和第二方向相交。夾緊設(shè)備(未示出)可以被安裝在掩模10的四個邊緣的每一個，從而擴展掩模10。
[0052]框架20包括在其中心具有開口 21的四邊形的框架主體22以及被安裝在框架主體22的朝掩模10的一側(cè)上的多個移動構(gòu)件30。掩模10通過焊接被固定到移動構(gòu)件30，而不是框架主體22。
[0053]框架主體22包括平行于第一方向的一對第一直邊部23以及平行于第二方向的一對第二直邊部24。根據(jù)掩模10的形狀，第一直邊部23可以比第二直邊部24更長。形成在掩模10中的多個圖案開口 15被提供為對應(yīng)于框架主體22的開口 21。
[0054]張力被施加到其上的掩模10被固定到移動構(gòu)件30，所以壓縮力在掩模10的擴展方向(第一方向和第二方向)被施加到框架主體22。因此，框架主體22可以用例如不銹鋼的具有大剛度的金屬材料制造，從而它可以不被壓縮力變形。
[0055]多個移動構(gòu)件30對于一對第一直邊部23和一對第二直邊部24被分別安裝,并且它們被安裝為在框架主體22上在一個方向是可移動的。
[0056]詳細(xì)地說，移動構(gòu)件30包括安裝在一對第一直邊部23上的多個第一移動構(gòu)件31和安裝在一對第二直邊部24上的多個第二移動構(gòu)件32。取決于掩模10的張力，壓縮力在第二方向被施加到多個第一移動構(gòu)件31,取決于掩模10的張力,壓縮力在第一方向被施加到多個第二移動構(gòu)件32。
[0057]第一移動構(gòu)件31被安裝為在框架主體22上沿施加壓縮力的第二方向是可移動的，從而控制掩模10的按照第二方向的張力。第二移動構(gòu)件32被安裝為在框架主體22上沿施加壓縮力的第一方向是可移動的，從而控制掩模10的按照第一方向的張力。在一實施方式中，當(dāng)由掩膜10的張力引起的·壓縮力被施加到多個移動構(gòu)件30，多個移動構(gòu)件30沿壓縮力被施加的一個方向滑動，以控制掩膜10的張力。
[0058]在這種情況下，多個第一移動構(gòu)件31和多個第二移動構(gòu)件32的移動方向和位移通過將要描述的移動控制器單獨控制。因此，當(dāng)掩模10被固定到多個移動構(gòu)件30時，掩模組件100可以對掩模10的各個部分施加不同的變形。也就是，對于掩模10的張力需要被控制的特定部分，掩模以所需方向和所需位移被移動，以使掩模10的張力可以以精確的方式被控制。
[0059]圖3示出圖1的部分A的放大圖。圖4示出沿圖3中所示的線IV-1V截取的掩模固定單元和移動構(gòu)件的剖視圖。
[0060]參照圖3和圖4,第一移動構(gòu)件31包括掩模固定單兀34和移動控制器35,掩模固定單元34包括掩模10在其上被焊接的掩模固定側(cè)341，移動控制器35被安裝在框架主體22和掩模固定單元34之間并控制掩模固定單元34的移動方向和位移。移動控制器35被固定到框架主體22，掩模固定單元34沿第二方向在移動控制器35上滑動。用于接納移動控制器35的接納部分342被形成在掩模固定單元34上。
[0061]移動控制器35包括控制器主體36、內(nèi)螺紋部37和控制螺桿38，控制器主體36包括一對移動引導(dǎo)件361，內(nèi)螺紋部37被固定到掩模固定單元34的朝向框架主體22的背面，控制螺桿38被安裝在控制器主體36中并和內(nèi)螺紋部37相結(jié)合。
[0062]—對移動引導(dǎo)件361和控制螺桿38平行于第二方向，對應(yīng)于一對移動引導(dǎo)件361的引導(dǎo)槽343被形成在掩模固定單元34的接納部分342中?？刂坡輻U38由操作者手動操作，或者它和外部電源(未示出)結(jié)合，它的旋轉(zhuǎn)方向和旋轉(zhuǎn)量被自動控制。
[0063]當(dāng)控制螺桿38沿一個方向旋轉(zhuǎn)時，和控制螺桿38結(jié)合的內(nèi)螺紋部37以及被固定到內(nèi)螺紋部37的掩模固定單元34沿第二方向滑動。在這種情況中，移動引導(dǎo)件361和引導(dǎo)槽343引導(dǎo)掩模固定單元34的移動。掩模固定單元34的移動量和控制螺桿38的旋轉(zhuǎn)量成比例。掩模固定單元34的移動方向和位移量能夠根據(jù)控制螺桿38的旋轉(zhuǎn)方向和旋轉(zhuǎn)量被精確控制。
[0064]移動控制器35的結(jié)構(gòu)并不局限于所描述的實施例,在框架主體22上移動掩模固定單元34和改變移動方向和位移的任何結(jié)構(gòu)都是適用的。
[0065]參照圖1和圖2，除了控制螺桿和一對移動引導(dǎo)件沿第一方向被設(shè)置以及滑動方向是第一方向之外，第二移動構(gòu)件32具有和第一移動構(gòu)件31同等的結(jié)構(gòu)。
[0066]移動構(gòu)件30被提供在框架主體22的角部處，包括至少一個沿第三方向滑動的第三移動構(gòu)件33。第三方向是掩模10的對角方向，并具有相對于第一方向和第二方向的預(yù)定角度。除了控制螺桿和一對移動引導(dǎo)件被設(shè)置在第三方向以及滑動方向是第三方向之外，第三移動構(gòu)件33具有和第一移動構(gòu)件31同等的結(jié)構(gòu)。
[0067]因此，掩模組件100控制在焊接過程期間產(chǎn)生問題的掩模10以及圖案開口 15的均勻性和像素位置的精度降低的掩模10的張力，并進行修復(fù)。結(jié)果，被丟棄的掩模的數(shù)量減少，以降低生產(chǎn)成本，用于更換掩模的時間減少，以增加連續(xù)操作沉積器的時間，從而提
高生產(chǎn)效率。
[0068]圖5示出構(gòu)造為根據(jù)本發(fā)明的工作原理的第二實施例的掩模組件的俯視圖。
[0069]參照圖5，根據(jù)第二實施例的掩模組件200具有和根據(jù)第一實施例的掩模組件類似的結(jié)構(gòu)，除了多個移動構(gòu)件40沿第一方向和第二方向滑動。和第一實施例中相同的構(gòu)件將具有相同的附圖標(biāo)記，在下文中將描述和第一實施例的區(qū)別。
[0070]第一實施例中的多個移動構(gòu)件根據(jù)滑動方向被劃分成第一移動構(gòu)件、第二移動構(gòu)件和第三移動構(gòu)件，第二實施例中的多個移動構(gòu)件40具有相同結(jié)構(gòu)的移動控制器，它們不是在一個方向而是在兩個方向(第一方向和第二方向)上滑動。
[0071]圖6示出圖5中所示的移動構(gòu)件的斜視圖，圖7示出沿圖6中的線VI1-VII截取的第一移動構(gòu)件和支撐件的剖視圖，圖8示出沿圖6中所示的線VII1-VIII截取的第二移動構(gòu)件和掩模固定單元的剖視圖。圖6至圖8例示被安裝在框架201的第二直邊部24上的移動構(gòu)件40。
[0072]參照圖6至圖8，移動構(gòu)件40包括掩模固定單元41、第一移動控制器42和第二移動控制器43，掩模固定單元41包括掩模10被焊接在其上的掩模固定側(cè)411，第一移動控制器42和第二移動控制器43被提供在框架主體22和掩模固定單元41之間。第一移動控制器42被提供在第二移動控制器43的下方，用于支撐第二移動控制器43的支撐件44被提供在第一移動控制器42和第二移動控制器43之間。
[0073]第一移動控制器42被固定到框架主體22，被安裝在其上的支撐件44、第二移動控制器43和掩模固定單元41通過第一移動控制器42沿第一方向滑動。用于接納第一移動控制器42的第一接納部分441被形成在支撐件44上。
[0074]第一移動控制器42包括第一控制器主體451、第一內(nèi)螺紋部461和第一控制螺桿471，第一控制器主體451包括一對第一移動引導(dǎo)件455，第一內(nèi)螺紋部461被固定到支撐件44的朝向第一控制器主體451的背面，第一控制螺桿471被安裝在第一控制器主體451中并和第一內(nèi)螺紋部461結(jié)合。第一移動引導(dǎo)件455和第一控制螺桿471平行于第一方向，對應(yīng)于第一移動引導(dǎo)件455的第一引導(dǎo)槽442被形成在第一接納部分441中。
[0075]第二移動控制器43被固定到支撐件44，掩模固定單元41通過第二移動控制器43沿第二方向滑動。用于接納第二移動控制器43的第二接納部分412被形成在掩模固定單元41的背面上。
[0076]第二移動控制器43包括第二控制器主體452、第二內(nèi)螺紋部462和第二控制螺桿472，第二控制器主體452包括一對第二移動引導(dǎo)件456，第二內(nèi)螺紋部462被固定到掩模固定單元41的朝向第二控制器主體452的背面，第二控制螺桿472被安裝在第二控制器主體452中并和第二內(nèi)螺紋部462結(jié)合。第二移動引導(dǎo)件456和第二控制螺桿472平行于第二方向，對應(yīng)于第二移動引導(dǎo)件456的第二引導(dǎo)槽413被形成在掩模固定單元41的第二接納部分412中。
[0077]當(dāng)?shù)谝豢刂坡輻U471沿一個方向旋轉(zhuǎn)時，和第一控制螺桿471結(jié)合的第一內(nèi)螺紋部461、被固定到第一內(nèi)螺紋部461的支撐件44、第二移動控制器43以及掩模固定單元41沿第一方向滑動。掩模固定單兀41沿第一方向的移動方向和位移量能夠根據(jù)第一控制螺桿471的旋轉(zhuǎn)方向和旋轉(zhuǎn)量被精確控制。
[0078]當(dāng)?shù)诙刂坡輻U472沿一個方向旋轉(zhuǎn)時，和第二控制螺桿472結(jié)合的第二內(nèi)螺紋部462以及被固定到第二內(nèi)螺紋部462的掩模固定單元41沿第二方向滑動。掩模固定單元41沿第二方向的移動方向和位移量能夠根據(jù)第二控制螺桿472的旋轉(zhuǎn)方向和旋轉(zhuǎn)量被精確控制。
[0079]參照圖5和圖6，關(guān)于被安裝在框架201的第一直邊部23中的移動構(gòu)件40，支撐件44、第二移動控制器43和掩 模固定單元41通過第一移動控制器42沿第一方向滑動，掩模固定單元41通過第二移動控制器43沿第二方向滑動。
[0080]在根據(jù)第二實施例的掩模組件200中，掩模10被固定到框架201，掩模10的邊緣可以沿掩模10的擴展方向及其相交方向被移動。因此，掩模10的張力可以通過對于掩模
10的需要控制張力的特定部分在所需方向并以所需位移移動掩模10來控制，圖案開口 15的位置(參照圖1)可以通過沿和擴展方向相交的方向移動掩模10來控制。
[0081]現(xiàn)在將描述用于制造掩模組件的方法。
[0082]圖9示出用于制造構(gòu)造為根據(jù)本發(fā)明的原理的一個實施例的掩模組件的方法的過程流程圖。
[0083]參照圖9，用于制造掩模組件的方法包括:提供被配置為具有框架主體和多個移動構(gòu)件的框架(S10)，在施加張力到掩模時固定掩模到移動構(gòu)件(S20)，通過滑動移動構(gòu)件中的至少一個控制掩模的張力(S30)。
[0084]在根據(jù)第一實施例的掩模組件中，掩模的張力通過在掩模擴展方向滑動移動構(gòu)件來控制。在根據(jù)第二實施例的掩模組件中，掩模的張力和圖案開口的位置通過在掩模擴展方向及其相交方向滑動移動構(gòu)件來控制。
[0085]圖10示出沿圖2的線X-X截取的掩模組件的剖視圖。圖10示出圖9中所示的第二階段。[0086]參照圖2和圖10，在張力在第一方向和第二方向被施加時掩模10通過焊接被固定到多個移動構(gòu)件30。在這種情況下，掩模10不是被固定到框架主體22，而是移動構(gòu)件30，所以在掩模100被固定到框架20后張力是可改變的。也就是，在掩模10被固定到框架20之后掩模10的張力能夠被控制，并且在掩模10被多次用于沉積過程之后張力能夠被控制。
[0087]圖11和圖12示出圖9中所示的第三階段的掩模組件的剖視圖。圖11和圖12示出根據(jù)第一實施例的掩模組件。
[0088]參照圖11，當(dāng)掩模10的張力需要增加時，控制螺桿被操縱，以允許第一移動構(gòu)件31遠(yuǎn)離開口 21的中心滑動。掩模10的端部沿第二方向隨第一移動構(gòu)件31移動，以增加張力。
[0089]參照圖12，當(dāng)掩模10的張力需要減少時，控制螺桿被操縱，以允許第一移動構(gòu)件31向開口 21的中心滑動。掩模10的端部沿第二方向隨第一移動構(gòu)件31移動，以減少張力。在參照圖11和圖12所示的這兩種情況下，張力可以根據(jù)第一移動構(gòu)件31的位移被適當(dāng)控制。
[0090]圖11和圖12示出其中被提供在掩模10的兩端的兩個第一移動構(gòu)件31同時移動相同位移的情況，除此之外，一個第一移動構(gòu)件31可以是可移動的，并且當(dāng)兩個第一移動構(gòu)件31 —起移動時,兩個第一移動構(gòu)件31的位移可以不同。
[0091]參照圖2，以和第一移動構(gòu)件31類似的方式，掩模10沿第一方向的張力可以通過控制第二移動構(gòu)件32的滑動來增加或減少。掩模10沿第三方向的張力可以通過控制第三移動構(gòu)件33的滑動來增加或減少。
[0092]這里，各個移動構(gòu)件 30的移動方向和位移是獨立控制的，所以掩模10的張力可以根據(jù)位置通過對于掩模10的需要控制張力的特定部分以所需的方向和位移移動掩模10被精確控制。
[0093]參照圖5，在根據(jù)第二實施例的掩模組件200中，移動構(gòu)件40分別在第一方向和第二方向滑動。因此，掩模10的張力可以通過在掩模10的擴展方向滑動移動構(gòu)件40被控制，圖案開口 15的位置可以通過沿和擴展方向相交的方向滑動移動構(gòu)件40被控制(參照圖1)。
[0094]盡管已經(jīng)結(jié)合當(dāng)前認(rèn)為是可實施的示例性實施例描述本公開，應(yīng)當(dāng)理解本發(fā)明并不局限于所公開的實施例，而是相反，意在覆蓋包括在所附權(quán)利要求的精神和范圍內(nèi)所包括的各種修改和等同方案。
【權(quán)利要求】
1.一種掩模組件,包括: 包括形成開口的框架主體和被安裝在所述框架主體中的多個移動構(gòu)件的框架，所述多個移動構(gòu)件的每一個沿至少一個方向能移動；和 包括多個圖案開口并被固定到所述多個移動構(gòu)件的掩模。
2.如權(quán)利要求1所述的掩模組件，其中 所述掩模沿第一方向和與所述第一方向相交的第二方向擴展，并被固定到所述多個移動構(gòu)件，并且 所述至少一個方向平行于所述第一方向或所述第二方向。
3.如權(quán)利要求2所述的掩模組件，其中 所述框架主體包括平行于所述第一方向的一對第一直邊部和平行于所述第二方向的一對第二直邊部，并且 所述多個移動構(gòu)件對于所述一對第一直邊部和所述一對第二直邊部被提供，并且所述多個移動構(gòu)件中的每一個的移動方向和位移被獨立控制。
4.如權(quán)利要求3所述的掩模組件，其中所述多個移動構(gòu)件包括: 被安裝在所述一對第一直邊部中并沿所述第二方向滑動的多個第一移動構(gòu)件；和 被安裝在所述一對第二直邊部中并沿所述第一方向滑動的多個第二移動構(gòu)件。
5.如權(quán)利要求4所述的掩模組件，其中所述多個移動構(gòu)件包括被安裝在所述框架主體的角部處并沿第三方向滑動的多個第三移動構(gòu)件。`
6.如權(quán)利要求5所述的掩模組件，其中所述多個移動構(gòu)件中的每一個包括: 包括掩模固定側(cè)的掩模固定單元；和 被固定到所述框架主體，和所述掩模固定單元結(jié)合并控制掩模固定單元的移動的移動控制器。
7.如權(quán)利要求6所述的掩模組件，其中所述移動控制器包括: 包括移動引導(dǎo)件的控制器主體； 被固定到所述掩模固定單元的朝所述框架主體的背面的內(nèi)螺紋部；和 被安裝在所述控制器主體中并和所述內(nèi)螺紋部結(jié)合的控制螺桿。
8.如權(quán)利要求7所述的掩模組件，其中所述掩模固定單元形成接納所述控制器主體的接納部分和對應(yīng)于所述移動引導(dǎo)件的引導(dǎo)槽。
9.如權(quán)利要求7所述的掩模組件，其中 所述多個第一移動構(gòu)件的每一個的所述控制螺桿平行于所述第二方向， 所述多個第二移動構(gòu)件的每一個的所述控制螺桿平行于所述第一方向，并且 所述第一方向和所述第二方向分別是所述掩模的長度方向和寬度方向。
10.如權(quán)利要求7所述的掩模組件，其中 所述多個第三移動構(gòu)件的每一個的所述控制螺桿平行于所述第三方向，并且 所述第三方向是所述掩模的對角方向。
11.如權(quán)利要求3所述的掩模組件，其中所述多個移動構(gòu)件的每一個包括: 包括掩模固定側(cè)的掩模固定單元；和 被安裝在所述框架主體和所述掩模固定單元之間并分別沿所述第一方向和所述第二方向移動所述掩模固定單兀的第一移動控制器和第二移動控制器。
12.如權(quán)利要求11所述的掩模組件，其中 所述第一移動控制器被固定到所述框架主體， 所述第二移動控制器被提供在所述第一移動控制器和所述掩模固定單元之間，并且 支撐件被提供在所述第一移動控制器和所述第二移動控制器之間。
13.如權(quán)利要求12所述的掩模組件，其中 所述第一移動控制器包括第一控制器主體、第一內(nèi)螺紋部和第一控制螺桿，所述第一控制器主體包括第一移動引導(dǎo)件，所述第一內(nèi)螺紋部被固定到所述支撐件的背面，所述第一控制螺桿被安裝在所述第一控制器主體中并與所述第一內(nèi)螺紋部結(jié)合，并且 所述第二移動控制器包括第二控制器主體、第二內(nèi)螺紋部和第二控制螺桿，所述第二控制器主體包括第二移動引導(dǎo)件，所述第二內(nèi)螺紋部被固定到所述掩模固定單元的背面，所述第二控制螺桿被安裝在所述第二控制器主體中并與所述第二內(nèi)螺紋部結(jié)合。
14.如權(quán)利要求13所述的掩模組件，其中 所述第一控制螺桿平行于所述第一方向， 所述第二控制螺桿平行于所述第二方向，并且 所述第一方向和所述第二方向分別是所述掩模的長度方向和寬度方向。
15.如權(quán)利要求13所述的掩模組件，其中 所述支撐件形成用于接納所述第一控制器主體的第一接納部分以及對應(yīng)于所述第一移動引導(dǎo)件的第一引導(dǎo)槽，并且 所述掩模固定部分形成用于接納所述第二控制器主體的第二接納部分以及對應(yīng)于所述第二移動引導(dǎo)件的第二引導(dǎo)槽。`
16.一種用于制造掩模組件的方法，該方法包括: 提供包括框架主體和被安裝在所述框架主體上的沿至少一個方向能移動的多個移動構(gòu)件的框架； 在張力被施加到掩模時固定所述掩模到所述多個移動構(gòu)件；和 通過滑動所述多個移動構(gòu)件中的至少一個控制所述掩模的所述張力。
17.如權(quán)利要求16所述的方法，其中 所述框架主體包括四個直邊部，并且 所述多個移動構(gòu)件對于所述四個直邊部被提供，并且所述多個移動構(gòu)件中的每一個的移動方向和位移被獨立控制。
18.如權(quán)利要求17所述的方法，其中當(dāng)由所述掩模的所述張力引起的壓縮力被施加到所述多個移動構(gòu)件，所述多個移動構(gòu)件沿所述壓縮力被施加的一個方向滑動，以控制所述掩模的所述張力。
19.如權(quán)利要求18所述的方法，其中所述多個移動構(gòu)件沿和所述壓縮力被施加的所述方向交叉的方向滑動，以改變被形成在所述掩模中的圖案開口的位置。
【文檔編號】H01L51/56GK103866229SQ201310665412
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2013年12月10日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月10日
【發(fā)明者】韓政洹 申請人:三星顯示有限公司